接触输送装置

申请号 CN200980107646.7 申请日 2009-03-05 公开(公告)号 CN101959776A 公开(公告)日 2011-01-26
申请人 独立行政法人国立高等专门学校机构; 发明人 矶部浩已;
摘要 本 发明 提供非 接触 输送装置。非接触输送装置具备:静压台,该静压台使输送物(S)朝上方浮起;一对输送单元(10A、10B),这一对输送单元具有振动板(11)和 致动器 (12);以及移动装置,该移动装置使输送单元(10A、10B)沿输送方向移动。进而,通过利用致动器(12)在振动板(11)激振挠曲 驻波 ,对与振动板(11)对置的输送物(S)的前端部(Sa)和后端部(Sb)赋予保持 力 。进而,在对输送物(S)的端部(Sa、Sb)赋予保持力的状态下使输送单元(10A、10B)移动,由此,追随输送单元(10A、10B)的移动沿输送方向输送输送物(S)。由此,能够削减部件数量,能够使装置小型化。
权利要求

1.一种非接触输送装置,其沿输送方向输送输送物,其特征在于,具备:
浮起机构,该浮起机构使输送物朝上方浮起;
输送机构,该输送机构具有振动板和致动器,所述振动板配置成以非接触状态与输送物对置,所述致动器对所述振动板赋予振动而激振挠曲驻波;以及
移动机构,该移动机构使所述输送机构沿所述输送方向移动,
通过利用所述致动器在所述振动板激振挠曲驻波,对与所述振动板对置的输送物的前端部和后端部中的至少一方的端部赋予保持,该保持力将所述输送物的端部拉向与所述振动板对置的位置并进行保持,
在对输送物的端部赋予该保持力的状态下,利用所述移动机构使所述输送机构沿所述输送方向移动,由此,追随所述输送机构的移动沿所述输送方向输送输送物。
2.根据权项1所述的非接触输送装置,其特征在于:
所述输送机构作为所述振动板具有前端部侧振动板和后端部侧振动板,所述前端部侧振动板以与输送物的前端部对置的方式配置,所述后端部侧振动板以与输送物的后端部对置的方式配置。
3.根据权项1或2所述的非接触输送装置,其特征在于:
所述非接触输送装置具备限制机构,该限制机构具有侧端部侧振动板和侧端部侧致动器,所述侧端部侧振动板配置成以非接触状态与输送物的侧端部对置,所述侧端部侧致动器对所述侧端部侧振动板赋予振动而激振挠曲驻波,
通过利用所述侧端部侧致动器在所述侧端部侧振动板激振挠曲驻波,对与所述侧端部侧振动板对置的输送物的侧端部赋予保持力,该保持力将该输送物的侧端部拉向与所述侧端部侧振动板对置的位置并进行保持,从而限制输送物在与所述输送方向正交的宽度方向的移动。
4.根据权项3所述的非接触输送装置,其特征在于:
所述移动机构使所述限制机构与所述输送机构一起沿所述输送方向移动。
5.根据权项1至4中任一项所述的非接触输送装置,其特征在于:
所述振动板以覆盖输送物的端部整体的方式沿着与所述输送方向正交的宽度方向延伸,
通过利用所述致动器激振在所述振动板的宽度方向具有多个波腹的挠曲驻波,对与所述振动板对置的输送物的端部赋予保持力,该保持力将该输送物的端部拉向与所述振动板对置的位置并进行保持,
通过在对输送物的端部赋予该保持力的状态下利用所述移动机构使所述输送机构沿所述输送方向移动,追随所述输送机构的移动沿所述输送方向输送输送物,并对输送物的端部的部赋予所述保持力,限制输送物在与所述输送方向正交的宽度方向的移动。
6.根据权项2所述的非接触输送装置,其特征在于:
将所述前端部侧振动板和所述后端部侧振动板连结在一起而形成环状振动板,该环状振动板形成为环状,且以非接触状态与输送物的周端部对置,
通过利用所述致动器激振在所述环状振动板的周方向具有多个波腹的挠曲驻波,对与所述环状振动板对置的输送物的周端部赋予保持力,该保持力将该输送物的周端部拉向与所述环状振动板对置的位置并进行保持,
通过在对输送物的周端部赋予该保持力的状态下利用所述移动机构使所述输送机构沿所述输送方向移动,追随所述输送机构的移动沿所述输送方向输送输送物,并限制输送物在与所述输送方向正交的宽度方向的移动。

