横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台
专利汇可以提供横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种横梁谐振式 铰链 定子 正交 驱动型精密压电粘滑直线平台，该直线平台包括 导轨 组件Ⅰ、移动平台固定 螺栓 、移动平台、驱动组件、导轨组件Ⅱ和底座组件，导轨组件Ⅰ固定安装在底座组件上，并通过移动平台固定螺栓与移动平台紧固连接，驱动组件固定安装在底座组件上，并与导轨组件Ⅰ相 接触 ，导轨组件Ⅱ分别与移动平台和底座组件 螺纹 连接。本 发明 利用横梁正交驱动足的偏转 变形 以实现移动平台的直线驱动，减少了横梁谐振式铰链定子的磨损，同时利用两个导轨组件配合运动，兼顾了直线平台良好的 水 平推 力 及承载能力，进而增强了直线平台的驱动效果，可应用于微纳精密驱动与 定位 领域，具有使用寿命长、水平推力和承载能力均衡、定位 精度 高等技术优势。，下面是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台专利的具体信息内容。
1.一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，该精密压电粘滑直线平台由导轨组件Ⅰ（1）、移动平台固定螺栓（2）、移动平台（3）、驱动组件（4）、导轨组件Ⅱ（5）和底座组件（6），其中，所述导轨组件Ⅰ（1）固定安装在底座组件（6）上，并通过移动平台固定螺栓（2）与移动平台（3）紧固连接，所述驱动组件（4）固定安装在底座组件（6）上，并与导轨组件Ⅰ（1）相接触，所述导轨组件Ⅱ（5）分别与移动平台（3）和底座组件（6）螺纹连接。
2.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述导轨组件Ⅰ（1）包括固定导轨Ⅰ安装螺栓（1-1）、导轨保持架Ⅰ（1-2）、固定导轨Ⅰ（1-3）和活动导轨Ⅰ（1-4），所述固定导轨Ⅰ（1-3）设有固定导轨Ⅰ安装面（1-3-1）和固定导轨Ⅰ安装孔（1-3-2），所述活动导轨Ⅰ（1-4）设有活动导轨Ⅰ安装面（1-4-1）、活动导轨Ⅰ安装螺纹孔（1-4-2）和活动导轨Ⅰ驱动面（1-4-3），所述导轨保持架Ⅰ（1-2）安装在固定导轨Ⅰ（1-3）和活动导轨Ⅰ（1-4）之间，所述固定导轨Ⅰ安装螺栓（1-1）穿过固定导轨Ⅰ安装孔（1-3-2）与底座组件（6）螺纹连接，固定安装固定导轨Ⅰ（1-3），所述固定导轨Ⅰ安装面（1-3-1）与底座组件（6）相贴合，所述活动导轨Ⅰ安装面（1-4-1）与移动平台（3）相贴合，所述活动导轨Ⅰ安装螺纹孔（1-4-2）与移动平台固定螺栓（2）螺纹连接，安装紧固活动导轨Ⅰ（1-4），所述活动导轨Ⅰ驱动面（1-4-3）与驱动组件（4）相接触。
3.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述移动平台（3）设有移动平台安装孔（3-1）、移动平台安装面Ⅰ（3-2）、移动平台限位面（3-3）、预紧调节孔（3-4）、移动平台安装螺纹孔（3-5）和移动平台安装面Ⅱ（3-6），所述移动平台安装孔（3-1）内穿过移动平台固定螺栓（2），所述移动平台安装面Ⅰ（3-2）与活动导轨Ⅰ安装面（1-4-1）贴合，所述移动平台限位面（3-3）、移动平台安装螺纹孔（3-5）和移动平台安装面Ⅱ（3-6）与导轨组件Ⅱ（5）连接。
4.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述驱动组件（4）包括压电陶瓷叠堆（4-1）、横梁谐振式铰链定子（4-2）、定子安装螺栓（4-3）、矩形垫片（4-4）和基米螺钉（4-5），所述压电陶瓷叠堆（4-1）置于横梁谐振式铰链定子（4-2）内，并通过基米螺钉（4-5）挤压矩形垫片（4-4）以紧固安装，所述定子安装螺栓（4-3）穿过横梁谐振式铰链定子（4-2），并与底座组件（6）螺纹连接。
5.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述横梁谐振式铰链定子（4-2）可采用5025铝合金、6061铝合金、7075铝合金、Ti-35A钛合金或Ti-13钛合金材料，所述横梁谐振式铰链定子（4-2）设有定子基座（4-2-1）、直梁铰链Ⅰ（4-2-2）、直梁铰链Ⅱ（4-2-3）、横梁正交驱动足（4-2-4）、圆弧形铰链（4-2-5）、定子安装孔（4-2-6）和预紧螺纹孔（4-2-7），所述直梁铰链Ⅰ（4-2-2）和直梁铰链Ⅱ（4-2-3）连接横梁正交驱动足（4-2-4）与定子基座（4-2-1），所述圆弧形铰链（4-2-5）连接横梁正交驱动足（4-2-4）与定子基座（4-2-1），使横梁正交驱动足（4-2-4）绕圆弧形铰链（4-2-5）旋转，所述定子基座（4-2-1）两侧设有定子安装孔（4-2-6），所述定子安装孔（4-2-6）内穿过定子安装螺栓（4-3），安装固定横梁谐振式铰链定子（4-2），所述定子基座（4-2-1）后端部设有预紧螺纹孔（4-2-7），所述预紧螺纹孔（4-2-7）与基米螺钉（4-5）螺纹连接。
