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螺丝组件、螺丝的缓冲部件及 等离子体 刻蚀机台

阅读：1037发布：2020-05-24

专利汇可以提供螺丝组件、螺丝的缓冲部件及等离子体刻蚀机台专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型提供一种螺丝组件、螺丝的缓冲部件及一等离子体刻蚀机台，涉及集成电路生产设备，弹片被夹板部夹在中间的缓冲部件构成一夹层弹片，将缓冲部件组装于螺丝本体柱状部上，然后将螺丝本体与螺孔锁固连接，能够避免工艺反应过程中的电弧问题(arcing)，增加工艺选择方案和工艺配方窗口，提高射频(RF)的性能，并消除减少不稳定性和腔体的异常，另由于弹片与夹板部材质不同，可增加弹片与夹板部的组合性能，延长了螺丝组件的寿命，以及延长腔体维护周期，提升刻蚀机台的开机工作时间，增加工厂产能。，下面是螺丝组件、螺丝的缓冲部件及等离子体刻蚀机台专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种螺丝组件，其特征在于，包括：螺丝本体和缓冲部件，所述螺丝本体用于与一螺孔锁固连接，所述螺丝本体包括螺丝本体头部和螺丝本体柱状部，所述缓冲部件位于所述螺丝本体柱状部上，其中，所述缓冲部件包括夹板部，所述夹板部包括一缺口结构，所述缺口结构将所述夹板部分割为上夹板、下夹板和连接所述上夹板与所述下夹板的连接部，所述夹板部还包括一螺丝孔，所述螺丝孔依次贯穿所述上夹板、所述缺口结构和所述下夹板，所述缓冲部件还包括弹片，所述弹片置于所述缺口结构内。
2.根据权利要求1所述的螺丝组件，其特征在于，所述螺丝本体头部在宽度方向上较所述螺丝本体柱状部粗。
3.根据权利要求1所述的螺丝组件，其特征在于，所述螺丝本体头部与所述螺丝本体柱状部一体成型。
4.根据权利要求1所述的螺丝组件，其特征在于，所述弹片上包括一与所述螺丝孔形状和大小均相同的孔。
5.根据权利要求1所述的螺丝组件，其特征在于，所述夹板部为一柱状体，包括上表面、下表面和连接上表面与下表面的柱面，所述缺口结构从所述夹板部的所述螺丝孔的一侧的柱面延伸至所述螺丝孔，并继续延伸至所述螺丝孔的另一侧，但不穿透所述柱面。
6.根据权利要求1所述的螺丝组件，其特征在于，所述弹片的体积小于所述缺口结构的体积。
7.根据权利要求1所述的螺丝组件，其特征在于，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分与所述弹片的边缘部分不在同一个平面上。
8.根据权利要求7所述的螺丝组件，其特征在于，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述上夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述下夹板上。
9.根据权利要求7所述的螺丝组件，其特征在于，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述下夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述上夹板上。
10.一种螺丝的缓冲部件，其特征在于，缓冲部件包括夹板部，所述夹板部包括一缺口结构，所述缺口结构将所述夹板部分割为上夹板、下夹板和连接所述上夹板与所述下夹板的连接部，所述夹板部还包括一螺丝孔，所述螺丝孔依次贯穿所述上夹板、所述缺口结构和所述下夹板，所述缓冲部件还包括弹片，所述弹片置于所述缺口结构内。
11.根据权利要求10所述的螺丝的缓冲部件，其特征在于，所述弹片上包括一与所述螺丝孔形状和大小均相同的孔。
12.根据权利要求10所述的螺丝的缓冲部件，其特征在于，所述夹板部为一柱状体，包括上表面、下表面和连接上表面与下表面的柱面，所述缺口结构从所述夹板部的所述螺丝孔的一侧的柱面延伸至所述螺丝孔，并继续延伸至所述螺丝孔的另一侧，但不穿透所述柱面。
13.根据权利要求10所述的螺丝的缓冲部件，其特征在于，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述上夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述下夹板上。
14.根据权利要求10所述的螺丝的缓冲部件，其特征在于，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述下夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述上夹板上。
15.一种等离子体刻蚀机台，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述螺丝组件，所述等离子体刻蚀机台上包括所述螺孔，所述螺丝本体与所述螺孔锁固连接，所述缓冲部件位于所述螺丝本体的所述螺丝本体头部与所述螺孔之间，并所述缓冲部件与所述螺丝本体的所述螺丝本体头部紧贴。
16.根据权利要求15所述的等离子体刻蚀机台，其特征在于，所述等离子体刻蚀机台为AMEC D-RIE等离子体刻蚀机。

