等离子体显示屏(以下称作「PDP」)大致分为直流(DC)型和 交流(AC)型，而现在适合于大型化的AC型正成为主流。
图16是表示AC型PDP之一例的透射图(局部剖面图)。
如图16所示，在前面玻璃基板61的表面上以条状配置有多个 显示电极62。在配置显示电极62的面上形成整体覆盖的介质层63。 另外，在介质层63的面上形成介质保护膜64。
另一方面，在背面玻璃基板71与上述前面玻璃基板61相向的 面上以条状配置多个地址电极72。在前面玻璃基板61与背面玻璃基 板71相向配置时，地址电极72的配置方向与显示电极62的方向交 叉。在配置地址电极72的面上形成整体覆盖的介质层73。另外，在 介质层73的面上与地址电极72平行地、且向前面玻璃基板61凸起 地设置多个障壁75。
在由相邻的两个障壁75和介质层73形成的沟部的侧面配设荧 光粉层76。在由障壁75分割的每个沟部配设红色荧光粉层76R、绿 色荧光粉层76G和蓝色荧光粉层76B。这些荧光粉层76是由采用丝 网印刷法、喷墨法、光刻胶膜法等厚膜形成法形成的荧光粉颗粒群 构成的层。
在相向配置具有这种结构的前面玻璃基板61和背面玻璃基板71 时，在由上述沟部与介质保护膜64形成的放电空间77内封入放电 气体。
具有以上结构的AC型PDP的发光原理基本上与荧光灯相同，伴 随放电空间77内部的放电，从放电气体发射的紫外光使荧光粉层76 受激发而发光，变换为可见光。
但是在用于上述AC型PDP中的各色荧光粉层76R，76G，76B上 分别采用具有不同可见光变换效率的荧光粉材料。所以在屏上显示 图像时，一般通过调整各荧光粉层76R，76G，76B的亮度，进行色平 衡调整。具体地说，以亮度最低的颜色荧光粉层为基准，按每种颜 色决定的比率降低其它荧光粉层的亮度。
然而，随着对高品位显示要求的提高，在PDP上也要求单元微 细化。在单元微细化的情况下，由于随着放电空间77体积减少，紫 外光的放射效率下降，因此为了实现具有微细单元结构的PDP，必须 比以前再提高每个单元的发光效率。
例如在传统的NTSC中单元数为640×480，在40英寸级中单元节 距为0.43mm×1.29mm，每个单元的面积为0.55mm2，亮度约为250cd/m2 (参见“功能材料”1996年2月号Vol.16 No.2p.7)。
而全规格(full spec)的高清晰度电视(hi-vision TV)的像 素等级为像素数1920×1125，则42英寸级的单元节距为0.15mm× 0.48mm，每个单元面积为0.072mm2。如果按照传统的结构制作这种全 规格的高清晰度电视用PDP，则随着每个单元的面积减少，与NTSC 相比，紫外光的放射效率降到大约1/7～1/8即0.151m/W～0.171m/W 左右。所以屏的发光效率也降低。

本发明的目的在于解决以上课题，提供在具有微细单元结构的 情况下也能够以高发光效率动作的等离子体显示屏及其制造方法。
为了实现此目的，本发明的特征在于：在相向配置的前面板与 后面板之间隙上形成多个发光单元的PDP中的至少一部分区域上设 置由薄膜结晶组成的结晶荧光粉膜。
在该PDP中由于结晶荧光粉膜的可见光变换率优于由荧光粉颗 粒群构成的荧光粉层，因此能够以高发光效率工作。
形成上述结晶荧光粉膜的区域最好是与前面板中至少一部分发 光单元相当的部位。
由于在传统的PDP中前面板上不形成荧光粉层，所以紫外光的 一部分不能利用而由前面板吸收。
与此形成对照，由于在上述PDP中由薄膜结晶组成的结晶荧光 粉膜在前面板的与至少一部分发光单元相当的部位上形成，因此在 发光单元内产生的紫外光的一部分不会直接被前面板吸收，而变换 为可见光，向屏外部发射。
另外，因为由传统的荧光粉颗粒群构成的荧光粉层的可见光透 过率低，如果它在前面板一侧形成，则会遮挡住发光单元内产生的 大量可见光；而由于在上述结晶荧光粉膜中由具有高可见光透过率 的薄膜结晶形成，因此即使在前面板一侧形成，也几乎不会遮挡发 光单元内产生的可见光。
因此与传统的PDP相比，上述PDP的发光效率优良，在采用微细 单元结构时也是合适的。
另外，在一般采用薄膜这一用语时，除了指结晶性薄膜以外， 也包含由非晶体或颗粒群构成的薄膜，在这里所谓的薄膜结晶为单 一固溶体的薄膜，是指能通过透过型电子显微镜(TEM)确认晶格像、 同时能通过X线衍射法测定而获得尖峰的结晶性薄膜。
