이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{APPARATUS FOR GUIDING TRANSPORTATION AND APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 이러한 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다. 도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략적인 사시도이다. 도 1을 참고하면, 기판 이송장치(1)는 기판(S)을 지지하는 이송암(10), 상기 이송암(10)을 승강시키기 위한 승강부(20), 및 상기 이송암(10)을 회전시키기 위한 선회부(30), 및 상기 선회부(30)를 이동시키기 위한 주행부(40)를 포함한다. 상기 이송암(10)은 상기 기판(S)을 지지한 상태에서 수평방향으로 이동함에 따라 상기 기판(S)을 이송시킨다. 상기 이송암(10)은 상기 기판(S)을 지지하는 지지핸드(11), 상기 지지핸드(11)를 수평 방향으로 이송하기 위한 암유닛(12), 및 일측에 상기 암유닛(12)이 결합되고, 타측에 상기 승강부(20)가 결합되는 암베이스(13)를 포함한다. 상기 승강부(20)는 승강가이드부(21a)를 따라 상기 이송암(10)을 상하방향으로 이동시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 암베이스(13)를 승강시킴으로써, 상기 암베이스(30)에 결합되는 상기 지지핸드(11), 및 상기 암유닛(12)을 승강시킨다. 상기 승강부(20)는 상기 승강가이드부(21a)가 결합되는 제 1 승강유닛(21), 및 일측이 상기 제 1 승강유닛(21)과 결합되고 타측이 상기 이송암(10)과 결합되는 제 2 승강유닛(22)를 포함한다. 상기 선회부(30)는 상기 승강부(20)를 회전시킨다. 상기 선회부(30)는 상기 주행베이스(50)에 회전 가능하에 결합된다. 상기 선회부(30)는 회전축을 중심으로 상기 승강부(20)를 회전시킴으로써, 상기 이송암(10)에 지지된 상기 기판(S)을 회전시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 기판(S)을 이송시키기 위한 주행방향으로 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 상기 선회부(30)를 상기 주행방향으로 이동시킴으로써, 상기 이송암(10), 및 상기 승강부(20)를 이동시킨다. 상기 주행부(40)는 주행프레임(41)과 주행가이드부(42), 및 주행베이스(43)를 포함한다. 상기 주행가이드부(42)는 상기 주행프레임(41)에 결합되는 제 1 주행가이드부재(42a) 및 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 연결되는 제 2 주행가이드부재(42b)를 포함한다. 여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b)가 정확하게 일치되도록 연결해야 한다. 그러나, 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b)의 가공오차 등의 여러 가지 원인으로 인해, 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b)가 정확하게 일치되도록 연결되지 못함으로써, 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b) 사이의 단차가 발생하게 된다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 다음과 같은 문제가 있다. 첫째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치는 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b)가 정확하게 일치되도록 연결되지 못함으로써, 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b) 사이에 단차가 형성된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 주행베이스(43)가 단차가 형성된 위치를 지나갈 경우, 진동 등의 외력에 상기 기판(S)이 상기 이송암(10)으로부터 이탈되어 파손됨에 따라 공정 비용을 상승시키는 문제가 있다. 둘째, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 주행베이스(43)가 상기 제 1 주행가이드부재(42a)와 상기 제 2 주행가이드부재(42b) 사이에 단차가 형성된 위치를 지남으로써, 단차가 형성된 위치에서 상기 주행베이스(43)와 상기 주행가이드부(42) 사이에 마찰이 발생하게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 주행베이스(43)와 상기 주행가이드부(42) 사이에 마찰이 발생함에 따라, 상기 주행베이스(43) 또는 상기 주행가이드부(42)의 수명이 짧아지게 되므로, 상기 주행베이스(43)와 상기 주행가이드(42)부를 보수하기 위해 많은 시간과 비용이 소요되는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 주행베이스가 제 1 주행가이드부재와 제 2 주행가이드부재 사이에 단차가 형성된 위치를 지나감에 있어서, 주행베이스에 외력이 가해지는 것을 방지하기 위한 이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다. 