| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 81 | 一种基于波前编码技术的宽带光子筛 | CN201510288064.0 | 2015-05-30 | CN104865627A | 2015-08-26 | 王钦华; 赵效楠; 许峰 |
| 本发明公开了一种基于波前编码技术的宽带光子筛，其特征在于：具有一位相编码板，所述位相编码板的一个表面为位相编码面，另一个表面为平面，所述平面后紧贴有光子筛，所述位相编码面选自三次编码面、对数编码面、正弦编码面中的一种，所述光子筛对透过所述位相编码面的光线衍射成像。本发明创造性地将波前编码技术引入光子筛领域，在光子筛之前设置了位相编码板，对进入光子筛的光线进行波前编码，减少了光子筛对波长的敏感性，达到了拓展带宽的目的。 | ||||||
| 82 | 一种复合型波带片光子筛 | CN201010247543.5 | 2010-08-06 | CN102375169B | 2013-06-19 | 谢常青; 潘一鸣; 朱效立; 贾佳; 刘明 |
| 本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。相对于菲涅尔波带片，本发明提供的复合型波带片光子筛可以提高数值孔径，提高成像分辨率。随机分布的透光小孔之间可以形成干涉，从而能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，本发明提供的复合型波带片光子筛能够有效提高衍射效率，从而提高成像对比度。 | ||||||
| 83 | 复合光子筛投影式光刻系统 | CN201110234020.1 | 2011-08-16 | CN102289157B | 2013-03-06 | 谢常青; 高南; 华一磊; 朱效立; 李海亮; 史丽娜; 李冬梅; 刘明 |
| 本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种复合光子筛投影式光刻系统，该系统包括依次放置的照明系统、掩模板、复合光子筛和衬底，其中：照明系统，用于产生入射光，并将该入射光照射至掩模板；掩模板，用于提供复合光子筛成像的物方，入射光透过掩模板后被照射至复合光子筛；复合光子筛，用于实现成像功能，将掩模板上的图形在衬底上成像；衬底，用于接收复合光子筛对掩模板上图形所成的像。利用本发明，由于采用复合光子筛代替传统投影式光刻系统中的投影物镜，不仅能够保留传统投影式光刻系统效率高的优点，实现快速的大批量光刻，提高光刻效率，而且可以有效地降低成本，减小系统体积。 | ||||||
| 84 | 基于光子筛的蓝光光学头 | CN201210203435.7 | 2012-06-19 | CN102737664A | 2012-10-17 | 何渝; 陈铭勇; 赵立新; 唐燕 |
| 本发明是一种基于光子筛的蓝光光学头，其结构包括：蓝光激光二极管、准直透镜、偏振分光棱镜、偏振片、光子筛、光盘、柱透镜、光电探测器。蓝光激光二极管发出的光经光束整形后，通过光子筛聚焦到光盘面，反射后经过光路入射到光电探测器上。本发明具有很好的兼容性，不需要改变系统结构，只需将聚焦物镜换成光子筛，就可以实现蓝光光盘的读写，还可以在此基础上进一步缩短光源波长，实现更大数据量的存储。 | ||||||
| 85 | 阵列全环光子筛匀光器及其制作方法 | CN200910093276.8 | 2009-09-16 | CN102023386A | 2011-04-20 | 贾佳; 谢长青; 刘明 |
| 本发明公开了一种阵列全环光子筛匀光器及其制作方法。该阵列全环光子筛匀光器是在透明介质上制造的全环光子筛阵列，采用全环光子筛作为基本单元，该全环光子筛是一个在透明基片上制造的基于菲涅尔波带片的多个圆孔，先在透明介质上制造衍射孔径为相应菲涅耳圆环的一倍光子筛，然后在其余的菲涅耳环带处仍然刻蚀圆孔，这样在波带片的奇数和偶数环带都有透光的刻蚀圆孔，分别是奇数环的透光孔和偶数环的刻蚀位相透光孔，其中刻蚀位相透光孔的位相是π，每个刻蚀圆孔的大小与相应的环带宽度相同，该刻蚀圆孔与原来的衍射孔构成全环光子筛。利用本发明，实现了将高斯光束和其他波前不均匀激光束变换为波前近似平面的衍射光束。 | ||||||
| 86 | 一种光子筛选型太赫兹光晶体管及其多光子探测方法 | CN202111332599.5 | 2021-11-11 | CN114203837B | 2024-04-26 | 安正华; 王恒亮; 徐红涛; 陈平平; 陆卫 |