说明书全文

接触输送装置

技术领域

[0001] 本发明涉及以非接触状态输送基样玻璃基板半导体晶片基板等平板状的输送物的非接触输送装置。

背景技术

[0002] 近年来,液晶显示器、等离子体显示器、触摸屏显示器等平板显示器的生产台数增大,另一方面,这些平板显示器不断大型化。进一步,每片面板的成本由能够从一片基样玻璃基板切出多少片面板、即面板获取数决定,因此,基样玻璃基板逐年大型化。并且,半导体晶片基板的薄型化急速发展,在薄型的基样玻璃基板或半导体晶片基板中,存在由输送时产生的破损导致的成品率的恶化的问题,在进行输送时,优选条件是不会附着污垢、不会产生应、不会受到损伤。
[0003] 以往,基板的输送利用基于输送辊或叉式升降车(fork lift)等的接触输送方式进行。在这种基于输送辊或叉式输送车等的接触输送方式中,如果基板大型化,则与此对应地为了缓和施加于基板的应力而需要增加辊的个数或叉的根数,但是,用于使多个辊或叉的高度严密地对齐的调整操作和保养管理非常耗费劳力。
[0004] 因此,提出有如下的非接触输送装置:利用由流体压力浮起机构从下方放出的流体的压力使输送路径上的输送品浮起,并利用在激发挠曲行波的弹性振动板与输送品表面之间产生的声音粘性流朝预定方向输送在输送路径上浮起的输送品(例如参照日本国特开2006-76690号公报)。在该非接触输送装置中,沿着输送路径配置有多个由弹性振动板和激振致动器构成的驱动单元。
[0005] 但是,在上述非接触输送装置中,由于需要沿着输送路径配置多个由弹性振动板和激振致动器构成的驱动单元,因此装置大型化、并且部件数量多,因此成本变高。

发明内容

[0006] 因此,本发明的目的在于提供一种能够削减部件数量、实现装置的小型化、且能够以非接触的方式输送输送物的非接触输送装置。
[0007] 本发明(例如参照图1、图2、图6、图7)涉及一种非接触输送装置,该非接触输送装置沿输送方向输送输送物(S),其特征在于,具备:浮起机构(1),该浮起机构使输送物(S)朝上方浮起;输送机构(10A、10B、110A、110B、210),该输送机构具有振动板(11、111、211)和致动器(12),上述振动板配置成以非接触状态与输送物对置,上述致动器对上述振动板赋予振动而激振挠曲驻波;以及移动机构(20、120),该移动机构使上述输送机构沿上述输送方向移动,通过利用上述致动器(12)在上述振动板(11......)激振挠曲驻波,对与上述振动板(11......)对置的输送物(S)的前端部(Sa)和后端部(Sb)中的至少一方的端部赋予保持力,该保持力将上述输送物的端部拉向与上述振动板(11......)对置的位置并进行保持,在对输送物的端部(Sa、Sb)赋予该保持力的状态下,利用上述移动机构(20、
120)使上述输送机构(10A、10B......)沿上述输送方向移动,由此,追随上述输送机构的移动沿上述输送方向输送输送物。
[0008] 由此,由于利用输送机构对输送物的端部赋予保持力并进行输送,因此能够以非接触状态输送输送物,并且,通过利用移动机构使输送机构移动,能够追随输送机构的移动而输送输送物,因此,不需要沿着输送方向配置激振挠曲行波的多个振动板,能够削减部件数量,能够使装置小型化。
[0009] 并且,在上述非接触输送装置中,上述输送机构(10A、10B......)作为上述振动板具有前端部侧振动板(11A、111A、211A)和后端部侧振动板(11A、111A、211A),上述前端部侧振动板以与输送物的前端部(Sa)对置的方式配置,上述后端部侧振动板以与输送物的后端部(Sb)对置的方式配置。
[0010] 由此,由于振动板与输送物的前端部和后端部对置地配置,因此对输送物的保持力变高,能够利用两个振动板以非接触状态稳定地输送输送物。