在上述PDP中最好选择结晶荧光粉膜的可见光透过率至少为85 ％的材料，或按照该透过率来设定膜厚。这是由于在前面板上形成 结晶荧光粉膜的情况下，如果可见光透过率小于85％，则由结晶荧 光粉膜遮住的可见光增加，从整体上看，屏的发光效率将降低。
另外，可见光透过率是指由前面板上形成的薄膜结晶组成的荧 光粉膜的可见光透过率。具体地说，是该荧光粉自身的发光波长下 的透过率。另外，指荧光粉自身的透过率，不包含其它基板及介质 层的透过率。
另外，在上述PDP中不必在前面板的所有区域上形成结晶荧光 粉膜。例如如果在红色、绿色及蓝色的发光单元群之中的一个或两 个发光单元群，具体地说，在相当于蓝色发光单元群及绿色发光单 元群内至少一个单元群的部位上形成结晶荧光粉膜，本发明也能获 得充分的效果。这是由于通常在取得屏的色平衡时，必须根据各种 颜色降低红色亮度，如果能够提高上述2种颜色的亮度，则能使整 个屏的发光效率提高。特别在与蓝色发光单元群相当的位置上形成 结晶荧光粉膜是有效的。
另外，除了选择特定颜色的发光单元群形成之外，按照发光单 元群亮度而限制形成的区域，也能够获得效果。
用于形成上述结晶荧光粉膜中的荧光粉材料与用于形成由荧光 粉颗粒群构成的荧光粉层中的荧光粉材料可以是同一材料，也可以 是不同的材料。在PDP中显示电极之间的放电在前面板表面的近傍 产生，为数μm的区域。在这里存在大量的电离气体，前面板表面大 量受到电子及离子的冲击。在传统的PDP中由于仅在离开放电区域 的后面板上形成荧光粉层，因此一直采用紫外光激发型荧光粉材料。
如上所述，在作为放电区域近傍的前面板上表面上形成荧光粉 膜的情况下，不仅可以采用紫外光激发型荧光粉材料，而且可以采 用通过电子及离子碰撞时的碰撞能量而激发荧光粉发光的碰撞激发 型荧光粉材料。
在前面板中形成上述结晶荧光粉膜的前面板部位可以在保护膜 的面上，也可以在介质层与保护膜之层间。其中在保护膜的面上形 成结晶荧光粉膜的情况下，最好在与显示电极相当的部位设置切口 部。由此在上述PDP中屏驱动时产生的放电时能有效地利用保护膜 的二次电子发射系数高的性质。
另外，在上述PDP中，虽然在设置于保护膜表面上的荧光粉膜 上设置了切口部，但在保护膜的整个表面上形成荧光粉膜也可以获 得相同的效果。但是因荧光粉膜而影响放电，所以放电电压稍微增 加。为了防止这种现象，使前面板上形成的荧光粉膜形成在介质层 与保护膜之间是有效的。这样不但不会影响放电，而且能扩大荧光 粉膜的表面积，能够获得亮度更高的PDP。但是在这种情况下由于结 晶荧光粉膜不直接面向放电空间，所以其材料必须采用与传统技术 一样的紫外光激发型荧光粉材料。
另外，在上述PDP中，也可以在后面板及障壁至少一方设置由 荧光粉颗粒群构成的荧光粉层。即使在后面板及障壁之一上不设由 荧光粉颗粒群构成的荧光粉层的情况下，与传统的PDP相比，上述PDP 也具有优良的发光效率。在后面板上不形成荧光粉层的情况下，从 提高发光效率考虑，最好在后面板的介质层面上形成具有在前面板 侧上反射可见光功能的区域。
上述结晶荧光粉膜与由荧光粉颗粒群构成的荧光粉层，最好由 成分不同的荧光粉材料形成。特别是，结晶荧光粉膜最好由碰撞激 发型荧光粉材料形成。另外，由于在这种情况下在后面板及障壁上 不设荧光粉层，因此能减少制造工序，有利于降低成本。
另外，在上述PDP中后面板在背面基板上形成多个电极以及介 质层，介质层也可以不被任何结晶荧光粉膜或由荧光粉颗粒群构成 的荧光粉层隔着，而面对发光单元的内部空间。同样地在后面板上 形成的障壁中，其表面也可以面对发光单元的内部空间，在障壁的 与发光单元相当的部位上形成由荧光粉颗粒群构成的荧光粉层或由 薄膜结晶组成的荧光粉膜。
在后面板中与发光单元相当的部位上不形成荧光粉层的情况 下，最好在后面板上形成具有至少85％以上的可见光反射率的区域。 在后面板上形成具有上述可见光反射率的区域的部位可以在介质层 的面上，也可以在该层的内部。
另外，在上述PDP中也最好在前面板上有地址电极，同时在后 面板上有显示电极。
另外，本发明的特征在于：在相向配置的前面板与后面板之间 的间隙内形成多个发光单元的PDP的后面板上有电极，在后面板上 的所述电极上，隔着具有将可见光反射到上述前面板侧的功能的区 域，设置由薄膜结晶形成的结晶荧光粉膜。
