序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
161 利用部分相干光产生Mathieu光束的光学系统 CN201721556001.X 2017-11-20 CN207601431U 2018-07-10 吴逢铁; 冯聪; 王硕琛
本实用新型公开了利用部分相干光产生Mathieu光束的光学系统,其包括光学平台,该光学平台上放置有LED光源,沿该LED的光路依次放置光阑、准直扩束系统、椭圆孔径和轴棱锥。通过本实用新型的光学系统,可以通过使用非相干光源—LED光源来产生无衍射Mathieu光束,为Mathieu光束的研究提供新的方式及更加有效的途径。该光学系统涉及光学元件少,结构简单,易于搭建和调试,操作简单。Mathieu光束在成像及扫描等方向展现出极大潜,而利用非相干光作为光源拓展了Mathieu光束的研究领域。因此,该光学系统在实际应用中具有广阔的市场前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
162 基于能量识别的X射线位相成像非相干散射消除装置 CN200620040015.1 2006-03-08 CN200959001Y 2007-10-10 喻虹; 韩申生; 张帅; 彭卫军
一种基于能量识别的X射线位相成像非相干散射消除装置,包括X射线产生及调制系统,待测物固定装置,和后端X射线调制及探测系统三部分。本实用新型通过选择不同的滤除材料,能保证有效X射线基本没有损失,波长不变的初级辐射几乎可以全部到达X射线探测器,而消除非相干散射对成像质量的影响。本实用新型能滤除对人体损伤较大的长波长X射线,使得成像过程对人体或生物组织的损伤达到最小,且具有普遍适用、制作简单、低成本、小体积和稳定性好的特点。
163 一体化超微型光学相干断层成像探头 CN201320241206.4 2013-05-07 CN203263350U 2013-11-06 米磊; 刘钊; 朱锐
本实用新型涉及医疗器械技术领域,提供了一种一体化超微型光学相干断层成像探头,所述探头包括热扩芯光纤,所述热扩芯光纤包括单模光纤部分、热扩芯部分和倾斜反射部分,所述热扩芯部分位于单模光纤部分的一端,所述倾斜反射部分为在热扩芯部分的另一端磨成的倾斜反射面。本实用新型采用彻底消除这两个反射面的方法,使其不会产生反射光干涉现象。
164 一种基于光栅相位衬度的成像系统及方法 CN202011092225.6 2020-10-13 CN112258628A 2021-01-22 闫锋; 孟云龙; 岳涛; 胡雪梅; 曹旭; 曹雪芸; 杨程; 沈心雨; 林岚昆
发明提供一种基于光栅相位衬度的成像系统及方法,涉及领域,包括:光源装置,用于发射部分相干光;准直装置,用于将部分相干光转换为准直光;光栅组件,光栅组件的上方放置有一样品,准直光由复数个照射度依次照射在样品上分别形成折射光线,折射光线经由光栅组件处理形成强度变化的光信号;图像探测器,用于接收光信号以形成样品的在每个照射角度对应的相位衬度图像;三维重建系统,用于根据各相位衬度图像进行三维重建得到样品的三维图像。有益效果是具备了无透镜成像兼具大视场和高分辨率的特点,同时降低了系统的复杂度,降低了操作的复杂度与成像设备的体积,进一步提高了设备的集成度,可以更好地推动无透镜相位恢复系统的实用化。
165 一种建立晶圆形貌OPC模型的方法 CN201711012988.3 2017-10-26 CN107844644B 2021-09-14 时雪龙
发明公开了一种建立晶圆形貌OPC模型的方法:S01:将成像系统中的部分相干光分解为独立的成像核Φi;S02:计算从Φi来的不同的平面波到晶圆表面的入射场;S03:计算Φi在晶圆表面上的反射场;S04:分别计算Φi在晶圆表面上的散射场;其中,晶圆表面发生散射的地方为散射源,Φi在晶圆表面上的散射场为各个散射源散射光的总和;S05:计算晶圆表面成像系统中的部分相干光在光刻胶中的总光强分布函数;S06:将上述总光强分布函数带入OPC模型中进行待曝光光罩的OPC修正。本发明提供的计算方法可以准确计算晶圆表面光刻胶中的总光强分布函数,使得OPC模型精度得到改善,从而提高半导体器件性能和可靠性。
