一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计
专利汇可以提供一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种基于微机械 耦合器 和直接式功率 传感器 的 风 速计 ，该传感器包括衬底，共面 波导 传输线、微机械耦合器、终端 电阻 、 半导体 热电偶 以及测试 块 部分。共面波导传输线生长在衬底表面上， 悬臂梁 耦合器悬于共面波导传输线的上方，中间为绝缘介质层和空气，与共面波导的 信号 线形成微机械耦合器。悬臂梁的锚区位于另外一段共面波导的中心信号线上，将悬臂梁耦合的 微波 信号传输 到两个 终端电阻 。该结构可以实现风速检测，不仅结构简单，灵敏度高，更无需消耗直流功耗。，下面是一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计专利的具体信息内容。
1.一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计，其特征在于：包括衬底(1)、共面波导传输线、微机械耦合器以及直接式功率传感器部分；其中，所述共面波导传输线包括生长在衬底(1)表面上的第一信号线(2)、第二信号线(9)以及第一地线(3)，所述第二信号线(9)和第一地线(3)分设于第一信号线(2)的两侧，第二信号线(9)垂直第一信号线(2)并与第一信号线(2)之间留有间隙，第一地线(3)平行第一信号线(2)并与第一信号线(2)之间留有间隙；所述共面波导传输线还包括分别位于所述第二信号线(9)两侧的第二地线(4)和第三地线(5)；
所述微机械耦合器部分包括悬臂梁(7)，所述悬臂梁(7)的锚区(8)设置在第二信号线(9)上靠近所述第一信号线(2)的一侧，悬臂梁(7)垂直所述第一信号线(2)并与第一信号线(2)上方形成翘曲，第一信号线(2)上正对所述翘曲位置覆盖有绝缘介质(6)，所述翘曲在风力的作用下能够改变相对第一信号线(2)的距离；所述悬臂梁(7)的锚区(8)通过第二信号线(9)连接所述直接式功率传感器部分，所述直接式功率传感器部分用于检测所述微机械耦合器部分与共面波导传输线之间的耦合功率。
一种基于微机械耦合器和直接式功率传感器的风速计
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