在上述PDP中，由于后面板的具有反射可见光功能的区域的面 上形成由薄膜结晶构成的结晶荧光粉膜，因此可进一步提高发光效 率。在这种情况下，如在上述具有反射可见光功能的区域中的结晶 荧光粉膜侧上设置凹凸，则能够扩大结晶荧光粉膜的有效表面积， 能够取得相应的效果。这种凹凸最好是例如表面有阶梯形或多个凸 起的结构等。这种凹凸产生的有效表面积最好是其平滑面的面积的5 倍以上。
本发明的PDP制造方法中，包含在前面板和后面板中的至少一 方形成由薄膜结晶构成的荧光粉膜的荧光粉膜形成步骤，其特征在 于：在荧光粉膜形成步骤中荧光粉膜的形成采用减压气氛下的真空 成膜工艺。
在该制造方法中，由于能容易地在前面板及后面板中的至少一 方形成由薄膜结晶组成的荧光粉膜，因此能够制造发光效率比传统 的PDP高的PDP。
作为具体的真空成膜工艺，可以列举以真空蒸镀法、溅射法及CVD 法等为代表的气相生长法。最好根据所形成的荧光粉的材料成分， 在真空成膜工艺的减压气氛中注入氧或使之具有还原性。
上述PDP制造方法中包括形成前面板的步骤，形成前面板的步 骤包括形成保护膜的子步骤，在形成保护膜的子步骤与荧光粉膜形 成步骤之间最好不介入其它工序而连续进行。在这种制造方法中， 由于能使基板温度不降低连续形成这两种膜，因此面向放电空间的 上表面侧的膜能够形成结晶性良好的膜。
特别地，从能形成结晶性良好的膜考虑，在上述制造方法中的 工序之间最好将前面板维持在不暴露于大气的状态。
另外，由于在上述制造方法中不用个别设置真空装置，因此能 降低设备费用。
在上述荧光粉膜形成步骤中，最好对要形成基板荧光粉膜的区 域预先进行加热。这是由于如果在真空成膜工艺中通过加热使基板 温度上升，能够提高荧光粉膜的薄膜结晶中的结晶性。
另外，本发明的PDP制造方法中包括在前面板上形成第一荧光 粉层的第一步骤和在后面板上形成第二荧光粉层的第二步骤，其特 征在于：在第一步骤和第二步骤中一个步骤是形成由薄膜结晶构成 的结晶荧光粉膜的步骤，另一个步骤是形成由荧光粉颗粒群构成的 荧光粉层的步骤。
与传统的PDP制造方法相比，本方法能够制造不破坏色平衡的、 发光效率优良的PDP。
本发明的范围也包含采用上述制造方法制造的PDP，以及在PDP 中设置驱动PDP的驱动电路的PDP显示装置。
另外，本说明书中的附图及以下记载的实施例只是本发明的举 例说明。发明人无意将本发明局限于这些附图与实施例。

图1是表示实施例1的AC型PDP的透射图(局部剖面图)。
图2是图1中X-X处的向视剖面图。
图3是表示由图1中PDP与驱动电路组成的PDP显示装置的结构 图。
图4是表示用于形成第一荧光粉膜的EB蒸镀装置的结构图。
图5是表示图4中电子枪的结构图。
图6是表示基于X线衍射测定的基板温度与衍射强度之间的关 系的曲线图。
图7是表示入射在由荧光粉颗粒群构成的荧光粉层上的紫外光 路径的示意图。
图8是表示入射在由薄膜结晶构成的荧光粉膜上的紫外光路径 的示意图。
图9是表示荧光粉评价用试样的略图。
图10是表示由薄膜结晶构成的荧光粉膜的膜厚与亮度的关系的 曲线图。
图11是图1中Y-Y处的向视剖面图。
图12是表示膜厚与相对亮度的关系的曲线图。
图13是实施例2的AC型PDP的局部剖面图。
图14是表示将第一荧光粉膜插入、设在介质层与介质保护膜之 间的前面板的剖面图。
图15是实施例3的AC型PDP的局部剖面图。
图16是表示传统AC型PDP的透射图(局部剖面图)。
本发明的最佳实施方式
(实施例1)
1.屏的整体结构
用图1说明实施例1的AC型PDP的整体结构。图1是表示AC型 PDP1的一部分的示图。
如图1所示，AC型PDP1具有这样的结构：前面板10与后面板20 留有一定间隔地相向配置，屏之间的空间由障壁30分成多个放电空 间40。
前面板10具有这样的结构：在前面玻璃基板11的一个主表面 上(图中的下侧)以条状配置多个显示电极12，在该表面上依次层 叠第一介质层13和介质保护膜14。
在后面板20的面对上述前面板10的一侧的背面玻璃基板21的 面上以条状配置多个地址电极22，然后形成覆盖该表面的第二介质 层23。
