| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 41 | 一种位相编码的宽带光子筛 | PCT/CN2016/077040 | 2016-03-22 | WO2017049886A1 | 2017-03-30 | 王钦华; 赵效楠; 许峰; 胡敬佩 |
一种位相编码的宽带光子筛，直径为D，包括透明平面基底（1）和镀在透明平面基底（1）上的不透光金属薄膜（2），不透光金属薄膜（2）上设有环带状分布的通光小孔，通光小孔的位置分布满足方程（I），式中，f为宽带光子筛的焦距，n为通光环带的环带序号，λ为光子筛的工作波长，R为宽带光子筛的半径，α为三次编码系数，k为波数，x m和y m是第n个通光环带上第m个小孔的中心位置，m=1, 2, 3, …, num，其中(II)，（III），小孔半径（IV）。这种宽带光子筛同时具有位相编码板的编码功能和传统光子筛的聚焦功能，很大程度上减小了光子筛对波长的敏感性，且在不影响光子筛分辨率的情况下，拓宽了光子筛的带宽，同时提高了能量效率。 |
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| 42 | 复合光子筛投影式光刻系统 | PCT/CN2011/078453 | 2011-08-16 | WO2013023357A1 | 2013-02-21 | 谢常青; 高南; 华一磊; 朱效立; 李海亮; 史丽娜; 李冬梅; 刘明 |
一种复合光子筛投影式光刻系统，涉及微纳加工技术领域，包括依次设置的照明系统（1）、掩模板（2）、复合光子筛（3）和衬底（4）。照明系统（1）产生入射光，并将入射光照射至掩模板（2）。掩模板（2）提供复合光子筛（3）成像的物方，入射光透过掩模板（2）后被照射至复合光子筛（3）。复合光子筛（3）将掩模板（2）上的图形在衬底（4）上成像。衬底（4）接收复合光子筛（3）对掩模板（2）上图形所成的像。采用复合光子筛代替传统投影式光刻系统中的投影物镜，不仅能够保留传统投影式光刻系统效率高的优点，实现快速的大批量光刻，提高光刻效率，而且可以有效地降低成本，减小系统体积。 |
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| 43 | 一种生物光子宫颈癌筛查仪 | CN201910876752.7 | 2019-09-17 | CN110604548B | 2022-06-17 | 袁双虎; 李玮; 李潇箫; 刘宁; 魏玉春; 李莉; 王勇; 赵伟; 刘聿辉; 于金明 |
| 本发明公开了一种生物光子宫颈癌筛查仪，该生物光子宫颈癌筛查仪包括支撑底座、设置在支撑底座上的控制壳体和设置在控制壳体上的显示屏，所述控制壳体的内部中间设置有放置槽体，所述放置槽体内设置有荧光光谱扫描头；所述控制壳体的前侧面上设置有用于遮挡放置槽体下部的盖体，所述放置槽体内还设置有用于推动盖体上下滑动的推动机构；所述荧光光谱扫描头的底部连接有手持杆，所述手持杆上滑动连接有按压杆。 | ||||||
| 44 | 液晶光子筛结构、近眼显示装置 | CN201910458637.8 | 2019-05-29 | CN110058464B | 2022-01-07 | 刘佩琳; 王维; 孟宪芹; 孟宪东; 梁蓬霞; 王方舟; 凌秋雨; 闫萌; 田依杉; 薛高磊; 郭宇娇 |
| 本发明提出了液晶光子筛结构、近眼显示装置。该液晶光子筛结构包括层叠设置的第一保护膜、第一电极层、液晶层、第二电极层和第二保护膜，其中，第一电极层由多组周期性环状排列的多个圆形子电极组成。本发明所提出的晶光子筛结构，采用层叠设置的三明治结构，且第一电极层由多组周期性环状排列的多个圆形子电极组成，呈光子筛的形状，如此，在第一电极层和第二电极层的电场作用下，局部液晶层中的液晶分子会发生偏转，从而等效成透镜，进而形成单个的光子筛结构。 | ||||||
| 45 | 基于光子筛的定量相关振幅全息方法 | CN201910967605.0 | 2019-10-12 | CN111123683A | 2020-05-08 | 黄玲玲; 徐振涛; 魏群烁; 李晓炜; 王涌天 |
