| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 具有离子能量控制的等离子体激发 | CN202280037883.6 | 2022-04-13 | CN117378031A | 2024-01-09 | 杨扬; 郭岳; 卡提克·雷马斯瓦米 |
| 本文提供的实施方式通常包括用于在处理腔室中产生用于基板的等离子体处理的波形的设备、等离子体处理系统及方法。一个实施方式包括一种波形产生器，该波形产生器具有选择性地耦接至输出节点的电压源，其中该输出节点经配置以耦接至设置在处理腔室内的电极，并且其中该输出节点经选择性地耦接至接地节点。波形产生器还可包括射频(RF)信号产生器，以及耦接在RF信号产生器与输出节点之间的第一滤波器。 | ||||||
| 2 | 低电流高离子能量等离子体控制系统 | CN202180074410.9 | 2021-09-24 | CN116438624A | 2023-07-14 | 弗拉基米尔·纳戈尔尼 |
| 示例性半导体处理系统可包括处理腔室、设置在处理腔室中或处理腔室上的电感耦合等离子体(ICP)源和被构造为定位基板的支撑件。支撑件可至少部分地设置在处理腔室内，并且可包括偏压电极。离子屏可设置在腔室内，位于支撑件上的基板上方。离子屏对离子和电子是半透的，使得维持在离子屏上方的等离子体的密度不受施加到偏压电极的射频偏压功率的影响。因此，实现了等离子体能控制，同时保持了等离子体密度与射频偏压功率的独立性，从而能够提供高离子能和低偏压电流。 | ||||||
| 3 | 等离子体处理的离子能量分析装置 | CN202111298787.0 | 2021-09-10 | CN114167482A | 2022-03-11 | P·斯卡林; J·道尔; J·列侬; D·加恩; T·波格斯扬 |
| 一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布(IED)测量值的装置，该装置包括用于放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体的基板、布置在基板中用于在等离子体处理期间测量基板表面处的离子能量分布的离子能量分析仪，分析仪包括第一导电栅极G0、第二导电栅极G1、第三导电栅极G2、第四导电栅极G3和集电极C，每个栅极由集成在基板中的绝缘层、电池电源和控制电路隔开，用于向离子能量分析仪的每个栅极和集电极提供和控制电压；其中，至少一个绝缘层包括相对于绝缘层的剩余部分厚度减小的外围部分。 | ||||||
| 4 | 一种等离子体精准能量控制保护系统 | CN201911003183.1 | 2019-10-22 | CN112701935A | 2021-04-23 | 李政; 肖国庆; 尹辉; 唐宇豪 |
| 本发明公开了一种等离子体精准能量控制保护系统，包括AD/DC模块、DC控制模块和等离子体能量输出模块，还包括串联在DC控制模块和等离子体能量输出模块之间的开关电路；所述等离子体能量输出模块中，能量调控电路：用于动态地电流取样以检测阻抗值，然后直接反馈到第二驱动控制电路；当其检测到的阻抗值低于等离子体的激发阻抗值时进行能量调控，使阻抗匹配及输出电路的输出能量减小；并联式短路检测电路：用于并联式短路检测，然后将所得短路检测信号发送给开关电路进行短路判断，以实现开关电路的通断。本发明采用直接反馈机制和并联式电压取样检测到短路信号，反应快，系统能量输出稳定，安全性好。 | ||||||
| 5 | 射流等离子体电子能量调节器 | CN201310009015.X | 2013-01-10 | CN103037609B | 2014-12-31 | 张仲麟; 王春生; 江滨浩 |
| 射流等离子体电子能量调节器，涉及一种电子能量调节器。它是为了实现对等离子束中的电子能量进行调制/控制，进而满足飞行器地面模拟实验环境所需的电子能量的需求。它将绝缘圆筒的外壁按从左至右的方向分为三个相等的区段，即：第I区段、第II区段和第III区段；一号线圈缠绕在第I区段上，且一号线圈的缠绕层数为N层；二号线圈缠绕在第II区段上，且二号线圈的缠绕层数为一层；三号线圈缠绕在第III区段上，且三号线圈的缠绕层数为M层；一号线圈中通入电流的方向与三号线圈中通入电流的方向相反；N和M均为正整数。本发明适用于射流等离子体电子能量调节/控制。 | ||||||