166 一种建立晶圆形貌OPC模型的方法 CN201711012988.3 2017-10-26 CN107844644A 2018-03-27 时雪龙
发明公开了一种建立晶圆形貌OPC模型的方法:S01:将成像系统中的部分相干光分解为独立的成像核Φi;S02:计算从Φi来的不同的平面波到晶圆表面的入射场;S03:计算Φi在晶圆表面上的反射场;S04:分别计算Φi在晶圆表面上的散射场;其中,晶圆表面发生散射的地方为散射源,Φi在晶圆表面上的散射场为各个散射源散射光的总和;S05:计算晶圆表面成像系统中的部分相干光在光刻胶中的总光强分布函数;S06:将上述总光强分布函数带入OPC模型中进行待曝光光罩的OPC修正。本发明提供的计算方法可以准确计算晶圆表面光刻胶中的总光强分布函数,使得OPC模型精度得到改善,从而提高半导体器件性能和可靠性。
167 一种内窥型光学相干断层成像探头及其成像系统 CN201710942465.2 2017-10-11 CN107692969A 2018-02-16 白晓淞; 黄赞力
发明提供了一种内窥型光学相干断层成像探头及其成像系统,所述内窥型光学相干断层成像探头包括单模光纤和光束转折构件,所述单模光纤的末端和光束转折构件之间设有反射面,所述光束转折构件包括光束转折面,光束转折面或其切面与单模光纤的轴心线的夹为锐角;单模光纤射出的光束的小部分光经所述反射面产生反射而原路返回,形成参考光,单模光纤射出的光束的大部分光射到光束转折面上反射后投向待测样品组织,从样品组织上返回的信号光经光束转折构件后被耦合进入到探头单模光纤后,与参考光汇合形成干涉光信号。采用本发明的技术方案,参考臂与样品臂共用光路,整个光路系统更为简单、紧凑、可靠性更高;提高了图像的质量稳定性
168 包括光导的显示装置 CN201880047963.3 2018-05-18 CN110998413A 2020-04-10 诺伯特·莱斯特
发明涉及一种显示装置,尤其是靠近用户眼睛设置的显示装置。该显示装置包括至少一个照明装置、至少一个空间光调制装置、至少一个成像元件、至少一个光导以及至少两个部分反射解耦元件。至少一个照明装置用于发射足够相干的光。至少一个成像元件设置用于使源于至少一个光调制装置的光成像。至少两个部分反射解耦元件用于使光与光导解耦,部分反射解耦元件设置在至少一个光导中。
169 包括光导的显示装置 CN201880047963.3 2018-05-18 CN110998413B 2022-10-21 诺伯特·莱斯特
发明涉及一种显示装置,尤其是靠近用户眼睛设置的显示装置。该显示装置包括至少一个照明装置、至少一个空间光调制装置、至少一个成像元件、至少一个光导以及至少两个部分反射解耦元件。至少一个照明装置用于发射足够相干的光。至少一个成像元件设置用于使源于至少一个光调制装置的光成像。至少两个部分反射解耦元件用于使光与光导解耦,部分反射解耦元件设置在至少一个光导中。
170 偏振敏感型光学相干层析成像系统、方法 CN202211002765.X 2022-08-22 CN115078264B 2022-11-18 李新宇
申请提供了一种成像系统。测量光源信号光分为第一信号光和第二信号光并发射;参考臂将第一信号光调整为参考光后射向偏振探测模;样品臂包括调整单元和扫描单元,调整单元将第二信号光调整为样品光后射向扫描单元,扫描单元设置有第一部分反射单元,第一部分反射单元将部分样品光反射向偏振探测模块,以与参考光相干形成第一干涉光,第一部分反射单元将剩余样品光透射向待测样品;待测样品将剩余样品光反射向偏振探测模块,以与参考光相干形成第二干涉光;控制模块根据第一干涉光对应的第一电信号、第二干涉光对应的第二电信号确定待测样品的偏振特性,以进行成像。该系统降低数据处理复杂度,排除因样品表面定位不准而导致的计算不准确。
171 偏振敏感型光学相干层析成像系统、方法 CN202211002765.X 2022-08-22 CN115078264A 2022-09-20 李新宇