[0011] 并且,在上述非接触输送装置中(例如参照图1和图2),上述非接触输送装置具备限制机构(10C、10D),该限制机构具有侧端部侧振动板(11C、11D)和侧端部侧致动器(12C、12D),上述侧端部侧振动板配置成以非接触状态与输送物的侧端部(Sc、Sd)对置,上述侧端部侧致动器对上述侧端部侧振动板赋予振动而激振挠曲驻波,通过利用上述侧端部侧致动器(12C、12D)在上述侧端部侧振动板(11C、11D)激振挠曲驻波,对与上述侧端部侧振动板(11C、11D)对置的输送物的侧端部(Sc、Sd)赋予保持力,该保持力将该输送物的侧端部拉向与上述侧端部侧振动板(11C、11D)对置的位置并进行保持,从而限制输送物在与上述输送方向正交的宽度方向的移动。
[0012] 由此,通过具备限制机构,不用设置接触式的引导件就能够以非接触状态抑制输送物的脱落,能够避免由接触引起的输送物的污染或损伤。
[0013] 并且,在上述非接触输送装置中,上述移动机构(20、120)使上述限制机构(10C、10D)与上述输送机构(10A、10B)一起沿上述输送方向移动。
[0014] 由此,由于利用移动机构使限制机构移动,因此,不需要沿着输送方向配置多个激振挠曲驻波的振动板,能够削减部件数量,能够使装置更加小型化。
[0015] 并且,在上述非接触输送装置中(例如参照图6),上述振动板(111A、111B)以覆盖输送物的端部(Sa、Sb)整体的方式沿着与上述输送方向正交的宽度方向延伸,通过利用上述致动器(12)激振在上述振动板(111A、111B)的宽度方向具有多个波腹的挠曲驻波,对与上述振动板(111A、111B)对置的输送物的端部(Sa、Sb)赋予保持力,该保持力将该输送物的端部拉向与上述振动板(111A、111B)对置的位置并进行保持,通过在对输送物的端部(Sa、Sb)赋予该保持力的状态下利用上述移动机构(120)使上述输送机构(110A、110B)沿上述输送方向移动,追随上述输送机构(110A、110B)的移动沿上述输送方向输送输送物,并对输送物的端部的部赋予上述保持力,限制输送物在与上述输送方向正交的宽度方向的移动。
[0016] 由此,由于能够利用具有沿宽度方向延伸的振动板的输送机构限制输送物的朝向宽度方向的移动,因此,不需要另外设置限制机构,能够削减部件数量,能够使装置小型化。并且,不用设置接触式的引导件就能够以非接触状态抑制输送物的脱落,能够避免由接触引起的输送物的污染或损伤。
[0017] 并且,在上述非接触输送装置中(例如参照图7),将上述前端部侧振动板(211A)和上述后端部侧振动板(211B)连结在一起而形成环状振动板(211),该环状振动板形成为环状,且以非接触状态与输送物的周端部对置,通过利用上述致动器(12)激振在上述环状振动板(211)的周方向具有多个波腹的挠曲驻波,对与上述环状振动板(211)对置的输送物的周端部赋予保持力,该保持力将该输送物的周端部拉向与上述环状振动板(211)对置的位置并进行保持,通过在对输送物的周端部赋予该保持力的状态下利用上述移动机构(210)使上述输送机构沿上述输送方向移动,追随上述输送机构(210)的移动沿上述输送方向输送输送物,并限制输送物在与上述输送方向正交的宽度方向的移动。
[0018] 由此,由于能够利用具有环状振动板的输送机构限制输送物的朝向宽度方向的移动,因此,不需要另外设置限制机构,能够削减部件数量,能够使装置小型化。并且,不用设置接触式的引导件就能够以非接触状态抑制输送物的脱落,能够避免由接触引起的输送物的污染或损伤。
[0019] 另外,上述括号内的标号是为了与附图对照而标示的,这是为了容易理解发明、为了方便而标示的,并不对权利要求造成任何影响。

附图说明

[0020] 图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的非接触输送装置的主要部分的概要的说明图。
[0021] 图2是示出从图1的箭头X方向观察到的非接触输送装置的说明图。
