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X-선 결정방위 측정장치

阅读:433发布:2021-06-09

专利汇可以提供X-선 결정방위 측정장치专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且본고안은 X-선의회절을이용하여시료의결정방위를측정하는장치에관한것으로, X-선검출기(8)의광축이입사 X-선(1)의광축에대하여소정의테이크-오프앵글을가지도록하고, 입사 X-선(1)이관통할수 있는경로를확보한프리즘(5)과대물렌즈(6)및광학현미경또는 TV 카메라(4)를포함하는가시광선광학계와스텝모터를포함하는시료구동장치(9)를설치구비하는것을특징으로한다. 이러한구성에의해본 고안의장치는시료에대한제약이없고회절정보를디지탈신호처리하여결정방위에대한온-라인분석이가능하며, 시료의구동을원격제어할수 있어시료의전 영역에대한결정방위분포측정을자동수행할수 있는시스템의제공이가능하다.,下面是X-선 결정방위 측정장치专利的具体信息内容。

  • X-선 회절을 이용하여 시료의 결정방위 측정을 하기 위한 장치로서, X-선 검출기(8)의 광축이 입사 X-선(1)의 광축에 대하여 테이크-오프 앵글을 가지도록 하고, 입사 X-선이 관통할 수 있는 경로를 확보한 프리즘(5)과 대물렌즈(6) 및 광학현미경 또는 TV 카메라(4)를 포함하는 가시광선 광학계를 설치 구비하는 것을 특징으로 하는 X-선 결정방위 측정장치.
  • 제 1항에 있어서, 상기 장치가 시료(2)를 X-선 광축의 수직 또는 수평방향으로 구동시키는 스텝모터를 포함하는 시료 구동장치(9)를 또한 설치 구비하는 것을 특징으로 하는 X-선 결정방위 측정장치.
  • 说明书全文

    X-선 결정방위 측정장치

    본 고안은 X-선의 회절현상을 이용하여 결정의 방위를 측정하는 장치에 관한 것이다.

    X-선은 결정의 방위를 측정하는데에 이용될 수 있다. 이러한 X-선 이용결정방위 측정방법은 라우에(Laue)사진법으로 잘 알려져 있으며, 투과법과 반사법이 있다. 라우에 사진법에서는 연속 X-선을 이용하며, 결정의 특정한 격자면에 대해서 회절의 조건을 만족하는 파장의 X-선에 의하여 발생한 회절 X-선이 건판상에 형성한 회절반점의 기하학적인 배치로부터 결정의 방위를 측정한다. 투과법은 X-선이 투과할 수 있도록 시료를 얇게 가공하여야 하는 문제가 있다. 반사법에서는 필름이 X-선 발생장치와 시료 사이에 위치하기 때문에, 입사 X-선이 필름을 통과하여 시료에 조사될 수 있도록 필름의 가운데에 구멍을 뚫어야 하는 단점이 있다.

    오늘날에는 X-선 카메라, 2차원 PSPC, 이미징 플레이트(Imaging-Plate)와 같은 2차원 X-선 검출장치 및 1차원 PSPC, X-선 어레이 디텍터(array detector)와 같은 1차원 X-선 검출장치가 발달되어 있어서 회절 X-선의 강도분포를 2차원적인 디지탈 신호로 측정함으로써, 컴퓨터를 이용하여 결정의 방위를 온-라인(on-line)으로 해석하고자 하는 노력이 이루어지고 있다. 그러나, 이러한 노력은 모두 라우에 사진법의 투과법의 원리에 기초한 것이다. 이러한 이유는 라우에 사진법에 반사법의 원리를 이용하고자 하는 경우, 입사 X-선을 시료에 조사하기 위한 경로를 확보하는데에 기술상의 어려움이 있기 때문이다.

    본 고안은 종래 라우에 사진법의 반사법과 같이 시료의 두께에 대한 제약이 없으면서도, 건판 대신에 이미지 플레이트나 X-선 카메라와 같은 X-선 검출장치를 설치 사용할 수 있는 구조의 X-선 결정방위 측정장치를 제공하는데에 그 목적이 있다.