| 6 | 交流等离子体显示屏能量恢复装置 | CN200610105056.9 | 2006-08-25 | CN100403371C | 2008-07-16 | 孟令国; 梁志虎; 刘纯亮; 李永东 |
| 本发明公开了一种交流等离子体显示屏能量恢复装置，包括第一维持电路通过电感L11与第一能量恢复电路相连接，第二维持电路通过电感L21与第二能量恢复电路相连接，第一能量恢复电路与第一附加电源相连接，第二能量恢复电路与第二附加电源相连接，第一维持电路和第二维持电路连接在交流等离子体显示屏Cp上。第一附加电源由电源组分别与对应的控制开关组相串联，串联后的电路再并联构成，储能电容C11分别通过开关连接到附加电源上，同时通过开关S1g连接到地。本发明降低了能量恢复电路的功耗，减少了能量恢复电路的高频噪声，同时在可以根据当前显示图像的平均亮度选择附加电源的值，从而可以降低运行功耗。 | ||||||
| 7 | 交流等离子体显示屏能量恢复装置 | CN200610105056.9 | 2006-08-25 | CN1912972A | 2007-02-14 | 孟令国; 梁志虎; 刘纯亮; 李永东 |
| 本发明公开了一种交流等离子体显示屏能量恢复装置，包括第一维持电路通过电感L11与第一能量恢复电路相连接，第二维持电路通过电感L21与第二能量恢复电路相连接，第一能量恢复电路与第一附加电源相连接，第二能量恢复电路与第二附加电源相连接，第一维持电路和第二维持电路连接在交流等离子体显示屏Cp上。第一附加电源由电源组分别与对应的控制开关组相串连，串连后的电路再并联构成，储能电容C11分别通过开关连接到附加电源上，同时通过开关S1g连接到地。本发明降低了能量恢复电路的功耗，减少了能量恢复电路的高频噪声，同时在可以根据当前显示图像的平均亮度选择附加电源的值，从而可以降低运行功耗。 | ||||||
| 8 | 等离子体处理的离子能量分析装置 | CN202111059795.X | 2021-09-10 | CN114167481A | 2022-03-11 | P·斯卡林; J·道尔; J·列侬; D·加恩; T·波格斯扬 |
| 一种用于在等离子体处理系统中获得离子能量分布(IED)测量值的装置，该装置包括用于放置在等离子体处理系统中并暴露于等离子体的基板、布置在基板中用于在等离子体处理期间测量基板表面处的离子能量分布的离子能量分析仪，分析仪包括第一导电栅极G0、第二导电栅极G1、第三导电栅极G2、第四导电栅极G3和集电极C，每个栅极由集成在基板中的绝缘层、电池电源和控制电路隔开，用于向离子能量分析仪的每个栅极和集电极提供和控制电压；其中，至少一个绝缘层包括相对于绝缘层的剩余部分厚度减小的外围部分。 | ||||||
| 9 | 控制等离子体室内的离子能量 | CN201410301183.0 | 2014-06-27 | CN104254187B | 2017-05-31 | 索斯藤·利尔; 哈梅特·辛格; 亚历克斯·帕特森; 高里·卡马斯 |
| 本发明涉及控制等离子体室内的离子能量，具体描述了控制等离子体室内的离子能量的系统和方法。所述系统之一包括耦合到正弦RF发生器用于接收正弦信号的上电极和用于产生非正弦信号的非正弦RF发生器。该系统进一步包括耦合到非正弦RF发生器的功率放大器。功率放大器用于放大非正弦信号以产生放大信号。该系统包括耦合到功率放大器的滤波器。滤波器用于利用滤波信号过滤放大信号以产生滤波后信号。该系统包括耦合到滤波器的卡盘。卡盘面向上电极的至少一部分且包括下电极。下电极用于接收滤波后信号以促使实现卡盘处的离子能量在下限阈值和上限阈值之间。 | ||||||
| 10 | 控制等离子体室内的离子能量 | CN201410301183.0 | 2014-06-27 | CN104254187A | 2014-12-31 | 索斯藤·利尔; 哈梅特·辛格; 亚历克斯·帕特森; 高里·卡马斯 |
| 本发明涉及控制等离子体室内的离子能量，具体描述了控制等离子体室内的离子能量的系统和方法。所述系统之一包括耦合到正弦RF发生器用于接收正弦信号的上电极和用于产生非正弦信号的非正弦RF发生器。该系统进一步包括耦合到非正弦RF发生器的功率放大器。功率放大器用于放大非正弦信号以产生放大信号。该系统包括耦合到功率放大器的滤波器。滤波器用于利用滤波信号过滤放大信号以产生滤波后信号。该系统包括耦合到滤波器的卡盘。卡盘面向上电极的至少一部分且包括下电极。下电极用于接收滤波后信号以促使实现卡盘处的离子能量在下限阈值和上限阈值之间。 | ||||||