[0022] 图3是示出各个单元的结构的说明图。
[0023] 图4是示出从图1的箭头X方向观察时的非接触输送装置的输送动作的说明图。
[0024] 图5是示出从图1的箭头Y方向观察时的非接触输送装置的限制动作的说明图。
[0025] 图6是示出第二实施方式所涉及的非接触输送装置的概要的说明图。
[0026] 图7是示出第三实施方式所涉及的非接触输送装置的概要的说明图。

具体实施方式

[0027] 以下,使用附图对用于实施本发明的最佳方式进行详细说明。
[0028] [第一实施方式]
[0029] 图1是示出本发明的第一实施方式所涉及的非接触输送装置的主要部分的概要的说明图,图2是示出从图1的箭头X方向观察到的非接触输送装置的说明图。
[0030] 在图1和图2中,输送物S是在平板显示器中使用的基样玻璃基板或半导体晶片等平板状的输送物,在本第一实施方式中形成为大致四边形状。
[0031] 如图2所示,非接触输送装置100具备借助空气等流体使输送物S朝上方浮起的作为浮起机构的静压台1。该静压台1遍及输送物S的输送方向(箭头C方向)延伸。静压台1的上表面1a形成为平面,在静压台1垂直地设有多个在上表面1a开口的放出口1b,从放出口1b朝上方放出空气等流体F。由此,借助从多个放出口1b朝上方放出的空气等流体F的压力,输送物S在静压台1的上方浮起,与处于下方的静压台1之间形成非接触状态。
[0032] 并且,非接触输送装置100具备:作为输送机构的一对输送单元10A、10B,这一对输送单元10A、10B以非接触的方式沿输送方向(箭头C方向)输送输送物S;作为限制机构的一对限制单元10C、10D,这一对限制单元10C、10D限制输送物S在与输送方向正交的宽度方向(箭头W方向)的移动;以及作为移动机构的移动装置20,该移动装置20支承各个单元10(10A、10B、10C、10D),并使各个单元10沿输送方向(箭头C方向)移动。
[0033] 各个输送单元10A、10B在输送方向间隔与输送物S的输送方向的长度对应的距离配置。并且,各个限制单元10C、10D在宽度方向间隔与输送物S的与输送方向正交的宽度方向的长度对应的距离配置。进而,各个单元10在输送物S的端部在大致中央对置。
[0034] 一方的输送单元(前端部侧输送单元)10A具有前端部侧振动板11A和前端部侧致动器12A,前端部侧振动板11A以非接触状态与输送物S的前端部Sa的上方对置、且配置在静压台1的上方,前端部侧致动器12A对前端部侧振动板11A赋予振动而激振挠曲驻波。并且,另一方的输送单元(后端部侧输送单元)10B具有后端部侧振动板11B和后端部侧致动器12B,后端部侧振动板11B以非接触状态与输送物S的后端部Sb的上方对置、且配置在静压台1的上方,后端部侧致动器12B对后端部侧振动板11B赋予振动而激振挠曲驻波。
[0035] 并且,各个限制单元10C、10D具有侧端部侧振动板11C、11D和侧端部侧致动器12C、12D,侧端部侧振动板11C、11D在输送物S的两侧端部Sc、Sd以非接触状态分别与对应的侧端部的上方对置、且配置在静压台1的上方,侧端部侧致动器12C、12D对侧端部侧振动板11C、11D赋予振动而激振挠曲驻波。
[0036] 各个单元10中的振动板11(11A、11B、11C、11D)和致动器12(12A、12B、12C、12D)为同样的结构,能够实现部件的通用化。
[0037] 以下,对各个单元10的结构进行详细说明。图3是示出各个单元10的结构的说明图。
[0038] 如图3所示,振动板11是在输送方向和宽度方向都比输送物S短的形成为大致四边形状的板材。致动器12具有由圆棒构成的振动放大用的变幅杆(horn)13和配设在变幅杆13的基端的螺栓紧固式郎之万换能器(BLT,Bolt-clamped Langevin Transducer)14,致动器12的前端、即变幅杆13的前端接合固定于振动板11的表面中央部。进而,通过朝BLT 14施加电压声波振动经由变幅杆13被放大,并传递至振动板11。