另外，障壁30实际上凸起地设置在后面板20的第二介质层23 上，与地址电极22平行，且配置在相邻的地址电极22之间的区域 上。
使分别配置的显示电极12与地址电极22交叉且相面对地配置 前面板10与后面板20，屏的周围以气密性密封层封接。
在放电空间40的内部封入放电气体(Ne-Xe系气体，He-Xe系 气体等)。
在上述AC型PDP1中，两块玻璃基板11、21之间的显示电极12 与地址电极22交叉的各部分相当于发光单元。
在介质保护膜14面上与发光单元相当的部位上形成第一荧光粉 膜31，在障壁30与第二介质层23的面上形成第二荧光粉层32。
在荧光粉层31、32内的第二荧光粉层32是采用丝网印刷法形成 的荧光粉层，是由单结晶粉末的荧光粉颗粒群构成的厚膜荧光粉层。 该层大约是10个荧光粉颗粒层叠的厚度。
而在前面板10上形成的第一荧光粉膜31采用后面所述的电子 束(以下称作「EB」)蒸镀法而形成，是由薄膜结晶组成的荧光粉 膜。但是，在薄膜中一般存在包含由无定形或颗粒群构成的薄膜结 晶的情况，但在这里说的薄膜结晶是表示能由透过型电子显微镜 (TEM)确认晶格像、同时在X线衍射法的测定中能得到尖峰(用θ -2θ法测定的半宽度为几度以下的峰)的单一固溶体组成的结晶质 薄膜。
另外，第一荧光粉膜31的膜厚的设定范围，是能够在第一荧光 粉膜31上照射紫外光时获得充分的发光亮度并能够确保可见光透过 率的范围。具体地说，膜厚在1～6μm范围内，最好在2μm付近。关 于这一点见如下的说明。
构成第二荧光粉层32的荧光粉材料，是以下所示的紫外光激发 型荧光粉材料。
红色荧光粉：(Y，Gd)BO3：Eu
绿色荧光粉：Zn2SiO4：Mn
蓝色荧光粉：BaMgAl10O17：Eu
另一方面，构成第一荧光粉膜31的荧光粉材料是碰撞激发型荧 光粉材料，例如以下所示的荧光粉材料。
红色荧光粉：SnO2：Eu
绿色荧光粉：ZnO：Zn
蓝色荧光粉：ZnS：Ag
2.第一荧光粉膜31的形状
下面用图2说明第一荧光粉膜31的形状。图2是上述图1中X -X处的向视剖面图。
如图2所示，第一荧光粉膜31不在介质保护膜14的面上的障壁 30之间全面地形成。在对应于介质保护膜14面上的显示电极12的 区域，第一荧光粉膜31被切掉而形成切口。被切掉的部分(切口部 31a)用于对放电空间40露出形成显示电极12的区域的介质保护膜 14，在屏驱动时的放电中能有效利用介质保护膜14的二次电子发射 系数高的性质。
3.屏与驱动电路的连接
采用图3说明上述AC型PDP1与驱动电路的连接。
如图3所示，各驱动器141、142、143及驱动电路140连接在AC 型PDP1上。
在AC型PDP1上形成的多个显示电极12中，每隔一根而配置的 一半数量的电极(以下称作「扫描电极12a」)连接在扫描驱动器141 上。未连接扫描驱动器141的其它显示电极12(以下称作「维持电 极12b」)连接在维持驱动器142上。
另外，所有的地址电极22都连接在数据驱动器143上。
驱动电路140连接在上述3个驱动器141、142、143上。如此， 构成设有AC型PDP1的PDP显示装置。
在此PDP显示装置中，在对应于要点亮的单元的扫描电极12a与 地址电极22之间施加电压，产生地址放电。在地址放电之后，通过 在扫描电极12a与维持电极12b之间施加脉冲电压，产生维持放电。 伴随此放电，从放电气体发射紫外光，发射的紫外光通过上述第一 荧光粉膜31与第二荧光粉层32变换为可见光。如此，在AC型PDP1 上点亮单元，显示图像。
4.AC型PDP1的制造方法
下面说明上述结构的AC型PDP1的制造方法。
4-1.前面板10的制造方法
如上所述，显示电极12通过在前面玻璃基板11的主表面上采 用丝网印刷法涂敷含有Ag的电极用膏，经烧结而形成。显示电极12 的形成图案为相互平行的条状。
第一介质层13，通过在形成显示电极12的前面玻璃基板11的 整个面上采用丝网印刷法涂敷含有介质玻璃颗粒的膏，经烧结而形 成。第一介质层13的厚度约为20μm。
介质保护膜14采用溅射法等在第一介质层13的表面上以MgO薄 膜覆盖而形成。
第一荧光粉膜31采用EB蒸镀法而形成，详细的形成方法在下 面叙述。
4-2.后面板20的制造方法
后面板20中地址电极22与第二介质层23的形成方法基本上与 上述前面板10的情况相同。
