| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 电子回旋共振离子源 | CN201910091768.7 | 2019-01-30 | CN109786205B | 2021-02-05 | 李家庆; 孙良亭; 张雪珍; 曹云; 王辉; 谢祖祺 |
| 本发明提供一种电子回旋共振离子源，用于产生离子束流，该电子回旋共振离子源包括永磁体装置、与所述永磁体装置的一端连接的注入装置及与所述永磁体装置另一端连接的引出装置，所述永磁体装置包括依次连接的注入磁环、六极磁环及引出磁环，所述注入磁环和所述引出磁环共同提供轴向约束磁场，所述六极磁环提供径向六极磁场。 | ||||||
| 2 | 电子回旋共振离子源 | CN201910091768.7 | 2019-01-30 | CN109786205A | 2019-05-21 | 李家庆; 孙良亭; 张雪珍; 曹云; 王辉; 谢祖祺 |
| 本发明提供一种电子回旋共振离子源，用于产生离子束流，该电子回旋共振离子源包括永磁体装置、与所述永磁体装置的一端连接的注入装置及与所述永磁体装置另一端连接的引出装置，所述永磁体装置包括依次连接的注入磁环、六极磁环及引出磁环，所述注入磁环和所述引出磁环共同提供轴向约束磁场，所述六极磁环提供径向六极磁场。 | ||||||
| 3 | 电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置 | CN201510530438.5 | 2010-07-16 | CN105101604A | 2015-11-25 | 张志振; 黄昆平; 李侃峰 |
| 本发明公开一种电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置，其中该磁性模块具有多层导磁环体以及多个磁柱，每一个导磁环体具有一内环壁与一外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔。该多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体所具有的磁柱的磁场方向相反。利用该磁性模块的电子回旋共振装置能在高真空下运作以利于基材上形成单原子层的镀膜。 | ||||||
| 4 | 电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置 | CN201010232871.8 | 2010-07-16 | CN102340921A | 2012-02-01 | 张志振; 黄昆平; 李侃峰 |
| 本发明公开一种电子回旋共振磁性模块与电子回旋共振装置，其中该磁性模块具有多层导磁环体以及多个磁柱，每一个导磁环体具有一内环壁与一外环壁，每一个导磁环体内开设有多个径向孔。该多个磁柱，其分别嵌入于该多层导磁环体所具有的径向孔内，其中，相邻的两导磁环体所具有的磁柱的磁场方向相反。利用该磁性模块的电子回旋共振装置能在高真空下运作以利于基材上形成单原子层的镀膜。 | ||||||
| 5 | 一种电子回旋共振放电装置及应用 | CN202310620304.7 | 2023-05-30 | CN116390320A | 2023-07-04 | 王瑶瑶; 刘成周; 何杨; 赵一舟; 马文东; 朱梁; 单家芳 |
| 本发明公开了一种电子回旋共振放电装置及应用，包括馈电波导、波导功率分配器、微波天线以及放电室，馈电波导与放电室的放电腔体垂直，通过波导功率分配器与微波天线连接；波导功率分配器选用Y形功率分配器，对称设置于微波天线上表面；椭圆形的微波天线设置于放电室顶部，阵列设置有多个缝隙；放电室侧壁上设置进气口，进气口用于向放电室通入工作气体；工作时，微波源产生的微波从馈电波导端口输入，经过功率分配器传输给微波天线，通过缝隙在放电室击穿所述工作气体并产生等离子体。该装置解决了现有技术中存在的结构复杂、操作不便、辐射不均匀以及体积受限的问题。 | ||||||
| 6 | 电子回旋共振加热系统真空抽气波导 | CN201210531624.7 | 2012-12-11 | CN103874317A | 2014-06-18 | 陈罡宇; 周俊; 夏冬辉; 雷建新 |
