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一种炭/炭复合材料板材沉积装置

阅读:0发布:2020-05-16

专利汇可以提供一种炭/炭复合材料板材沉积装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种炭/炭 复合材料 板材沉积装置,包括沉积室和悬吊装置,采用一种与沉积板材尺寸适宜的方形密闭沉积室,沉积室整体吊装,在炉外可进行板材的装入和取出,板材采用悬挂方法安装。本实用新型结构合理,制作简单,沉积室为方形,无无效沉积空间,沉积效率高;可整体吊装,在炉外进行板材的装入和取出,操作方便;板材均匀立放,有利于均匀沉积,板材 变形 小。,下面是一种炭/炭复合材料板材沉积装置专利的具体信息内容。

1.一种炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,包括沉积室和悬吊装置;所述沉积室包括吊装底板(2)、支撑立柱(3)、沉积室侧板(4)、支撑横梁(5)、支撑条形梁(6)和盖板(9);吊装底板(2)上平行安装两排支撑立柱(3),两条支撑横梁(5)各安装在一排支撑立柱(3)顶部,四沉积室侧板(4)围装在两排支撑立柱(3)的外侧,支撑横梁(5)上开有多个横梁槽口(5.1),支撑条形梁(6)插装在两条支撑横梁(5)之间,支撑条形梁(6)的两端各插装在一条支撑横梁(5)的横梁槽口(5.1)内,盖板(9)盖装在沉积室侧板(4)的顶部;所述悬吊装置包括T形悬吊件(7)和螺栓(8),T形悬吊件(7)的横板(7.1)放置在两条支撑条形梁(6)上,T形悬吊件(7)的立板(7.2)位于两条支撑条形梁(6)之间,立板(7.2)上设置有通孔,螺栓(8)安装立板(7.2)上的通孔内,相邻两条支撑条形梁(6)之间至少有两个T形悬吊件(7)。
2.根据权利要求1所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述的吊装底板(2)的下方安放在集气垫环(1)上。
3.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述的吊装底板(2)上设置有四个吊装槽口(2.1),相对两个吊装槽口(2.1)的连线成十字交叉。
4.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述吊装底板(2)为圆形或者正方形。
5.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述支撑立柱(3)为圆柱,支撑立柱(3)的数量至少为四条且为偶数条。
6.根据权利要求5所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述的支撑立柱(3)为六条,成两排均匀排列。
7.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述的横梁槽口(5.1)均匀设置在支撑横梁(5)上。
8.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述螺栓(8)为高频瓷螺栓。
9.根据权利要求2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述集气垫环(1)、吊装底板(2)、支撑立柱(3)、沉积室侧板(4)、支撑横梁(5)、支撑条形梁(6)、T形悬吊件(7)均为石墨材质。
10.根据权利要求1或2所述的炭/炭复合材料板材沉积装置,其特征在于,所述沉积室侧板(4)、支撑条形梁(6)、T形悬吊件(7)、盖板(9)均为炭/炭材质。

