灰尘清洁装置和方法
专利汇可以提供灰尘清洁装置和方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种灰尘清洁装置和方法，涉及灰尘清洁技术，能够解决现有的灰尘清洁装置中光线照射方向与灰尘清洁方向不一致的问题。本发明灰尘清洁装置，包括：输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管；与所述光纤的输入端连接的 光源 ；与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。本发明灰尘清洁方法，包括：利用光线检测灰尘；在检测到灰尘时，沿所述光线的方向喷出气体将灰尘清除。本发明适用于 洁净室 中的设备除灰。，下面是灰尘清洁装置和方法专利的具体信息内容。
1、一种灰尘清洁装置，其特征在于，包括：
输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管；
与所述光纤的输入端连接的光源；
与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。
2、如权利要求1所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述光纤和 第一导气管的输出端外设有管壳。
3、如权利要求1所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述光纤和 第一导气管在所述管壳的横截面内间隔布置。
4、如权利要求1所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述光纤的 输出端端口呈球冠形或近似球冠形。
5、如权利要求2所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述并列设 置的至少一根光纤和至少一根第一导气管的输出端端口，与所述管壳 的端口相齐平。
6、如权利要求1所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述光纤的 直径为3～1000μm。
7、如权利要求1所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述第一导 气管的内径为3～1000μm。
8、如权利要求1所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述第一导 气管的输入端与所述压缩气体发生器之间还连接有一根第二导气管； 所述第二导气管的输入端与所述压缩气体发生器相连，输出端通过转 接口与所述第一导气管的输入端相接。
9、如权利要求8所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述第二导 气管上设有气体阀门。
10、如权利要求2所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述管壳 上设有气体阀门。
11、如权利要求2所述的灰尘清洁装置，其特征在于，所述管壳 上设有光照开关。
12、一种灰尘清洁方法，其特征在于，包括：
利用光线检测灰尘；
在检测到灰尘时，沿所述光线的方向喷出气体将灰尘清除。
13、如权利要求12所述的灰尘清洁方法，其特征在于，所述光线 包括至少一束光柱。
14、如权利要求13所述的灰尘清洁方法，其特征在于，所述气体 包括至少一支气柱。
15、如权利要求14所述的灰尘清洁方法，其特征在于，所述光柱 与气柱在横截面上间隔布置。
技术领域
本发明涉及灰尘清洁技术，尤其涉及检测和清除灰尘的装置和方 法。
背景技术
洁净室是LCD、半导体、制药等对洁净度要求较高的工业生产所 必需的生产场所，而且洁净度的高低直接影响到所生产产品的质量。 因此，经济合理地提高洁净室的清洁程度是各个厂家都十分关注的问 题，因其直接影响到产品的质量。重要设备或重要装置的洁净度是目 前各厂商普遍努力的主要方向。
在近几年中，对于精密装置洁净度的检测主要是通过肉眼检测或 结合光照的肉眼检测实现的，清洁主要是通过在发现灰尘后移开光照 设备，再利用气枪在发现灰尘的大致位置吹气，将灰尘吹走。在这个 过程中由于将光照检测与吹气清洁分开进行，再次确认是否相同位置 的灰尘被吹走，比较困难。就算将光照设备一直对准发现灰尘的位置， 并同时进行吹气，受光照设备和吹气设备体积的限制，吹气方向与光 照方向不一致，无法监控被吹走的灰尘的去向，可能引发由于灰尘被 吹至精密部件的其他位置而引发的不良。例如，将掩膜板上某个位置 的灰尘吹至掩膜板的其它位置，而导致在与原来发生不良的位置不同 但形貌类似的缺陷发生。
发明内容
为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种灰尘清洁装置，包括：
输出端并列设置的至少一根光纤和至少一根第一导气管；
与所述光纤的输入端连接的光源；
与所述第一导气管的输入端连接的压缩气体发生器。
本发明灰尘清洁装置通过将多根光纤和第一导气管的输出端进行 并列设置，并将光纤的输入端连接到光源，第一导气管的输入端连接 到压缩气体发生器，实现了在发现灰尘的同时能够沿光线的方向把灰 尘清除。
本发明提供一种灰尘清洁方法，能够沿光线照射的方向清除灰尘。
为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种灰尘清洁方法，包括：利用光线检测灰尘；在检测到灰尘时， 沿所述光线的方向喷出气体将灰尘清除。