| 本发明公开的基于光子筛的定量相关振幅全息方法，属于微纳全息领域。本发明实现方法如下：根据全息再现像得到两个二值振幅全息图，用振幅形式表现相位信息改进传统的相位检索GS算法生成两个独立的二值振幅全息图；通过引入“全息掩膜”的概念建立两个独立的二值振幅全息图定量的关联关系，实现二值振幅全息图定量的关联化，通过测量峰值信噪比SNR进行评估，循环优化得到一组全息再现图像对应的定量关联振幅全息图，生成加工文件。透明单元编码值为“1”的像素，不透光单元编码值为“0”的像素，制备两个互相关联的透射型的光子筛。通过可见光或近红外入射光照射在两个互相关联的透射型的光子筛上，在傅里叶面上全息复现得到两个完全不同的再现像。 | ||||||
| 46 | 一种拼接大口径光子筛的制作方法 | CN201810540784.5 | 2018-05-30 | CN108761606A | 2018-11-06 | 许峰; 郑鹏磊; 胡正文; 王钦华 |
| 本发明属于光学领域，为解决制作大口径光子筛拼接误差导致拼接后光子筛分辨率降低的技术问题，公开了一种拼接大口径光子筛的制作方法，具体步骤如下：根据光子筛的口径、工作波长等参数确定光子筛筛孔的位置分布及筛孔的大小，其中光子筛筛孔的位置分布是经过位相编码的；将设计好的大口径光子筛分成若干个子区间；单独加工每一个子区间；将子区间拼接成完整的光子筛；利用数字图像复原技术将物体通过拼接光子筛所成的像进行复原；本发明能够制造大尺寸的光子筛，并且利用波前编码技术降低了光子筛拼接时的装调精度，并同时保证了拼接后的完整光子筛的成像质量。 | ||||||
| 47 | 一种位相编码的宽带光子筛 | CN201510610910.6 | 2015-09-23 | CN105137513B | 2018-06-26 | 王钦华; 赵效楠; 许峰; 胡敬佩 |
| 本发明公开了一种位相编码的宽带光子筛，直径为D，包括透明平面基底和镀在该透明平面基底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上设有环带状分布的通光小孔，所述通光小孔的位置分布满足方程，式中，f为宽带光子筛的焦距，n为通光环带的环带序号，λ为光子筛的工作波长，R为宽带光子筛的半径，为三次编码系数，k为波数,xm和ym是第n个通光环带上第m个小孔的中心位置（m=1,2,3…um），其中，小孔半径。本发明设计了一种同时具有位相编码板编码功能和传统光子筛聚焦功能的宽带光子筛，很大程度上减小了光子筛对波长的敏感性，且在不影响光子筛分辨率的情况下，拓宽了光子筛的带宽，同时提高了能量效率。 | ||||||
| 48 | 一种宽光谱薄膜光子筛空间望远系统 | CN201710319103.8 | 2017-05-08 | CN106950688A | 2017-07-14 | 王钦华; 赵效楠; 许峰; 李强; 姚宇佳; 李运祥 |
| 本发明公开了一种宽光谱薄膜光子筛空间望远系统，沿光线入射方向，成像光路依次为薄膜光子筛主镜、中继透镜、色差校正衍射镜和再聚焦透镜，所述薄膜光子筛主镜与色差校正衍射镜的光焦度相反而色散相同，所述空间望远系统满足，其中f1和f2分别为薄膜光子筛主镜和色差校正衍射镜的焦距，且f1和f2异号，D1和D2分别为薄膜光子筛主镜和色差校正衍射镜的口径，中继透镜的放大倍率为β。本发明宽光谱薄膜光子筛空间望远系统可实现宽光谱成像，同时具有高的成像质量。 | ||||||
| 49 | 一种制作大高宽比光子筛的方法 | CN201010544443.9 | 2010-11-12 | CN102466832A | 2012-05-23 | 谢常青; 辛将; 朱效立; 高南; 刘明 |
| 本发明公开了一种制作大高宽比光子筛的方法，该方法包括：制作光子筛掩模版和光学套刻掩模版；利用光子筛掩模版做掩模做X射线复制得到第一复制掩模版；利用第一复制掩模版再次做X射线复制得到第二复制掩模版；利用光学套刻掩模版做掩模，对第二复制掩模版的光子筛图形进行光学套刻，得到大高宽比光子筛。相对于传统的光子筛制作方法，本发明的优势在于制作更高高宽比的光子筛，获得工作波长更短的光子筛。 | ||||||
| 50 | 一种复合型波带片光子筛 | CN201010247543.5 | 2010-08-06 | CN102375169A | 2012-03-14 | 谢常青; 潘一鸣; 朱效立; 贾佳; 刘明 |
| 本发明公开了一种复合型波带片光子筛，包括透光衬底和镀在其上的不透光的金属薄膜，所述不透光的金属薄膜上分布有一系列透光环带和若干透光小孔。其中，透光平面可以为熔融石英、普通玻璃、有机玻璃等透光材料，不透光薄膜为透光衬底上制备的一层铬、金、铝、铜等金属挡光层，透光环带和透光小孔所在的位置没有金属挡光层。相对于菲涅尔波带片，本发明提供的复合型波带片光子筛可以提高数值孔径，提高成像分辨率。随机分布的透光小孔之间可以形成干涉，从而能够有效的抑制光轴方向的旁瓣效应和高阶衍射；相对于普通光子筛，本发明提供的复合型波带片光子筛能够有效提高衍射效率，从而提高成像对比度。 | ||||||