障壁30，在第二介质层23的面上采用丝网印刷法涂敷障壁用玻 璃膏后，经烧结而形成。在由障壁30与第二介质层23形成的沟部， 采用丝网印刷法涂敷具有上述成分的各荧光粉膏，经烧结而形成第 二荧光粉层32。第二荧光粉层32的形成区域不仅可在沟部的底面即 第二介质层23的面上，而且也可在障壁30的壁面上形成。
4-3.前面板10与后面板20的封接
对于如上制造的前面板10与后面板20，在要接合的部分上涂敷 封接用玻璃(低熔点玻璃)，经预烧结而形成封接玻璃层，然后使 显示电极12与地址电极22垂直相交并相向地重合，再加热两块屏 10、20，使封接玻璃层软化，遂完成封接。
通过封接而形成的放电空间40被排气到高真空状态(例如 1.0×10-4Pa)后，以预定压力封入放电气体。然后，堵塞放电气体的 封入孔，遂完成AC型PDP1的制作。
4-4.第一荧光粉膜31的形成方法
采用图4及图5说明作为AC型PDP1特征部分的第一荧光粉膜31 的形成方法。
第一荧光粉膜31的形成与上述第二荧光粉层32的形成情况不 同，它采用图4所示的EB蒸镀装置。
如图4所示，在EB蒸镀装置90的使内部成为真空状态的真空室 91中设有：收容蒸镀原料92的坩埚93，发射电子束94的电子枪95， 使发射的电子束94聚焦、偏转的聚焦线圈96，以及偏转线圈97。
在这些主要构成部分的上方，设有输送其上形成第一荧光粉膜31 的玻璃基板98的传送通路(未图示)，从而形成按图中箭头方向以 一定速度通过的玻璃基板98的下侧表面上被覆薄膜结晶的荧光粉的 结构。另外，在传送通路的上方装有加热器(未图示)，通过热辐 射加热玻璃基板98。
EB蒸镀装置90的构成部件中的电子枪95，具有图5所示的结构。
如图5所示，电子枪95具有作为热发生源的灯丝101和一对电 极即阴极102与阳极103。电子束94由加热的灯丝101发射，通过 阴极102与阳极103加速，向聚焦线圈96发射。
如图4所示，为了使荧光粉材料92的蒸气99不被覆在传送通路 的机器上，在装置内设有防护板100。
第一荧光粉膜31的形成采用上述EB蒸镀装置90按以下步骤进 行。
首先在坩埚93上设置具有要形成的颜色的上述成分的荧光粉材 料92。荧光粉材料被预先加工成丸状。
然后向坩埚93照射电子束94，将荧光粉材料92加热到约2000 ℃，使之蒸发。从坩埚93上升的蒸气99一直上升到装置上方，被 覆在传送通路中的玻璃基板98的露出面上。玻璃基板98上不形成 第一荧光粉膜31的区域，被预先设置掩模。
设定照射的电子束94的强度和玻璃基板98的输送速度，使第 一荧光粉膜31的生长速率约为2.0(nm/s)。电子束94的强度在保 持阴极102与阳极103之间的电压为定值的状态下，通过电流值加以 设定。
再有，在上述第一荧光粉膜31的形成中采用EB蒸镀法，但是 也可以采用例如真空蒸镀法、溅射法与CVD法等气相生长法。但是 在介质保护膜14的面上形成第一荧光粉膜31时，在形成介质保护 膜14后，最好将前面板10维持在不暴露于大气的状态来形成荧光 粉层。另外，如果玻璃基板的温度也保持不变而形成介质保护膜14 与第一荧光粉膜31，则能形成具有良好结晶性的第一荧光粉膜31。
并且，在上述的形成方法中，最好将形成第一荧光粉膜31而使 用每种材料时的气氛最佳化。例如在采用SnO2：Eu等材料形成荧光粉 层时，为了抑制生长段阶中氧缺陷发生，需要含氧的气氛。在采用 ZnO：Zn等材料时，最好采用还原性的气氛。
另外，使用ZnS：Ag时，最好采用既无氧化性、也无还原性的减 压气氛。
这里，采用碰撞激发型荧光粉材料来形成第一荧光粉膜31的原 因是：如上所述，在作为放电区域近傍的前面板10的上表面形成荧 光粉膜的场合，根据电子与离子碰撞时的能量而引起发光的特性在 作为放电区域近傍的前面板10的上表面形成第一荧光粉膜31时， 采用该材料比传统的紫外光激发型荧光粉材料更适合。但是采用紫 外光激发型荧光粉材料来形成第一荧光粉膜31也没关系。
4-5.基板温度与荧光粉膜的结晶性
用图6说明形成上述第一的荧光粉膜31时加热玻璃基板的理 由。图6表示第一荧光粉膜31形成时玻璃基板的温度与X线衍射的 (111)方向的峰值强度的关系图。
