玻璃基板生产管理系统及玻璃基板生产管理方法 |
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| 申请号 | CN201480038073.8 | 申请日 | 2014-08-20 | 公开(公告)号 | CN105358495B | 公开(公告)日 | 2017-08-08 |
| 申请人 | 日本电气硝子株式会社; | 发明人 | 大东慎司; | ||||
| 摘要 | 本 发明 的玻璃 基板 生产管理系统具备：基于在上游侧工序中从10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板(1) 抽取 10片以上进行检查而得的 缺陷 数据，计算出批次平均缺陷 密度 的第1检查单元(A)；多次使1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷(4)的个数不同，来估算上游侧工序的处理者受到的利益和下游侧工序的处理者受到的损失，基于这些估算结果来计算出利益超过损失时的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板(1)中存在的缺陷(4)的缺陷容许个数的估算单元(B)；检查一批大量小玻璃板获取用玻璃基板(1)的全部，对1片大量小玻璃板获取用玻璃基板(1)中存在的缺陷(4)的个数进行计数的第2检查单元(C)；和判定大量小玻璃板获取用玻璃基板(1)合格与否的合格与否判定单元(D)。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种玻璃基板生产管理系统，包含在下游侧工序中对在上游侧工序中制作出的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理而分割为多个单面玻璃板的流程，所述玻璃基板生产管理系统的特征在于，具备： |
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| 说明书全文 | 玻璃基板生产管理系统及玻璃基板生产管理方法技术领域[0001] 本发明涉及玻璃基板生产管理系统及玻璃基板生产管理方法，详细而言，涉及包含在下游侧工序中对在上游侧工序中制作出的具有多个虚拟单面的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理而分割为多个单面玻璃板的流程的玻璃基板生产管理系统及玻璃基板生产管理方法。 背景技术[0002] 众所周知，对于等离子显示器、液晶显示器、场发射显示器(包含表面发射显示器)、场致发光显示器及有机EL显示器等平板显示器(以下、也称为FPD)所采用的玻璃基板、有机EL照明所采用的玻璃基板、作为触摸面板的构成要素的钢化玻璃等所采用的玻璃基板、太阳能电池的面板、或其他电子器件所采用的玻璃基板而言，以提高生产率等为目的，正在推进作为所谓大量小玻璃板获取用玻璃基板的使用。 [0003] 在这种大量小玻璃板获取用玻璃基板中，作为最上游侧的处理，进行一片一片地依次制作母板玻璃的步骤，作为其下游侧的处理，进行以下步骤：将母板玻璃切断来分割为多个单面玻璃板，或者对母板玻璃的表面实施例如与多个显示器画面对应的膜或电路图案的形成等产品关联处理之后分割为多个单面玻璃板。 [0004] 该情况下，因为在现有技术中要求在大量小玻璃板获取用玻璃基板中的多个虚拟单面的任何位置都不能存在缺陷，所以伴随着大量小玻璃板获取用玻璃基板的大型化而存在产品成品率大大下降、不得已使得成本上涨等问题。 [0006] 具体是，例如在虚拟单面有四个面的情况下，按照不会因其中的一个面的缺陷而使四个面的大量小玻璃板获取用玻璃基板全部被淘汰的方式，将各个大量小玻璃板获取用玻璃基板每一个的缺陷的位置、种类及大小等缺陷信息从上游侧工序的处理者传递给下游侧工序的处理者，将存在粗劣的缺陷的虚拟单面在切断之后作为次品单面玻璃板而废弃掉。 [0007] 【在先技术文献】 [0008] 【专利文献】 [0009] 【专利文献1】日本专利第4347067号公报 发明内容[0010] 发明所要解决的问题 [0011] 然而，上述专利文献1所公开的方法需要研究用于将缺陷信息从上游侧工序的处理者传递给下游侧工序的处理者的方法或者需要用于该方法的设备，并且进行该处理导致的库存管理的复杂化或产品的生产计划立案的繁杂化变得显著，具有现实的运用比较困难的问题。 [0012] 再者，该文献所公开的方法仅仅是基于从上游侧工序传达至下游侧工序的缺陷信息，废弃掉了在下游侧工序中实施了产品关联处理的单面玻璃板，因此无法判明下游侧工序中的处理者是否受到明显的损失，结果是，还具有下游侧工序的处理者受到极大的损失的问题。 [0013] 本发明是鉴于上述情况而完成的，其课题在于，提供一种不需要将大量小玻璃板获取用玻璃基板各自的缺陷信息从上游侧工序传递给下游侧工序，简化缺陷的检查来实现作业效率的提高，并且还考虑了上游侧工序的处理者和下游侧工序的处理者的总体盈亏的玻璃基板生产管理系统及玻璃基板生产管理方法。 [0014] 用于解决问题的手段 [0015] 为了解决上述课题而首创的第1本发明是一种玻璃基板生产管理系统，包含在下游侧工序中对在上游侧工序中制作出的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理而分割为多个单面玻璃板的流程，所述玻璃基板生产管理系统的特征在于，具备：第1检查单元，基于在上游侧工序中从10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板中抽取了10片以上的缺陷检查的缺陷数据，检测抽取的大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的总个数，计算出该缺陷的总个数除以设为检查对象的总面积而得到的批次平均缺陷密度；估算单元，针对上游侧工序中的所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板，使用所述批次平均缺陷密度，使1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数不同来多次估算将存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板预备地视为合格品而送往下游侧工序所带来的上游侧工序的处理者受到的利益、和在对这些预备地视为合格品的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理来分割成多个单面玻璃板的情况下因所述缺陷的存在而产生了次品所引起的下游侧工序的处理者受到的损失，并基于这些估算结果，计算出所述利益超过所述损失时的1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的适当个数、即缺陷容许个数；第2检查单元，对上游侧工序中的所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的全部进行缺陷检查，并对所述1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数进行计数；和合格与否判定单元，将1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数处于由所述估算单元计算出的所述缺陷容许个数的范围内的所述大量小玻璃板获取用玻璃基板、和完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起作为送往下游侧工序的合格品，将其他的大量小玻璃板获取用玻璃基板作为在上游侧工序中废弃的次品。 [0016] 在此，上述估算单元中的“上游侧工序的处理者受到的利益”指的是，在与只要有一个缺陷就废弃掉大量小玻璃板获取用玻璃基板的现有系统的比较中可取得的利益。再有，上述估算单元中的“下游侧工序的处理者受到的损失”指的是，如果是现有系统，那么从上游侧工序送到下游侧工序的大量小玻璃板获取用玻璃基板由于在整个面上都不存在因上游侧工序引起的缺陷，故对这些玻璃基板实施产品关联处理后分割而得的所有单面玻璃板成为合格品，在与这种情况的比较中产生的损失。其中，“产品关联处理”指的是，在大量小玻璃板获取用玻璃基板的表面形成例如与显示器画面对应的膜或电路图案等的处理。 [0017] 根据这种构成，上游侧工序的处理者使用成型装置等依次制作矩形等的大量小玻璃板获取用玻璃基板，在10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的制作已完成的时间点、或正在制作的过程中，第1检查单元基于缺陷检查的缺陷数据，对各个大量小玻璃板获取用玻璃的所有面上存在的缺陷的个数进行计数，计算出这些总个数除以已检查的总面积而得到的一群大量小玻璃板获取用玻璃基板的批次平均缺陷密度。接着，估算单元预备性地多次使1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数依次不同，由此估算上游侧工序的处理者受到的利益和下游侧工序的处理者受到的损失，计算出上述利益超过上述损失时的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的适当个数、即缺陷容许个数。在进行该计算时，根据上游侧工序中的大量小玻璃板获取用玻璃基板的每一片的单价、和基于批次平均缺陷密度计算出的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数处于缺陷容许个数内的大量小玻璃板获取用玻璃基板的收获率(合格品率)，判明上游侧工序的处理者受到的利益。再有，根据在下游侧工序对大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理来分割成多个单面玻璃板时的单面玻璃板的每一片的单价、和基于批次平均缺陷密度计算出的包含存在所述缺陷的虚拟单面的大量小玻璃板获取用玻璃基板与缺陷容许个数对应地被送往下游侧工序而导致下游侧工序中的分割后的单面玻璃板包含缺陷而成为次品的比率，判明下游侧工序的处理者受到的损失。然后，第2检查单元针对所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的全部数量，对1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数进行计数后，合格与否判定单元在实际上1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数是由估算单元计算出的缺陷容许个数的情况下，与完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起视为合格品而送往下游侧工序，其他的大量小玻璃板获取用玻璃基板作为次品而在上游侧工序中废弃。其结果，上游侧工序的处理者受到的利益和下游侧工序的处理者受到的损失的总和成为利益，因此如果在两者中分配该利益，则两者均能提高利益。通过进行以上的动作，对于下游侧工序来说，在边缘被切的状态下能够仅在上游侧工序中进行大量小玻璃板获取用玻璃基板的合格与否的判断，伴随于此，无需从上游侧工序的处理者向下游侧工序的处理者传递缺陷信息，因此在设备、库存管理以及生产计划立案方面等都是有利的，能够简单地进行现实的运用。而且，不需要进行上游侧工序中的细心的缺陷检查，极其简化了缺陷的检查作业，可实现作业效率的提高。