| 51 | 复合光子筛投影式光刻系统 | CN201110234020.1 | 2011-08-16 | CN102289157A | 2011-12-21 | 谢常青; 高南; 华一磊; 朱效立; 李海亮; 史丽娜; 李冬梅; 刘明 |
| 本发明涉及微纳加工技术领域，公开了一种复合光子筛投影式光刻系统，该系统包括依次放置的照明系统、掩模板、复合光子筛和衬底，其中：照明系统，用于产生入射光，并将该入射光照射至掩模板；掩模板，用于提供复合光子筛成像的物方，入射光透过掩模板后被照射至复合光子筛；复合光子筛，用于实现成像功能，将掩模板上的图形在衬底上成像；衬底，用于接收复合光子筛对掩模板上图形所成的像。利用本发明，由于采用复合光子筛代替传统投影式光刻系统中的投影物镜，不仅能够保留传统投影式光刻系统效率高的优点，实现快速的大批量光刻，提高光刻效率，而且可以有效地降低成本，减小系统体积。 | ||||||
| 52 | 一种方孔光子筛及其制作方法 | CN200910310249.1 | 2009-11-23 | CN102073084A | 2011-05-25 | 谢常青; 潘一鸣; 朱效立; 贾佳; 刘明 |
| 本发明公开了一种方孔光子筛及其制作方法，所述光子筛包括透光衬底和镀在透光衬底上的不透光金属薄膜；所述不透光金属薄膜上分布有多个透光方形小孔；所述方形小孔呈环带状分布，所述环带半径为rm、宽度为wm，其中：对应rm上的透光方形小孔的边长为：其中λ为波长，f为焦距，m为方形小孔分布的环数；所述方形小孔的对角线与方形小孔所在环带相垂直。本发明的方孔光子筛能够有效降低版图数据量，使得现有的加工工艺能够满足大口径成像光子筛的制作要求。 | ||||||
| 53 | 环带光子筛及其制作方法 | CN200910083498.1 | 2009-05-06 | CN101881844A | 2010-11-10 | 贾佳; 谢常青; 刘明 |
| 本发明公开了一种环带光子筛，该环带光子筛由多条同心的衍射孔环带与多条同心的刻蚀圆环环带交替嵌套而成，且与该环带光子筛中心距离最近的是一衍射孔环带；衍射孔环带的宽度与刻蚀圆环环带的宽度分别由该环带光子筛中心向外逐渐递减，且衍射孔环带的宽度与在远离该环带光子筛中心方向与其相邻的刻蚀圆环环带的宽度相等。这样在波带片的奇数和偶数环带都有透光部分，分别是奇数环的透光孔和偶数环的刻蚀位相环带，或者偶数环的透光孔和奇数环的刻蚀位相环带。每个透光孔的大小和相应的环带宽度相同。本发明同时公开了一种制作环带光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。 | ||||||
| 54 | 超分辨光子筛的制造方法 | CN200810227457.0 | 2008-11-25 | CN101430427B | 2010-11-10 | 贾佳; 谢长青; 刘明 |
| 本发明公开了一种超分辨光子筛的制造方法，在透普通的光子筛上集成刻蚀等孔径的超分辨位相环，从而形成由普通光子筛和等孔径超分辨位相片合成的有多个同心环带的位相衍射单元的位相板。本发明将超分辨技术的圆孔衍射数学处理工具和普通光子筛结合起来，实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。 | ||||||
| 55 | 基于光子筛的激光直写光刻系统 | CN200910084295.4 | 2009-05-15 | CN101561637A | 2009-10-21 | 蒋文波; 胡松; 赵立新; 邢薇; 杨勇; 严伟; 周绍林; 陈旺富; 徐锋; 张博 |
| 基于光子筛的激光直写光刻系统，是由曝光光源(1)、透镜(2)、空间滤波装置(3)、均匀准直透镜组(4)、反射镜(5)、光子筛(6)、光刻胶(7)、基片(8)、精密工件台(9)组成。激光光源经透镜、空间滤波、均匀准直透镜组后成为均匀准直的平行光，照射到光子筛上，光子筛具有良好的聚焦能力，在涂有光刻胶的基片上聚焦。基片放置在X、Y精密工件台上，利用光子筛与基片之间的相对运动来实现所需的光刻图形。本发明具有很好的工艺兼容性，不需改动整个系统的结构，只需将聚焦元件改为光子筛器件，就可用传统的i线、g线激光直写光刻系统实现纳米量级的分辨力。若在此基础上再缩短曝光光源的波长，则可实现更高的分辨力，以极低的成本实现纳米量级图形的制作。 | ||||||
