| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 1 | 压电致动的双轴微机电镜设备 | CN202310226307.2 | 2023-03-10 | CN116736523A | 2023-09-12 | N·博尼; R·卡尔米纳蒂; M·默利 |
| 公开了压电致动的双轴微机电镜设备。微机电镜设备具有限定界定腔的外部框架的固定结构、被布置在腔上方并限定窗口的内部框架、以及具有反射表面并被布置在窗口中的可倾斜结构。通过第一耦接弹性元件和第二耦接弹性元件弹性地耦接到内部框架。致动结构耦接到内部框架以使得可倾斜结构绕第一轴和第二轴旋转。致动结构具有第一对驱动臂和另一对驱动臂，第一对驱动臂弹性地耦接到内部框架并承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第一轴旋转，另一对驱动臂承载压电材料区域以使得可倾斜结构绕第二轴旋转并插入固定结构和内部框架之间，另一对驱动臂通过第一悬挂弹性元件和第二悬挂弹性元件弹性地耦接到固定结构和内部框架。 | ||||||
| 2 | 一种透射电镜原位压缩装置 | CN202011575433.1 | 2020-12-28 | CN114689620A | 2022-07-01 | 高翔; 陈永金; 杨文革 |
| 本发明提供一种透射电镜原位压缩装置，包括：透射电镜样品杆、样品杆载样台和控制系统，所述样品杆载样台的输入端通过电源线连接控制系统，所述样品杆载样台的输出端连接透射电镜样品杆，所述透射电镜样品杆用于放置待压缩样品材料；所述样品杆载样台用于对所述透射电镜样品杆上放置的样品材料进行电化学反应。通过合成制备获得由电池负极材料包覆待压缩样品材料而形成核壳结构，然后通过电化学反应控制离子嵌入包覆层负极材料，引起包覆层体积膨胀，进而实现向内压缩被包覆的样品材料。 | ||||||
| 3 | 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台 | CN201510629763.7 | 2015-09-28 | CN105223213B | 2017-12-15 | 韩晓东; 李志鹏; 毛圣成; 王晓冬; 庄春强; 张剑飞; 邓青松; 翟亚迪; 张韬楠; 张泽 |
| 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能‑显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。 | ||||||
| 4 | 栅压控制装置和扫描电镜 | CN202211222600.3 | 2022-10-08 | CN115440555A | 2022-12-06 | 潘建海; 唐骐杰; 张伟 |
| 本发明公开了一种栅压控制装置和扫描电镜。栅压控制装置包括可调电阻电路、高压电源和控制电路，可调电阻电路用于与扫描电镜的电子枪的栅极连接，可调电阻电路包括多个电阻，高压电源用于给可调电阻电路供电，控制电路与可调电阻电路连接，控制电路用于控制多个电阻的连接关系以调节可调电阻电路的电阻，从而调节栅极的电压。如此，通过控制电路控制可调电阻电路中多个电阻的连接关系以调节可调电阻电路的阻值，以达到控制调节栅压的目的，可调电阻的设置使得栅压的调节较为方便，能够更好地控制电子束流的大小，有利于提升扫描电镜成像时图像的质量。 | ||||||
| 5 | 透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪 | CN201310423165.5 | 2013-09-17 | CN103645199B | 2015-10-28 | 韩晓东; 岳永海; 张泽 |
| 透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪属于纳米材料原位测试领域。热双金属片一端固定在金属环的上面，另一端为自由端；在自由端且热膨胀系数低的一侧固定一个悬臂梁针尖，悬臂梁针尖上的针尖背对着热双金属片放置，样品固定在样品支撑台的一端上，样品支撑台的另一端固定在金属环上且要让样品正对悬臂梁针尖放置，且样品与针尖缝隙在2-50微米之间；热双金属片和悬臂梁针尖、样品和样品支撑台分别用导电材料固定在一起，热双金属片、样品支撑台分别与金属环绝缘固定，在热双金属片、样品支撑台上分别焊接电极，电极与外部测试电路连接。本发明同时保持着X、Y轴两个自由度，在压缩的同时对纳米材料的结构进行实时原位原子尺度的观测。 | ||||||
| 6 | 一种基于扫描电镜的纳米压痕系统 | CN201010142310.9 | 2010-04-09 | CN101793911A | 2010-08-04 | 韩晓东; 岳永海; 张跃飞; 张泽 |
