Magnetic recording medium
专利汇可以提供Magnetic recording medium专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE: To enhance coercive force, to reduce noise and to improve electromagnetic transducing characteristics by forming a magnetic film with a specified alloy having a required ratio among the components.
CONSTITUTION: The CoCrPtNiB magnetic film of this magnetic recording medium is formed with an alloy consisting of, by atom, 5-15% Ni, 1-15% Cr, 1-12% Pt, 0.1-5% B and the balance Co. High coercive force of ≥1,200 Oe, ≥30 dB S/N and reduced noise are attained and electromagnetic transducing characteristics are improved because of high saturation magnetization of ≥10kG. When 0.1-5% Ru and 0.1-5% Ti are added to the film forming alloy, similar effects are produced without deteriorating the corrosion resistance.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio，下面是Magnetic recording medium专利的具体信息内容。
０．１〜５％、残部Ｃｏからなる合金によって形成したことを特徴とする磁気記録媒体。
０．１〜５％、Ｒｕ０．１〜５％、残部Ｃｏからなる合金によって形成したことを特徴とする磁気記録媒体。
添加させた磁気記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの間において情報の記録および再生を行なうための磁気記録媒体に関し、特にノイズを低減し、かつ保磁力を向上したものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになっている。 磁気記録媒体は、基板材料にＣｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ等の合金からなる磁性膜を被着して形成されており、最近では磁気記録媒体を高記録密度にするため、磁性膜の保磁力を大きくすることが種々提案されている。
【０００３】例えば特開平１−２５６０１７号公報には、磁性膜をＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ−Ｐｔの四元系合金で作成した磁気記録媒体が開示されている。 そしてＰｔ添加量１〜１５ａｔ％で保磁力が約１２００Ｏｅより大きく、また角形比が０．８以上になるとしている。 また外国専門誌Magnetism and Magnetic Materials. 86 (199
0) 159-168.には、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ磁性膜においてＰ
ｔの含有量により磁気特性がどのような影響を受けるかを記載している。 そして図１（ｂ）に示すようにＰｔ１
２ａｔ％で保磁力が１０００Ｏｅ以上になり、角形比はＰｔ６〜１８％で０．７〜０．９になり、また残留磁化及び飽和磁化についても図１（ａ）に示す傾向があるとしている。
【０００４】さらに特開平１−２３２５２２号公報には、磁気記録媒体の磁性膜として、Ｎｉの添加量が３０
％以下のＣｏＮｉ系合金で作成したものが開示されている。 そしてＮｉの添加量を３０％以下にしたのは、それ以上に添加すると磁性膜の残留磁化が大幅に低下し、電磁変換特性が劣化するためであると記載している。 またＣｏＮｉ系合金で作成した磁性膜は、保磁力が７００〜
１５００Ｏｅとなり、飽和磁化が８０００〜１３９００
ガウスになるとしており、さらに耐食性が向上すると記載している。
【０００５】また第１４回日本応用磁気学会（１９９０
年）では、ＣｏＣｒＴａおよびＣｏＣｒＰｔに対しＢを添加することにより保磁力が影響を受けることが発表されている。 そしてＣｏＣｒＴａへのＢ添加量を増すと保磁力が単調に減少し、ＣｏＣｒＰｔの場合はＢの添加量を増すと保磁力は増加するとしている。 またＣｏＣｒＰ
ｔにＢを３〜７ａｔ％添加することにより約３０００Ｏ
ｅの高保磁力が得られるとしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術に記載したように、Ｃｏ系合金を使用した磁性膜が種々作成されているが、保磁力、残留磁化、Ｓ／Ｎ比の全てが十分に好ましいものは得られていない。 またＣｏ系合金にＮｉ
を添加した材料により作成した磁性膜は、保磁力と飽和磁化の点において満足できるが、Ｓ／Ｎ比が小さくノイズを十分に低減できないものがあった。 これは、Ｎｉを３０％以下の添加量としていて、Ｓ／Ｎ比の向上を考慮していないためである。 またＣｏＣｒＰｔにＢを添加した合金で作成した磁性膜は、前記のように保磁力が向上することが知られている。 しかしＣｏＣｒＰｔにＢを５