如图6所示，衍射强度随基板温度上升而上升。这表示荧光粉 形成时基板的温度越高，得到的荧光粉膜的结晶性越高。因此为了 形成结晶性高的荧光粉膜，最好在不对玻璃基板及其上面形成的构 成部件产生不良影响的范围内，加热玻璃基板。
5.关于第一荧光粉膜31的考虑
5-1.薄膜结晶的优越性
如上所述的第一荧光粉膜31由薄膜结晶构成，它具有优良的可 见光透过率，而且从紫外光到可见光的变换效率也高。下面采用图7、 8说明第一荧光粉膜31的优越性。图7是表示入射到由采用厚膜形 成法形成的荧光粉颗粒群构成的荧光粉层表面的紫外光的行进路径 的示图，图8是表示入射到由真空成膜工艺形成的薄膜结晶构成的 荧光粉膜表面的紫外光的行进路径的示图。
如图7所示，在采用厚膜形成法形成的荧光粉层中荧光粉颗粒 的上表面形成无效层(dead layer)。在此无效层的部位上即使吸收 紫外光，其能量传输到发光中心的效率也是低的。因此，可见光的 变换效率低。其中入射到无效层的厚部的紫外光几乎无助于发光。
而如图8所示，在由薄膜结晶组成的第一荧光粉膜31中虽然在 生长初期的层上形成无效层，但很难在膜的上表面形成。因此与由 上述荧光粉颗粒群构成的第二荧光粉层32相比，由薄膜结晶构成的 第一荧光粉膜31的可见光变换效率高。
并且，薄膜结晶是单一固溶体，由于不易散射，所以可见光透 过率非常高。
5-2.关于第一荧光粉膜31膜厚的考虑
下面用图9、10说明上述第一荧光粉膜31的厚度的设定。图9 所示是用于研究第一荧光粉膜31膜厚与发光亮度关系而制作的评价 用试样，图10是表示147nm的受激准分子灯照射在试样上时测定得 到的发光亮度的结果的示图。这里所说的相对亮度，是将由传统的 荧光粉颗粒群构成的荧光粉层的发光亮度设为100表示的亮度的相 对值。
如图9所示，所用的试样是在玻璃基板113面上形成可见光反 射层112，再在其上形成由薄膜结晶构成的荧光粉膜111。
如图10所示，荧光粉膜111的相对亮度在膜厚在2μm以下的范 围内与膜厚成比例而增大，但在2μm以上则出现饱和状态。可知： 饱和状态下的荧光粉膜111的相对亮度约为120，比由荧光粉颗粒群 构成的荧光粉层的亮度大约高20％。
因此，荧光粉膜111的膜厚在2μm附近是最佳的，能够同时在 第一荧光粉膜31上照射紫外光时获得充分的发光亮度并同时确保可 见光透过率。例如，采用上述成分的荧光粉材料形成由薄膜结晶构 成的蓝色荧光粉膜，膜厚为2μm时，就具有非常高的97％的可见光 透过率。
5-3.AC型PDP1中发光效率提高的机理
下面采用图11说明上述AC型PDP1中发光效率提高的机理。
在AC型PDP1中，放电气体发射的紫外光向放电空间40的所有 方向行进。为了说明方便，在图11中向第一荧光粉膜3的方向行进 的紫外光用箭头U1表示，向第二荧光粉层32的方向行进的紫外光 用箭头U2表示。
在图11中箭头V1表示由第一荧光粉膜31将箭头U1的紫外光变 换而通过前面板10的可见光，箭头V2表示由第二荧光粉层32将箭 头U2的紫外光变换而通过前面板10的可见光。箭头V1与箭头V2的 可见光实际上都有助于提高AC型PDP1的发光效率。
在上述传统的AC型PDP中用箭头U1表示的紫外光未被荧光粉层 变换为可见光，而被前面板吸收。
而在AC型PDP1中箭头U1的紫外光通过第一荧光粉膜31变换为 箭头V1的可见光后，发射到屏的外部。
另外，如上所述，由于第一荧光粉膜31的可见光透过率高，因 此箭头U2的紫外光产生的光能够如箭头V2所示发射到外部，不会 浪费，因此具有高的发光效率。
总之，在AC型PDP1中通过在前面板10上形成第一荧光粉膜31， 能够将放电产生的紫外光有效地变换为可见光，同时能将变换后的 可见光有效地发射到外部。因此与传统AC型PDP相比，AC型PDP1 的发光效率较高。
5-4.蓝色荧光粉层之一例
用图12说明AC型PDP1中发光效率与传统AC型PDP相比的优越 性的具体例。图12是表示蓝色荧光粉膜中在前面板上形成的第一荧 光粉膜31的膜厚与屏相对亮度关系的示图。图中相对亮度是将仅在 后面板上设有由荧光粉颗粒群构成的荧光粉层的传统AC型PDP的亮 度取为100时的相对值。
如图12所示，前面板(第一荧光粉膜)的可见光透过率随膜厚 的增加而降低。例如膜厚为2μm时，可见光透过率约97％，膜厚为 6μm时，降低到约85％。