[0039] 对于各个单元10,在如图1所示的各个致动器12的前端与输送物的各个端部Sa~Sd对置的状态下,如图2所示,各个致动器12的基端被支承于移动装置20。进而,当移动装置20沿输送方向移动时,各个单元10彼此保持相同的距离并沿输送方向(箭头C方向)移动。
[0040] 图4是示出从图1的箭头X方向观察时的非接触输送装置的输送动作的说明图。致动器12A、12B对各个振动板11A、11B赋予超声波振动而在各个振动板11A、11B激振挠曲驻波P。通过以这种方式在振动板11A、11B激振挠曲驻波P,在输送物S的端部Sa、Sb作用有保持力,该保持力将输送物S的端部Sa、Sb拉向与振动板11A、11B对置的位置并进行保持。具体地说明,挠曲驻波P的波腹在振动板11A、11B中形成于致动器12A、12B所接触的位置。进而,振动板11A、11B中的挠曲驻波P的波腹的附近空间中负压最大,在振动板11A、
11B中的与挠曲驻波P的波腹对置的对置位置处保持输送物S的端部Sa、Sb的保持力最大(最大保持力)。进而,随着从该对置位置朝水平方向偏移,作用于输送物S的端部Sa、Sb的保持力降低。因此,只要振动板11A、11B与输送物S的端部Sa、Sb对置即可,输送物S的端部Sa、Sb也可以从与致动器12(即挠曲驻波P的波腹)对置的对置位置偏移,保持力作用于端部Sa、Sb,但是,在本第一实施方式中,各个致动器12A、12B隔开与端部Sa、Sb对置的间隔配置,因此,输送物S的端部Sa、Sb与振动板11A、11B中的挠曲驻波P的波腹对置,能够以最大保持力保持输送物S的端部Sa、Sb。
[0041] 另外,该保持力在输送物S的端部Sa、Sb从与振动板11对置的位置脱离的情况下并不发挥作用,仅在输送物S的端部位于与振动板11对置的位置的情况下发挥作用。
[0042] 其次,在使各个输送单元10A、10B沿输送方向(箭头C方向)移动距离L1的情况下,该距离L1是输送物S的端部Sa、Sb不会从与振动板11对置的位置脱离的距离,由于在输送物S的各个端部Sa、Sb被赋予保持力,因此输送物S的各个端部Sa、Sb被拉向振动板11中的与挠曲驻波P的波腹对置的位置(保持力最大的位置)。由此,输送物S追随输送单元10A、10B的移动而沿输送方向(箭头C方向)被输送。
[0043] 因此,根据本第一实施方式,能够利用各个输送单元10A、10B以非接触状态输送输送物S,并且,通过利用移动装置20使各个输送单元10A、10B移动,能够追随各个输送单元10A、10B的移动而输送输送物S,因此,不需要像以往那样沿输送方向配置多个激振挠曲行波的振动板,能够削减部件数量,能够使装置小型化。
[0044] 此处,只要以与输送物S的前端部Sa和后端部Sb的至少一方的端部对置的方式配置输送单元10即可,即便省略输送单元10A而仅配置输送单元10B、或者省略输送单元10B而仅配置输送单元10A也能够进行输送,但是,在本第一实施方式中,由于与输送物S的两端部Sa、Sb对应地配置输送单元10A、10B,因此保持力(即输送力)高,并且,能够稳定地输送输送物S。
[0045] 其次,在本第一实施方式中,除了输送单元10A、10B之外还具备相同结构的限制单元0C、10D,对限制单元10C、10D的动作进行说明。图5是示出从图1的箭头Y方向观察时的非接触输送装置的限制动作的说明图。