再者，由于构成为考虑上游侧工序的处理者和下游侧工序的处理者的总体盈亏来决定大量小玻璃板获取用玻璃基板是合格品还是次品，故也不会产生仅上游侧工序的处理者或仅下游侧工序的处理者受到不当的损失等弊端。 [0018] 另外，为了解决上述课题而首创的第2本发明，是一种玻璃基板生产管理系统，包含在下游侧工序中对在上游侧工序中制作出的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理而分割为多个单面玻璃板的流程，所述玻璃基板生产管理系统的特征在于，具备：检查单元，基于在上游侧工序中从10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板中抽取了10片以上的缺陷检查的缺陷数据，检测抽取的大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的总个数，计算出该缺陷的总个数除以设为检查对象的总面积而得到的批次平均缺陷密度，并且对所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的全部进行缺陷检查，从而对1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数进行计数；估算单元，针对上游侧工序中的所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板，使用所述批次平均缺陷密度，使1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数不同来多次估算将存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板预备地视为合格品而送往下游侧工序所带来的上游侧工序的处理者受到的利益、和在对这些预备地视为合格品的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理来分割成多个单面玻璃板的情况下因所述缺陷的存在而产生了次品所引起的下游侧工序的处理者受到的损失，并基于这些估算结果，计算出所述利益超过所述损失时的1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的适当个数、即缺陷容许个数；和合格与否判定单元，将1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数处于由所述估算单元计算出的缺陷容许个数的范围内的大量小玻璃板获取用玻璃基板和完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起作为送往下游侧工序的合格品，将其他的大量小玻璃板获取用玻璃基板作为在上游侧工序中废弃的次品。 [0019] 该第2本发明和上述第1本发明的不同之处在于，利用单个检查单元在同一时期进行：批次平均缺陷密度的计算；和针对一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的全部数量中存在缺陷的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中所存在的缺陷的实际个数的计数。其他的构成相同，因此在此省略其动作或作用效果的说明。 [0020] 在上述第1及第2本发明中，将在下游侧工序中实施产品关联处理的大量小玻璃板获取用玻璃基板的面区分为缺陷对产品关联处理有害的有害区域、和缺陷对产品关联处理无害的无害区域，并将无害区域的面积除以大量小玻璃板获取用玻璃基板的面积而得到的值设为无害区域救济率，将该无害区域救济率能够用于由所述估算单元执行的计算中。 [0021] 如此一来，即便缺陷存在于虚拟单面，只要该缺陷位于无害区域，则在下游侧工序中就不会成为次品，因此符合实情，估算单元中的计算精度得以升高。 [0022] 在以上的构成中，所述上游侧工序的处理者可以是作为平板显示器用的大量小玻璃板获取用玻璃基板的母板玻璃的制造者，所述下游侧工序的处理者可以是平板显示器的面板的中间或最终的制造者。 [0023] 如此一来，只要上游侧工序的处理者能通过下拉法(down draw)或浮标法(float)等依次制作矩形的母板玻璃并进行前述的动作，就能推断最终作为合格品来处理的母板玻璃的缺陷的个数。而且，面板的制造者通过进行通常的检查来排除次品，从而对于母板玻璃的制造者与面板的制造者而言，在将两者的盈亏进行总和的情况下就能够得到增益。 [0024] 再有，所述上游侧工序的处理者可以是作为平板显示器用的大量小玻璃板获取用玻璃基板的母板玻璃的制造者，所述下游侧工序的处理者是对平板显示器的母板玻璃进行切断后将其加工成单面玻璃板的制造者。 [0025] 即便在这种情况下，也能获得与上述情况同样的优点。 [0026] 而且，优选由计算机来进行所述估算单元中的计算和所述合格与否判定单元中的判定。 [0027] 如此一来，可实现复杂且必需的计算等的自动化，可实现能够进行迅速的处理的系统。 [0028] 