技术领域
[0001] 本实用新型涉及一种蚀刻液回收的智能监控设备，具体涉及一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统。
背景技术
[0002] 目前的蚀刻液回收系统使用过程中需要工人全程驻守以便于实时检查各个设备运行状态。浪费了大量的人
力在巡检工作上面，工人工作效率较低。现在这种蚀刻液回收系统的智能监控设备，通过警报系统最大程度的减少了工人的巡检工作量并通过实时的远程连线指导提高了工人的检修效率。通过设备的各个
传感器反馈的数据可以提前预警可能发生的故障，便于安排工人检修减少现场设备的停工时间提高了生产效率。
[0003] 蚀刻液回收系统与蚀刻线连接，要求可以24小时不间断与蚀刻线保持联动工作便于将废蚀刻液进行再生，再生后的蚀刻液再循环至蚀刻线实时使用。现在的监控方案是蚀刻液回收系统运行过程中由工人定期检查每个设备的运行状况。工人检查设备需要耗费较多时间，并且检查有效性较低，无法准确检测到设备的前期故障，进而无法有效
预防设备故障导致降低整套系统的可靠性。实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的是提供一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统，能使系统数据自动监控；便于远程诊断，节约维修时间，减少经济损失；远程工程师可通过网络摄像机实时指导现场工人进行检修作业，减少现场维修时间，减少经济损失。
[0005] 为了达到上述目的，本实用新型有如下技术方案：
[0006] 本实用新型的一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统，包括：蚀刻机，废液收集槽，废液收集罐，调整槽，
电解槽，废气塔，再生液罐，调药罐，再生子液罐，
液位传感器一，液位传感器二，液位传感器三，液位传感器四，液位传感器五，液位传感器六，气体浓度传感器一，气体浓度传感器二，气体浓度检测主机，流量计，网路交换机，网络摄像机一，网络摄像机二，网络摄像机三，网络摄像机四，
水泵一，水泵二，水泵三，水泵四，水泵五，水泵六，水泵七，热交换机，
温度传感器，抽
风机一、抽风机二，PLC，本地监控电脑和远程监控电脑，所述PLC分别与液位传感器一、液位传感器二、液位传感器三、液位传感器四、液位传感器五、液位传感器六、水泵一、水泵二、水泵三、水泵四、水泵五、水泵六、水泵七、网路交换机、气体浓度检测主机、温度传感器、流量计、抽风机一、抽风机二电连接，所述网路交换机分别与气体浓度检测主机、网络摄像机一、网络摄像机二、网络摄像机三、网络摄像机四、本地监控电脑和远程监控电脑电连接，气体浓度检测主机分别与气体浓度传感器一、气体浓度传感器二电连接，所述蚀刻机与废液收集槽连通，所述废液收集槽通过水泵一与废液收集罐连通，废液收集罐通过水泵二与流量计连通，流量计与调整槽连通，调整槽与通过水泵三与
电解槽连通，电解槽通过水泵四与再生液罐连通，电解槽还通过抽风机一与废气塔连通，再生液罐通过水泵五与调药罐连通，调药罐通过水泵六与再生子液罐连通，再生子液罐通过水泵七与蚀刻机连通，所述液位传感器一位于废液收集槽内，所述液位传感器二位于废液收集罐内，所述液位传感器三位于调整槽内，所述液位传感器四位于再生液罐内，所述液位传感器五位于调药罐内，所述液位传感器六位于再生子液罐，所述温度传感器、热交换机均位于调整槽内，所述气体浓度传感器一位于电解槽内，所述气体浓度传感器二位于废气塔内。
[0007] 其中，所述废液收集罐、再生液罐、再生子液罐上部均为圆台体，下部均为圆柱体；所述废液收集槽、调药罐均为圆柱体。
[0008] 由于采取了以上技术方案，本实用新型的优点在于：
[0009] 本实用新型与传统装置相比：
[0010] 1系统数据的自动监控，有异常数据可实时发现并及时处理预防设备停机造成经济损失；
[0011] 2监控设备中的网络摄像机由PLC触发自动旋转
定位到故障设备便于远程诊断，节约维修时间，减少经济损失；
[0012] 3远程工程师可通过网络摄像机实时指导现场工人进行检修作业，减少现场维修时间，减少经济损失。
附图说明
[0013] 图1为本实用新型的系统结构示意图。
[0014] 图中：1、蚀刻机，2、废液收集槽，3、废液收集罐，4、流量计，5、调整槽，6、网路交换机，7、本地监控电脑，8、远程监控电脑，9、气体浓度检测主机，10、PLC，11、电解槽，12、废气塔，13、再生液罐，14、调药罐，15、再生子液罐，16、液位传感器一，17、液位传感器二，18、液位传感器三，19、液位传感器四，20、液位传感器五，21、液位传感器六，22、气体浓度传感器一，23、气体浓度传感器二，，24、网络摄像机一，25、网络摄像机二，26、网络摄像机三，27、网络摄像机四，28、水泵一，29、水泵二，30、水泵三，31、水泵四，32、水泵五，33、水泵六，34、水泵七，35、温度传感器。