| 本发明属于微波技术领域，具体涉及一种电子回旋共振加热系统真空抽气波导。本发明的抽气波导包括两个波纹波导、一个波导套管及一个真空抽口；两个波纹波导分别与传输系统的传输线相连，二者通过波导套管同轴定位组成一个整体，二者之间留有一定间隙；波导套管设有真空抽口，真空抽口连接真空抽气机组，用于传输系统的真空抽气。本发明的抽气波导解决了现有抽气波导难以兼顾有效抽速大且微波功率损耗小技术要求的技术问题；适用于传输线真空抽气，有效抽速大且微波功率损耗小，使传输系统能够稳定高效的传输大功率微波。 | ||||||
| 7 | 一种长寿命电子回旋共振离子源 | CN201110227874.7 | 2011-08-10 | CN102931047A | 2013-02-13 | 林世勇; 袁萍 |
| 本发明公布了一种长寿命电子回旋共振(ECR)离子源的新结构。在该结构中，波导采用脊波导设计，脊波导外围加磁场。与波导连接的微波窗位于离子源的中上部，微波窗下端高于离子源的中心。这一独特设计使ECR离子源从根本上避免了高能返流二次电子束对微波窗的破坏，从而提高ECR离子源寿命，使其连续工作寿命在一年以上，达到工业生产设备长期运行的条件。 | ||||||
| 8 | 电子回旋共振等离子体源 | CN200780035241.8 | 2007-08-08 | CN101517691B | 2012-06-20 | J·马伊; V·费尔; B·拉乌 |
| 本发明涉及一种电子回旋共振等离子体源，包括同轴的微波供给线，它具有内导体和外导体，内导体以其一个端头作为天线绝缘地穿过真空法兰，该真空法兰将壁中通往等离子体室的孔口封闭。与微波供给线同轴地设置多极磁体装置，其磁场穿过真空法兰，并在等离子体室中与天线同轴地形成环形缝隙磁场(12)。天线直接伸入到等离子体室中，对置于内导体具有在径向加大的天线头(14)，在该天线头上平行于真空法兰有一个底面(15)，在真空法兰和底面之间形成环形缝隙(16)；等离子体室与天线同轴地和径向上在环形缝隙磁场的外面由一个屏蔽(13)加以限界，该屏蔽的背向真空法兰的端面确定出等离子体出口(25)。 | ||||||
| 9 | 一种电子回旋共振离子源 | CN201110026605.4 | 2011-01-25 | CN102117727A | 2011-07-06 | 彭士香; 袁忠喜; 任海涛; 吕鹏南; 郭之虞 |
| 本发明提供了一种电子回旋共振离子源，尤其是一种能直接观察离子源内放电过程的新型结构全永磁强流电子回旋共振(ECR)离子源。本发明采用了透光性高的石英玻璃来做放电室；石英玻璃造成的微波泄露可通过石英玻璃外部的带有窗口的特殊结构金属壳体来屏蔽；电子回旋需要的磁场用多个分离的永磁环来产生，环与环之间有多个空隙。这样，穿过屏蔽壳体的窗口、永磁环间空隙、透光的石英玻璃，可以从多个角度、多个位置无干扰地实时观察放电室内所发生的所有过程和等离子体的各种形态，可以无干扰地开展等离子体光谱学诊断研究工作。 | ||||||
| 10 | 利用电子回旋共振沉积非晶硅薄膜 | CN200680056279.9 | 2006-11-14 | CN101573469A | 2009-11-04 | P·罗卡艾卡巴罗卡斯; P·布尔金; D·戴尼卡; T·H·道; P·里姆波尔; P·德斯坎普斯; T·柯弗茵德米伦德尔 |
| 描述了一种用于通过从等离子体沉积在衬底上形成非晶硅(aSi:H)薄膜的方法。所述衬底被放置在壳体中，薄膜前驱气体被引入壳体中，并且未反应的和解离的气体被从所述壳体抽取，以在所述壳体中提供低压。将微波能量引入所述壳体内的气体中以便通过分布式电子回转共振(DECR)在其中产生等离子体，并使材料从等离子体沉积在衬底上。所述衬底在沉积期间被保持在200－600摄氏度范围内的温度上，最好225到350摄氏度，并且，处于引起－30到－105V范围内的鞘层电势的电平的偏置电压被施加于所述衬底，最好使用在衬底支架面积的50到250亳瓦/平方厘米的范围内的RF功率源。 | ||||||
| 11 | 电子回旋共振等离子体源 | CN200780035241.8 | 2007-08-08 | CN101517691A | 2009-08-26 | J·马伊; V·费尔; B·拉乌 |
