专利汇可以提供一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种三轴预调制低噪声磁 电阻 传感器 ,包括X,Y和Z轴磁电阻传感器,X,Y和Z轴磁电阻传感器分别包括X,Y和Z轴磁电阻传感单元阵列,X,Y和Z轴软磁通量集中器阵列,以及X,Y和Z轴预调制 导线 阵列,X,Y和Z轴磁电阻传感单元阵列分别电连接成X,Y和Z轴磁电阻传感电桥,所述X,Y和Z轴预调制导线阵列分别电连接成两端口X,Y和Z轴激励线圈,测量外 磁场 时,X,Y和Z轴两端口激励线圈分别通过f 频率 高频交流激励电源,X,Y,Z轴磁电阻传感器输出频率为2f谐波 信号 分量,并经解调可以得到X,Y和Z轴低噪声信号。本实用新型具有结构简单,小尺寸和低噪声的优点。(ESM)同样的 发明 创造已同日 申请 发明 专利,下面是一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器专利的具体信息内容。
1.一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,包括X轴磁电阻传感器、Y轴电阻传感器和Z轴磁电阻传感器,其特征在于,
所述X轴磁电阻传感器包括X轴磁电阻传感单元阵列、X轴软磁通量集中器阵列以及X轴调制导线阵列,所述X轴磁电阻传感单元阵列电连接成X轴磁电阻传感电桥,所述X轴调制导线阵列电连接成两端口X轴激励线圈,在测量外磁场时,所述X轴激励线圈用于通过频率为f的高频交流激励电源,X轴磁电阻传感电桥用于输出频率为2f的谐波信号分量,并经解调得到X轴低噪声信号;
所述Y轴低噪声磁电阻传感器包括Y轴磁电阻传感单元阵列、Y轴软磁通量集中器阵列以及Y轴调制导线阵列,所述Y轴磁电阻传感单元阵列电连接成Y轴磁电阻传感电桥,所述Y轴调制导线阵列电连接成两端口Y轴激励线圈,在测量外磁场时,所述Y轴激励线圈用于通过频率为f的高频交流激励电源,所述Y轴磁电阻传感电桥用于输出频率为2f的谐波信号分量,并经解调得到Y轴低噪声信号;
所述Z轴低噪声磁电阻传感器包括Z轴磁电阻传感单元阵列、Z轴软磁通量集中器阵列以及Z轴调制导线阵列,所述Z轴磁电阻传感单元阵列电连接成Z轴磁电阻传感电桥,所述Z轴调制导线阵列电连接成两端口Z轴激励线圈,在测量外磁场时,所述Z轴激励线圈用于通过频率为f的高频交流激励电源,所述Z轴磁电阻传感电桥用于输出频率为2f的谐波信号分量,并经解调得到Z轴低噪声信号。
2.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感单元阵列、Y轴磁电阻传感单元阵列和Z轴磁电阻传感单元阵列具有相同的磁场敏感方向,且构成所述X轴磁电阻传感单元阵列、Y轴磁电阻传感单元阵列和Z轴磁电阻传感单元阵列的磁电阻传感单元的晶圆通过同一磁场退火工艺得到。
3.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感单元阵列具有+X轴和-X轴磁场敏感方向,所述Y轴磁电阻传感单元阵列具有+Y轴和-Y轴磁场敏感方向,且二者的磁场敏感方向分别通过激光程控扫描加热退火获得,所述Z轴磁电阻传感单元具有X或者Y轴磁场敏感方向。
4.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感器、Y轴磁电阻传感器分别通过单磁场敏感方向元切片翻转90、180、270度得到。
5.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,构成所述X轴磁电阻传感单元阵列、Y轴磁电阻传感单元阵列和所述Z轴磁电阻传感单元阵列的磁电阻传感单元为GMR,TMR或者AMR。
6.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感电桥、Y轴磁电阻传感电桥、Z轴磁电阻传感电桥分别为半桥,全桥或者准桥结构。
7.根据权利要求2所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感器为参考桥式X轴磁电阻传感器,所述X轴磁电阻传感单元阵列包括位于所述X轴软磁通量集中器阵列间隙处的X轴敏感磁电阻传感单元串以及位于X轴软磁通量集中器上表面或者下表面Y轴中心线位置的X轴参考磁电阻传感单元串,所述X轴调制导线阵列的X轴调制导线平行于所述Y轴中心线且位于所述X轴软磁通量集中器中,以和所述X轴软通量集中器形成软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合结构,所述软磁材料层和所述调制导线层之间通过绝缘材料层隔离,且相邻两个所述X轴调制导线具有相反电流方向。
8.根据权利要求7所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴软磁通量集中器阵列包括敏感软磁通量集中器和参考软磁通量集中器,任意两个相邻的所述X轴参考磁电阻传感单元串、任意两个相邻的所述X轴敏感磁电阻传感单元串分别位于所述参考软磁通量集中器、所述敏感软磁通量集中器上表面或者下表面相对于Y轴中心线对称的两个位置处,所述X轴调制导线分别位于所述参考软磁通量集中器或所述敏感软磁通量集中器中并和其Y轴中心线平行,以形成所述软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合结构。