从可见光透过率与第一荧光粉膜31的相对亮度算出的整个屏的 相对亮度用图中圆点符号表示。由图12可知，整个屏的相对亮度在 膜厚为2μm左右时具有峰值，随着膜厚增加，逐渐降低。膜厚为2μm 时的相对亮度如下：
假定在前面板上有第一荧光粉膜31的AC型PDP1中前面板的可 见光透过率为97％，U1/(U1+U2)为30％，则可见光发射率为97％×70 ％+30％＝97.9％。
可见光发射率是由紫外光能变换的可见光中实际从前面板发射 到外部的可见光的比率。
与此形成对照，假定在前面板上没有荧光粉层的传统AC型PDP 中前面板的可见光透过率为100％，U2为70％，则可见光发射率为100 ％×70％＝70％。
因此与传统AC型PDP相比，在前面板10上具有2μm膜厚的第一 荧光粉膜31的AC型PDP1的可见光发射率大约高40％，发光效率也 同样大约高40％。
6.实施例1的变形例
在上述AC型PDP1中全部红色、绿色、蓝色单元上在前面板10 都有第一荧光粉膜31，但是未必一定要在所有颜色的单元上都形成 第一荧光粉膜31。例如通过在上述AC型PDP1中在特定颜色的发光 单元的前面板10一侧上设第一荧光粉膜31，也能够使该色的亮度提 高，提高在屏上显示白色时的色温。
例如在前面板上形成第一荧光粉膜31也可以只是采用一般可见 光变换率低的荧光粉的蓝色单元。对此，本发明人确认AC型PDP中 各色发光单元在同一条件下点亮时白色色温是10000K(图中未表 示)。而在同一条件下点亮的上述传统AC型PDP中是6000K，作为 屏特性的最佳色温在11000K附近，所以能够抑制因色温校正而引起 亮度下降。
但是，在第一荧光粉膜31形成中必须考虑用于各色荧光粉膜中 的荧光粉的成分与特性，然后设定屏的亮度以及作为整体设定适当 的色温。
另外，在以上所述中，以AC型PDP作为一例说明了由薄膜结晶 组成的荧光粉膜的形成方法及设有荧光粉膜的PDP的优越性，但是 也可适用于DC型PDP。
(实施例2)
用图13说明实施例2的AC型PDP2。图13仅表示相当于1个发 光单元部分的AC型PDP2的剖面图。
如图13所示，在AC型PDP2中形成的荧光粉膜(层)只是在前 面板10的表面上形成的第一荧光粉膜31。即在后面板20及障壁30 上不形成荧光粉膜(层)。
除了这点之外，AC型PDP2具有与上述AC型PDP1相同的结构， 采用相同的方法制造。
另外，第一荧光粉膜31具有切口部31a，这一点也与上述AC型 PDP1的相同(图中未表示)。
AC型PDP2在后面板20及障壁30的面上不形成由传统的荧光粉 颗粒群构成的荧光粉层，也能够得到充分高的亮度。如上所述，根 据由薄膜结晶构成的荧光粉膜具有比由荧光粉颗粒群构成的荧光粉 层更高的发光效率，这是能够做到的。
另外，由于能够不在表面上凸起设置障壁30后的后面板20上 涂敷、烧结荧光粉屏来制造AC型PDP2，因此在制造成本上具有优越 性。
另外，在上述实施例1、2中虽然第一荧光粉膜31在面向前面 板10的上表面，即放电空间40的介质保护膜14的面上形成，但如 图14所示，第一荧光粉膜31也可以设在第一介质层13与介质保护 膜14之间。
这样由于二次电子发射特性优良的介质保护膜14露出在放电空 间40上，因此在第一荧光粉膜31上即使在对应于显示电极12的部 分上不形成切口部31a也不会影响放电。
因此在第一荧光粉膜31上不必形成切口部31a，可以增大第一 荧光粉膜31的表面积。由此，在AC型PDP中能实现更高的亮度。
另外，在上述AC型PDP2中，后面板20的第二介质层23的面上 什么也不形成，但通过在面上形成使可见光反射到前面板10上的可 见光反射层或者在第二介质层23中混入TiO2等方法，具有反射可见 光的功能，所以在前面板10中的发光不会发射到后面板20一侧而 浪费，能够在前面板10一侧射出，因此屏的发光亮度能提高相应的 量。在形成可见光反射层的后面板20中，可见光反射率(输入到后 面板的可见光之中被反射的可见光的比例)为85％以上。
(实施例3)
用图15说明实施例3的AC型PDP3。
如图15所示，AC型PDP3与上述AC型PDP2仅在前面板10上形 成第一荧光粉膜31，这一点是相同的，其不同点在于：在前面板10 上形成地址电极22及第二介质层23，在后面板20上形成显示电极 12、第一介质层13与介质保护膜14。