| 基于扫描电镜的纳米压痕仪属于低维纳米材料应力状态下综合性能测试领域，其特征在于包括底座和样品基座，压痕头支持座，在样品基座上加装一套角度调节器，一套三轴位移粗调装置和一套三轴微位移器，用以将样品移动到压痕头针尖2-100μm之间，并使样品正对压痕头，利用压痕头的微位移器实现压痕操作，通过压痕头内部的应变片和压敏电阻以及应力-应变测试仪实现针尖压痕深度以及应力的测量，结合扫面点睛高分辨的成像系统揭示材料所受应力与变形机制之间的关系，同时还可以从事材料在应力作用下的光学、电学性能的研究。本发明结构简单，价格低廉，性能可靠，可实现材料的压痕操作和力学性能的研究。 | ||||||
| 7 | 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台 | CN201510629763.7 | 2015-09-28 | CN105223213A | 2016-01-06 | 韩晓东; 李志鹏; 毛圣成; 王晓冬; 庄春强; 张剑飞; 邓青松; 翟亚迪; 张韬楠; 张泽 |
| 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能-显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区、支撑梁、承载梁、样品载台与微型压头组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。 | ||||||
| 8 | 透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪 | CN201310423165.5 | 2013-09-17 | CN103645199A | 2014-03-19 | 韩晓东; 岳永海; 张泽 |
| 透射电镜用原位双轴倾转纳米压痕仪属于纳米材料原位测试领域。热双金属片一端固定在金属环的上面，另一端为自由端；在自由端且热膨胀系数低的一侧固定一个悬臂梁针尖，悬臂梁针尖上的针尖背对着热双金属片放置，样品固定在样品支撑台的一端上，样品支撑台的另一端固定在金属环上且要让样品正对悬臂梁针尖放置，且样品与针尖缝隙在2-50微米之间；热双金属片和悬臂梁针尖、样品和样品支撑台分别用导电材料固定在一起，热双金属片、样品支撑台分别与金属环绝缘固定，在热双金属片、样品支撑台上分别焊接电极，电极与外部测试电路连接。本发明同时保持着X、Y轴两个自由度，在压缩的同时对纳米材料的结构进行实时原位原子尺度的观测。 | ||||||
| 9 | 一种基于扫描电镜的纳米压痕系统 | CN201010142310.9 | 2010-04-09 | CN101793911B | 2012-09-05 | 韩晓东; 岳永海; 张跃飞; 张泽 |
| 基于扫描电镜的纳米压痕仪属于低维纳米材料应力状态下综合性能测试领域，其特征在于包括底座和样品基座，压痕头支持座，在样品基座上加装一套角度调节器，一套三轴位移粗调装置和一套三轴微位移器，用以将样品移动到压痕头针尖2-100μm之间，并使样品正对压痕头，利用压痕头的微位移器实现压痕操作，通过压痕头内部的应变片和压敏电阻以及应力-应变测试仪实现针尖压痕深度以及应力的测量，结合扫面点睛高分辨的成像系统揭示材料所受应力与变形机制之间的关系，同时还可以从事材料在应力作用下的光学、电学性能的研究。本发明结构简单，价格低廉，性能可靠，可实现材料的压痕操作和力学性能的研究。 | ||||||
| 10 | 一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台 | PCT/CN2016/105381 | 2016-11-11 | WO2017054782A1 | 2017-04-06 | 韩晓东; 李志鹏; 毛圣成; 王晓冬; 庄春强; 张剑飞; 邓青松; 翟亚迪; 张韬楠; 张泽 |
一种透射电镜双倾原位纳米压痕平台属于纳米材料力学性能-显微结构原位表征领域。该平台主要由粘接区(1)、支撑梁(2)、承载梁(3)、样品载台(5)与微型压头(4)组成，整体结构通过半导体微细加工技术制备。原位纳米压痕实验可采用热双金属片(7)、V型电热梁、压电、静电、电磁、记忆合金等方式进行驱动，样品通过聚焦离子束块体取样技术获得。该一体化平台可置于透射电镜(TEM)样品杆前端的狭小空间内，在双轴倾转条件下，驱动装置驱动微型压头(4)，在透射电镜中对材料进行原位纳米压痕、原位压缩和原位弯曲等实验。可以在亚埃、原子和纳米尺度下对材料的变形过程进行原位观察，研究其变形机制，揭示其显微结构与力学性能的关系。 |
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| 11 | 负压式电镜试样吸取器 | CN200420017171.7 | 2004-02-17 | CN2676203Y | 2005-02-02 | 任遥遥 |
