유리를 이용한 산화물 세라믹스의 표면개질 방법 및 표면개질된 산화물 세라믹스 |
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申请号 | KR1020030081462 | 申请日 | 2003-11-18 | 公开(公告)号 | KR100555222B1 | 公开(公告)日 | 2006-03-03 | |||||||||||||||
申请人 | 한국표준과학연구원; | 发明人 | 조성재; 추민철; 박현민; 윤경진; | |||||||||||||||||||
摘要 | 본 발명은 내열부품, 내마모 부품 및 반도체 제조 장비용 부품 등으로 사용되는 알루미나계 세라믹스를 포함한 산화물 세라믹스의 표면개질 방법 및 처리된 산화물 세라믹스에 관한 것으로, 더욱, 상세하게는 유리를 열처리를 통하여 산화물 세라믹스 표면에 침투시킴으로서, 강도, 내열 충격 특성, 내마모성이 향상되고 가공에 의한 표면균열을 치유하도록 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법 및 이에 의하여 제조된 산화물 세라믹스에 관한 것이다. 본 발명의 산화물 세라믹스의 표면개질 방법은 1000-1700℃의 온도에서 산화물 세라믹스 및 유리를 전기로를 비롯한 가열수단을 이용하여 수초 내지 수시간 열처리하는 단계를 포함한다. 본 발명의 산화물 세라믹스의 표면개질 방법은 적은 비용과 간단한 공정을 통하여 산화물 세라믹스의 강도, 내열 충격 특성, 내마모성을 향상시키는 효과를 갖는다. 산화물 세라믹스, 알루미나계 세라믹스, 지르코니아계 세라믹스, 열처리, 유리, 표면개질 |
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权利要求 | 산화물 세라믹스의 표면에 유리 성분을 도포하는 단계; 및 산화물 세라믹스 및 유리 성분을 1000-1700℃의 온도에서 수초 내지 수시간 열처리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법. 제 1 항에 있어서, 상기 유리는 산화물 세라믹스에 비하여 열팽창계수가 작은 것을 특징으로 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법. 제 1 항에 있어서, 유리는 MgO, Al 2 O 3 및 SiO 2 를 주성분으로 하는 것을 특징으로 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법. 제 1 항, 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서, 산화물 세라믹스는 알루미나계 세라믹스이고 열처리온도는 1500℃이고, 열처리시간은 5-300분인 것을 특징으로 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법. 제 1항, 제 2항 또는 제 3항에 있어서, 산화물세라믹스는 지르코니아계 세라믹스이고, 열처리온도는 1450℃이고, 열처리시간은 5-300분인 것을 특징으로 하는 산화물 세라믹스의 표면개질 방법. 제 1항 내지 제 5항의 어느 한 항의 방법을 이용하여 표면개질된 산화물 세라믹스. |
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说明书全文 |
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강도 (MPa) | |
비교 예: 알루미나계 세라믹스 의 본래 강도 | 413±50 |
실시 예: 유리 침투 후의 강도 | 628±30 |
표 1에서 나타난 바와 같이 유리 침투시켜 표면을 개질함으로서 강도가 약 51 % 증가하였음을 확인할 수 있다.
[실시예 3]
표면 개질에 따른 강도 신뢰성 향상
실시 예 2의 방법으로 유리를 침투시켜 표면을 개질한 시편의 강도 데이터와 비교 예로서 표면 개질 하지 않은 시편의 강도 데이터를 Weibull plot하였고, 그 결과는 도 3과 같다.
유리를 침투시켜 표면 개질한 알루미나계 세라믹스의 경우 Weibull modulus가 약 25로서 표면 개질하지 않은 알루미나계 세라믹스의 Weibull modulus 약 9보 다 현저하게 컸다.
이는 표면 개질에 의하여 강도 신뢰성이 현저히 향상됨을 보여 주는 것이다.
[실시예 4]
표면 개질에 따른 내 열 충격 특성 향상
실시예 2의 방법으로 유리를 침투시켜 표면 개질한 시편과 비교 예로서 표면 개질하지 않은 시편을 일정한 온도로 가열한 후 물로 급냉하여 열 충격에 의하여 균열이 생성되는지 여부를 관찰 비교하였다.
균열 생성 여부 관찰을 용이하게 하기 위하여 관찰 직전 시편에 염료를 침투시켰고, 그 결과는 도 4에 도시된 바와 같이 표면 개질한 시편과 비교 예인 개질하지 않은 시편 모두 가열 온도가 낮을수록 생성되는 균열이 적음을 알 수 있다.
그러나, 표면 개질하지 않은 시편은 240 ℃ 이상의 온도에서 급냉하면 예외 없이 균열이 생성되는데 비하여 (왼쪽 그림), 표면 개질한 시편은 270-280 ℃ 까지의 온도에서 급냉하여도 균열이 생성되지 않음을 확인할 수 있었다. 이는 표면 개질에 의하여 내열 충격 특성이 향상되었음을 보여 주는 예이다.
[실시예 5]
저 열팽창 유리의 침투에 의한 지르코니아의 표면 개질 및 강도 향상
지르코니아 세라믹스 소결체를 높이 3 mm, 너비 4 mm, 길이 40 mm의 굽힘 강도 시편으로 가공하였다.
시편의 표면에 MgO, Al 2 O 3 및 SiO 2 조성의 유리 조각을 올려놓고 1450℃ 공기 중에서 5-300 분 동안 열처리하였다. 열처리하여 유리를 침투시킨 시편을 표면에 묻어 있는 유리를 연삭하여 제거한 후 강도 시험을 하였으며, 비교 예로서 유리를 침투시키지 않은 지르코니아 세라믹스 시편의 본래 강도도 측정하였다.
강도 측정은 ISO 14704 규격에 준하여 행하였고, 각각 30 개씩의 시편을 측정하여 평균 및 표준편차를 구하였으며, Weibull 계수를 구하였다.
표 2는 지르코니아 세라믹스의 본래 강도, 저 열팽창 유리 침투 후의 강도 데이터와 Weibull 계수를 나타낸 것이다.
강도 (MPa) | Weibull 계수 | |
비교 예: 지르코니아 세라믹스 의 본래 강도 | 760±169 | 5 |
실시 예: 유리 침투 후의 강도 | 1038±93 | 12 |
표 2에서 나타난 바와 같이 유리 침투시켜 표면을 개질함으로서 강도가 약 37 % 증가하였음을 확인할 수 있다. 그리고 Weibull 계수가 증가한 것을 보아 결함제거 효과가 있음을 알 수 있다.
본 발명의 산화물 세라믹스 표면개질 방법은 적은 비용과 간단한 공정에 의하여, 강도가 높고 내열 충격 특성 및 내마모 특성이 우수하고, 강도가 균일해짐으로서 소재 및 부품의 신뢰성이 향상될 뿐 만 아니라, 균열을 치유함으로서 가공 제조 시 불량률을 감소시킬 수 있는 효과를 갖게 되므로, 내열부품, 내마모부품 및 반도체 제조 장비용 부품 등 광범위한 산업상 이용가능성이 기대된다.