申请提供了一种成像系统。测量光源信号光分为第一信号光和第二信号光并发射;参考臂将第一信号光调整为参考光后射向偏振探测模;样品臂包括调整单元和扫描单元,调整单元将第二信号光调整为样品光后射向扫描单元,扫描单元设置有第一部分反射单元,第一部分反射单元将部分样品光反射向偏振探测模块,以与参考光相干形成第一干涉光,第一部分反射单元将剩余样品光透射向待测样品;待测样品将剩余样品光反射向偏振探测模块,以与参考光相干形成第二干涉光;控制模块根据第一干涉光对应的第一电信号、第二干涉光对应的第二电信号确定待测样品的偏振特性,以进行成像。该系统降低数据处理复杂度,排除因样品表面定位不准而导致的计算不准确。
172 基于Abbe矢量成像模型获取掩膜空间像的方法 CN201110268282.X 2011-09-09 CN102323722A 2012-01-18 李艳秋; 董立松; 马旭
发明提供一种基于Abbe矢量成像模型获取掩膜空间像的方法,具体步骤为将掩模图形M栅格化为N×N个子区域;并根据部分相干光源的形状将光源面进行栅格化成多个点光源,用每一栅格区域中心点坐标(xs,ys)表示该栅格区域所对应的点光源坐标;计算各点光源对应像面上掩膜空间像I(αs,βs);并根据阿贝Abbe方法,对各点光源的掩模空间像I(αs,βs)进行叠加,获取部分相干光源对应像面位置掩膜空间像I。本发明能够将光源面栅格化成多个点光源,针对于各点光源其计算的掩膜空间像的精确度高,该方法可适应不同面形的光源。
173 一种双四步相移法提高空间光干涉技术精度的方法 CN202210923620.7 2022-08-02 CN115406373A 2022-11-29 郑明杰; 林月行; 李志芳; 刘斌; 谭丁辉; 杨雨丹
发明涉及一种双四步相移法提高空间光干涉技术精度的方法,利用部分相干光理论得到泽尼克相衬显微镜成像模型;计算模型采用PC‑SLIM模型,其为基于部分相干光理论研究空间光干涉技术得到的计算模型;做2次四步相移法,即成8次像;第一次的四步相移法采用现有的四步相移法测量物体位相;第二次的四步相移法在SLM上叠加使用赛克光栅或分光光栅改变系统的交叉传递函数TCC以测量物体位相。该方法有利于提高空间光干涉法的精度。
174 基于Abbe矢量成像模型获取掩膜空间像的方法 CN201110268282.X 2011-09-09 CN102323722B 2013-08-21 李艳秋; 董立松; 马旭
发明提供一种基于Abbe矢量成像模型获取掩膜空间像的方法,具体步骤为将掩模图形M栅格化为N×N个子区域;并根据部分相干光源的形状将光源面进行栅格化成多个点光源,用每一栅格区域中心点坐标(xs,ys)表示该栅格区域所对应的点光源坐标;计算各点光源对应像面上掩膜空间像I(αs,βs);并根据阿贝Abbe方法,对各点光源的掩模空间像I(αs,βs)进行叠加,获取部分相干光源对应像面位置掩膜空间像I。本发明能够将光源面栅格化成多个点光源,针对于各点光源其计算的掩膜空间像的精确度高,该方法可适应不同面形的光源。
175 一种基于CCD成像的光刻机相干因子测量方法 CN201711443663.0 2018-03-27 CN108303855A 2018-07-20 曹益平; 苏显渝; 张启灿; 向立群; 陈文静
发明是基于CCD图像传感器光刻机照明系统相干因子在线测量方法,测量系统主体主要由针孔、透镜组与CCD组成的CCD探头,由XY扫描控制台与驱动器组成的扫描控制模块和由数据采集卡与计算机组成的数据采集与存储处理模块三部分构成。本发明有几方面的优点:用CCD代替光刻胶,通过小孔成像,对CCD所采集的光斑上能量分布进行分析计算,得到部分相干因子测量值,可重复利用率高;测量精度高,响应时间快,缩短了感光时间,提高了检测效率;CCD与计算机相连,可作实时自动信息处理和数据存储,适用于光刻系统装调过程的在线检测;在掩模面处测量照明系统相干因子,便于及时发现问题,正确定位误差。