본 발명은 주행베이스와 주행가이드부 사이에 발생하는 마찰을 최소화할 수 있는 이송가이드장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치는 대상물을 이동시키기 위한 주행방향을 따라 설치되는 주행프레임; 상기 대상물의 주행방향을 가이드하기 위한 제 1 주행가이드부재 및 상기 제 1 주행가이드부재에 연결되는 제 2 주행가이드부재를 포함하며, 상기 주행프레임에 결합되는 주행가이드부; 및 상기 주행가이드부를 따라 이동하도록 상기 주행가이드부에 이동가능하게 결합되는 주행가이드블록을 포함하고, 상기 제 1 주행가이드부재는 상기 제 2 주행가이드부재를 향할수록 크기가 감소되게 형성되는 제 1 경사부를 포함한다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치에 따르면 상기 주행가이드부재는 상기 제 1 주행가이드부재를 향할수록 크기가 감소되게 형성되는 제 2 경사부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치에 따르면 상기 제 1 경사부는 외면이 곡면을 이루도록 상기 제 2 주행가이드부재를 향할수록 크기가 감소되게 형성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치에 따르면 상기 주행가이드부재는 상기 주행프레임에 결합되는 제 3 주행가이드부재, 및 상기 제 3 주행가이드부재와 연결되는 제 4 주행가이드부재를 포함하고; 상기 제 1 주행가이드부재는 상기 제 2 주행가이드부재와 연결되는 제1연결부가 상기 제 3 주행가이드부재와 상기 제 4 주행가이드부재가 서로 연결되는 제2연결부와 상이한 위치에 형성되도록 상기 제 2 주행가이드부재에 연결되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치에 따르면 상기 주행프레임은 주행방향을 따라 설치되는 제 1 주행프레임, 및 상기 제 1 주행프레임과 연결되는 제 2 주행프레임을 포함하고, 상기 제 1 주행프레임은 상기 제 2 주행프레임과 연결되는 이음부가 상기 제 1 주행가이드부재와 상기 제 2 주행가이드부재가 서로 연결되는 제 1 연결부와 상이(相異)한 위치에 형성되도록 상기 제2주행프레임에 연결되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치에 따르면 상기 주행가이드부재는 상기 주행프레임에 결합되는 제 3 주행가이드부재, 및 상기 제 3 주행가이드부재와 연결되는 제 4 주행가이드부재를 포함하고; 상기 제 3 주행가이드부재는 상기 제 4 주행가이드부재에 연결되는 제 2 연결부가 상기 이음부와 상이한 위치에 형성되도록 상기 제 4 주행가이드부재에 연결되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 기판이송장치용 가이드장치에 따르면 상기 제 1 주행프레임에는 상기 제 1 연결부와 상기 제 2 연결부가 위치되게 상기 제 1 주행가이드부재, 상기 제 2 주행가이드부재, 상기 제 3 주행가이드부재 및 상기 제 4 주행가이드부재가 결합되는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송시키기 위한 이송암; 상기 이송암이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부; 상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부; 및 상기 이송암을 이송시키기 위한 주행방향을 가이드하기 위한 제1항 내지 제7항 중에서 어느 하나의 가이드장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. 본 발명은 제 1 주행가이드부재와 제 2 주행가이드부재 사이에 단차가 발생함에 따라 주행베이스가 제 1 주행가이드부재와 제 2 주행가이드부재 사이에 단차가 형성된 위치를 지나갈 경우, 진동 등의 외력에 의해 기판이 이송암으로부터 이탈되는 것을 방지함으로써, 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 본 발명은 주행베이스와 주행가이드부 사이에 마찰이 발생하는 것을 방지함으로써, 주행베이스 또는 주행가이드부가 마찰됨에 따라 주행베이스와 주행가이드부를 보수하기 위해 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략적인 사시도이고,
도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략적인 사시도이고,
도 3 또는 도 4는 도 2의 기판 이송장치에서 주행가이드부를 설명하기 위한 정면도이고,
도 5는 도 2의 기판 이송장치에서 주행가이드부를 설명하기 위한 평면도이다.