说明书全文

一种炭/炭复合材料板材沉积装置

技术领域

[0001] 本实用新型涉及一种炭/炭复合材料板材沉积装置,属于沉积炉技术领域。

背景技术

[0002] 炭/炭复合材料是纤维增强碳基体的复合材料,与传统石墨产品比较,具有高强高模、密度低、热膨胀系数小、耐烧蚀、耐疲劳、化学惰性、抗热冲击、尺寸稳定性高、断裂韧性大及高的导电性等一系列优点,可替代石墨产品应用,特别是炭/炭板材能广泛用于热场产品,如发热体、支撑板、垫板、隔板等。炭/炭板材通过高温纯化处理,灰分可降至25X10-6以下,金属杂质含量可降至5X10-6以下;且可以组装成大型部件,满足光伏行业大型单晶生长炉热场产品各类部件的性能要求。
[0003] 炭/炭复合材料板材的生产,目前有三种生产方式,一种是树脂法,炭/炭针刺预制体或者炭布树脂后的叠层浸板材,在平板压机上加压、加热固化成型,然后炭化和高温处理;第二种是沉积法,炭/炭针刺预制体板材直接在气相沉积炉内沉积到所需密度,然后高温处理;第三种是混合法,就是先树脂法,后沉积法。炭/炭复合材料板材的沉积生产,目前有两种摆放沉积方式,一是板材平放在沉积炉内沉积;另一种是板材立放在沉积炉内沉积。这两种沉积方式,只适应于小尺寸的炭/炭板材沉积,但不适应大尺寸炭/炭板材沉积,特别是光伏行业大型单晶硅生长炉用板材,其边长尺寸一般大于1米,厚度10mm左右,用立放沉积,板材变形大,平放沉积,由于炉内沉积气氛不流畅,导致沉积效果差,密度不均;再者,现有沉积炉一般为圆形,板材不管是立放还是平放沉积,都会有较大的无效沉积空间(4个圆弧区域),沉积气场浓度低而影响沉积效率。
发明内容
[0004] 本实用新型针对现有技术中的沉积效果差及沉积室存在无效沉积空间的问题,对炭/炭复合材料板材沉积装置提出了优化改进方案,采用一种与沉积板材尺寸适宜的方形密闭沉积室,沉积室整体吊装,在炉外可进行板材的装入和取出,板材采用悬挂方法安装。
[0005] 具体发明内容如下:一种炭/炭复合材料板材沉积装置,包括沉积室和悬吊装置;所述沉积室包括吊装底板、支撑立柱、沉积室侧板、支撑横梁、支撑条形梁和盖板;吊装底板上平行安装两排支撑立柱,两条支撑横梁各安装在一排支撑立柱顶部,四沉积室侧板围装在两排支撑立柱的外侧,支撑横梁上开有多个横梁槽口,支撑条形梁插装在两条支撑横梁之间,支撑条形梁的两端各插装在一条支撑横梁的横梁槽口内,盖板盖装在沉积室侧板的顶部;所述悬吊装置包括T形悬吊件和螺栓,T形悬吊件的横板放置在两条支撑条形梁上,T形悬吊件的立板位于两条支撑条形梁之间,立板上设置有通孔,螺栓安装立板上的通孔内,相邻两条支撑条形梁之间至少有两个T形悬吊件。
[0006] 上述技术方案的优点是:四个沉积室侧板和盖板组成沉积室为方形,整体密封,上端开口,无无效沉积空间,沉积效率高;支撑立柱可作为沉积室的安装框架,沉积室侧板固定安装在立柱上,同时立柱上安装支撑横梁,沉积室侧板的高度要高于立柱高度与支撑横梁厚度之和;沉积室可整体吊装,在炉外进行板材的装入和取出,操作方便;两张炭/炭复合材料板材用螺栓固定于T形悬吊件的的两侧,然后整体放入相邻两个支撑条形梁之间。
[0007] 优选的,所述的吊装底板的下方安放在集气垫环上。吊装底板上有安装立柱的安装孔以及通气的气孔,集气垫环可以为多个,放置于沉积炉内的底面上,使沉积室不直接与沉积炉接触
[0008] 优选的,所述的吊装底板上设置有四个吊装槽口,相对两个吊装槽口的连线成十字交叉。吊装槽口设置是为了让沉积室吊装的时候能够稳定而不发生偏斜,避免出现安全隐患。
[0009] 优选的,所述吊装底板为圆形或者正方形。圆形为常规使用的吊装底板,方形为的吊装底板可以节省材料。
[0010] 优选的,所述支撑立柱为圆柱,支撑立柱的数量至少为四条且为偶数条。每排支撑立柱的数量增加,使支撑横梁受均匀,防止产生形变。
[0011] 再进一步,所述的支撑立柱为六条,成两排均匀排列。
[0012] 优选的,所述的横梁槽口均匀设置在支撑横梁上。横梁槽口均匀设置,使支撑条形梁与支撑横梁垂直并使炭/炭复合材料板材彼此之间等距,进一步优化沉积空间的使用效率,并使板材在沉积室内均匀沉积。
[0013] 优选的,所述螺栓为高频瓷螺栓。高频瓷螺栓连接稳定且不会产生杂质。
[0014] 优选的,所述集气垫环、吊装底板、支撑立柱、沉积室侧板、支撑横梁、支撑条形梁、T形悬吊件均为石墨材质。
[0015] 优选的,所述沉积室侧板、支撑条形梁、T形悬吊件、盖板均为炭/炭材质。
[0016] 本实用新型的有益效果如下:
[0017] 本实用新型结构合理,制作简单,沉积室为方形,无无效沉积空间,沉积效率高;可整体吊装,在炉外进行板材的装入和取出,操作方便;板材均匀立放,有利于均匀沉积,板材变形小;若两个沉积室板材呈90°摆放沉积,在再次沉积时交换位置,沉积效果会更好。附图说明
[0018] 图1为炭/炭复合材料板材沉积装置主剖面示意图;
[0019] 图2为炭/炭复合材料板材沉积装置俯视示意图;
[0020] 图3为吊装底板示意图;
[0021] 图4为炭/炭复合材料板材悬挂状态结构示意图;
[0022] 图5为支撑横梁结构示意图;
[0023] 图6为T形悬吊件结构示意图。
[0024] 其中,1、集气垫环;2、吊装底板;2.1、吊装槽口,2.2-支撑立柱安装孔;3、支撑立柱;4、沉积室侧板;5、支撑横梁;5.1、横梁槽口;6、支撑条形梁;7、T形悬吊件;7.1、横板;7.2、立板;8、螺栓;9、盖板,10-板材,11-发热体,12-气体预热装置,13-炉底保温层,14-碳源气体进管。