说明书全文

螺丝组件、螺丝的缓冲部件及等离子体 刻蚀机台

技术领域

[0001] 本实用新型涉及一种集成电路生产设备，尤其涉及一种螺丝组件、螺丝的缓冲部件及等离子体刻蚀机台。

背景技术

[0002] 刻蚀为半导体制造过程的关键步骤之一，其中常用的刻蚀有干法刻蚀和湿法刻蚀。目前，等离子体刻蚀为干法刻蚀中最常见的形式之一，因其具有良好的各向异性以及工艺可控性被广泛用于集成电路。

[0003] 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子经等离子体刻蚀机中的ShowerHead进入到等离子体刻蚀机内的反应腔体内，然后与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。

[0004] 随着晶圆加工的特征及技术节点迈进，等离子体刻蚀对缺陷的控制要求越来越严格，等离子体刻蚀机中的ShowerHead螺丝组件为射频接地路径的一部分，因此[0005] ShowerHead螺丝组件性能的好坏直接影响等离子刻蚀机的刻蚀效果。实用新型内容

[0006] 本实用新型的目的在于提供一种螺丝组件，以避免工艺反应过程中的电弧问题(arcing)，延长螺丝组件的寿命，以及延长腔体维护周期，提升刻蚀机台的开机工作时间，增加工厂产能。

[0007] 本实用新型提供的螺丝组件，包括：螺丝本体和缓冲部件，所述螺丝本体用于与一螺孔锁固连接，所述螺丝本体包括螺丝本体头部和螺丝本体柱状部，所述缓冲部件位于所述螺丝本体柱状部上，其中，所述缓冲部件包括夹板部，所述夹板部包括一缺口结构，所述缺口结构将所述夹板部分割为上夹板、下夹板和连接所述上夹板与所述下夹板的连接部，所述夹板部还包括一螺丝孔，所述螺丝孔依次贯穿所述上夹板、所述缺口结构和所述下夹板，所述缓冲部件还包括弹片，所述弹片置于所述缺口结构内。

[0008] 更进一步的，所述螺丝本体头部在宽度方向上较所述螺丝本体柱状部粗。

[0009] 更进一步的，所述螺丝本体头部与所述螺丝本体柱状部一体成型。

[0010] 更进一步的，所述弹片上包括一与所述螺丝孔形状和大小均相同的孔。

[0011] 更进一步的，所述夹板部为一柱状体，包括上表面、下表面和连接上表面与下表面的柱面，所述缺口结构从所述夹板部的所述螺丝孔的一侧的柱面延伸至所述螺丝孔，并继续延伸至所述螺丝孔的另一侧，但不穿透所述柱面。

[0012] 更进一步的，所述弹片的体积小于所述缺口结构的体积。

[0013] 更进一步的，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分与所述弹片的边缘部分不在同一个平面上。

[0014] 更进一步的，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述上夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述下夹板上。

[0015] 更进一步的，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述下夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述上夹板上。

[0016] 本实用新型还提供一种螺丝的缓冲部件，缓冲部件包括夹板部，所述夹板部包括一缺口结构，所述缺口结构将所述夹板部分割为上夹板、下夹板和连接所述上夹板与所述下夹板的连接部，所述夹板部还包括一螺丝孔，所述螺丝孔依次贯穿所述上夹板、所述缺口结构和所述下夹板，所述缓冲部件还包括弹片，所述弹片置于所述缺口结构内。

[0017] 更进一步的，所述弹片上包括一与所述螺丝孔形状和大小均相同的孔。

[0018] 更进一步的，所述夹板部为一柱状体，包括上表面、下表面和连接上表面与下表面的柱面，所述缺口结构从所述夹板部的所述螺丝孔的一侧的柱面延伸至所述螺丝孔，并继续延伸至所述螺丝孔的另一侧，但不穿透所述柱面。

[0019] 更进一步的，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述上夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述下夹板上。