具体实施方式
[0015] 以下
实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
[0016] 参见附图1，
[0017] 本实用新型的本实用新型的一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统，包括：蚀刻机，废液收集槽，废液收集罐，调整槽，电解槽，废气塔，再生液罐，调药罐，再生子液罐，液位传感器一，液位传感器二，液位传感器三，液位传感器四，液位传感器五，液位传感器六，气体浓度传感器一，气体浓度传感器二，气体浓度检测主机，流量计，网路交换机，网络摄像机一，网络摄像机二，网络摄像机三，网络摄像机四，水泵一，水泵二，水泵三，水泵四，水泵五，水泵六，水泵七，热交换机，温度传感器，抽风机一、抽风机二，PLC，本地监控电脑和远程监控电脑，所述PLC分别与液位传感器一、液位传感器二、液位传感器三、液位传感器四、液位传感器五、液位传感器六、水泵一、水泵二、水泵三、水泵四、水泵五、水泵六、水泵七、网路交换机、气体浓度检测主机、温度传感器、流量计、抽风机一、抽风机二电连接，所述网路交换机分别与气体浓度检测主机、网络摄像机一、网络摄像机二、网络摄像机三、网络摄像机四、本地监控电脑和远程监控电脑电连接，气体浓度检测主机分别与气体浓度传感器一、气体浓度传感器二电连接，所述蚀刻机与废液收集槽连通，所述废液收集槽通过水泵一与废液收集罐连通，废液收集罐通过水泵二与流量计连通，流量计与调整槽连通，调整槽与通过水泵三与电解槽连通，电解槽通过水泵四与再生液罐连通，电解槽还通过抽风机一与废气塔连通，再生液罐通过水泵五与调药罐连通，调药罐通过水泵六与再生子液罐连通，再生子液罐通过水泵七与蚀刻机连通，所述液位传感器一位于废液收集槽内，所述液位传感器二位于废液收集罐内，所述液位传感器三位于调整槽内，所述液位传感器四位于再生液罐内，所述液位传感器五位于调药罐内，所述液位传感器六位于再生子液罐，所述温度传感器、热交换机均位于调整槽内，所述气体浓度传感器一位于电解槽内，所述气体浓度传感器二位于废气塔内。
[0018] 所述废液收集罐、再生液罐、再生子液罐上部均为圆台体，下部均为圆柱体；所述废液收集槽、调药罐均为圆柱体。
[0019] 蚀刻液经过蚀刻机使用后
金属离子浓度上升蚀刻作用下降成为蚀刻废液。蚀刻废液由蚀刻机排出直接进入废液收集槽。蚀刻废液收集槽收集废液达到
指定液位(即指定容量)后触发液位传感器一反馈至PLC，由PLC启动水泵一将蚀刻废液抽到废液收集罐。废液收集槽中的蚀刻废液液位降至指定液位触发液位传感器二反馈至PLC，由PLC停止水泵一工作。蚀刻废液收集罐收集废液达到指定液位(即指定容量)后触发液位传感器二反馈至PLC，由PLC启动水泵二将蚀刻废液抽到调整槽。废液收集罐中的蚀刻废液液位降至指定液位触发液位传感器二反馈至PLC，由PLC控制停止水泵二工作。蚀刻废液进入调整槽后由热交换机进行温度调整。温度传感器检测蚀刻废液温度反馈数据至PLC，废液温度达到指定数值后PLC控制水泵三将其抽到电解槽。蚀刻废液经电解槽的电解作用析出
铜离子成为低铜离子浓度蚀刻废液进入再生液罐。电解槽产生废气的浓度由气体浓度传感器一检测达到指定值反馈至PLC，PLC启动抽风机一使其进入废气塔。废气塔进行酸
碱中和作用，由气体浓度传感器二检测达到指定值符合环保排放要求则PLC控制废气塔的抽风机二排放。低铜离子浓度蚀刻废液进入调药罐进行调制后成为再生子液抽到再生子液罐。当蚀刻机生产需要时，再生子液罐中的再生子液由水泵七
抽取至蚀刻机使用。
[0020] 上述液位传感器一至液位传感器六检测设备液位高度数据异常实时反馈液位数据PLC，由PLC内置程序控制网络摄像机自动旋转定位至触发
信号的对应设备。网络摄像机一至网络摄像机四同时触发警报提醒本地监控电脑和远端监控电脑进行实时监控并由远端监控电脑进行远端技术指导来排除故障。
[0021] 气体浓度传感器一或气体浓度传感器二检测蚀刻液系统内部气体浓度，浓度升至指定数值时，触发气体浓度警报至PLC，由PLC控制网络摄像机一、网络摄像机二、网络摄像机三或网络摄像机四自动旋转定位至触发信号的对应设备。网络摄像机一、网络摄像机二、网络摄像机三或网络摄像机四同时触发警报提醒本地监控电脑和远端监控电脑进行实时监控并启动排气设备进行强制排气减小蚀刻液设备内部浓度。内部气体排放至废气塔进行处理。处理完成由气体浓度传感器二检测，低于设定值为浓度达标可由废气塔进行排放，高于设定值继续由废气塔进行处理。