具体实施方式

[0025] 以下结合实例对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
[0026] 一种炭/炭复合材料板材悬挂式沉积装置,如图1-6所示,包括沉积室和悬吊装置;所述沉积室包括吊装底板2、支撑立柱3、沉积室侧板4、支撑横梁5、支撑条形梁6和盖板9;吊装底板2为圆形,其上设置有四个吊装槽口2.1,相对两个吊装槽口2.1的连线成十字交叉;
吊装底板2上平行安装两排圆柱形支撑立柱3,每排3个,均匀排列;两条支撑横梁5各安装在一排支撑立柱3的顶部,四块沉积室侧板4围装在两排支撑立柱3的外侧,密封安装在吊装底板2上;支撑横梁5上开有多个横梁槽口5.1,横梁槽口5.1在支撑横梁5上均匀设置;支撑条形梁6插装在两条支撑横梁5之间,支撑条形梁6的两端各插装在一条支撑横梁5的横梁槽口
5.1内,各条支撑条形梁6彼此平行,且与支撑横梁5垂直;盖板9盖装在沉积室侧板4的顶部;
吊装底板2的下方安放在集气垫环1上;所述悬吊装置包括T形悬吊件7和螺栓8,螺栓8为高频瓷螺栓;T形悬吊件7的横板7.1放置在两条支撑条形梁6上,T形悬吊件7的立板7.2位于两条支撑条形梁6之间,立板7.2上设置有通孔,螺栓8安装立板7.2上的通孔内,相邻两条支撑条形梁6之间至少有两个T形悬吊件7。
[0027] 进行炭/炭复合材料板材沉积生产时,每2张板材为一组,先在2张板材其中一边对称钻2个孔,两板材分别安装在T形悬吊件7两侧,用螺栓8固定;重复上述操作,每两张板材至少使用两个T形悬吊件7,然后整体放入两件支撑条形梁6之间;将安装好的板材与T形悬吊件7整体放入两件支撑条形梁6之间。
[0028] 重复上述操作,使沉积室满载。需要注意的是相邻的两组板材钻孔位置要偏离,以防止T形悬吊件7相互干扰。
[0029] 使用吊具吊杆插入吊装底板2的吊装槽口2.1内,行车整体吊入,安放在沉积炉内的集气垫环1上且位于沉积炉内的筒状的发热体11中,集气垫环1位于沉积炉内的气体预热装置12上,气体预热装置12下方为炉底保温层13上,炉底保温层13具有碳源气体进管14,卸下吊具,盖上盖板9,即可进行沉积生产。
[0030] 沉积结束后,取出盖板9,吊具吊杆插入吊装底板2的吊装槽口2.1内,行车整体吊出,卸下吊具;按顺序取出每一组板材,卸下螺栓8和T形悬吊件7,即可取出板材。T形悬吊件7与螺栓8均可重复使用。
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