技术领域
[0001] 本实用新型涉及
真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备的前处理技术。
背景技术
[0002] 现有真空镀膜机设备在镀膜前均会设置预处理工序，以保证镀膜
工件的清洁以及镀膜的效果，一般采用超声清洗或离子清洗的方式对镀膜工件进行清洁，但是即使采用
超声波方式对镀膜工件进行了清洗，在镀膜工件的转运过程中，还是会由于空间环境中灰尘粒子的存在和静电
吸附的作用，在镀膜工件上落上一些灰尘粒子，污染镀膜工件。
[0003] 但是对于一些对镀膜环境要求比较严格的产品，灰尘粒子会影响产品表面镀膜的
质量，使产品表面存在
缺陷，不满足产品镀膜的品质要求。
[0004] 因此如何可以高效、便捷地对预镀膜工件进行除尘防护处理，降低真空镀膜产品的缺陷，成为真空镀膜工艺中亟待解决的问题之一。实用新型内容
[0005] 本实用新型的目的在于提供一种能够对预镀膜工件进行除尘防护处理的真空镀膜设备，设备结构简单，操作便利，除尘防护成本较低，解决了当前镀膜过程中存在少量缺陷的问题，提升了镀膜质量，优化了镀膜设备的功能。
[0006] 本实用新型提供一种真空镀膜设备，包含真空镀膜腔室，其特征在于，还包含预镀膜基体、除尘防护室、
风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置。
[0007] 进一步地，所述除尘防护室与真空镀膜腔室相连接，所述除尘防护室与真空镀膜腔室之间设有
开关隔断装置，可将真空镀膜腔室与除尘防护室进行隔离；
[0008] 进一步地，所述预镀膜基体包括基体和基体表面的遮盖物，防止已清洗过的基体预镀膜的表面在转移或镀膜环境下被灰尘粒子或金属粒子污染；
[0009] 进一步地，所述除尘防护室包括遮盖物脱除装置和气体
喷嘴阵列；所述遮盖物脱除装置用于脱除所述基体表面的遮盖物，所述气体喷嘴阵列用于向所述除尘防护室鼓入气体；
[0010] 进一步地，所述风淋装置、抽真空装置和惰性气体冲入装置与除尘防护室相连接。
[0011] 进一步地，所述遮盖物脱除装置包括滚筒和带动所述滚筒转动的
电机，所述滚筒滚动带动附在基体表面的遮盖物旋转，使遮盖物逐渐脱除。
[0012] 优选地，所述遮盖物为塑料
薄膜、柔性金属。
[0013] 进一步地，所述风淋装置包括鼓风机，所述鼓风机两端设置有进气通道和排气通道，所述鼓风机可将所述除尘防护室内的气体和灰尘粒子输送至所述排气通道。
[0014] 进一步地，所述进气通道与排气通道与所述除尘防护室相连接，所述进气通道和排气管道分别设置有第一
阀门和第二阀门，所述第一阀门和第二阀门可以通过开启和关闭来控制所述风淋装置的运行。
[0015] 进一步地，所述鼓风机内部设置有滤尘装置，所述滤尘装置的孔径小于等于PM2.5粒子的直径，用于将大于PM2.5粒子直径的灰尘粒子过滤。
[0016] 进一步地，所述抽真空装置包括真空
泵和连接所述除尘防护室和所述
真空泵的气体通道，所述真空泵可将所述除尘防护室抽真空，所述气体通道设置有第三阀门，用于隔断所述真空泵和所述除尘防护室。
[0017] 进一步地，所述惰性气体冲入装置包括惰性气体气源和输入惰性气体通道，可对所述除尘防护室冲入惰性气体进行保护，所述输入惰性气体通道设置有第四阀门，用于隔断所述惰性气体冲入装置和所述除尘防护室。
[0018] 优选地，所述除尘防护室内惰性气体的气压大于1个
大气压，以保证除尘防护室1开门时，不进入新的灰尘粒子。
[0019] 进一步地，所述气体喷嘴阵列与所述排气通道相连，用于向所述除尘防护室鼓入气体；所述气体喷嘴阵列与所述输入惰性气体通道相连，用于向所述除尘防护室鼓入惰性气体。
[0020] 进一步地，所述气体喷嘴阵列位于所述除尘防护室内表面，可使除尘防护室内的气体和灰尘粒子运动，进入所述鼓风机的进气通道。
[0021] 本实用新型的有益效果在于：
[0022] 本实用新型提供的真空镀膜设备对预镀膜工件进行了高效除尘防护处理，使镀膜产品品质提升，进一步满足高端产品的需求，解决了传统镀膜设备中存在灰尘粒子，使镀膜产品存在小缺陷的问题。该设备简单可靠，操作便利，成本低，可大规模应用推广。
附图说明
[0023] 为了更清楚地说明本实用新型
实施例或
现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024] 图1示出了预镀膜工件结构示意图；
[0025] 图2示出了一种真空镀膜设备的结构示意图；
[0026] 图3示出了脱模装置的结构示意图。
[0027] 图中，1、除尘防护室；2、惰性气体冲入装置；20、惰性气体气源；3、遮盖物脱除装置；31、滚筒；63、进气通道；41，第一阀门；62、排气通道；44、第二阀门；64、气体通道；42、第三阀门；43、开关隔断装置；61、输入惰性气体通道；45、第五阀门；5、气体喷嘴阵列；7、预镀膜工件；71、基体；72、膜体；8、抽真空装置；80、真空泵；9、风淋装置；90、鼓风机；10、真空镀膜腔室。