| 负压式电镜试样吸取器，一根输气软管的两端分别与一个吸嘴后座和一个负压产生器连通，其特征在于负压产生器由圆形筒以及放置于圆形筒内的压缩弹簧和有推杆的活塞组成。与现有的同功能器具比较，其优点在于不会使电镜样品弯折、破裂，且不需人嘴吸气可确保使用者的卫生，还可避免电镜样品在各种情况下被吹走以及被所用器具内的异物污染。其结构简单、容易制作、成本低廉。 | ||||||
| 12 | 一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法 | PCT/CN2019/077962 | 2019-03-13 | WO2020168601A1 | 2020-08-27 | 张振宇; 崔俊峰; 刘冬冬 |
一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法，属于透射电镜原位纳米力学测试领域。采用湿法刻蚀与离子束刻蚀方法制备出楔形硅样品；利用聚焦离子束对刻蚀出的楔形硅进行减薄和修整，减薄采用离子束束流为30kV：50-80nA，修整采用离子束束流为5kV：1-6pA，使楔形硅顶部宽度为80-100nm。用导电银胶将样品固定在透射电镜原位纳米力学系统的样品座上，在透射电镜中用压针对样品进行压痕，使样品损伤层厚度为2-200nm；在透射电镜中对样品的损伤层进行原位纳米压痕实验。该方法实现了硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕实验，并且能够进行原子尺度表征。 |
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| 13 | 一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置 | CN202211508774.6 | 2022-11-29 | CN115966942B | 2023-08-04 | 孟祥良; 郭浩东 |
| 本发明涉及显微镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置，包括高压电缆、安装法兰、绝缘封接件和绝缘填充物，安装法兰固定在电子枪室一侧接口处，绝缘封接件呈板状，封堵安装在安装法兰靠近电子枪室内部的一侧开口处，绝缘封接件与安装法兰共同围合而成容纳腔，绝缘封接件上固定有电极柱组，绝缘封接件加厚处理，高压电缆由安装法兰的外部伸入容纳腔与电极柱组一端连接，电极柱组另一端与电子枪耦接；绝缘填充物适于在高压电缆位置固定后填充在容纳腔内。本申请通过安装加厚片状绝缘封接件，减少了占用空间，增大自身和电极柱组的接触面积，增强了耐压性能和绝缘性能，同时降低了导热性能，保证电子束的稳定性，成像质量高。 | ||||||
| 14 | 一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法 | CN201910120919.7 | 2019-02-19 | CN109708944A | 2019-05-03 | 张振宇; 崔俊峰; 刘冬冬 |
| 本发明公开了一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法，属于透射电镜原位纳米力学测试领域。采用湿法刻蚀与离子束刻蚀方法制备出楔形硅样品；利用聚焦离子束对刻蚀出的楔形硅进行减薄和修整，减薄采用离子束束流为30kV：50-80nA，修整采用离子束束流为5kV：1-6pA，使楔形硅顶部宽度为80-100nm。用导电银胶将样品固定在透射电镜原位纳米力学系统的样品座上，在透射电镜中用压针对样品进行压痕，使样品损伤层厚度为2-200nm；在透射电镜中对样品的损伤层进行原位纳米压痕实验。本发明实现了硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕实验，并且能够进行原子尺度表征。 | ||||||
| 15 | 具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件 | CN202310372761.9 | 2023-04-10 | CN116893504A | 2023-10-17 | N·博尼; R·卡尔米纳蒂; M·默利; C·L·佩瑞里尼; T·阿菲菲·阿菲菲 |
| 本公开涉及具有抗应力性改进的压电致动的微机电镜器件。一种微机电镜器件在半导体材料的管芯中具有：限定腔体的固定结构；承载反射区域的可倾斜结构，弹性地悬置在腔体上方并且具有在水平面中的主延伸部；承载相应压电结构的至少一对第一驱动臂，压电结构可以被偏置以生成驱动力，该驱动力引起可倾斜结构围绕平行于水平面的第一水平轴的旋转轴的旋转；弹性悬置元件，在旋转轴处将可倾斜结构弹性地耦合到固定结构，并且对于离开水平面的运动是刚性的并且对于围绕旋转轴的扭转是柔顺的。特别地，第一对中的驱动臂磁性地耦合到可倾斜结构，以便在相应压电结构的偏置之后通过磁性相互作用使其围绕旋转轴旋转。 | ||||||
