1.一种用于热处理UV腔室部件的方法，所述方法包含以下步骤：
提供单式陶瓷制品；
以介于约0.1℃/分钟与约20℃/分钟之间的第一变温速率将所述单式陶瓷制品加热到介于约1000℃与约1800℃之间的温度范围；
热处理所述单式陶瓷制品并持续介于约0.5小时与约24小时之间的持续时间；以及
以介于约0.1℃/分钟与约20℃/分钟之间的第二变温速率冷却所述单式陶瓷制品。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述单式陶瓷制品包含选自由Al2O3、AlN、AlON、SiC、Si3N4、SiCN、Si-SiC、ZrO2、Y2O3、掺杂Y2O3的ZrO2、Y2O3类陶瓷、Er2O3及上述的组合所组成的组的材料。
3.如权利要求2所述的方法，其中在周遭空气环境中热处理含氧化物的单式陶瓷制品。
4.如权利要求2所述的方法，其中在无氧化环境中热处理非氧化物的单式陶瓷制品。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述温度范围介于约1200℃与约1500℃之间。
6.如权利要求1所述的方法，其中热处理的所述持续时间介于约1小时与约3小时之间。
7.如权利要求1所述的方法，其中所述第一和第二变温速率经选择为防止所述单式陶瓷制品破裂。
8.一种热处理UV腔室部件的方法，所述方法包含以下步骤：
提供单式玻璃制品；
以介于约0.1℃/分钟与约20℃/分钟之间的第一变温速率将所述单式玻璃制品加热到介于约1000℃与约1800℃之间的温度范围；
热处理所述单式玻璃制品并持续介于约0.5小时与约24小时之间的持续时间；以及
以介于约0.1℃/分钟与约20℃/分钟之间的第二变温速率冷却所述单式玻璃制品。
9.如权利要求8所述的方法，其中所述单式玻璃制品包含选自由石英、铝硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、掺杂稀土元素的硅酸盐玻璃、氮化物玻璃、及上述的组合所组成的组的材料。
10.如权利要求9所述的方法，其中在周遭空间环境中热处理含氧化物的单式玻璃制
品。
11.如权利要求9所述的方法，其中在无氧化环境中热处理非氧化物的单式玻璃制品。
12.一种通过一工艺来制备的经热处理的UV腔室部件，所述工艺包含以下步骤：
提供单式陶瓷或玻璃制品；
以介于约0.1℃/分钟与约20℃/分钟之间的第一变温速率将所述单式陶瓷或玻璃制品加热到介于约1000℃与约1800℃之间的温度范围；
热处理所述单式陶瓷或玻璃制品并持续介于约0.5小时与约24小时之间的持续时间；
以及
以介于约0.1℃/分钟与约20℃/分钟之间的第二变温速率冷却所述单式陶瓷或玻璃制品。
13.如权利要求12所述的经热处理的UV腔室部件，其中所述单式陶瓷或玻璃制品选自由Al2O3、AlN、AlON、SiC、Si3N4、SiCN、Si-SiC、ZrO2、Y2O3、掺杂Y2O3的ZrO2、Y2O3类陶瓷、Er2O3、石英、铝硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃、掺杂稀土元素的硅酸盐玻璃、氮化物玻璃、及上述的组合所组成的组。
14.如权利要求12所述的经热处理的UV腔室部件，其中在周遭空气环境中热处理含氧化物的单式陶瓷或玻璃制品。
15.如权利要求12所述的经热处理的UV腔室部件，其中在非氧化环境中热处理非氧化物的单式陶瓷或玻璃制品。