| 本发明涉及一种光子筛选型太赫兹光晶体管及其多光子探测方法，包括由上至下依次相对设置的耦合光栅层、光敏浮栅层和沟道层，耦合光栅层包括多个用于耦合增强不同目标太赫兹光子的子光栅，光敏浮栅层用于对应吸收经子光栅结构耦合增强后的光子，以改变电化学势、进而改变沟道层的电导，沟道层的一端连接至源极，沟道层的另一端连接至漏极。其中，耦合光栅层将不同太赫兹光子在其超元胞周期内空间上筛选区分，进而耦合到对应的太赫兹光敏浮栅区域，不同光子对应的光信号则根据光晶体管的源漏电流中读取出。与现有技术相比，本发明能够突破对每种单一光子探测效率小于1/n的极限，实现多光子同步高灵敏检测的目的。 | ||||||
| 87 | 一种光子筛选型太赫兹光晶体管及其多光子探测方法 | CN202111332599.5 | 2021-11-11 | CN114203837A | 2022-03-18 | 安正华; 王恒亮; 徐红涛; 陈平平; 陆卫 |
| 本发明涉及一种光子筛选型太赫兹光晶体管及其多光子探测方法，包括由上至下依次相对设置的耦合光栅层、光敏浮栅层和沟道层，耦合光栅层包括多个用于耦合增强不同目标太赫兹光子的子光栅，光敏浮栅层用于对应吸收经子光栅结构耦合增强后的光子，以改变电化学势、进而改变沟道层的电导，沟道层的一端连接至源极，沟道层的另一端连接至漏极。其中，耦合光栅层将不同太赫兹光子在其超元胞周期内空间上筛选区分，进而耦合到对应的太赫兹光敏浮栅区域，不同光子对应的光信号则根据光晶体管的源漏电流中读取出。与现有技术相比，本发明能够突破对每种单一光子探测效率小于1/n的极限，实现多光子同步高灵敏检测的目的。 | ||||||
| 88 | 一种基于多波长光子筛阵列的光纤耦合器 | CN201910836825.X | 2019-09-05 | CN110471143B | 2020-05-05 | 蒋文波; 周波; 卜云; 任晓; 王楠 |
| 本发明公开了一种基于多波长光子筛阵列的光纤耦合器，将一种全新的多波长光子筛阵列应用于光纤耦合器中，由于光子筛器件本身对波长十分敏感，只有设计中心波长的入射光才能通过光子筛聚焦成像，其余波长的入射光都无法通过光子筛聚焦，更不会产生反射现象，故不会存在反射和串扰等问题，有效解决了现有光纤耦合器不同传输通道之间存在反射和串扰的问题。与烧结制作工艺相比，本发明中光子筛器件的制作工艺已比较成熟，在精度要求不高的情况下，量产成本低，而且不存在人工检测和封装导致的工艺不一致问题，故附加插入损耗小。此外，本发明中的光子筛器件可以制作成膜层结构，焦距可以设计成微米数量级，因此结构紧凑，易于集成。 | ||||||
| 89 | 一种基于希腊梯子光子筛的变焦成像方法 | CN201810219422.6 | 2018-03-16 | CN110275232A | 2019-09-24 | 徐守英; 张军勇; 周申蕾; 林尊琪; 朱健强; 冀胜哲; 张偲敏 |
| 一种基于希腊梯子光子筛的变焦成像方法，变焦成像的主要器件是希腊梯子光子筛，所述的希腊梯子光子筛是一种能够实现三维阵列成像的衍射光学元件。本发明可以实现相干光场下从x射线到太赫兹波段的固定系统离散化变焦，通过设计光子筛可以实现离轴成像，增加了光路设计的自由度。这种器件将很可能应用于变焦系统、人工晶状体、x射线显微技术、太赫兹成像和光学捕获等领域。 | ||||||
| 90 | 光子筛主镜双色成像光学系统及其应用 | CN201510963590.2 | 2015-12-21 | CN105404017A | 2016-03-16 | 任智斌; 胡佳盛; 智喜洋; 岳帅; 李明亮; 唐洪浪; 曲荣召; 郑烁 |
| 本发明公开了一种光子筛主镜双色成像光学系统及其应用，所述光子筛主镜双色成像光学系统由光子筛主镜、分光镜、第一成像光路、第二成像光路构成，光辐射由光子筛主镜收集并会聚到分光镜表面，656.45nm波长的光线透过分光镜并被第一成像光路会聚成像，587.60nm波长的光线被分光镜反射到第二成像光路后会聚成像。本发明所述的光学系统可用作空间望远镜观测太阳的氢、氦两种物质成分的比例。本发明的光子筛主镜由大量圆形通光孔构成，对孔深的加工精度无要求，大大降低了光子筛主镜的加工难度，使得光子筛主镜的加工难度远低于衍射透镜和谐衍射透镜；光子筛主镜可以在卫星发射过程中保持折叠状态，发射到轨道后再展开成平面，对运载火箭的口径要求低。 | ||||||
| 91 | 光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法 | CN201010263339.2 | 2010-08-25 | CN102004276B | 2012-06-06 | 程冠晓; 胡超 |