| 16 | 一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置 | CN202211508774.6 | 2022-11-29 | CN115966942A | 2023-04-14 | 孟祥良; 郭浩东 |
| 本发明涉及显微镜技术领域，具体涉及一种扫描电镜用电子枪高压电缆引入装置，包括高压电缆、安装法兰、绝缘封接件和绝缘填充物，安装法兰固定在电子枪室一侧接口处，绝缘封接件呈板状，封堵安装在安装法兰靠近电子枪室内部的一侧开口处，绝缘封接件与安装法兰共同围合而成容纳腔，绝缘封接件上固定有电极柱组，绝缘封接件加厚处理，高压电缆由安装法兰的外部伸入容纳腔与电极柱组一端连接，电极柱组另一端与电子枪耦接；绝缘填充物适于在高压线缆位置固定后填充在容纳腔内。本申请通过安装加厚片状绝缘封接件，减少了占用空间，增大自身和电极柱组的接触面积，增强了耐压性能和绝缘性能，同时降低了导热性能，保证电子束的稳定性，成像质量高。 | ||||||
| 17 | 一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法 | CN201910120919.7 | 2019-02-19 | CN109708944B | 2021-03-26 | 张振宇; 崔俊峰; 刘冬冬 |
| 本发明公开了一种硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕方法，属于透射电镜原位纳米力学测试领域。采用湿法刻蚀与离子束刻蚀方法制备出楔形硅样品；利用聚焦离子束对刻蚀出的楔形硅进行减薄和修整，减薄采用离子束束流为30kV：50‑80nA，修整采用离子束束流为5kV：1‑6pA，使楔形硅顶部宽度为80‑100nm。用导电银胶将样品固定在透射电镜原位纳米力学系统的样品座上，在透射电镜中用压针对样品进行压痕，使样品损伤层厚度为2‑200nm；在透射电镜中对样品的损伤层进行原位纳米压痕实验。本发明实现了硅的损伤层透射电镜原位纳米压痕实验，并且能够进行原子尺度表征。 | ||||||
| 18 | 冷冻电镜图像压缩解压方法、装置、电子设备及存储介质 | CN202211311968.7 | 2022-10-25 | CN115761018A | 2023-03-07 | 谢培福; 郭振乾; 郭春龙 |
| 本公开涉及一种冷冻电镜图像压缩解压方法、装置、电子设备及存储介质，图像压缩过程包括确定至少一个冷冻电镜图像表征噪声大小的图像特征值。并根据图像特征值进行图像筛选得到目标冷冻电镜图像。再根据预设拆分规则将目标冷冻电镜图像拆分为第一候选图像和第二候选图像并分别通过第一编码规则和第二编码规则进行编码，得到第一编码表、第二编码表、第一编码图像和第二编码图像，存储第一编码表、第二编码表、第一编码图像和第二编码图像完成图像压缩过程。本公开通过筛选得到噪声较大的冷冻电镜图像，并将冷冻电镜图像拆分为两种噪声大小不同的图像进行分别编码，尽可能保证了压缩过程中不丢失信息，并得到体积较小的压缩结果。 | ||||||
| 19 | 一种气压环境维持结构、扫描电镜及气压环境维持方法 | CN202111567071.6 | 2021-12-20 | CN114093737A | 2022-02-25 | 刘其武 |
| 本申请公开了一种气压环境维持结构、扫描电镜及气压环境维持方法，应用于室内有目标气压需求的工作室，包括有：穿通件，穿过连通工作室室内空间的穿通孔，并能够在穿通孔内移动，穿通件的用于操控位移的操控端位于室外、用于承载样品的承载端位于室内；密封部件，设置在穿通件与穿通孔之间，以使工作室室内与室外密封隔离。本申请提供了的气压环境维持结构及方法，工作人员在外部操作即可移动工作室内的样品，同时保证了移动过程中特定气压环境与外界环境始终保持隔离，确保工作室内长期有效维持工作所需的特定气压环境，提高作业效率，简便作业操作。 | ||||||
| 20 | 用于透射电镜原位压力试验的压头及其制作方法 | CN202010077750.4 | 2020-01-31 | CN111272547B | 2021-10-26 | 聂安民; 张奕志; 王宏涛 |
| 制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法，包括获取基棒，选取一颗金刚石颗粒，将金刚石颗粒固定在基棒的端部，待加工压头的金刚石区域裸露，用FIB在金刚石的裸露区域切出直径5~20μm的圆柱；使圆柱与FIB离子束垂直，加工圆柱的压力平面。压头包括棒状基体和固定于基体端部的一颗金刚石颗粒，金刚石颗粒外露于基体的裸露区域具有直径为5~20μm的圆柱凸起，圆柱凸起的端面由FIB加工形成。本发明具有制作工艺简单，加工周期短，节约加工成本的优点。 | ||||||
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