本发明灰尘清洁方法通过在检测到灰尘的同时，沿光线的方向喷 出气体把灰尘清除，实现了在发现灰尘的同时能够沿光线的方向把灰 尘清除。
附图说明
图1为本发明实施例灰尘清洁装置的示意图；
图2为本发明实施例光纤和第一导气管环状排列示意图；
图3为本发明实施例光纤和第一导气管扇形排列方式示意图；
图4为本发明实施例光纤输出端口的示意图；
图5为本发明实施例灰尘清洁方法的流程图。
具体实施方式
如图1所示，本发明实施例灰尘清洁装置，包括：
输出端并列设置的至少一根光纤100和至少一根第一导气管200；
与所述光纤100的输入端连接的光源300；
与所述第一导气管200的输入端连接的压缩气体发生器400。
本发明实施例灰尘清洁装置通过将多根光纤和第一导气管的输出 端进行并列设置，并将光纤的输入端连接到光源，第一导气管的输入 端连接到压缩气体发生器，实现了在发现灰尘的同时能够沿光线的方 向把灰尘清除。
本发明优选采用灯箱作为光源。本发明优选在所述光纤100和第 一导气管200的输出端外设置管壳500，管壳500将所有的光纤100 和第一导气管200的输出端包覆于其中，并且所有的光纤100和第一 导气管200在所述管壳500的横截面上以间隔方式分布。如图2所示， 为了实现较好的除尘效果，本发明优选将光纤100和第一导气管200 的输出端在所述管壳500的横截面内呈环状排列且间隔布置。但本发 明并不局限于此，如图3所示，所述光纤100和第一导气管200的输 出端还能够在所述管壳500的横截面内呈扇形排列且间隔布置或时 其他布置方式。图2和图3所示为本发明光纤100和第一导气管200 的排列方式的两个较佳实施例。
为了实现光纤输出平行光，本发明优选将所述光纤100的输出端 端口设置为呈球冠形或近似球冠形。如图4所示，光纤100的输出端 端口设置有球冠状端口110，在光纤100的端口形成球冠可以采用如 下办法：通过将光纤的一端置于酒精喷灯等高温热源中加热至熔融状 态，在表面张力作用下，熔融状态的光导纤维材料会凝聚成近似球冠 形，再经略微打磨加工去除飞边毛刺就可以形成一端为球冠形的光 纤。球冠状的光纤端口能够起到凸透镜的作用，将从所述光纤的另一 端传输过来的光线汇聚于作为凸透镜的所述球冠状端口的焦点位置， 因此从球冠状端口的顶部传输出去的光线即为平行光。
另外，本发明实施例中所述并列设置的光纤100和第一导气管200 的输出端端口与所述管壳500的端口相齐平。
本发明优选采用直径为3～1000μm的光纤，内径为3～1000μm 的第一导气管。
如图1所示，本发明实施例在所述第一导气管200的输入端与所 述压缩气体发生器400之间还连接有一根第二导气管600，所述第二 导气管600的输入端与所述压缩气体发生器400相连，输出端通过转 接口700与所述第一导气管200的输入端相接。
为了实现气体的开关控制，如图1所示，在所述第二导气管600 上设置有气体阀门800。为了操作的方便，还可以在管壳500上设置 气体阀门。这两个气体阀门可以择一设置，或者同时设置这两个阀门。
为了实现光线照射的开关功能，所述管壳500上设有光照开关。 另外，本发明实施例还优选于管壳500上设置手柄以方便使用。
本发明实施例灰尘清洁装置通过将多根光纤和第一导气管的输出 端进行并列设置，并将所述光纤的输出端端口设置为球冠形或类似球 冠形，并将光纤的输入端连接到光源，第一导气管的输入端连接到压 缩气体发生器，同时还在灰尘清洁装置的气体通道上设置了一个或多 个气体阀门，能够在发现灰尘的同时沿光线的方向喷出气柱把灰尘清 除，从而实现了灰尘的有效清除以及监控灰尘被清除后的去向。
本发明还提供了一种灰尘清洁方法，能够沿光线照射的方向清除 灰尘。
如图5所示，本发明实施例灰尘清洁方法，包括：
S100、利用光线检测灰尘。
本发明实施例优选采用至少一束光柱对器件表面的灰尘进行检 测，直径大小可选，例如本发明实施例中将所述光柱的直径优选为不 小于6μm。本发明实施例优选采用平行光线作为检测光线。
S200、在检测到灰尘时，沿所述光线的方向喷出气体将灰尘清除。
所述光线包括至少一支气柱，所述气柱优选为圆柱形，直径大小 可选，例如本发明实施例中将所述气柱的直径优选为不小于6μm。
另外，为了实现对灰尘更好的清除效果，在本发明一较佳实施例 中，所述气柱和光柱在横截面上间隔布置。如图2所示，本发明优选 将所述光柱与气柱在横截面上呈环状排列且间隔布置。但本发明并不 局限于此，如图3所示，所述光柱与气柱还可以在横截面上呈扇形排 列且间隔布置或其他布置方式。图2和图3所示为本发明优选采用的 光柱与气柱排列的两种较佳实施例。
本发明实施例灰尘清洁方法通过采用光柱检测灰尘，并在检测到 灰尘的同时，沿光线的方向喷出气体把灰尘清除，能够达到沿光线的 方向清除灰尘的目的，从而实现了灰尘的有效清除以及监控灰尘被清 除后的去向。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并 不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范 围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。 因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。
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