[0020] 更进一步的，所述弹片靠近所述弹片的所述孔处的部分抵接于所述下夹板上，所述弹片的边缘部分抵接于所述上夹板上。

[0021] 本实用新型还提供一种等离子体刻蚀机台，包括所述螺丝组件，所述等离子体刻蚀机台上包括所述螺孔，所述螺丝本体与所述螺孔锁固连接，所述缓冲部件位于所述螺丝本体的所述螺丝本体头部与所述螺孔之间，并所述缓冲部件与所述螺丝本体的所述螺丝本体头部紧贴。

[0022] 更进一步的，所述等离子体刻蚀机台为AMEC D-RIE等离子体刻蚀机。

[0023] 本实用新型提供的螺丝组件、螺丝的缓冲部件及一等离子体刻蚀机台，弹片被夹板部夹在中间的缓冲部件构成一夹层弹片，将缓冲部件组装于螺丝本体柱状部上，然后将螺丝本体与螺孔锁固连接，能够避免工艺反应过程中的电弧问题(arcing)，增加工艺选择方案和工艺配方窗口，提高射频(RF)的性能，并消除减少不稳定性和腔体的异常，另由于弹片与夹板部材质不同，可增加弹片与夹板部的组合性能，延长了螺丝组件的寿命，以及延长腔体维护周期，提升刻蚀机台的开机工作时间，增加工厂产能。附图说明

[0024] 图1为现有技术中ShowerHead螺丝组件的爆炸图。

[0025] 图2为现有技术中ShowerHead螺丝组件的组装图。

[0026] 图3为本实用新型一实施例的螺丝组件的示意图。

[0027] 图4为本实用新型一实施例的缓冲部件的示意图。

[0028] 图5为本实用新型一实施例的沿图4中的缓冲部件的垂直方向的切面图。

[0029] 对附图中所用到的标记解释如下：

[0030] 230、螺丝孔；2214、连接部；221、夹板部；222、弹片；2211、缺口结构；

[0031] 2212、下夹板；2213、上夹板。

具体实施方式

[0032] 下面将结合附图，对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

[0033] 请参阅图1和图2，图1为现有技术中ShowerHead螺丝组件的爆炸图，图2为现有技术中ShowerHead螺丝组件的组装图，如图1所示，ShowerHead螺丝组件包括螺丝本体110，用于与一螺孔锁固连接，弹片120和垫片130。如图2所示，将弹片120先组装与螺丝本体110上，然后将垫片130组装与螺丝本体110上，再将螺丝组件与一螺孔锁固连接，其中通常弹片120和垫片130为不锈钢材质。由于ShowerHead螺丝为射频接地路径的一部分，不锈钢垫片130在较高的射频频率下会导致电流密度过高，从而导致反射功率过高造成不锈钢垫片130电弧问题(arcing)，静电夹盘(E-chuck)电流不稳定等因素，不锈钢垫片130电弧问题(arcing)会产生很多反应生成物的残留，微小的反应生成物随着气流一同进入反应腔体，会导致晶圆的表面缺陷。另由于现有技术中的弹片120和垫片130均为刚性材质的不锈钢，容易导致螺丝组件松动的问题，如长时间使用后打开腔观察到的螺丝松动而导致变色，融化等各种物理异常现象，就需要更换弹片120和垫片130，提高成本和人力，且需要刻蚀机台停机，影响工厂的产能。

[0034] 本实用新型一实施例中，在于提供一螺丝组件，具体的，请参阅图3和图4，图3为本实用新型一实施例的螺丝组件的示意图，图4为本实用新型一实施例的缓冲部件的示意图。如图3所示，本实用新型一实施例的螺丝组件包括螺丝本体210和缓冲部件220，螺丝本体
210用于与一螺孔300锁固连接，螺丝本体210包括螺丝本体头部211和螺丝本体柱状部212，缓冲部件220位于螺丝本体柱状部212上，更具体的，缓冲部件220包括夹板部221，夹板部
221包括一缺口结构2211，缺口结构2211将夹板部221分割为上夹板2213、下夹板2212和连接上夹板2213与下夹板2212的连接部2214，夹板部221还包括一螺丝孔230，螺丝孔230依次贯穿上夹板2213、缺口结构2211和下夹板2212，缓冲部件220还包括弹片222，弹片222置于缺口结构2211内。