| 一种光子筛相衬物镜，包括由基底和设于所述基底上的多个透光孔所形成的光子筛透镜及设于所述光子筛透镜表面的变相板，所述变相板位于所述光子筛透镜的中部或环绕于所述光子筛透镜的边缘，且所述光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上。此外，还提供光子筛相衬物镜的制造方法及成像方法。上述光子筛相衬物镜、制造方法及成像方法，采用光子筛透镜抑制旁瓣和高阶衍射焦点，成像分辨率和成像对比度高；光子筛透镜与变相板刻蚀在同一基底上且变相板设在光子筛透镜的表面，光子筛透镜的中心与变相板的中心在同一轴线上，能够精确对准，同时降低了曝光时间和曝光剂量，可以实现弱吸收材料内部微细结构的高成像分辨率和高成像衬度无损探测。 | ||||||
| 92 | 用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法 | CN200910235465.4 | 2009-10-14 | CN102043178B | 2012-05-23 | 谢常青; 潘一鸣; 朱效立; 贾佳; 刘明 |
| 本发明公开了一种用于大口径成像的复合型光子筛及其制作方法，属于衍射光学元件技术领域。所述复合型光子筛包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，在不透光薄膜上设计有一系列透光环带和随机分布的透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。本发明提供的复合型光子筛，相对于菲涅尔波带片，可以提高数值孔径，提高成像分辨率，能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，能够提高成像对比度，并且有效减小GDSII版图文件的数据量，降低大口径成像光子筛的加工难度。 | ||||||
| 93 | 基于大口径光子筛的焦面哈特曼波前传感器 | CN202010566652.7 | 2020-06-19 | CN111579098A | 2020-08-25 | 杨亚玲; 张军勇; 张艳丽; 张秀平; 李优; 刘德安; 朱健强 |
| 本发明涉及一种基于大口径光子筛的焦面哈特曼波前传感器装置，包括大口径光子筛、第一三维平移台、超分辨光子筛阵列、第二三维平移台、图像探测器、第三三维平移台和计算机，本发明的焦面哈特曼波前传感器通过超分辨光子筛阵列对入瞳焦平面处光的复振幅进行分割，可得到具有不同横向分布的焦斑阵列，从而实现整个待测波面的波前恢复；本发明可实现大口径待测波面的直接测量，可扩展焦面哈特曼波前传感器的应用范围，可降低焦面哈特曼波前传感器光学系统的复杂程度。 | ||||||
| 94 | 一种基于多波长光子筛阵列的光纤耦合器 | CN201910836825.X | 2019-09-05 | CN110471143A | 2019-11-19 | 蒋文波; 周波; 卜云; 任晓; 王楠 |
| 本发明公开了一种基于多波长光子筛阵列的光纤耦合器，将一种全新的多波长光子筛阵列应用于光纤耦合器中，由于光子筛器件本身对波长十分敏感，只有设计中心波长的入射光才能通过光子筛聚焦成像，其余波长的入射光都无法通过光子筛聚焦，更不会产生反射现象，故不会存在反射和串扰等问题，有效解决了现有光纤耦合器不同传输通道之间存在反射和串扰的问题。与烧结制作工艺相比，本发明中光子筛器件的制作工艺已比较成熟，在精度要求不高的情况下，量产成本低，而且不存在人工检测和封装导致的工艺不一致问题，故附加插入损耗小。此外，本发明中的光子筛器件可以制作成膜层结构，焦距可以设计成微米数量级，因此结构紧凑，易于集成。 | ||||||
| 95 | 一种基于检测波前编码系统的光子筛对准方法 | CN201710262507.8 | 2017-04-20 | CN107152998B | 2019-09-20 | 许峰; 李强; 周文彩; 赵效楠; 姚宇佳 |
| 一种基于检测波前编码系统的光子筛对准方法，在主全息外围加入光子筛，将光子筛放在汇聚光路中，通过观察光子筛的干涉条纹，采用计算全息法对波前编码系统相位进行反向调制，使得主全息与波前编码系统的顶点曲率中心重合且旋转对称轴线重合，实现主全息的精确定位。本发明通过在主全息外围设计了一个光子筛作为检测波前编码系统的对准系统，观察通过光子筛的干涉条纹判断主全息板是否存在离焦、偏心及倾斜，从而实现主全息的精确定位。 | ||||||
| 96 | 光子筛主镜双色成像光学系统及其应用 | CN201510963590.2 | 2015-12-21 | CN105404017B | 2017-12-08 | 任智斌; 胡佳盛; 智喜洋; 岳帅; 李明亮; 唐洪浪; 曲荣召; 郑烁 |