为了解决上述课题而首创的第3本发明，是一种玻璃基板生产管理方法，包含在下游侧工序中对在上游侧工序中制作出的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理而分割为多个单面玻璃板的流程，所述玻璃基板生产管理方法的特征在于，包括：第1检查工序，基于在上游侧工序中从10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板中抽取了10片以上的缺陷检查的缺陷数据，检测抽取的大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的总个数，计算出该缺陷的总个数除以设为检查对象的总面积而得到的批次平均缺陷密度；估算工序，针对上游侧工序中的所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板，使用所述批次平均缺陷密度，使1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数不同来多次估算将存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板预备地视为合格品而送往下游侧工序所带来的上游侧工序的处理者受到的利益、和在对这些预备地视为合格品的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理来分割成多个单面玻璃板的情况下因所述缺陷的存在而产生了次品所引起的下游侧工序的处理者受到的损失，并基于这些估算结果来计算出所述利益超过所述损失时的1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的适当个数、即缺陷容许个数；第2检查工序，对上游侧工序中的所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的全部进行缺陷检查，并对存在所述缺陷的1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数进行计数；和合格与否判定工序，将1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数处于通过所述估算工序计算出的缺陷容许个数的范围内的大量小玻璃板获取用玻璃基板、和完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起作为送往下游侧工序的合格品，将其他的大量小玻璃板获取用玻璃基板作为在上游侧工序中废弃的次品。 [0029] 该第3本发明虽然涉及玻璃基板生产管理方法，但实质性的动作或作用效果和上述的第1本发明涉及的玻璃基板生产管理系统相同，因此在此省略其说明。 [0030] 为了解决上述课题而首创的第4本发明是一种玻璃基板生产管理方法，包含在下游侧工序中对在上游侧工序中制作出的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理而分割为多个单面玻璃板的流程，所述玻璃基板生产管理方法的特征在于，包括：检查工序，基于在上游侧工序中从10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板中抽取了10片以上的缺陷检查的缺陷数据，检测抽取的大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的总个数，计算出该缺陷的总个数除以设为检查对象的总面积而得到的批次平均缺陷密度，并且对所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板的全部进行缺陷检查，从而对1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数进行计数；估算工序，针对上游侧工序中的所述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板，使用所述批次平均缺陷密度，使1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数不同来多次估算将存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板预备地视为合格品而送往下游侧工序所带来的上游侧工序的处理者受到的利益、和在对这些预备地视为合格品的大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理来分割成多个单面玻璃板的情况下因所述缺陷的存在而产生了次品所引起的下游侧工序的处理者受到的损失，并基于这些估算结果，计算出所述利益超过所述损失时的1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的适当个数、即缺陷容许个数；和合格与否判定工序，将1片所述大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数处于通过所述估算工序计算出的缺陷容许个数的范围内的大量小玻璃板获取用玻璃基板、和完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起作为送往下游侧工序的合格品，将其他的大量小玻璃板获取用玻璃基板作为在上游侧工序中废弃的次品。 [0031] 该第4本发明虽然涉及玻璃基板生产管理方法，但实质性的动作或作用效果和上述的第2本发明涉及的玻璃基板生产管理系统相同，因此在此省略其说明。 [0032] 该情况下，在上述的第3及第4本发明中，也可将在下游侧工序中实施产品关联处理的大量小玻璃板获取用玻璃基板的面区分为缺陷对产品关联处理有害的有害区域、和缺陷对产品关联处理无害的无害区域，并将无害区域的面积除以大量小玻璃板获取用玻璃基板的面积而得到的值设为无害区域救济率，将该无害区域救济率用于在所述估算工序中进行的计算当中，再有，可以是，所述上游侧工序的处理者为作为平板显示器用的大量小玻璃板获取用玻璃基板的母板玻璃的制造者，所述下游侧工序的处理者为平板显示器的面板的中间或最终的制造者，或者也可以是，所述上游侧工序的处理者为作为平板显示器用的大量小玻璃板获取用玻璃基板的母板玻璃的制造者，所述下游侧工序的处理者为从平板显示器的母板玻璃切断并加工成单面玻璃板的制造者，进而也可以通过计算机来执行所述估算工序和合格与否判定工序。 [0033] 发明效果 [0034] 如上所述，根据本发明，无需将大量小玻璃板获取用玻璃基板的缺陷信息从上游侧工序传递到下游侧工序，且缺陷的检查被简化，可实现作业效率的提高，同时还可实现考虑了上游侧工序的处理者与下游侧工序的处理者的总体盈亏的玻璃基板生产管理系统及玻璃基板生产管理方法。