기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템 |
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| 申请号 | KR1020160144937 | 申请日 | 2016-11-02 | 公开(公告)号 | KR101836797B1 | 公开(公告)日 | 2018-03-09 |
| 申请人 | 주식회사 케이씨텍; | 发明人 | 이기우; 조문기; | ||||
| 摘要 | 본발명은기판이송장치및 이를구비한기판처리시스템에관한것으로, 약액도포공정이처리되는기판을이송하는기판이송장치는, 독립적으로분할되는복수개의부상파트를포함하며기판을부상시킨상태로이송하는기판이송부와, 복수개의부상파트에의한부상력을개별적으로제어하는제어부를포함하는것에의하여, 기판의처짐없이기판을평탄하게부상시키고, 약액의도포균일성을향상시키는효과를얻을수 있다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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