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. 이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 기판 이송장치용 가이드장치는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 포함되므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 설명하면서 함께 설명하기로 한다. 도 1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략적인 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 나타내는 개략적인 사시도이고, 도 3 또는 도 4는 도 2의 기판 이송장치에서 주행가이드부를 설명하기 위한 단면도이고, 도 5는 도 2의 기판 이송장치에서 주행가이드부를 설명하기 위한 평면도이다. 도 2 내지 도 5를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 기판(S)을 이송시키기 위한 이송암(120), 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부(130), 상기 이송암(120)이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부(130)를 회전시키는 선회부(140), 및 상기 이송암(120)을 이송시키기 위한 주행방향을 가이드하기 위한 가이드장치(200)를 포함한다. 여기서, 상기 가이드장치(200)를 따라 상기 이송암(120)이 이동되는 과정에서 상기 가이드장치(200)의 연결된 위치에 단차가 발생함에 따라, 상기 이송암(120)이 단차가 발생한 위치를 지날 경우, 진동 등의 외력에 상기 기판(110)이 상기 이송암(120)으로부터 이탈될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서 상기 가이드장치(200)는 상기 이송암(120)를 이동시키는 과정에서 상기 이송암(120)에 진동 등의 외력이 전달되는 것을 방지하기 위해 곡면을 이루도록 연결될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 이송암(120)이 이동중에 상기 이송암(120)에 진동 등의 외력이 전달되는 것을 방지함으로써, 상기 이송암(120)으로부터 상기 기판(110)이 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다. 첫째, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드장치(200)의 단차에 의해 상기 이송암(120)이 이동 중에 상기 이송암(120)에 진동 등의 외력이 전달되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 이송암(120)이 진동 등의 외력에 의해 떨림으로써, 상기 기판(110)이 상기 이송암(120)으로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 기판(110)이 상기 이송암(120)으로부터 이탈됨에 따라, 상기 기판(110)을 이동시키는 과정에서 상기 기판(110)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 둘재, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드장치(200)에 발생하는 단차를 줄임으로써, 상기 가이드장치(200)에 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드장치(200)에 마찰이 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 가이드장치(200)의 교체 주기를 늘릴 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 가이드장치(200)를 보수하기 위해 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다. 이하에서는 상기 이송암(120), 상기 승강부(130), 상기 선회부(140), 및 상기 가이드장치(200)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다. 상기 이송암(120)은 상기 기판(S) 등의 대상물(110)을 이송시킨다. 상기 이송암(120)은 상기 기판(S)을 지지하며, 상기 승강부(130)에 회전가능하게 결합된다. 상기 이송암(120)은 구동부(미도시)에 의해 접히거나 펼쳐짐으로써, 상기 기판(S)을 상기 승강부(130)의 승강경로와 수직한 방향으로 이송시킬 수 있다. 상기 승강부(130)는 상기 이송암(120)이 위치하는 높이가 변경되도록 상기 이송암(120)을 승강시킨다. 상기 승강부(130)가 상이 이송암(120)을 승강시킴으로써, 상기 이송암(120)에 지지된 상기 기판(S)을 상기 이송암(120)의 승강경로를 따라 이송시킬 수 있다. 상기 가이드장치(200)는 상이 이송암(120)을 이송시키기 위한 주행베이스(250)의 주행방향을 가이드한다. 상기 주행베이스(250)가 상기 가이드장치(200)를 따라 이동함으로써, 상기 이송암(120)에 지지된 상기 기판(S) 등의 대상물(110)을 상기 가이드장치(200)를 따라 이동시킬 수 있다. 상기 가이드장치(200)는 기판(S) 등의 대상물(110)을 이동시키기 위한 주행방향을 따라 설치되는 주행프레임(210), 상기 기판(S)의 주행방향을 가이드하기 위한 주행가이드부(220), 및 상기 주행가이드부(220)를 따라 이동하도록 상기 주행가이드부(220)에 이동가능하게 결합되는 주행가이드블록(240)을 포함한다. 상기 주행프레임(210)은 상기 기판(S) 등의 대상물(110)이 이동하기 위한 주행방향을 따라 설치된다. 상기 주행프레임(210)에는 상기 주행가이드부(220)가 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(110)은 상기 주행프레임(210)에 결합된 상기 주행가이드부(220)를 따라 상기 기판(S) 등의 대상물(110)을 이송시킬 수 있다. 상기 주행가이드부(220)는 상기 주행프레임(210)에 결합된다. 