附图说明 [0035] 图1是表示本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统的主要构成的示意构成图。 [0036] 图2是表示本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统的流程的流程图。 [0037] 图3a是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0038] 图3b是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0039] 图3c是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0040] 图4a是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0041] 图4b是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0042] 图4c是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0043] 图5a是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0044] 图5b是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0045] 图5c是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0046] 图6a是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0047] 图6b是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0048] 图6c是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0049] 图7a是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0050] 图7b是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0051] 图7c是表示使用本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统在现实中制作单面玻璃板的过程的示意图。 [0052] 图8是用于说明在本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统中使用的无害区域救济率的示意俯视图。 [0053] 图9是表示本发明的其他实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统的主要构成的示意构成图。 [0054] 图10是表示本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理方法的主要构成的示意构成图。 [0055] 图11是表示本发明的其他实施方式涉及的玻璃基板生产管理方法的主要构成的示意构成图。 具体实施方式[0056] 以下，参照附图来说明本发明的实施方式涉及的玻璃基板的制造方法。 [0057] 图1是表示本发明的实施方式涉及的玻璃基板生产管理系统(以下简称为生产管理系统)的主要构成的示意构成图，图2是表示该生产管理系统的流程的流程图，图3～图7是表示该生产管理系统的实施状况的示意图。 [0058] 首先，为了便于说明，基于图3来说明该生产管理系统的初始状态下的主要部分的构成。如图3(a)所示，大量小玻璃板获取用玻璃基板1呈矩形状，将除了4边的边缘部以外的区域虚拟地划分成了8个虚拟单面2。该大量小玻璃板获取用玻璃基板1在上游侧工序中通过下拉法或浮标法被成型，然后被切断成给定的大小(例如横向尺寸为1400～2600mm、纵向尺寸为1600～2800mm)。图3(b)表示在下游侧工序中对大量小玻璃板获取用玻璃基板1的所有虚拟单面2实施了膜或电路图案的形成等处理的状态，图3(c)表示在该下游侧工序中处理完的各虚拟单面2被分割成各单面玻璃板3的状态。 [0059] 接着，参照图1来说明本实施方式涉及的生产管理系统的构成。该生产管理系统S具有：在上游侧工序从10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1中通过抽取而进行的第1检查单元A；基于该第1检查单元A的检测结果而进行的估算单元B；对一个批次的全部进行的第2检查单元C；以及基于估算单元B的计算结果和第2检查单元的检测结果进行的合格与否判定单元D。而且，该合格与否判定单元D的结果被反映在下游侧工序中。因此，针对一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1的各处理全部在上游侧工序中进行。 [0060] 上述第1检查单元A基于从一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1抽取了10片以上的用于缺陷检查的缺陷数据，检测该已被抽取的大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的缺陷的总个数，计算该缺陷的总个数除以成为检查对象的总面积而得的批次平均缺陷密度。在此所称的缺陷意味着在下游侧工序中会成为问题的程度的缺陷。 [0061] 上述估算单元B首先针对一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1，求取将存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板1预备性地视为合格品来送往下游侧工序时上游侧工序的处理者受到的利益。该计算是基于以下两者进行的：上游侧工序中的大量小玻璃板获取用玻璃基板每一片的单价；和基于批次平均缺陷密度而被计算出且1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数处于临时的缺陷容许个数内的大量小玻璃板获取用玻璃基板的收获率(合格品率)。接下来，对这些预备性地被视为合格品的大量小玻璃板获取用玻璃基板1实施产品关联处理(在大量小玻璃板获取用玻璃基板1的表面形成例如与显示器画面对应的膜或电路图案等的处理)，然后分割为多个单面玻璃板3的情况下，求取下游侧工序的处理者受到的损失。该计算是基于以下两者进行的：在下游侧工序中对大量小玻璃板获取用玻璃基板1实施产品关联处理后分割为多个单面玻璃板3时的每一片单面玻璃板的的单价；和基于批次平均缺陷密度而被计算出且与上述临时的缺陷容许个数对应的缺陷被送往下游侧工序而包含于单面玻璃板3后导致其变成次品的收获率。另外，估算单元B使上述1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的个数不同，经多次估算来求取上述利益和上述损失，基于这些估算结果，计算出在上述利益超过上述损失时(更优选的是该利益在估算范围内最大时)的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的缺陷容许个数。其中，该估算单元B的计算是由计算机进行的。 [0062] 上述第2检查单元C对上述一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1的全部进行缺陷检查，与划分大量小玻璃板获取用玻璃基板1的各虚拟单面2的虚拟线进行对照的同时，通过实际测量来对1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的缺陷容许个数进行计数。 [0063] 上述合格与否判定单元D在一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1之中，将第2检查单元C实测出的存在缺陷的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的实际个数为上述估算单元B计算出的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的所述缺陷的真正的容许个数的大量小玻璃板获取用玻璃基板1作为和完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板1一起送往下游侧工序的合格品。而且，将其他的大量小玻璃板获取用玻璃基板1作为在上游侧工序中废弃的次品。另外，该合格与否判定单元D的判定是由计算机进行的。 [0064] 参照图2所示的流程图的步骤S1～S7详细说明以上的流程。该流程图仅表示上游侧工序中的处理的流程。 [0065] 步骤S1相当于第1检测单元A，在其中，将通过下拉法或浮标法等成型且实施了给定加工的10片以上的一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1作为对象，针对从其中抽取了10片以上的大量小玻璃板获取用玻璃基板1进行缺陷的检查，对缺陷的总个数进行计数，计算该缺陷的总个数除以检查总面积而得的批次平均缺陷密度。在第1检查单元A(第2检查单元C也同样)中虽然使用的是光学式的自动缺陷检测装置，但本发明中没有必要预先判明划分大量小玻璃板获取用玻璃基板1的各虚拟单面2的虚拟线。 [0066] 在步骤S2中，将假设为在下游侧工序中视作合格品时的相应1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的所述缺陷的个数i从0个起依次加1，决定进行了检查的大量小玻璃板获取用玻璃基板1。然后，在步骤S3中，关于依次加1的i的全部，分别对上游侧工序的处理者受到的累计利益和下游侧工序的处理者受到的累计损失进行比较。在此所说的累计表示：i从0个起依次加1来计算出的利益的累计值及损失的累计值。利益的计算是基于以下两者求出的：上游侧工序中的大量小玻璃板获取用玻璃基板的每一片的单价；和基于批次平均缺陷密度而被计算且1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的所述缺陷的个数处于缺陷容许个数内的大量小玻璃板获取用玻璃基板1的收获率。损失的计算是基于以下两者求出的：在下游侧工序中对大量小玻璃板获取用玻璃基板实施产品关联处理后分割为多个单面玻璃板时的单面玻璃板3的每一片的单价；和基于批次平均缺陷密度而被计算且与上述的缺陷容许个数对应的缺陷被送往下游侧工序而包含在单面玻璃板3中导致使其成为次品的收获率。在每一个的计算中，想要根据批次平均缺陷密度求取收获率，需要利用采用了二项累积分布函数的计算式来求取概率。 [0067] 在步骤S4中，在累计利益超过累计损失的情况下进入步骤S5，未超过的情况下进入步骤S7。在步骤S5中，i从0个起依次加1的一系列估算之中，在与迄今为止的估算结果相比成为最大的累计利益的情况下进入步骤S6，在与迄今为止的估算结果相比还不是最大的累计利益的情况下进入步骤S8。在步骤S6中，将此时的i的值作为临时的缺陷容许个数(1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的适当个数)，进入步骤S7。