9.根据权利要求2所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感器为具有U型软磁通量集中器的X轴推挽桥式磁电阻传感器,所述X轴软磁通量集中器阵列包括多个U型软磁通量集中器,每个所述U型软磁通量集中器具有两个叉指,所述多个U型软磁通量集中器交错设置使得相邻U型软磁通量集中器之间形成有叉指间隙,所述X轴磁电阻传感单元阵列包括分别交替位于所述U型软磁通量集中器的叉指间隙中的推磁电阻传感单元串和挽磁电阻传感单元串,所述X轴调制导线阵列的调制导线位于所述U型软磁通量集中器的叉指中,以形成软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合结构,所述软磁材料层和所述调制导线层之间通过绝缘材料层隔离,且相邻两个所述调制导线具有相反电流方向。
10.根据权利要求2所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感器为H型软磁通量集中器-U型软磁通量集中器混合型X轴推挽桥式磁电阻传感器,所述X轴软磁通量集中器阵列包括H型软磁通量集中器和U型软磁通量集中器,所述H型软磁通量集中器和U型软磁通量集中器分别具有叉指且交错设置以形成叉指间隙,所述X轴推挽桥式磁电阻传感单元阵列包括分别交替位于所述H型软磁通量集中器和U型软磁通量集中器之间的叉指间隙中的推磁电阻传感单元串和挽磁电阻传感单元串,所述X轴调制导线阵列的调制导线位于所述叉指中,以形成软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合结构,所述软磁材料层和所述调制导线层之间通过绝缘材料层隔离,且相邻两个所述调制导线具有相反电流方向。
11.根据权利要求2所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述Y轴磁电阻传感器为Y轴梳状叉指型推挽桥式磁电阻传感器,所述Y轴软磁通量集中器阵列包括两组相对设置的软磁通量集中器,每组所述软磁通量集中器包括梳座、自所述梳座向另一组软磁通量集中器延伸的叉指,两组软磁通量集中器的叉指交错设置,所述Y轴磁电阻传感单元阵列包括交替位于所述叉指间隙中的推磁电阻传感单元串和挽磁电阻传感单元串,所述Y轴调制导线阵列的调制导线位于所述叉指中,以形成软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合结构,所述软磁材料层和所述调制导线层之间通过绝缘材料层隔离,且相邻两个所述调制导线具有相反电流方向,所述X轴连接导线位于偏离梳座的区域;或者所述调制导线位于所述梳座中形成软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合结构,且两个梳座中的所述调制导线具有相反电流方向。
12.根据权利要求2所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述Y轴磁电阻传感器为软磁通量集中器块状阵列型推挽桥式磁电阻传感器,所述Y轴软磁通量集中器阵列包括分别为N行M列和N-1行M列的两个沿Y方向错位排列的软磁通量集中器块阵列一和阵列二,所述Y轴磁电阻传感单元阵列包括交替位于所述软磁通量集中器块阵列一和阵列二之间的间隙处的推磁电阻传感单元和挽磁电阻传感单元,所述Y轴调制导线阵列的调制导线沿着所述软磁通量集中器块阵列一和阵列二的软磁通量集中器块行交替排列,且和所述软磁块形成软磁材料层/调制导线层/软磁材料层复合复合结构,且相邻所述调制导线具有相反电流方向。
13.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述Z轴磁电阻传感器为包含软磁通量集中器阵列的推挽桥式磁电阻传感器,所述Z轴磁电阻传感单元阵列包括推磁电阻传感单元串和挽磁电阻传感单元串,所述推磁电阻传感单元串和挽磁电阻传感单元串位于所述软磁通量集中器的上表面或者下表面且相对于Y轴中心线对称的两位置,所述Z轴调制导线阵列的调制导线位于所述软磁通量集中器中形成软磁材料层/调制导线/软磁材料层的复合结构,相邻两所述调制导线具有相反电流方向。
14.根据权利要求1所述的一种三轴预调制低噪声磁电阻传感器,其特征在于,所述X轴磁电阻传感器和Y轴磁电阻传感器均为一种多层结构预调制低噪声磁电阻传感器,所述X轴软磁通量集中器包括多个间隔设置的X轴软磁通量集中器,所述Y轴软磁通量集中器包括多个间隔设置的Y轴软磁通量集中器,所述X轴磁电阻传感单元阵列包括分别位于所述X轴软磁通量集中器间隙处的X推磁电阻传感单元串和X挽磁电阻传感单元串,所述Y轴磁电阻传感单元阵列包括分别位于所述Y轴软磁通量集中器间隙处的Y推磁电阻传感单元串和Y挽磁电阻传感单元串。
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