采用此结构时，为了不影响可见光透过，地址电极22及第二介 质层23由可见光透过率高的材料形成。具体地说，地址电极22采 用ITO(Indium Tin Oxide)及SnO2等透明电极，第二介质层23采用 以氧化铅为主成分的铅玻璃。由于在这里地址电极22在屏的短边方 向上形成，同时与显示电极12相比，只有小的电流通过，因此即使 电阻大，在与上述数据驱动器143连接侧相对的一侧的电极端部中 电压降也小。所以即使地址电极22仅由ITO形成，实际上地址放电 (address discharge)也不会受到影响。
另外，由于在第二介质层23的表面上形成的第一荧光粉膜31 在前面板10的内部没有显示电极12，因此不形成上述的切口部31a。 即第一荧光粉膜31在透过可见光的整个区域上形成。
传统技术中，为了减小电阻，在前面板10上形成的显示电极12 中，在透明电极上设置由金属材料构成的总线电极。由此在发光单 元内产生的可见光的一部分被遮住。
由于在上述AC型PDP3中，显示电极12在后面板20上形成，因 此从前面板发射到屏外部的可见光不会被显示电极12遮住。因此AC 型PDP3在提高亮度和发光效率上是有利的。
另外，因为在上述AC型PDP3中，显示电极12和介质保护膜14 跟第一荧光粉膜31不在同一玻璃基板上形成，所以在第一荧光粉膜 31上没有必要设置切口部，因此能确保大的表面积，并且介质保护 膜14是直接面向放电空间40而形成，因此不会损害放电特性，而 且亮度高。例如在42英寸级的NTSC屏中，显示电极占整个单元面积 的近70％的面积。由此在此屏上采用上述AC型PDP3结构的情况下， 与上述AC型PDP1、2那样在前面板上构成显示电极的情况相比，由 于没有切口部，所以可获得约3倍的发光亮度。
另外，即使与上述AC型PDP1、2中前面板10的第一荧光粉膜31 设在第一介质层13与介质保护膜14之间而不设置切口部31a的结构 相比，本实施例的AC型PDP也是有利的，因为在中在前面板10上不 形成遮住可见光的金属材料电极。
因此，在AC型PDP3中能够提高整个屏的发光效率，并且与上述 同样，能够确保高的发光亮度。
另外，在上述实施例2、3中在后面板20的面上与障壁30的面 上第一荧光粉膜31与第二荧光粉层32虽然都不形成，但在如要进 一步提高屏发光效率，在该部位上形成荧光粉也是有效的。但是， 在实施例3中在后面板20上形成第一荧光粉膜31或第二荧光粉层32 的场合，最好形成上述切口部31a。
(实施例4)
下面说明实施例4的AC型PDP4。
另外，由于AC型PDP4具有与传统AC型PDP类似的结构，因此 省略图示，仅说明其不同点。
AC型PDP4与传统AC型PDP的不同点在于：在传统的形成由荧 光粉颗粒群构成的荧光粉层的后面板上采用薄膜结晶的荧光粉膜来 构成。
在具有这种结构的AC型PDP4中，形成发光效率高的荧光粉膜的 区域比上述AC型PDP2、3的大，因此在屏的发光效率这一点上是优 良的。
另外，如果在可见光反射层中第一荧光粉膜31的内侧设置凹凸， 则由于第一荧光粉膜31的有效表面积扩大，因此是有效果的。
另外，可见光反射层与上述实施例2的相同。
这样，由于在具有使可见光反射的功能的AC型PDP4中前面板10 中的发光不会发射到后面板20一侧而浪费，能够在前面板10一侧 取出，所以屏的发光亮度相应地提高。在形成可见光反射层的后面 板20中可见光反射率(在输入到后面板的可见光中被反射的可见光 所占的比例)大于85％。
通过这种凹凸，例如使可见光反射层的表面成为阶梯形或形成 多个凸起等，能够进一步扩大平滑面的面积。
再有，由AC型PDP4的后面板20与上述AC型PDP1的前面板10 的组合而得到的AC型PDP，具有更高的亮度和更优良的屏特性。
另外，显示电极12的形成位置不仅限定于前面板10，也可以如 上述实施例3那样，在后面板20侧形成。
在以上的实施例1～4中，都是以AC型PDP作为例子说明的，但 并不限定于AC型PDP，在DC型PDP中采用上述结构，也能够获得同 样的效果。
工业上的利用可能性
本发明的PDP及其制造方法对于计算机、电视机等的显示装置， 特别对于实现高精细、高亮度的显示装置是有效的。