| 11 | 射流等离子体电子能量调节器 | CN201310009015.X | 2013-01-10 | CN103037609A | 2013-04-10 | 张仲麟; 王春生; 江滨浩 |
| 射流等离子体电子能量调节器，涉及一种电子能量调节器。它是为了实现对等离子束中的电子能量进行调制/控制，进而满足飞行器地面模拟实验环境所需的电子能量的需求。它将绝缘圆筒的外壁按从左至右的方向分为三个相等的区段，即：第I区段、第II区段和第III区段；一号线圈缠绕在第I区段上，且一号线圈的缠绕层数为N层；二号线圈缠绕在第II区段上，且二号线圈的缠绕层数为一层；三号线圈缠绕在第III区段上，且三号线圈的缠绕层数为M层；一号线圈中通入电流的方向与三号线圈中通入电流的方向相反；N和M均为正整数。本发明适用于射流等离子体电子能量调节/控制。 | ||||||
| 12 | 等离子体显示面板的能量恢复装置 | CN200480011457.7 | 2004-04-27 | CN1781134A | 2006-05-31 | F·J·沃斯森; S·德克森 |
| 本发明公开了用于显示面板，特别是等离子体显示面板中恢复能量的能量恢复装置，其中能量恢复存储单元(Lrecover)在维持时段之后的能量恢复时段内被耦合到该显示面板。本发明的特别之处在于该能量恢复存储单元(Lrecover)在所述维持步骤被充电。 | ||||||
| 13 | 具有更高等离子体能量密度的感应式等离子体喷枪 | CN201680037862.9 | 2016-06-27 | CN107852807B | 2020-07-07 | M.I.布洛斯; J.W.尤雷维茨; N.迪格纳尔德; A.奥杰; S.特伦德 |
| 一种感应式等离子体喷枪，包括管状喷枪主体、管状插入件、等离子体约束管和环状通道。所述管状喷枪主体具有限定相应的内表面的上游段和下游段。所述管状插入件安装到管状喷枪主体的下游段的内表面上。所述等离子体约束管布置在管状喷枪主体中，并与管状喷枪主体同轴。所述等离子体约束管具有管状壁，该管状壁的厚度沿等离子体流的轴向逐渐减小。所述环状通道限定在管状喷枪主体的上游段的内表面和插入件的内表面与等离子体约束管的管状壁的外表面之间。所述冷却通道输送用于冷却等离子体约束管的流体。 | ||||||
| 14 | 具有更高等离子体能量密度的感应式等离子体喷枪 | CN201680037862.9 | 2016-06-27 | CN107852807A | 2018-03-27 | M.I.布洛斯; J.W.尤雷维茨; N.迪格纳尔德; A.奥杰; S.特伦德 |
| 一种感应式等离子体喷枪，包括管状喷枪主体、管状插入件、等离子体约束管和环状通道。所述管状喷枪主体具有限定相应的内表面的上游段和下游段。所述管状插入件安装到管状喷枪主体的下游段的内表面上。所述等离子体约束管布置在管状喷枪主体中，并与管状喷枪主体同轴。所述等离子体约束管具有管状壁，该管状壁的厚度沿等离子体流的轴向逐渐减小。所述环状通道限定在管状喷枪主体的上游段的内表面和插入件的内表面与等离子体约束管的管状壁的外表面之间。所述冷却通道输送用于冷却等离子体约束管的流体。 | ||||||
| 15 | 等离子体离子能量测量分析仪 | CN98240581.2 | 1998-09-08 | CN2354140Y | 1999-12-15 | 陈俊芳; 吴先球; 王德秋 |
| 本实用新型是等离子体离子能量测量分析仪，它由机箱、离子能量分析器、显示器、电压表、键盘、取样电阻、直流电源、数据自动采集测量装置、计算机共同连接构成。其中，离子能量分析器由屏蔽板、排斥极、分析极、接收极及各电极引线连接构成，各极引线与各极直接压固；其连接关系为：离子能量分析器通过电源线与直流电源连接，分析器的接收极与取样电阻串接，电压表与取样电阻并接，或取样电阻与数据自动采集测量装置的低通滤波器相接，数据自动采集测量装置与计算机电气连接。本分析仪可直接测量等离子体离子能量分布规律，能使等离子体技术应用更广泛。 | ||||||