[0022] 流量计检测实时流量和总体流量，当实时流量数据异常时，由PLC控制网络摄像机二自动旋转定位至触发信号的对应设备。网络摄像机二同时触发警报提醒本地监控电脑和远端监控电脑进行实时监控并安排工人进行检修。
[0023] 以下为部分设备使用的品牌和型号：
[0024]
[0025] PLC：
[0026] Programmable Logic Controller，可编程逻辑
控制器，是一种采用一类可编程的
存储器，用于其内部存储程序，执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令，并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程。
[0027] 基本结构：
[0028] 可编程逻辑控制器实质是一种专用于工业控制的计算机，其
硬件结构基本上与微型计算机相同，基本构成为：
[0029] 电源：
[0030] 可编程逻辑控制器的电源在整个系统中起着十分重要的作用。如果没有一个良好的、可靠的电源系统是无法正常工作的，因此，可编程逻辑控制器的制造商对电源的设计和制造也十分重视。一般交流
电压波动在+10％(+15％)范围内，可以不采取其它措施而将PLC直接连接到交流
电网上去
[0031] 中央处理单元(CPU)：
[0032] 中央处理单元(CPU)是可编程逻辑控制器的控制中枢。它按照可编程逻辑控制器系统程序赋予的功能接收并存储从编程器键入的用户程序和数据；检查电源、存储器、I/O以及警戒
定时器的状态，并能诊断用户程序中的语法错误。当可编程逻辑控制器投入运行时，首先它以扫描的方式接收现场各输入装置的状态和数据，并分别存入I/O映象区，然后从用户程序存储器中逐条读取用户程序，经过命令解释后按指令的规定执行逻辑或算数运算的结果送入I/O映象区或数据寄存器内。等所有的用户程序执行完毕之后，最后将I/O映象区的各输出状态或输出寄存器内的数据传送到相应的输出装置，如此循环运行，直到停止运行。
[0033] 为了进一步提高可编程逻辑控制器的可靠性，对大型可编程逻辑控制器还采用双CPU构成冗余系统，或采用三CPU的表决式系统。这样，即使某个CPU出现故障，整个系统仍能正常运行。
[0034] 存储器：
[0035] 存放系统
软件的存储器称为系统程序存储器。
[0036] 存放
应用软件的存储器称为用户程序存储器。
[0038] 1)现场输入接口电路由光耦合电路和微机的输入接口电路，作用是可编程逻辑控制器与现场控制的接口界面的输入通道。
[0039] 2)现场输出接口电路由输出数据寄存器、选通电路和中断
请求电路集成，作用可编程逻辑控制器通过现场输出接口电路向现场的执行部件输出相应的
控制信号。
[0040] 功能部件：
[0041] 如计数、定位等功能部件。
[0042] 通信部件。
[0043] 工作原理：
[0044] 当可编程逻辑控制器投入运行后，其工作过程一般分为三个阶段，即输入
采样、用户程序执行和输出刷新三个阶段。完成上述三个阶段称作一个扫描周期。在整个运行期间，可编程逻辑控制器的CPU以一定的扫描速度重复执行上述三个阶段。
[0045] 液位传感器：
[0046] 液位传感器是一种测量液位的
压力传感器。静压投入式液位变送器(液位计)是基于所测液体静压与该液体的高度成比例的原理，采用国外先进的隔离型扩散
硅敏感元件或陶瓷电容压力敏感传感器，将静压转换为
电信号，再经过温度补偿和线性修正，转
化成标准电信号(一般为4～20mA/1～5VDC)。
[0047] 温度传感器(temperature transducer)是指能感受温度并转换成可用
输出信号的传感器。温度传感器是温度测量仪表的核心部分，品种繁多。按测量方式可分为
接触式和非接触式两大类，按照传感器材料及
电子元件特性分为热
电阻和
热电偶两类。
[0048] 调整槽：与电解槽相通，降低电解槽内温度；调整槽包括槽体、槽盖，热交换机放置于槽体下部；温度传感器固定于槽体下部；液位传感器三固定于槽体上部。
[0049] 热交换机用来使热量从热
流体传递到冷流体，以满足规定的工艺要求的装置，是
对流传热及热传导的一种工业应用产品。
[0050] 电解槽由槽体、
阳极和
阴极组成，用隔板将
阳极室和
阴极室隔开。当直流电通过电解槽时，在阳极与溶液界面处发生
氧化反应，在阴极与溶液界面处发生还原反应，以制取所需产品。
[0051] 废气塔与电解槽相通，处理电解过程中产生的微
腐蚀性气体，圆筒状结构。
[0052] 显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的
基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。