[0046] 如上所述,致动器12C、12D对各个振动板11C、11D赋予超声波振动而在各个振动板11C、11D激振挠曲驻波P。通过以这种方式在振动板11C、11D激振挠曲驻波P,在输送物S的侧端部Sc、Sd作用有保持力,该保持力将输送物S的侧端部Sc、Sd拉向与振动板11C、11D对置的位置并进行保持。具体地说明,挠曲驻波P的波腹在振动板11C、11D中形成于致动器12C、12D所接触的位置。进而,振动板11C、11D中的挠曲驻波P的波腹的附近空间中负压最大,在振动板11C、11D中的与挠曲驻波P的波腹对置的对置位置处保持输送物S的端部Sc、Sd的保持力最大(最大保持力)。进而,随着从该对置位置朝水平方向偏移,作用于输送物S的端部Sc、Sd的保持力降低。因此,只要振动板11C、11D与输送物S的端部Sc、Sd对置即可,输送物S的端部Sc、Sd也可以从与致动器12(即挠曲驻波P的波腹)对置的对置位置偏移,保持力作用于端部Sc、Sd,但是,在本第一实施方式中,各个致动器12C、12D隔开与端部Sc、Sd对置的间隔配置,因此,输送物S的端部Sc、Sd与振动板11C、11D中的挠曲驻波P的波腹对置,能够以最大保持力保持输送物S的端部Sc、Sd。另外,该保持力在输送物S的端部Sc、Sd从与振动板11对置的位置脱离的情况下不发挥作用,在输送物S的端部Sc、Sd位于与振动板11对置的位置的情况下发挥作用。
[0047] 其次,在输送物S沿宽度方向移动的情况下,例如,在输送物S的宽度方向两侧产生输送速度的不平衡而使输送物S在宽度方向偏移的情况下,只要该移动幅度L2是输送物S的端部Sc、Sd不从与振动板11对置的位置脱离的范围,就对输送物S的各个端部Sc、Sd赋予有保持力,因此,输送物S的各个端部Sc、Sd被拉向与振动板11中的挠曲驻波P的波腹对置的位置(保持力最大的位置),输送物S在与输送方向正交的宽度方向的移动被限制。
[0048] 因此,根据本第一实施方式,借助各个限制单元10C、10D,不用设置接触式的引导件就能够在非接触状态下抑制输送物的脱落,能够避免由接触引起的输送物的污染或损伤。
[0049] 此处,可以沿着输送方向排列有多个限制单元,但是,在本第一实施方式中,利用移动装置20使限制单元10C、10D移动,因此,不需要沿着输送方向配置多个激振挠曲驻波的限制单元,能够削减部件数量,能够使装置更加小型化。
[0050] 并且,只要以与输送物S的两侧端部Sc、Sd中的至少一方的侧端部对置的方式配置限制单元即可,即便省略限制单元10C而仅配置限制单元10D、或者省略限制单元10D而仅配置限制单元10C也能够进行输送,但是,在本第一实施方式中,由于与输送物S的两侧端部Sc、Sd对应地配置限制单元10C、10D,因此保持力(即输送力)高,并且,能够稳定地限制输送物S在宽度方向的移动。
[0051] 以上,在本第一实施方式中,利用移动装置20使作为输送机构的输送单元10A、10B和作为限制机构的限制单元10C、10D移动,因此能够削减部件数量,进一步,能够以非接触状态稳定地朝输送方向输送输送物S、且能够限制输送物S的朝向宽度方向的移动。
[0052] [第二实施方式]
[0053] 在上述第一实施方式中,对非接触输送装置具备作为限制机构的限制单元10C、10D的情况进行了说明,但是,在本第二实施方式中,对作为输送机构的输送单元兼具作为限制机构的功能的情况进行说明。另外,在本第二实施方式中,对与上述第一实施方式相同的结构赋予相同的标号并省略说明。
[0054] 图6是示出第二实施方式所涉及的非接触输送装置的概要的说明图,(a)是从与输送方向正交的方向观察的图,(b)是从输送方向观察的图。
[0055] 在本第二实施方式中具备作为输送机构的一对输送单元110A、110B,输送单元110A和输送单元110B形成为同样的结构,且在输送方向离开与输送物S的输送方向C的长度对应的距离配置。
[0056] 一方的输送单元(前端部侧输送单元)110A具有前端部侧振动板111A和2个(多个)前端部侧致动器12、12,前端部侧振动板111A为了以非接触状态与输送物S的前端部Sa的上方对置而配置在静压台1的上方,前端部侧致动器12、12对前端部侧振动板111A赋予振动而激振挠曲驻波。前端部侧致动器12、12彼此之间的距离设定成与输送物S的宽度方向的长度大致相同的距离。同样地,另一方的输送单元(后端部侧输送单元)110B具有后端部侧振动板111B和2个(多个)后端部侧致动器12、12,后端部侧振动板111B为了以非接触状态与输送物S的后端部Sb的上方对置而配置在静压台1的上方,后端部侧致动器12、12对后端部侧振动板111B赋予振动而激振挠曲驻波。后端部侧致动器12、12彼此之间的距离设定成与输送物S的宽度方向的长度大致相同的距离。