| 16 | 一种可调控等离子体能量密度的装置 | CN202021930391.4 | 2020-09-07 | CN212936270U | 2021-04-09 | 王裕; 高明; 江彪; 钟子扬; 黄逸凡 |
| 本实用新型属于等离子体技术领域，涉及一种可调控等离子体能量密度的装置，包括空心介质管、正电极、接地电极、移动装置；所述正电极、接地电极设置在空心介质管上，通过移动装置可调节正电极和接地电极之间的距离，从而调控等离子体产生区域的长度。本实用新型可精确控制正负电极间的距离，以此产生不同长度的活化区域，实现调控等离子体能量密度，可准确控制其放电状态与射流形状。 | ||||||
| 17 | 用于先进等离子体能量处理系统的离子能量控制系统 | CN201280047162.X | 2012-07-27 | CN103890897A | 2014-06-25 | V·布劳克; D·J·霍夫曼 |
| 公开了用于调节等离子腔室中的离子能量并将基板吸附到基板的支座的系统、方法和装置。示例性方法包括，将基板设置在等离子腔室中，在等离子腔室中形成等离子体，向基板可控地通断功率以将周期电压函数施加到基板，以及响应于在基板表面的期望的离子能量分布而在周期电压函数的多个周期上调节周期电压函数，从而在时间平均的基础上实现期望的离子能量分布。 | ||||||
| 18 | 一种基于能量分析的等离子体现象预报方法 | CN202311475229.6 | 2023-11-08 | CN117669150A | 2024-03-08 | 张帅钦; 邵圣祥; 张荣杰; 高澜; 张深涛; 张福军; 万欣; 王松; 赵晓彤; 孙莹; 牛真真 |
| 本发明提供了一种基于能量分析的等离子体现象预报方法，包括：建立高超声速目标的能量表达式；通过目标的理论位置、速度、加速度数据，利用所建立的能量表达式计算目标能量变化速度随时间变化的第一曲线以及目标能量变化加速度随时间变化的第二曲线；分别对所计算的第一曲线和第二曲线进行搜索，以获得等离子体现象的开始时间和结束时间，从而确定等离子体现象的出现时段，由此实现等离子体现象的预报。本发明实现了等离子体现象与目标能量之间转换的定量描述，在任务前预先确定出等离子体现象出现时段，算法简单，适用性强，使得能够在制定雷达测量方案时将该时段内相关雷达装备迎向布站，能较好地实现对高速再入目标的稳定跟踪和精确测量。 | ||||||
| 19 | 一种等离子体能量控制开关电路及其控制系统 | CN201911003169.1 | 2019-10-22 | CN112690893A | 2021-04-23 | 李政; 肖国庆; 尹辉; 唐宇豪 |
| 本发明公开了一种等离子体能量控制开关电路及其控制系统，包括峰值功率控制电路、单片机和用于串联在等离子体能量控制系统线路中的开关模块，其中：峰值功率控制电路用于对等离子体能量控制系统进行动态地电流取样、滤波，并对生成的电压信号进行放大倍数调节，以调节峰值功率点，然后发送给单片机；单片机用于接收和处理所述峰值功率控制电路发送的电压信号，并根据处理后的电压信号控制开关模块的工作周期，使等离子体能量控制系统的输出功率不超过预设峰值功率且满足预设功率曲线。本发明可以解决等离子体能量控制系统输出的瞬间能量激发弱，不易激发等离子体，等离子体不易持续产生，切割效率低，粘刀、切割不锋利等问题。 | ||||||
| 20 | 一种超大能量双子阵脉冲等离子体震源系统 | CN201911393021.3 | 2019-12-30 | CN111123350A | 2020-05-08 | 刘振; 张连成; 闫克平; 管显涛; 张允 |
| 本发明公开了一种超大能量双子阵脉冲等离子体震源系统，包括控制单元、充电单元、储能单元和发射单元；其中，所述的控制单元分别与充电单元和储能单元电连接，用于控制充电单元的充电电压以及储能单元的放电；所述的充电单元用于将交流电转换成高压高频脉冲，给储能单元快速充电；所述的储能单元用于根据控制单元的触发信号进行电能释放和存储；所述的发射单元与储能单元电连接，用于将电能通过水中等离子体放电转换成声能。本发明的震源系统，可用于天然气水合物三维立体探测，可以为海洋水合物高精度探测提供直接的技术和装备保障。 | ||||||
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