    도1은 본 발명에 따른 X-선 결정방위 측정장치의 구성개요도.

    * 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

    1: 입사 X-선2: 시료3: 콜리메이터

    4: 광학현미경 또는 TV 카메라(4)5: 프리즘

    6: 대물렌즈7: 회절 X-선8: X-선 검출기

    9: 시료 구동장치

    상기의 목적을 달성하기 위한 본 고안은 X-선 검출기의 광축이 입사 X-선의 광축에 대하여 테이크-오프 앵글(take off angle)을 가지도록 함으로써 X-선 검출기가 입사 X-선의 경로를 차단하지 않도록 하고, 입사 X-선이 관통할 수 있는 경로를 확보한 프리즘과 광학렌즈를 이용하여 입사 X-선의 광축과 일치하는 광축을 가지는 가시광선의 광학계를 설치 구비하는 것을 특징으로 하는 X-선 결정방위 측정장치를 제공한다. 상기 가시광선의 광학계는 시료의 표면을 관찰하기 위한 것으로, 여기에는 광학현미경 또는 TV 카메라를 설치사용한다.

    이하에서, 본 고안을 첨부도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다.

    도1은 본 고안에 따른 장치의 구성개요를 도식적인 방법으로 나타낸 것이다.

    X-선 발생장치에서 발생한 연속 입사 X-선(1)은 콜리메이터(3)를 통과한 후 시료(2)에 조사된다. 콜리메이터(3)는 광축을 벗어나 X-선을 차폐함으로써, 입사 X-선(1)이 적당한 굵기의 평행광으로 되어서 시료(2)에 조사되도록 한다.

    프리즘(5)은 가시광선을 이용하는 광학계의 광측이 입사 X-선(1)의 광축과 일치하도록 하는 역할을 한다. 여기에는 입사 X-선(1)의 진행경로를 확보하기 위한 구멍이 있어야 한다. 가시광선의 광학계는 대물렌즈(6), 프리즘(5) 및 광학현미경 또는 TV카메라(4)로 구성되며 시료(2)의 형상 관찰 및 X-선이 조사되는 위치의 선정을 위하여 필요로 한다.

    입사 X-선(1)이 시료(2)에 조사되어 발생하는 회절 X-선(7)은 X-선 검출기(8)에 의하여 디지탈 정보가 포함되어야 하므로, X-선 검출기(8)가 2차원 검출기인 경우에는 검출기의 위치가 고정되지만, 1차원 검출기인 경우에는 검출기 어레이(array)의 축에 대하여 수직한 방향으로 구동시킬 수 있는 구조를 가져야 한다. X-선 검출기(8)에서 검출한 회절 X-선(7)의 위치와 강도에 대한 디지탈 신호를 컴퓨터를 이용하여 온-라인으로 해석함으로써, 결정방위의 해석을 자동화할 수 있다.

    시료(2)를 X-선광축의 수직 방향 및 수평 방향으로 구동할 수 있도록 스텝모터에 의하여 구동되는 시료 구동장치(9)를 설치한 경우에는, 디지탈 제어에 의하여 시료의 구동을 자동화시킬 수 있으므로 시료를 구성하는 결정의 방위 분포에 대한 분석을 자동화할 수 있다.

    따라서, 이러한 본 고안의 X-선 결정방위 측정장치는 시료의 두께에 대한 제약이 없고, 회절의 정보를 디지탈 신호로 얻을 수 있어서 컴퓨터를 이용한 디지탈 신호처리로 결정방위에 대한 온-라인 분석이 가능하며, 스텝 모터를 이용하여 시료의 구동을 원격제어할 수 있기 때문에 시료의 전영역에 대해서 결정방위의 분포에 대한 측정을 자동적으로 수행할 수 있도록 시스템을 설계사용할 수 있는 효과가 있다.

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