| 56 | 圆环型光子筛及其制作方法 | CN200710303889.0 | 2007-12-26 | CN101470270A | 2009-07-01 | 贾佳; 姜骥; 谢长青; 刘明 |
| 本发明公开了一种圆环型光子筛，该圆环型光子筛是一种在透明介质上，先制造普通的光子筛，然后在每个普通光子筛的衍射孔处刻蚀双圆环位相环，形成有多个同心环带位相衍射单元的位相板。本发明同时公开了一种制作圆环型光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射的主斑再压缩的光强分布，即实现了激光束远场衍射斑的主斑大小的再压缩。 | ||||||
| 57 | 基于双焦光子筛的径向剪切干涉仪 | CN202010084951.7 | 2020-02-10 | CN113252190A | 2021-08-13 | 张军勇; 李垚村 |
| 一种基于双焦光子筛的径向剪切干涉仪，包括两个全同的双焦光子筛、图像探测器和计算机，所述的两个双焦光子筛的焦点相互对应，生成两套4f系统，使得入射的待测波面被分成两束大小不同的波面在图像探测器上发生剪切干涉，所述的计算机从图像探测器接收的干涉图中可以提取出剪切相位差，能够获得光束中携带的相位信息。本发明具有结构简单、对实验环境要求低和抗干扰能力强的特点，可应用于波前检测、干涉成像和自适应光学等诸多领域。 | ||||||
| 58 | 基于光子筛的定量相关振幅全息方法 | CN201910967605.0 | 2019-10-12 | CN111123683B | 2020-12-25 | 黄玲玲; 徐振涛; 魏群烁; 李晓炜; 王涌天 |
| 本发明公开的基于光子筛的定量相关振幅全息方法，属于微纳全息领域。本发明实现方法如下：根据全息再现像得到两个二值振幅全息图，用振幅形式表现相位信息改进传统的相位检索GS算法生成两个独立的二值振幅全息图；通过引入“全息掩膜”的概念建立两个独立的二值振幅全息图定量的关联关系，实现二值振幅全息图定量的关联化，通过测量峰值信噪比SNR进行评估，循环优化得到一组全息再现图像对应的定量关联振幅全息图，生成加工文件。透明单元编码值为“1”的像素，不透光单元编码值为“0”的像素，制备两个互相关联的透射型的光子筛。通过可见光或近红外入射光照射在两个互相关联的透射型的光子筛上，在傅里叶面上全息复现得到两个完全不同的再现像。 | ||||||
| 59 | 一种光子筛像差分析方法 | CN201810961551.2 | 2018-08-22 | CN109031684A | 2018-12-18 | 成雪清; 周鹏云; 陈雅丽; 唐霞梅; 方艾黎; 梁军; 潘科; 谭依玲 |
| 本发明提供了一种光子筛像差分析方法，从光子筛光瞳面相位和点扩散函数的数学关系出发，建立光子筛衍射模型，计算光子筛的点扩散函数；根据光子筛的点扩散函数逆推出光子筛光瞳面的相位，即光瞳面相位就是光子筛的等效波像差。与现有技术相比，本发明打破了惯性的思路，从光子筛光瞳面相位和点扩散函数的数学关系出发，从光子筛的点扩散函数逆推出光子筛光瞳面的相位。波像差是光学系统的重要评估指标，由其可以轻易推导出单项像差比如球差、慧差、象散、场曲和畸变。并且建立光子筛波像差模型也有助于光子筛和其他光学系统比如折射透镜的混合设计。 | ||||||
| 60 | 一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法 | CN201410317352.X | 2014-07-04 | CN104034517B | 2016-07-06 | 蒋文波 |
| 本发明公开了一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法。该检测方法采用曝光法和扫描法相结合的混合检测系统，由激光光源、扩束准直系统、亚波长光子筛、已涂有光刻胶的硅片、真空泵、工件台、计算机控制系统组成；其中，工件台由PI公司的二维工件台和压电陶瓷共同组成，二维工件台用于粗调，压电陶瓷用于精调；工件台的运动方向及步进值由计算机控制系统的软件进行设置，其中X方向控制焦距的步进，Y方向控制聚焦光斑的移动。本发明的检测方法的测量精度不受CCD像素间距的影响，无需光学放大环节，不改变光斑在空间的实际能量分布。 | ||||||
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