6.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述导轨组件Ⅱ（5）包括活动导轨Ⅱ安装螺钉（5-1）、固定导轨Ⅱ安装螺钉（5-
2）、固定导轨Ⅱ（5-3）和活动导轨Ⅱ（5-4）；所述固定导轨Ⅱ（5-3）设有固定导轨Ⅱ安装面（5-3-1）、固定导轨Ⅱ安装沉头孔（5-3-2）和固定导轨Ⅱ限位面（5-3-3），所述活动导轨Ⅱ（5-4）设有活动导轨Ⅱ安装面（5-4-1）、活动导轨Ⅱ安装沉头孔（5-4-2）和活动导轨Ⅱ限位面（5-4-3），所述固定导轨Ⅱ安装面（5-3-1）和固定导轨Ⅱ限位面（5-3-3）与底座组件（6）相贴合，所述固定导轨Ⅱ安装螺钉（5-2）穿过固定导轨Ⅱ安装沉头孔（5-3-2），并与底座组件（6）螺纹连接，所述活动导轨Ⅱ安装面（5-4-1）与移动平台安装面Ⅱ（3-6）相贴合，所述固定导轨Ⅱ限位面（5-3-3）与移动平台限位面（3-3）相贴合，所述活动导轨Ⅱ安装螺钉（5-1）穿过活动导轨Ⅱ安装沉头孔（5-4-2），并与移动平台安装螺纹孔（3-5）螺纹连接，紧固连接活动导轨Ⅱ（5-4）和移动平台（3）。
7.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述底座组件（6）设有底座（6-1）、预紧调节板（6-2）、预紧调节螺母（6-3）和预紧调节螺栓（6-4），所述预紧调节板（6-2）安装在底座（6-1）上，所述预紧调节螺母（6-3）与底座（6-1）胶粘连接，所述预紧调节螺栓（6-4）与预紧调节螺母（6-3）螺纹连接，并与预紧调节板（6-2）贴合。
8.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述底座（6-1）设有导轨安装面Ⅰ（6-1-1）、固定导轨Ⅰ安装螺纹孔（6-1-2）、驱动组件安装螺纹孔（6-1-3）、燕尾槽（6-1-4）、导轨限位面（6-1-5）、导轨安装螺栓让位孔（6-
1-6）、导轨安装面Ⅱ（6-1-7）、固定导轨Ⅱ安装螺纹孔（6-1-8）、预紧调节螺母安装孔（6-1-
9）和预紧调节螺母限位面（6-1-10），所述导轨安装面Ⅰ（6-1-1）与固定导轨Ⅰ安装面（1-3-1）贴合，所述固定导轨Ⅰ安装螺纹孔（6-1-2）与固定导轨Ⅰ安装螺栓（1-1）螺纹连接，紧固安装固定导轨Ⅰ（1-3），所述驱动组件安装螺纹孔（6-1-3）与定子安装螺栓（4-3）螺纹连接，紧固安装横梁谐振式铰链定子（4-2），所述燕尾槽（6-1-4）与预紧调节板（6-2）连接，所述导轨限位面（6-1-5）与固定导轨Ⅱ限位面（5-3-3）贴合，所述导轨安装面Ⅱ（6-1-7）与固定导轨Ⅱ安装面（5-3-1）贴合，所述固定导轨Ⅱ安装螺纹孔（6-1-8）与固定导轨Ⅱ安装螺钉（5-2）螺纹连接，紧固安装固定导轨Ⅱ（5-3），所述预紧调节螺母安装孔（6-1-9）与预紧调节螺母（6-
3）胶粘连接，所述预紧调节螺母限位面（6-1-10）与预紧调节螺母（6-3）贴合。
9.根据权利要求1所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台，其特征在于，所述预紧调节板（6-2）设有燕尾台（6-2-1）、驱动组件安装凹槽（6-2-2）和预紧螺栓安装凹槽（6-2-3），所述燕尾台（6-2-1）与燕尾槽（6-1-4）配合，用于预紧调节板（6-2）的运动限位，所述驱动组件安装凹槽（6-2-2）与驱动组件（4）贴合，所述预紧螺栓安装凹槽（6-2-3）与预紧调节螺栓（6-4）贴合；所述预紧调节螺母（6-3）设有螺母安装轴（6-3-1）、螺母内螺纹孔（6-3-2）和螺母轴肩面（6-3-3），所述螺母安装轴（6-3-1）与预紧调节螺母安装孔（6-1-9）胶粘连接，所述螺母内螺纹孔（6-3-2）与预紧调节螺栓（6-4）螺纹连接，所述螺母轴肩面（6-3-3）与预紧调节螺母限位面（6-1-10）贴合。
横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台
技术领域
背景技术
发明内容
附图说明
图3是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的固定导轨Ⅰ结构示意图；
图4是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的活动导轨Ⅰ结构示意图；
图5是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的移动平台结构示意图；