在步骤S7中，判断上游侧工序的成品率是否为100％以上(达到100％)，一旦成为100％以上就进入步骤S8，如果低于100％就返回步骤S2。在步骤S8中，将此时的临时的容许个数设为最终的容许个数(真正的容许个数)，然后移转至步骤S9。 [0068] 步骤S9相当于第2检查单元C，在此针对一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1的全部，对1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的所述缺陷的实际个数进行计数，然后进入步骤S10。步骤S10相当于合格与否判定单元D，在此根据1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的所述缺陷的实际个数、和真正的缺陷容许个数，进行合格品与次品的甄选。 [0069] 通过以上动作的完成，判明将1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的所述缺陷的实际个数仅为1个的情况视作合格品、还是将所述缺陷的实际个数为2个或3个等的情况也视作合格品，基于其结果来对全部进行检查和甄选。 [0070] 进一步详述的话，上述利益与损失如图3(a)、(b)、(c)所示那样，在对完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板1实施产品关联处理后分割成8个单面玻璃板3的情况下，由于在上游侧及下游侧中均不存在因缺陷引起的利益及损失，所以本发明中的利益及损失为零。另一方面，在1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的缺陷但凡有1个就将其作为次品而废弃掉的情况下，被作为次品的所有大量小玻璃板获取用玻璃基板1的相应价格部分成为损失，在现有系统中就是将这一损失本身作为损失，然而与现有系统相比，在本发明中，将这种情况设为损失为零来决定利益。 [0071] 并且，作为一例，在图4(a)所示的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1上，在一个虚拟单面2上存在一个缺陷4，在图5(a)所示的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1上，在两个虚拟单面2上分别各存在一个缺陷4，在图6(a)所示的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1上，在三个虚拟单面2上分别各存在一个缺陷4，在图7(a)所示的1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1上，在四个虚拟单面2上分别各存在一个缺陷4。 [0072] 该情况下，在第1检查单元A中，仅仅检测缺陷4的总个数(本例中为10个)，该总个数除以4片大量小玻璃板获取用玻璃基板1的总面积来计算批次平均缺陷密度。而且，在估算单元B基于该批次平均缺陷密度进行估算的过程中，比较如图4(a)所示那样在实施产品关联处理的前阶段将该大量小玻璃板获取用玻璃基板1视作合格品时可得到的利益、和如图4(b)所示那样实施产品关联处理后如图4(c)所示那样废弃1个单面玻璃板3时产生的损失，在利益超过损失的情况下，该大量小玻璃板获取用玻璃基板1作为合格品而从上游侧工序被送至下游侧工序。同样地，对于图5、图6、图7而言，也比较将实施产品关联处理的前阶段的大量小玻璃板获取用玻璃基板1视作合格品时可得到的利益、和实施制造关联处理后将相应个数的单面玻璃板3废弃时产生的损失，判定利益是否超过损失。并且，对于图4、图5、图6所示的情况而言，利益超过损失，但对于图7所示的情况而言，利益未超过损失，在1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的缺陷的个数为1个、2个、3个的情况下，会将实施产品关联处理的前阶段的大量小玻璃板获取用玻璃基板1从上游侧工序送往下游侧工序，但在缺陷个数为4个以上的情况下，会在上游侧工序中对实施产品关联处理的前阶段的大量小玻璃板获取用玻璃基板1进行废弃处理。 [0073] 在根据上述的批次平均缺陷密度求取收获率时优选以采用了二项累积分布函数的计算式求出概率。以下说明包含该情况的实施方式的计算。计算时采用包含二项累积分布函数的下述[数学式1]～[数学式5]的计算式。该计算式所使用的参数的定义列在表1中。另外，在该实施方式中，下述的表2列出了这些参数中成为前提条件的参数。而且，基于这些参数的输入而得到的计算结果列在下述的表3中。 [0074] 【数学式1】 [0075] [0076] 【数学式2】 [0077] ΔCp＝Cap-Cbp＝Cbp×(Y(N，0，d，E)-Y(N，m，d，E)) [0078] 【数学式3】 [0079] ΔCs＝Cas-Cbs＝Cbs×R×(1-α) [0080] 【数学式4】 [0081] [0082] 【数学式5】 [0083] -(ΔCp+ΔCs)＞O [0084] 【表1】 [0085] [0086] [0087] 【表2】 [0088] [0089] 【表3】 [0090] [0091] 另外，该计算中采用的无害区域救济率(α)指的是，例如，针对沿着复杂地组入的电路图案的无害区域，根据电路图案的设计信息将面积的比例作为概率而置换的参数，上述的复杂地组入的电路图案是如下的图案：根据在下游工序中形成于玻璃基板的电路图案等的设计信息，即便在所述上游工序中成为次品的缺陷存在，在电路图案的检查上也不会成为次品。 [0092] 根据上述的表3，在α为0％且Cbs为3000日元的情况下，如果是8联小玻璃板获取用的玻璃基板且缺陷容许个数为2个时，累计利益最大(270日元)，因此在一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1中，与完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起从上游侧工序被送往下游侧工序的是1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的实际个数为1个和2个的玻璃基板。再有，在α为0％且Cbs为6000日元的情况下、和α为40％且Cbs为10000日元的情况下，在两者均是8联小玻璃板获取用的玻璃基板，且缺陷容许个数为1个、在虚拟单面为8个时容许面数为1个时，累计利益最大(96日元)，因此在一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1中，1片大量小玻璃板获取用玻璃基板中存在的缺陷的实际个数为1个时，会与完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板一起从上游侧工序被送往下游侧工序。另外，在α为0％且Cbs为10000日元的情况下，由于累计利益全部为零以下，故一批大量小玻璃板获取用玻璃基板1中，只有完全不存在缺陷的大量小玻璃板获取用玻璃基板从上游侧工序被送往下游侧工序。 [0093] 在此，详述无害区域救济率(α)。如图8所示，在预先确定为多个直线状的电路图案Pa(赋予粗的交叉阴影线的区域)被并列排列在大量小玻璃板获取用玻璃基板1的情况下，若缺陷存在于电路图案Pa、或缺陷存在于电路图案Pa靠近的区域Ba(赋予细的交叉阴影线的区域)，则会产生断线或短路等。因而，将由该Pa与Ba构成的区域设为不允许存在缺陷的有害区域，将其他的区域Ca(赋予了由平行斜线构成的阴影线的区域)设为无害区域。而且，将Ca的面积除以大量小玻璃板获取用玻璃基板1的整个区域(有效面区域)的面积而得的值设为无害区域救济率(α)。此处的实施方式的计算中优选采用该概念。然而，在无法确定α的情况下只要将α＝0代入计算式进行计算即可。 [0094] 由于以上的实施方式涉及的生产管理系统S仅在上游侧工序就能进行大量小玻璃板获取用玻璃基板1的合格与否的判断，故不需要从上游侧工序的处理者将缺陷信息传递给下游侧工序的处理者，在设备、库存管理及生产计划立案方面等是有利的，能够简单地进行现实的运用。进而，在缺陷检查中，仅检测用于求取批次平均缺陷密度的缺陷的总个数和1片大量小玻璃板获取用玻璃基板1中存在的缺陷4的个数即可，不需要进行上游侧工序中的细心的缺陷检查，极其简化了缺陷的检查作业，可实现作业效率的提高。再者，由于构成为考虑上游侧工序的处理者与下游侧工序的处理者的总体盈亏来决定大量小玻璃板获取用玻璃基板1是合格品还是次品，故也不会产生仅上游侧工序的处理者或仅下游侧工序的处理者受到不合理的损失等弊端。 [0095] 另外，既可以是，上游侧工序的处理者为作为平板显示器用的大量小玻璃板获取用玻璃基板的母板玻璃的制造者，下游侧工序的处理者为平板显示器的面板的中间或最终制造者，也可以是，上游侧工序的处理者为作为平板显示器用的大量小玻璃板获取用玻璃基板的母板玻璃的制造者，下游侧工序的处理者为对平板显示器的母板玻璃进行切断后加工成单面玻璃板的制造者。 [0096] 此外，对于以上的实施方式中的第1检测单元A、估算单元B、第2检查单元C及合格品判定单元D来说，也可以几乎同时连续地进行。即，使用连续式地经过被检查物的光学式自动缺陷检测装置，在该检查处理中，如图9所示也可以编制以下工序：在单个的检查单元A1中以双方的目的都能实现的规格进行检查，同时将其结果立刻利用计算机来实现估算单元B1的处理，并立刻进行基于其结果的合格品判定单元C1，最后甄选被检查物。该情况下，检测单元A1中的批次平均缺陷密度的检测只要使用与被检查物的连续10片以上的投入相应的移动平均即可。 [0097] 再有，在1片大量小玻璃板获取用玻璃基板内构成的多个虚拟单面原则上是相同的尺寸，但也可以是分别不同的尺寸。 [0098] 另外，在以上的实施方式中，作为玻璃基板生产管理系统S应用了本发明，但也可以如图10所示，作为玻璃基板生产管理方法S2而具备第1检查工序A2、估算工序B2、第2检查工序C2和合格与否判定工序D2，还可以如图11所示，同样地作为玻璃基板生产管理方法S3而具备单个检查工序A3、估算工序B3和合格与否判定工序C3。基于利用这些玻璃基板生产管理方法S2、S3，抛开是否由计算机进行所有处理先不谈，也进行与上述的玻璃基板生产管理系统S实质上相同的处理。 [0099] 在此，以上的实施方式中，采用二项累积分布函数来进行了上游侧工序的处理者受到的利益和下游侧工序的处理者受到的损失的计算，但这是以缺陷的概率分布为二项分布的前提进行的，也可以采用与前提相称的其他分布函数。本发明并不限于这种计算方法，只要是能进行上游侧工序的处理者受到的利益和下游侧工序的处理者受到的损失的计算的方法，也可以使用其他计算方法。 [0100] 符号说明 [0101] 1 大量小玻璃板获取用玻璃基板(母板玻璃) [0102] 2 虚拟单面 [0103] 3 单面玻璃板 [0104] 4 缺陷 [0105] A 第1检查单元 [0106] B 估算单元 [0107] C 第2检查单元 [0108] S 玻璃基板生产管理系统 [0109] A1 检查单元 [0110] B1 估算单元 [0111] C1 合格与否判定单元 [0112] A2 第1检查工序 [0113] B2 估算工序 [0114] C2 第2检查工序 [0115] D2 合格与否判定工序 [0116] S2 玻璃基板生产管理方法 [0117] A3 检查工序 [0118] B3 估算工序 [0119] C3 合格与否判定工序 [0120] S3 玻璃基板生产管理方法 |
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