[0057] 各个振动板111A、111B形成为以宽度方向的长度在输送物S的宽度方向的长度以上的方式在宽度方向延伸,当使各个振动板111A、111B与输送物S的各个端部Sa、Sb对置时,各个振动板111A、111B覆盖端部Sa、Sb整体。进而,利用致动器12、12激振出在宽度方向具有多个波腹的挠曲驻波P’。由此,在输送物S的前端部Sa及其两侧的角部作用有将输送物S的前端部Sa及其两侧的角部拉向与前端部侧振动板111A对置的位置的保持力,在输送物S的后端部Sb及其两侧的角部作用有将输送物S的后端部Sb及其两侧的角部拉向与后端部侧振动板111B对置的位置的保持力。
[0058] 移动装置120配置在静压台1的下部,该移动装置120具备:基座121,静压台1载置于该基座121;一对导轨122、122,这一对导轨122、122设在基座121的宽度方向两侧,且沿着输送方向延伸;以及一对滑动件123、123,这一对滑动件123、123固定于各个振动板111A、111B,并与导轨122滑动接触。进而,各个输送单元110A、110B沿着导轨122、122移动。另外,在各个振动板111A、111B中,固定于滑动件123、123的部分是挠曲驻波P’的波节。
[0059] 并且,各个振动板111A、111B中的致动器12、12所接触固定的部分是挠曲驻波P’的波腹an1、an1。进而,在挠曲驻波P’的波腹an1与波腹an1之间形成有其他的波腹an2、an2。即,各个振动板111A、111B中的挠曲驻波P’的波腹的数量设定成至少3个以上。
[0060] 与第一实施方式同样,挠曲驻波P’的各个波腹an1、an1、an2、an2附近的空间的负压最大,通过使前端部侧振动板111A与输送物S的前端部Sa对置、使后端部侧振动板111B与输送物S的后端部Sb对置,能够对各个端部Sa、Sb赋予保持力。
[0061] 此处,输送物S的各个端部Sa、Sb处的两个角部与振动板111A、111B中的挠曲驻波P’的波腹an1、an1对置。即,振动板111A、111B中的挠曲驻波P’的波腹an1、an1对输送物S的角部赋予最大保持力。在本第二实施方式中,利用各个振动板111A、111B中的挠曲驻波P’保持输送物S的4个角部。另外,只要振动板111A、111B与输送物S的端部Sa、Sb以及角部对置即可,输送物S的输送部S的角部也可以从与驻波P’的波腹对置的位置偏移,保持力作用于输送物S的角部,但是,在本第二实施方式中,由于使振动板111A、111B中的驻波P’的波腹与输送物S的角部对置,因此能够以最大保持力保持输送物S的角部。
[0062] 在以该状态使各个输送单元110A、110B沿输送方向C移动的情况下,由于利用振动板111A、111B中的驻波P’的各个波腹an1、an1、an2、an2对输送物S的端部Sa、Sb赋予保持力,因此,输送物S追随各个输送单元110A、110B的移动沿输送方向C被输送。这样,由于在整个宽度方向都形成有挠曲驻波P’的波腹并利用保持力保持各个端部,因此即便输送物S大型化也能够稳定地进行输送。
[0063] 进一步,由于利用振动板111A、111B中的驻波P’的各个波腹an1、an1对输送物S的角部赋予保持力,因此能够限制输送物S的朝向宽度方向的移动。
[0064] 以上,在本第二实施方式中,由于各个输送单元110A、110B具有限制输送物S朝向宽度方向移动的功能,因此,不需要像上述第一实施方式那样另外设置限制单元,能够削减部件数量,能够使装置小型化。并且,不用设置接触式的引导件就能够以非接触状态抑制输送物的脱落,能够避免由接触引起的输送物S的污染或损伤。