图6是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的驱动组件装配示意图；
图7是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的横梁谐振式铰链定子结构示意图；
图8是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的横梁谐振式铰链定子局部放大示意图；
图9是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的导轨组件Ⅱ装配示意图；
图10是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的固定导轨Ⅱ结构示意图；
图11是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的活动导轨Ⅱ结构示意图；
图12是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的底座组件装配示意图；
图13是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的底座结构示意图；
图14是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的预紧调节板结构示意图Ⅰ；
图15是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的预紧调节板结构示意图Ⅱ；
图16是横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台的预紧调节螺母结构示意图。
具体实施方式
所述一种横梁谐振式铰链定子正交驱动型精密压电粘滑直线平台由导轨组件Ⅰ1、移动平台固定螺栓2、移动平台3、驱动组件4、导轨组件Ⅱ5和底座组件6组成，其中，所述导轨组件Ⅰ1固定安装在底座组件6上，并通过移动平台固定螺栓2与移动平台3紧固连接，所述驱动组件4固定安装在底座组件6上，并与导轨组件Ⅰ1相接触，所述导轨组件Ⅱ5分别与移动平台
3和底座组件6螺纹连接。
2-3、横梁正交驱动足4-2-4、圆弧形铰链4-2-5、定子安装孔4-2-6和预紧螺纹孔4-2-7，所述直梁铰链Ⅰ4-2-2和直梁铰链Ⅱ4-2-3连接横梁正交驱动足4-2-4与定子基座4-2-1，用于横梁正交驱动足4-2-4的偏转限位，所述圆弧形铰链4-2-5连接横梁正交驱动足4-2-4与定子基座4-2-1，使横梁正交驱动足4-2-4绕圆弧形铰链4-2-5旋转，其中，所述横梁正交驱动足
4-2-4两正交横梁长度分别为a和b，a的取值范围为9 12 mm，b的取值范围为10 15 mm，本具~ ~
体实施方式中a=10 mm，b=12 mm，所述定子基座4-2-1两侧设有定子安装孔4-2-6，所述定子安装孔4-2-6内穿过定子安装螺栓4-3，用于安装固定横梁谐振式铰链定子4-2，所述定子基座4-2-1后端部设有预紧螺纹孔4-2-7，所述预紧螺纹孔4-2-7与基米螺钉4-5螺纹连接。
3-1和固定导轨Ⅱ限位面5-3-3与底座组件6相贴合，所述固定导轨Ⅱ安装螺钉5-2穿过固定导轨Ⅱ安装沉头孔5-3-2，并与底座组件6螺纹连接，所述活动导轨Ⅱ安装面5-4-1与移动平台安装面Ⅱ3-6相贴合，所述固定导轨Ⅱ限位面5-3-3与移动平台限位面3-3相贴合，所述活动导轨Ⅱ安装螺钉5-1穿过活动导轨Ⅱ安装沉头孔5-4-2，并与移动平台安装螺纹孔3-5螺纹连接，用于紧固连接活动导轨Ⅱ5-4和移动平台3。
1-10，所述导轨安装面Ⅰ6-1-1与固定导轨Ⅰ安装面1-3-1贴合，所述固定导轨Ⅰ安装螺纹孔6-
1-2与固定导轨Ⅰ安装螺栓1-1螺纹连接，用于紧固安装固定导轨Ⅰ1-3，所述驱动组件安装螺纹孔6-1-3与定子安装螺栓4-3螺纹连接，用于紧固安装横梁谐振式铰链定子4-2，所述燕尾槽6-1-4与预紧调节板6-2连接，用于预紧调节板6-2的运动限位，所述导轨限位面6-1-5与固定导轨Ⅱ限位面5-3-3贴合，用于固定导轨Ⅱ5-3安装限位，所述导轨安装螺栓让位孔6-
1-6便于安装固定导轨Ⅱ安装螺钉5-2，所述导轨安装面Ⅱ6-1-7与固定导轨Ⅱ安装面5-3-1贴合，所述固定导轨Ⅱ安装螺纹孔6-1-8与固定导轨Ⅱ安装螺钉5-2螺纹连接，用于紧固安装固定导轨Ⅱ5-3，所述预紧调节螺母安装孔6-1-9与预紧调节螺母6-3胶粘连接，所述预紧调节螺母限位面6-1-10与预紧调节螺母6-3贴合，用于限制预紧调节螺母6-3轴向运动。
3-2与预紧调节螺栓6-4螺纹连接，用于调节驱动组件4与导轨组件Ⅰ1之间的预紧力，所述螺母轴肩面6-3-3与预紧调节螺母限位面6-1-10贴合，用于预紧调节螺母6-3轴向限位。
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