具体实施方式
[0028] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0029] 下面结合附图进一步说明本实用新型的优选实施方式。
[0030] 图2示出了一种真空镀膜设备的结构示意图。所述真空镀膜设备包含真空镀膜腔室10，其特征在于，还包含预镀膜基体7、除尘防护室1、风淋装置9、抽真空装置8和惰性气体冲入装置2。所述除尘防护室1与所述真空镀膜腔室10相连接，所述除尘防护室1与真空镀膜腔室10之间设有开关隔断装置43；所述预镀膜基体7包括基体71和基体表面的遮盖物72，防止已清洗过的基体预镀膜的表面在转移或镀膜环境下被灰尘粒子或金属粒子污染；所述除尘防护室包括遮盖物脱除装置3和气体喷嘴阵列5；所述遮盖物脱除装置3用于脱除所述预镀膜基体7表面的遮盖物，所述气体喷嘴阵列5用于向所述除尘防护室1鼓入气体；所述风淋装置9、抽真空装置8和惰性气体冲入装置2与除尘防护室1相连接。
[0031] 图1为预镀膜基体7的结构示意图，所述预镀膜基体7包括基体71和遮盖物72，所述基体71材质优选为玻璃、金属或
树脂，所述遮盖物72的一端与所述基体71一端齐平，所述遮盖物72的另一端沿所述基体71另一端方向进行延伸，所述遮盖物72附在所述基体71所需镀膜的表面上，所述基体71经过物理清洗处理后，附上所述遮盖物72，形成预镀膜基体7，将预镀膜基体7转移到除尘防护室1内进行除尘防护处理，经遮盖物脱除装置3进行脱除处理后最终进入到所述真空镀膜腔室10进行真空镀膜。
[0032] 图3所示为预镀膜基体7脱除状态的示意图，如图所示，所述遮盖物脱除装置3包括滚筒31和带动所述滚筒转动的电机，所述滚筒31滚动带动附在预镀膜基体7表面的遮盖物72旋转，进而使遮盖物72逐渐脱除。
[0033] 如图2所示，所述气体喷嘴阵列5与所述排气通道62相连，用于向所述除尘防护室1鼓入气体，用于气体喷淋；所述气体喷嘴阵列5与所述输入惰性气体通道61相连，用于向所述除尘防护室1鼓入惰性气体，起到防护作用。所述气体喷嘴阵列5位于所述除尘防护室1的内表面，可布置在单一表面，也可布置在所述除尘防护室1的四周，可以360°进行鼓风或冲入惰性气体，效率高。
[0034] 所述风淋装置9包括鼓风机90，所述鼓风机9两端设置有进气通道63和排气通道62，所述进气通道63与排气通道62与所述除尘防护室1相连接，所述鼓风机90可将所述除尘防护室1内的气体和灰尘粒子处于活跃状态，输送至所述排气通道62，最终进入所述鼓风机
90。所述进气通道63和排气管道62分别设置有第一阀门41和第二阀门44。所述第一阀门41和所述第二阀门44可以使所述风淋装置9与所述除尘防护室1隔离开，控制所述风淋装置9的运行。优选地，所述鼓风机90内部设置有滤尘装置。所述滤尘装置为过滤网，所述过滤网的孔径小于PM2.5粒子的直径，可以将大于PM2.5直径的灰尘粒子过滤掉，起到一次除尘的效果。
[0035] 所述抽真空装置8包括真空泵80和连接所述除尘防护室1和所述真空泵80的气体通道64，所述真空泵80可将所述除尘防护室1抽真空，所述气体通道64设置有第三阀门42，用于隔断所述真空泵和所述除尘防护室，抽真空时，第三阀门42开启。
[0036] 所述惰性气体冲入装置2包括惰性气体气源20和输入惰性气体通道61，可对所述除尘防护室1冲入惰性气体进行保护，所述输入惰性气体通道61设置有第四阀门45，用于隔断所述惰性气体冲入装置2和所述除尘防护室1，冲入惰性气体时，第四阀门45开启。
[0037] 对所述预镀膜基体进行除尘防护的过程如下：
[0038] 首先，开启风淋装置9，开启第一阀门41和第二阀门44，所述鼓风机90通过排气通道62向所述除尘防护室1内鼓入气体，使所述除尘防护室1内的空气和灰尘粒子活跃，输送至所述进气通道63，最终达到所述鼓风机，所述滤尘装置将大于PM2.5直径的灰尘粒子过滤掉，其余灰尘粒子再次进入到排气通道62进行下一次的风淋，当除尘防护室1内内有大于PM2.5粒子直径的灰尘粒子时，风淋过程结束，关停鼓风机90，关闭第一阀门41和第二阀门42；
[0039] 其次，开启真空泵80，开启第三阀门42，使除尘防护室1处于所需的真空状态后，抽真空结束；
[0040] 再次，开启第四阀门45，向除尘防护室1冲入惰性气体，例如氮气、氩气等，使除尘防护室1内的气压大于1个大气压，处于微
正压环境，以保证除尘防护室1开门时，不进入新的灰尘粒子，起到真正的防护效果；
[0041] 最后，采用遮盖物脱除装置3对所述预镀膜基体的遮盖物进行脱除处理，除尘防护过程结束。
[0042] 除尘防护过程结束后，开启开关隔断装置43，预镀膜基体7进入所述真空镀膜室10进行真空镀膜处理。
[0043] 应当理解的是，本实用新型并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种
修改和改变。本实用新型的范围仅由所附的
权利要求来限制。