| 本发明涉及一种ECR等离子体源，包括一个同轴的微波供给线(1)，它具有一内导体(2)和一外导体(3)，其中，内导体(2)以其一个端头作为天线(7)绝缘地穿过一个真空法兰(5)，该真空法兰将壁中通往等离子体室(6)一个孔口封闭。与微波供给线(1)同轴地设置一个多极磁体装置(8)，其磁场穿过真空法兰(5)，并在等离子体室(6)中与天线(7)同轴地形成一个环形缝隙磁场(12)。天线(7)直接伸入到等离子体室(6)中，并且对置于内导体(2)具有一个在径向加大的天线头(14)，在该天线头上平行于真空法兰(5)有一个底面(15)，使得在真空法兰(5)和底面(15)之间形成一个环形缝隙(16)；并且等离子体室(6)与天线(7)同轴地和径向上在环形缝隙磁场(12)的外面由一个屏蔽(13)加以限界，该屏蔽的背向真空法兰的端面确定出等离子体出口(25)。 | ||||||
| 12 | 利用电子回旋共振产生远紫外的方法 | CN01111139.9 | 2001-03-19 | CN1375857A | 2002-10-23 | 马钟仁; 张彬; 张卫平 |
| 本发明公开了一种利用电子回旋共振产生远紫外的方法,它用民用频段微波源为电子回旋共振提供能源;用钕铁硼永磁体构建磁镜场;密封的石英球内充入低压支撑气体并掺入工作物质汞、氙;石英球置于网状微波腔体中,并安置在相对的两磁极之间,产生电子回旋共振并辐射远紫外线。利用本发明可制作出形式不同的新型辐照源,该辐照源电子能量为数百eV至数十KeV,不仅可用于高效、快速的消毒、杀菌,也可用于各种光化学应用。 | ||||||
| 13 | 一种电子回旋共振加热毫米波发射器 | CN201410653630.9 | 2014-11-14 | CN104466324B | 2017-07-07 | 夏冬辉; 孙道磊; 刘昌海; 王之江; 曾中; 崔芳泰; 姜立秋; 肖集雄 |
| 本发明公开了一种电子回旋共振加热毫米波发射器。其用于与波导连接，包括真空腔体，以及设置在真空腔体内的极化镜、椭球反射镜和平面镜；极化镜设置在波导的输出光路上，与波导呈45°夹角，用于将由波导输出的毫米波极化并反射，得到极化毫米波；椭球反射镜设置在极化毫米波的输出光路上，与极化毫米波呈45°夹角，用于将极化毫米波聚焦并反射，得到聚焦毫米波；平面镜设置在聚焦毫米波的输出光路上，用于将聚焦毫米波反射后注入等离子体加热腔，对等离子体进行加热和电流驱动。本发明能够实现毫米波的实时极化，并能使毫米波在等离子体不同位置实现高效耦合和电流驱动，且装置结构简单紧凑，调节效率和精度高。 | ||||||
| 14 | 无定形膜通过电子回旋共振的膜沉积 | CN200780040665.3 | 2007-10-26 | CN101583737B | 2011-08-03 | P·罗卡艾卡巴罗卡斯; P·布尔金; D·戴纳卡; T·H·道; P·里波尔; P·狄斯坎普; T·科尔恩德米尔伦德尔 |
| 公开一种通过从等离子体沉积而在衬底(14)上形成无定形材料膜、例如无定形硅膜的方法。将衬底放在具有限定容积的罩壳中，通过管子(20)将膜前体气体例如硅烷引入罩壳内。通过出口(22)从罩壳内抽出未反应的和离解的气体以便在罩壳内提供低压力。将微波能量引入罩壳内的气体中，从而通过分布式电子回旋共振在其中产生等离子体，并使材料从等离子体沉积至衬底上。定义为前体气体流量除以分布式等离子体源的面积的归一化前体气体流量大于或等于700sccm/m2，而且定义为反应器容积除以有效前体气体泵吸速率的气体停留时间不大于30ms。 | ||||||
| 15 | 利用电子回旋共振沉积非晶硅薄膜 | CN200680056279.9 | 2006-11-14 | CN101573469B | 2011-07-27 | P·罗卡艾卡巴罗卡斯; P·布尔金; D·戴尼卡; T·H·道; P·里姆波尔; P·德斯坎普斯; T·柯弗茵德米伦德尔 |
| 描述了一种用于通过从等离子体沉积在衬底上形成非晶硅(aSi:H)薄膜的方法。所述衬底被放置在壳体中，薄膜前驱气体被引入壳体中，并且未反应的和解离的气体被从所述壳体抽取，以在所述壳体中提供低压。将微波能量引入所述壳体内的气体中以便通过分布式电子回转共振(DECR)在其中产生等离子体，并使材料从等离子体沉积在衬底上。所述衬底在沉积期间被保持在200-600摄氏度范围内的温度上，最好225到350摄氏度，并且，处于引起-30到-105V范围内的鞘层电势的电平的偏置电压被施加于所述衬底，最好使用在衬底支架面积的50到250亳瓦/平方厘米的范围内的RF功率源。 | ||||||
| 16 | 无定形膜通过电子回旋共振的膜沉积 | CN200780040665.3 | 2007-10-26 | CN101583737A | 2009-11-18 | P·罗卡艾卡巴罗卡斯; P·布尔金; D·戴纳卡; T·H·道; P·里波尔; P·狄斯坎普; T·科尔恩德米尔伦德尔 |
