专利汇可以提供一种硅片晶圆划片后检测工艺专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 具体涉及一种 硅 片 晶圆 划片后检测工艺,包括以下步骤:步骤1、当第一片划完后,操作者应立即取出,在 显微镜 下检查或目视检查,划片槽是否偏斜,是否全划穿,蓝膜上是否有刀痕,有无芯片脱落,有效 电路 区中是否有缺 角 ,裂缝, 钝化 层受损,擦伤和沾污等的芯片;步骤2、每片圆片CH1、CH2两个方向切割第五刀时必须停机检查,在划片过程中,每三十刀检查一次,检查内容包括切割槽宽度、切割 位置 等;步骤3、切割刀痕的测量:操作员在设备上检查切割刀痕尺寸的数据,并且记录;步骤4、对于已完成检查的圆片,则应将圆片存放在干燥箱或氮气柜中。本发明的一种 硅片 晶圆划片后检测工艺,检测内容全面先进,提高了产品 质量 ,降低企业的生产成本。,下面是一种硅片晶圆划片后检测工艺专利的具体信息内容。
1.一种硅片晶圆划片后检测工艺,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、当第一片划完后,操作者应立即取出,在显微镜下检查或目视检查,划片槽是否偏斜,是否全划穿,蓝膜上是否有刀痕,有无芯片脱落,有效电路区中是否有缺角, 裂缝,钝化层受损,擦伤和沾污等的芯片;
步骤2、每片圆片CH1、CH2两个方向切割第五刀时必须停机检查,在划片过程中,每三十刀检查一次,检查内容包括切割槽宽度、切割位置等,所述划片后须用清洗机清洗,清洗时间设定为三分钟;
步骤3、切割刀痕的测量:操作员在设备上检查切割刀痕尺寸的数据,并且记录;
步骤4、对于已完成检查的圆片,则应将圆片存放在干燥箱或氮气柜中。
2.根据权利1所述的一种硅片晶圆划片后检测工艺,其特征在于,在步骤1中,如果第一片有问题,应立即采取措施,然后再检查紧跟切割的一片,直到正常。
3.根据权利1所述的一种硅片晶圆划片后检测工艺,其特征在于,操作员在进行上述操作时必须戴上防静电手套、指套、防静电手腕带。
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