경사구조를 이용한 기판 부상 이송장치 |
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| 申请号 | KR20160125353 | 申请日 | 2016-09-29 | 公开(公告)号 | KR20180025074A | 公开(公告)日 | 2018-03-08 |
| 申请人 | CDS CO LTD; | 发明人 | BYUN SANG DOO; | ||||
| 摘要 | 본발명은다수개의핫존을통과하면서기판을건조하는경사구조를이용한기판부상이송장치에있어서, 경사지도록설치되는메인프레임; 상기다수개의핫존에각각배치되며, 상기메인프레임의상향에상기메인프레임과평행하게설치되는히팅플레이트; 상기히팅플레이트로부터상향으로평행하게이격배치되며, 초음파에의해가진되어기판을부상시킨상태로지지하는진동플레이트; 상기진동플레이트를지지하도록상기메인프레임에설치되는다수의진동지지부; 및, 상기진동플레이트에의해부상된기판이상기메인프레임의경사진방향으로이동시, 경사방향으로기울어진기판의일 측면을지지하면서상기다수개의핫존을연속적으로통과시키도록설치되는기판이송롤러;를포함하여, 기판건조시다단계로진행되는기판건조공정을초음파로기판을부상시킨상태에서연속적으로통과하면서건조가능한경사구조를이용한기판부상이송장치인것을특징으로한다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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