| 本发明公开了一种光子筛主镜双色成像光学系统及其应用，所述光子筛主镜双色成像光学系统由光子筛主镜、分光镜、第一成像光路、第二成像光路构成，光辐射由光子筛主镜收集并会聚到分光镜表面，656.45nm波长的光线透过分光镜并被第一成像光路会聚成像，587.60nm波长的光线被分光镜反射到第二成像光路后会聚成像。本发明所述的光学系统可用作空间望远镜观测太阳的氢、氦两种物质成分的比例。本发明的光子筛主镜由大量圆形通光孔构成，对孔深的加工精度无要求，大大降低了光子筛主镜的加工难度，使得光子筛主镜的加工难度远低于衍射透镜和谐衍射透镜；光子筛主镜可以在卫星发射过程中保持折叠状态，发射到轨道后再展开成平面，对运载火箭的口径要求低。 | ||||||
| 97 | 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛 | CN201410478006.X | 2014-09-18 | CN104199135B | 2016-09-21 | 严伟; 何渝; 李艳丽; 唐燕; 赵立新; 胡松 |
| 本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式rmn2＝2nfmnλ+n2λ2，其中rmn为环带半径；n为圆孔所在环带的环数；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；λ为波长。对应rmn上的透光孔的直径为其中wmn为环带宽度；λ为波长；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；rmn为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，针对于在不影响分辨力的情况下，采用光子筛扇形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。 | ||||||
| 98 | 一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛 | CN201410478006.X | 2014-09-18 | CN104199135A | 2014-12-10 | 严伟; 何渝; 李艳丽; 唐燕; 赵立新; 胡松 |
| 本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式rmn2＝2nfmnλ+n2λ2，其中rmn为环带半径；n为圆孔所在环带的环数；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；λ为波长。对应rmn上的透光孔的直径为其中wmn为环带宽度；λ为波长；fmn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；rmn为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，针对于在不影响分辨力的情况下，采用光子筛扇形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。 | ||||||
| 99 | 一种亚波长光子筛色散补偿装置及方法 | CN201410354303.3 | 2014-07-24 | CN104090318A | 2014-10-08 | 蒋文波 |
| 本发明公开了一种亚波长光子筛色散补偿装置，包括折射透镜一、折射透镜二和亚波长光子筛组成，折射透镜一、折射透镜二构成混合复消色差透镜组，所述折射透镜二置于折射透镜一和亚波长光子筛之间；所述亚波长光子筛是膜层结构；所述折射透镜一为负透镜，通常采用火石玻璃；所述折射透镜二为正透镜，通常采用冕玻璃。本发明与现有技术相比的优点是：克服了现有技术的缺点，不仅可校正F光、C光，还可校正D光，且具有二级光谱校正能力；进一步提高了亚波长光子筛的光谱成像范围，为其在宽光谱成像领域的应用奠定了理论和实验基础；因光子筛属新型衍射光学元件，故具有衍射光学元件的所有固有优点。 | ||||||
| 100 | 一种制作阵列部分环带光子筛匀光器的方法 | CN201210142241.0 | 2009-09-16 | CN102681170A | 2012-09-19 | 贾佳; 谢长青; 刘明 |
| 本发明公开了一种制作阵列部分环带光子筛匀光器的方法，该方法利用大规模集成电路工艺技术和平面光刻工艺技术实现，包括：利用电子束直写法制作出母版；通过接触式光刻法将母版图案转移到涂有光刻胶的光学玻璃上；利用感应耦合等离子刻蚀技术，将移到光学玻璃光刻胶上的图案刻蚀到光学玻璃中。利用本发明，实现了对高斯光束和其它不均匀非平面波前光束的波前平顶化，实现光束的匀光，实现接近平面的波前光束。 | ||||||
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