176 一种应用于光学相干断层扫描血管成像方法及OCT系统 CN201610637624.3 2016-08-04 CN106166058A 2016-11-30 黄胜海; 沈梅晓; 朱德喜; 王媛媛; 吕帆
发明涉及一种应用于光学相干断层扫描血管成像方法及OCT系统,本发明基于分频的思想,将OCT干涉条纹分解为几个波数带,减少被拍摄组织运动产生的噪声。在获取分频的强度图像后,并进一步采用改进CM方法,计算相邻连续扫描的断层图像之间的采用皮尔森相关系数计算强度的变化程度,增强血管的信号。并结合探测点相邻点的信息,提高对血管探测的敏感性,同时减少对眼动的敏感性,适用于对散射较强的生物组织的血管成像。在眼科中可以用于眼前节巩膜或虹膜等组织的血管成像,也可以应用人体其他部分的微血管成像。
177 一种人体纹成像装置 CN201610322267.1 2016-05-16 CN105725979B 2019-02-15 王军; 原林
发明公开了一种人体纹成像装置,该人体云纹成像装置包括主机部分和受检人员检查间;所述主机部分包括云纹采集摄像头、远红外热成像仪、激光定位器、仪器操作控制器、机箱;所述受检人员检查间包括标准化光环境、定位标注器件和云纹光栅本发明采用标准化光环境技术:即采用光线照度平、分布、形式与光线颜色色调、色差、饱和度等参数的标准化技术。确保在身体局部筋膜、肌肉、骨骼治疗前、后对照时,所处光线环境的标准统一性,基于应用相干光学原理的人体云纹成像技术以及通过红外热成像技术接收人身体表面的红外辐射,对病人身体表面及热区温度进行检测、记录、成像,可对检测区域进行定性和定量分析。
178 一种人体纹成像装置 CN201610322267.1 2016-05-16 CN105725979A 2016-07-06 王军; 原林
发明公开了一种人体纹成像装置,该人体云纹成像装置包括主机部分和受检人员检查间;所述主机部分包括云纹采集摄像头、远红外热成像仪、激光定位器、仪器操作控制器、机箱;所述受检人员检查间包括标准化光环境、定位标注器件和云纹光栅本发明采用标准化光环境技术:即采用光线照度平、分布、形式与光线颜色色调、色差、饱和度等参数的标准化技术。确保在身体局部筋膜、肌肉、骨骼治疗前、后对照时,所处光线环境的标准统一性,基于应用相干光学原理的人体云纹成像技术以及通过红外热成像技术接收人身体表面的红外辐射,对病人身体表面及热区温度进行检测、记录、成像,可对检测区域进行定性和定量分析。
179 尺寸减小的FMCW外差检测激光雷达成像器系统 CN202211203662.X 2022-09-29 CN115932874A 2023-04-07 劳伦·弗雷; 阿妮斯·达米
发明涉及一种尺寸减小的FMCW激光雷达成像器系统。该成像器系统包括用于相干、连续且调频的初始信号Sp以便照射场景2的光源10;光学收集元件41,被配置为收集反向散射信号Sret,c;光检测器50,用于接收与收集信号Sret,c相关联的外差信号Sh;以及处理单元60,被配置为根据外差信号Sh的拍频确定距场景的距离zsc。该成像器系统被配置为将初始信号Sp完全引导到场景2。该成像器系统另外包括反射器42,反射器42被配置为朝着场景2的方向反射反向散射信号Sret的未被光学收集元件41收集的、称为未收集信号Sret,nc的部分Sret,nc。
180 使用全息技术的车辆的距离确定系统 CN201410750003.7 2014-12-10 CN104691416B 2017-10-24 F.W.亨茨克; J.N.尼克劳乌; P.R.威廉斯
公开了使用全息技术的车辆的距离确定系统。一种用于车辆的距离确定系统,其包括用于生成并显示由全息编码介质生成的图案的设备,该全息编码介质与致动器可操作地通信并与配置成产生相干电磁波的电磁辐射源通信。距离确定系统还包括成像器和与成像器通信的距离确定模。成像器配置为从车辆获取表示视场的图像数据。距离确定模块配置为在图像数据中对图案的至少一个特征进行定位,并且至少部分基于设备的已知位置、成像器的已知位置和图案的布局来确定车辆与至少一个特征之间的估计距离。
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