[0065] 此处,只要以与输送物S的前端部Sa和后端部Sb中的至少一方的端部对置的方式配置输送单元110即可,即便省略输送单元110A而仅配置输送单元110B、或者省略输送单元110B而仅配置输送单元110A也能够进行输送,但是,在本第二实施方式中,由于与输送物S的两端部Sa、Sb对应地配置输送单元110A、110B,因此保持力(即朝向输送方向的输送力以及朝向宽度方向的限制力)变高,并且,能够稳定地输送输送物S,能够稳定地限制输送物S朝向宽度方向的移动。
[0066] [第三实施方式]
[0067] 进一步,对变更上述实施方式而得到的其他的实施方式进行说明。图7是示出第三实施方式所涉及的非接触输送装置的概要的说明图。另外,在本第三实施方式中,对与上述实施方式相同的结构赋予相同的标号并省略说明。
[0068] 在本第三实施方式中,作为输送机构的输送单元210作为振动板具有形成为环状的环状振动板211,对于该环状振动板211,前端部侧振动板211A和后端部侧振动板211B连结在一起,且以非接触状态与输送物S的周端部Sc对置。
[0069] 另外,在本第三实施方式的说明中,由于输送物S为圆盘形状,因此环状振动板211与输送物S的形状对应地形成为圆环状。
[0070] 输送单元210具备用于在环状振动板211激振挠曲驻波P”的2个(多个)致动器12、12。利用这些致动器12、12在环状振动板211沿周方向激振挠曲驻波P”。进而,通过在输送物S的周端部Sc与环状振动板211对置的状态下利用致动器12、12在环状振动板211的周方向激振挠曲驻波P”,在输送物S的周端部Sc作用有将该输送物S的周端部Sc拉向与环状振动板211对置的位置并进行保持的保持力。即,环状振动板211中的挠曲驻波P”在环状振动板211的周方向具有多个波腹,当使环状振动板211与输送物S的周端部Sc对置时,在输送物S的周端部Sc作用有由挠曲驻波P”的多个波腹产生的保持力。
[0071] 在该状态下,在使输送单元210沿输送方向C移动的情况下,由于在环状振动板211激振挠曲驻波P”,并对输送物S的周端部Sc赋予保持力,因此输送物S追随输送单元
210的移动而沿输送方向C被输送。
[0072] 进一步,由于在环状振动板211的周方向激振挠曲驻波P”、并对输送物S赋予保持力,因此能够限制输送物S朝宽度方向移动。
[0073] 此处,2个致动器12、12的前端分别以与输送物S的前端部和后端部中的对应的端部对置的方式配置。即,以挠曲驻波P”的波腹与输送物S的前端部和后端部对置的方式配置致动器12、12。由此,由于环状振动板211中的挠曲驻波P”的波腹可靠地与输送物S的前端部和后端部对置,因此,在使输送物210沿输送方向C移动的情况下能够得到强输送力。
[0074] 以上,根据本第三实施方式,由于能够利用具有环状振动板211的输送单元210限制输送物S沿宽度方向移动,因此,不需要像上述第一实施方式那样另外设置限制单元,能够削减部件数量,能够使装置小型化。并且,不用设置接触式的引导件就能够以非接触状态限制输送物的脱落,能够避免由接触引起的输送物的污染或损伤。
[0075] 另外,虽然根据上述第一~第三实施方式对本发明进行了说明,但是,本发明并不限定于此。
[0076] 在上述实施方式中,作为浮起机构对静压台1的情况进行了说明,但是并不限定于此,作为浮起机构也可以是静电浮起装置或磁气浮起装置。
[0077] 并且,在上述实施方式中,作为输送物对四边形状、圆盘形状的平板的情况进行了说明,但是并不限定于此,能够应用于任意形状的平板。
[0078] [产业上的利用可能性]
[0079] 本发明所涉及的非接触输送装置适用于以非接触的方式输送平板状的部件,特别是适用于输送在平板显示器中使用的基样玻璃基板、半导体晶片等。
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