[0035] 在本实用新型一实施例中，螺丝本体头部211在宽度方向上较螺丝本体柱状部212粗。

[0036] 在本实用新型一实施例中，螺丝本体头部211与螺丝本体柱状部212一体成型。

[0037] 在本实用新型一实施例中，弹片222上包括一与螺丝孔230形状和大小均相同的孔。

[0038] 在本实用新型一实施例中，夹板部221为一柱状体，包括上表面、下表面和连接上表面与下表面的柱面，缺口结构2211从夹板部221的螺丝孔230的一侧的柱面延伸至螺丝孔230，并继续延伸至螺丝孔230的另一侧，但不穿透柱面。

[0039] 在本实用新型一实施例中，夹板部221为铝材质，弹片222为不锈钢材质。

[0040] 在本实用新型一实施例中，弹片222的体积小于缺口结构2211的体积，以使弹片222可轻松的置于缺口结构2211内或从缺口结构2211内取出。

[0041] 请参阅图5，图5为本实用新型一实施例的沿图4中的缓冲部件的垂直方向的切面图。如图5所示，弹片222靠近弹片的孔处的部分抵接于上夹板2213上，弹片的边缘部分抵接于下夹板2212上，也即弹片222靠近弹片的孔处的部分与弹片222的边缘部分不在同一个平面上。当然也可为弹片222靠近弹片的孔处的部分抵接于下夹板2212上，弹片222的边缘部分抵接于上夹板2213上。

[0042] 在本实用新型一实施例中，还提供一螺丝的缓冲部件，缓冲部件即为上述的缓冲部件220。更具体的，缓冲部件220包括夹板部221，夹板部221包括一缺口结构2211，缺口结构2211将夹板部221分割为上夹板2213、下夹板2212和连接上夹板2213与下夹板2212的连接部2214，夹板部221还包括一螺丝孔230，螺丝孔230依次贯穿上夹板2213、缺口结构2211和下夹板2212，缓冲部件220还包括弹片222，弹片222置于缺口结构2211内。

[0043] 在本实用新型一实施例中，螺丝本体头部211与螺丝本体柱状部212一体成型。

[0044] 在本实用新型一实施例中，弹片222上包括一与螺丝孔230形状和大小均相同的孔。

[0045] 在本实用新型一实施例中，夹板部221为一柱状体，包括上表面、下表面和连接上表面与下表面的柱面，缺口结构2211从夹板部221的螺丝孔230的一侧的柱面延伸至螺丝孔230，并继续延伸至螺丝孔230另一侧，但不穿透柱面。

[0046] 在本实用新型一实施例中，夹板部221为铝材质，弹片222为不锈钢材质。

[0047] 在本实用新型一实施例中，弹片222的体积小于缺口结构2211的体积，以使弹片222可轻松的置于缺口结构2211内或从缺口结构2211内取出。

[0048] 另弹片222靠近弹片的孔处的部分抵接于上夹板2213上，弹片边缘部分抵接于下夹板2212上，也即弹片222靠近弹片的孔处的部分与弹片222边缘部分不在同一个平面上。当然也可为弹片222靠近弹片的孔处的部分抵接于下夹板2212上，弹片222边缘部分抵接于上夹板2213上。

[0049] 在本实用新型一实施例中，还提供一刻蚀机台，可参阅图3，如图3所示刻蚀机台包括上述的螺丝组件，刻蚀机台上包括一螺孔300，螺丝本体210与螺孔300锁固连接，缓冲部件220位于螺丝本体210的螺丝本体头部211与螺孔300之间，并缓冲部件220与螺丝本体210的螺丝本体头部211紧贴。螺丝组件的结构和形状与上述相同，在此不再赘述。

[0050] 在本实用新型一实施例中，刻蚀机台为等离子体刻蚀机台。更具体的为AMEC D-RIE等离子体刻蚀机。

[0051] 如此，弹片222被夹板部221夹在中间的缓冲部件220构成一夹层弹片，将缓冲部件220组装于螺丝本体柱状部212上，然后将螺丝本体与螺孔300锁固连接，能够避免工艺反应过程中的电弧问题(arcing)，增加工艺选择方案和工艺配方窗口，提高射频(RF)的性能，并消除减少不稳定性和腔体的异常，另由于弹片222与夹板部221材质不同，且夹板部221为柔性材质金属，可增加弹片222与夹板部221的组合性能，延长了螺丝组件的寿命，以及延长腔体维护周期，提升刻蚀机台的开机工作时间，增加工厂产能。

[0052] 最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

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