〜７％添加した合金により磁性膜を形成したところ、保磁力は向上したがＳ／Ｎ比が低下してノイズが大きくなることがあった。 そこで本発明は、磁気記録媒体の保磁力を向上するとともに、ノイズを低減しさらに飽和磁化を好ましいものにすることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、ＣｏＣｒ
ＰｔＮｉにＢを種々の割合で添加した合金により磁性膜を作成し、保磁力、Ｓ／Ｎ比、飽和磁化の全てにおいて望ましい磁性膜を完成した。 すなわち本発明の磁気記録媒体は、その磁性膜を、原子％でＮｉ５〜１５％、Ｃｒ
１〜１５％、Ｐｔ１〜１２％、Ｂ０．１〜５％、残部Ｃ
ｏからなる合金によって作成した。 また本発明は、磁性膜を前記組成に対してＲｕを０．１〜５％添加して作成したり、あるいはさらにＴｉを０．１〜５％添加して作成したものを含む。 上記においてＮｉを５〜１５％とし、Ｃｒを１〜１５％とし、Ｐｔを１〜１２％としたのは、それら範囲外ではＳ／Ｎ比が劣るためである。 Ｂを０．１〜５％とにしたのは、その範囲外では保磁力とＳ
／Ｎ比の点で劣るからである。 ＲｕとＴｉの添加量を前記範囲にしたのは、その範囲外では耐食性が劣るからである。
【０００８】
【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜がＣｏＮｉＣｒ
ＰｔＢの五元系元素からなり、Ｎｉは５〜１５原子％含有するようにしたので、保磁力が１２００Ｏｅ以上と大きく、Ｓ／Ｎ比は３０以上となってノイズの低減を図ることができ、さらに飽和磁化が１０Ｋガウス以上になるので電磁変換特性を好ましいものにすることができる。
【０００９】
【実施例】３．５インチ径のアルミニウム合金基板（外径９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚さ１．２７ｍｍ）の表面にＮｉＰ無電解メッキ膜を５〜１５μｍの厚さに形成し、表面を鏡面加工してディスクを作成した。 このディスクを洗浄後、表面にテクスチャー加工をし、表面の面粗さをＲａ７ｎｍとした。 再びディスクを洗浄後、ＤＣ
マグネトロンスパッター装置を用い、スパッタ室内を１
×１− -5 Ｔｏｒｒ以下に排気後、Ａｒガスを導入し、室内の圧力を５ｍｍＴｏｒｒに保持し、投入圧力２０００
Ｗ、成膜速度４０ｎｍ／分の条件で下地Ｃｒ層を５０ｎ
ｍの厚さに成膜した。 この時、ディスクの温度は２００
℃であった。 さらにこの下地膜の上に磁性膜を成膜した。 なお磁性膜はＣｏＮｉＣｒＰｔＢ合金（表１に示す）と、それにＲｕを添加した合金（表２に示す）、さらにＴｉを添加した合金（表２に示す）で作成した。 磁性膜のスパッタ時の投入電力は２００Ｗ、成膜速度１０
０ｎｍ／分で膜厚を５０ｎｍとした。 この全工程中ディスク温度はほぼ２００℃に保った。 さらに磁性膜上に保護膜としてカーボン膜を成膜し、その成膜条件は投入電力１０００Ｗ、成膜速度８ｎｍ／分で厚さを３０ｎｍとした。
【００１０】上記のようにして作成した磁気記録媒体について、保磁力Ｈｃ、飽和磁化４πＭｓおよび残留磁化４πＭｒをＶＳＭを用い印加磁場１０Ｋガウスで測定した。 測定に使用した磁気ヘッドは、ＣａＴｉＯ 3をスライダー材とし、ＭｎＺｎフェライトにセンダストの薄膜をスパッターで成膜したＭＩＧヘッドを用いた。 また磁気ヘッドのトラック幅は１３μｍ、スライダー幅は６０
０μｍ、ジンバルバネ圧９．５ｇで、ディスクの半径は２４ｍｍの位置でディスク回転数３６００ｒｐｍの条件で測定した。
【００１１】まずディスクに線記録密度３０ＫＦｃｌで書き込み、０〜２０ＭＨｚの帯材でノイズを含まない再生信号をスペクトロアナライザーにより測定する。 次に使用した測定機器の磁気ヘッドを含むノイズを同一条件で測定し、さらにｒｍｓ電圧側を使用してノイズ電力を測定し、更生用データとする。 媒体ノイズは、再生時のノイズより測定機器ノイズを差し引いた値を、ｒｍｓ値更生用データと比較参照し、算出した。 このような方法で前記作成した磁気記録媒体のＳ／Ｎ比を用いた。 そして得られた測定結果を下記の表１と表２に示した。
【００１２】
【表１】
【００１３】表１よりＰｔ含有量が１％未満および１５
％より大きいとＳ／Ｎ比が劣る。 またＣｒは含有させない場合、および１８％以上ではＳ／Ｎ比が劣り、Ｎｉは３％未満、および１８％以上ではＳ／Ｎ比が劣り、Ｂは１％未満および６％以上でＳ／Ｎ比が劣ることがわかる。 また表１より飽和磁化に関しては、Ｐｔ含有量が１
５％と多くなると劣り、残留磁化に関しては、Ｃｒ添加量が１６％と多くなると劣っている。 さらに保磁力に関しては、Ｐｔの添加量が０になると劣っている。 以上より磁性膜を、原子％でＮｉ５〜１５％、Ｃｒ１〜１５
％、Ｐｔ１〜１２％、Ｂ０．１〜５％、残部Ｃｏからなる合金によって作成するのが望ましい。
【００１４】
【表２】
【００１５】表２よりＲｕ添加量は０．１〜５％にし、
Ｔｉ添加量は０．１〜５％にするのが、ＨｃおよびＳ／
Ｎ比の点で望ましい。
【００１６】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、ＣｏＮｉＣｒ
ＰｔＢの五元系元素であってＮｉを５〜１５％にし、またＢを０．１〜５％にした合金で磁性膜を作成しているので、Ｓ／Ｎ比が大きくなってノイズが低減され、しかも残留磁化がある程度大きいために電磁変換特性が向上し、さらに保磁力も向上したものとなる。
【図１】従来例の磁性膜の残留磁化と飽和磁化とを示す図（ａ）と、保磁力と角形比を示す図（ｂ）である。
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