| 公开一种通过从等离子体沉积而在衬底(14)上形成无定形材料膜、例如无定形硅膜的方法。将衬底放在具有限定容积的罩壳中，通过管子(20)将膜前体气体例如硅烷引入罩壳内。通过出口(22)从罩壳内抽出未反应的和离解的气体以便在罩壳内提供低压力。将微波能量引入罩壳内的气体中，从而通过分布式电子回旋共振在其中产生等离子体，并使材料从等离子体沉积至衬底上。定义为前体气体流量除以分布式等离子体源的面积的归一化前体气体流量大于或等于700sccm/m2，而且定义为反应器容积除以有效前体气体泵吸速率的气体停留时间不大于30ms。 | ||||||
| 17 | 一种电子回旋共振加热毫米波发射器 | CN201410653630.9 | 2014-11-14 | CN104466324A | 2015-03-25 | 夏冬辉; 孙道磊; 刘昌海; 王之江; 曾中; 崔芳泰; 姜立秋; 肖集雄 |
| 本发明公开了一种电子回旋共振加热毫米波发射器。其用于与波导连接，包括真空腔体，以及设置在真空腔体内的极化镜、椭球反射镜和平面镜；极化镜设置在波导的输出光路上，与波导呈45°夹角，用于将由波导输出的毫米波极化并反射，得到极化毫米波；椭球反射镜设置在极化毫米波的输出光路上，与极化毫米波呈45°夹角，用于将极化毫米波聚焦并反射，得到聚焦毫米波；平面镜设置在聚焦毫米波的输出光路上，用于将聚焦毫米波反射后注入等离子体加热腔，对等离子体进行加热和电流驱动。本发明能够实现毫米波的实时极化，并能使毫米波在等离子体不同位置实现高效耦合和电流驱动，且装置结构简单紧凑，调节效率和精度高。 | ||||||
| 18 | 一种电子回旋共振离子源 | CN201310755704.5 | 2013-12-26 | CN103715054A | 2014-04-09 | 吴联顺 |
| 本发明提供一种电子回旋离子源，其由微波系统、冷却系统、微波窗口、放电腔、导出系统、磁体和进气管组成，其特征在于，微波系统由微波功率源、磁控管基座、环形器、注水负载、三销钉调谐器、定向耦合器、隔离波导和过渡波导组成，其为离子源提供微波场，磁体由多个分离的永磁环构成，放电腔由透明的石英玻璃制成，放电腔被设置在微波屏蔽壳内，微波屏蔽壳具有多个观察窗口，微波窗口由一片厚度为20mm的陶瓷片和三片厚度为5mm的氮化硼构成，微波屏蔽壳为由铝制成的外方内圆的结构，其上具有多个孔，分别用于微波窗的安装、冷却系统的进出水、观察窗以及离子束的引出。 | ||||||
| 19 | 一种电子回旋共振离子源 | CN201110026605.4 | 2011-01-25 | CN102117727B | 2013-07-10 | 彭士香; 袁忠喜; 任海涛; 吕鹏南; 郭之虞 |
| 本发明提供了一种电子回旋共振离子源，尤其是一种能直接观察离子源内放电过程的新型结构全永磁强流电子回旋共振(ECR)离子源。本发明采用了透光性高的石英玻璃来做放电室；石英玻璃造成的微波泄露可通过石英玻璃外部的带有窗口的特殊结构金属壳体来屏蔽；电子回旋需要的磁场用多个分离的永磁环来产生，环与环之间有多个空隙。这样，穿过屏蔽壳体的窗口、永磁环间空隙、透光的石英玻璃，可以从多个角度、多个位置无干扰地实时观察放电室内所发生的所有过程和等离子体的各种形态，可以无干扰地开展等离子体光谱学诊断研究工作。 | ||||||
| 20 | 一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导 | CN201711166491.7 | 2017-11-21 | CN109819578A | 2019-05-28 | 陈罡宇; 黄梅; 王洁琼 |
| 本发明属于微波技术，具体为一种电子回旋共振加热系统滑动抽气波导，包括两段相对安装的波纹主波导、波导连接段、真空波纹管和波纹管连接段，两个波纹主波导相对的内侧面保留一定调节间隙，波纹主波导上的波导连接法兰与波纹管连接段的端部密封连接；波纹管连接段的下端为真空抽气端口和真空监测端口；波纹主波导的中段部分沿轴向方向加工真空抽气条孔。抽气条孔与原有间隔缝隙这样的抽气结构相比，微波损耗小，有效的抽气截面面积大，抽气效率高，有效抽速大，因此适用于真空传输系统中，两个波导通过连接波导连成整体，相当于将原有抽气波导和弹性波导合二为一，简化了微波传输结构减少了微波传输过程中的损耗，传输效率高。 | ||||||
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