상기 주행가이드부(220)에는 상기 이송암(120)이 결합되는 주행베이스(230)가 결합된다. 이에 따라, 상기 주행베이스(230)가 상기 주행가이드부(220)를 따라 이동함으로써, 상기 기판(S) 등의 대상물(110)은 주행방향을 따라 이동된다. 상기 주행가이드부(220)는 LM 가이드 일수 있다. 상기 주행가이드부(220)는 상기 기판(S) 등의 대상물(110)의 주행방향을 가이드하기 위한 제 1 주행가이드부재(221), 및 상기 제 1 주행가이드부재(221)에 연결되는 제 2 주행가이드부재(222)를 포함한다. 상기 제 1 주행가이드부재(221)는 상기 주행프레임(210)에 결합된다. 상기 제 1 주행가이드부재(221)는 일측이 상기 제 2 주행가이드부재(222)와 접하도록 상기 주행프레임(210)에 결합된다. 상기 제 1 주행가이드부재(221)는 일측이 상기 제 2 주행가이드부재(222)를 향할수록 크가가 감소되게 형성되는 제 1 경사부(221a)를 포함한다. 상기 제 1 경사부(221a)는 외면이 곡면을 이루도록 상기 제 2 주행가이드부재(222)를 향할수록 크기가 감소되게 형성된다. 이에 따라, 상기 제 1 주행가이드부재(221)의 일측은 구 형상을 갖을 수 있다. 상기 제 1 주행가이드부재(221)에 상기 제 1 경사부(221a)가 형성된 경우, 상기 주행베이스(230)의 주행방향은 상기 제 2 주행가이드부재(222)로부터 상기 제 1 주행가이드부재(221)를 향하는 제 1 방향일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 주행가이드부재(221)와 상기 제 2 주행가이드부재(222)가 상호 접하는 위치에 단차가 발생하더라도, 상기 주행베이스(230)가 상기 제 1 경사부(221a)의 경사를 따라 상기 제 1 방향으로 이동한다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 단차 부위에서 진동 등의 외력이 발생함으로써, 상기 이송암(120)에 지지된 상기 기판(S) 등의 대상물(110)이 상기 이송암(120)으로부터 이탈되어 파손되는 것을 방지할 수 있다. 상기 제 2 주행가이드부재(222)는 상기 제 1 주행가이드부재(221)와 접하도록 상기 주행프레임(210)에 결합된다. 상기 제 2 주행가이드부재(222)는 일측이 상기 제 1 주행가이드부재(221)를 향상수록 크기가 감소되게 형성되는 제 2 경사부(222a)를 포함한다. 여기서, 상기 제 1 주행가이드부재(221), 및 상기 제 2 주행가이드부재(222)는 상기 제 1 경사부(221a)와 상기 제 2 경사부(222a)가 상호 마주보도록 상기 주행프레임(210)에 결합된다. 상기 제 2 경사부(222a)는 외면이 곡면을 이루도록 상기 제 1 주행가이드부재(221)를 향할수록 크기가 감소되게 형성된다. 이에 따라, 상기 제 2 주행가이드부재(222)의 일측은 구 형상을 갖을 수 있다. 상기 제 2 주행가이드부재(222)에 상기 제 2 경사부(222a)가 형성된 경우, 상기 주행베이스(230)의 주행방향은 상기 제 1 주행가이드부재(221)로부터 상기 제 2 주행가이드부재(222)를 향하는 제 2 방향일 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 주행가이드부재(221)와 상기 제 2 주행가이드부재(222)가 상호 접하는 위치에 단차가 발생하더라도, 상기 주행베이스(230)가 상기 제 2 경사부(222a)의 경사를 따라 상기 제 2 방향으로 이동한다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 단차 부위에서 진동 등의 외력이 발생함으로써, 상기 이송암(120)에 지지된 상기 기판(S) 등의 대상물(110)이 상기 이송암(120)으로부터 이탈되어 파손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 주행가이드부재(221)의 제 1 경사면(221a)과 상기 제 2 주행가이드부재(222)의 제 2 경사면(222a)이 접함에 따라, 상기 제 1 주행가이드부재(221) 및 상기 제 2 주행가이드부재(222)가 접하는 면이 곡면을 이룸으로써, 상기 주행베이스(230) 또는 상기 주행가이드부(220)가 마찰되는 것을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 손상된 상기 주행베이스(230)와 주행가이드부(220)를 보수하기 위해 소요되는 시간과 비용을 줄일 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 경사부(221a)와 상기 제 2 경사부(222a)가 상호 접하도록 상기 제 1 주행가이드부재(221)와 상기 제 2 주행가이드부재(222)가 상기 주행프레임(210)에 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판이송장치(100)는 상기 제 1 경사부(221a)와 상기 제 2 경사부(222a)가 상호 접함으로써 상기 제 1 주행가이드부재(221)와 상기 제 2 주행가이드부재(222)가 접하는 위치에 경사가 생긴다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 경사부(221a) 또는 상기 제 2 경사부(222a) 중에서 하나만 형성될 경우와 비교하면, 상기 기판(S) 등의 대상물(110)을 상기 제 1 방향 또는 상기 제 2 방향에 관계없이 이송할 수 있다. 상기 주행가이드블록(240)은 상기 주행가이드부(220)를 따라 이동하도록 상기 주행가이드부(220)에 이동가능하게 결합된다. 상기 주행가이드블록(240)에는 상기 주행베이스(230)가 결합된다. 이에 따라, 상기 주행가이드블록(240)이 상기 주행가이드부(220)를 따라 이동함으로써, 상기 주행베이스(230), 상기 이송암(120), 및 상기 기판(S) 등의 대상물(110)은 상기 주행가이드블록(240)에 의해 이동한다. 상기 주행가이드블록(240)은 LM 블록일 수 있다. 여기서, 종래에는 상기 기판(S) 등의 대상물(110)을 이송하는 과정에 있어서, 상기 이송암(120), 승강부(130) 등의 하중에 의해 상기 주행베이스(230)가 주행방향과 상이(相異)한 방향으로 힘을 받게 된다. 이에 따라, 상기 주행 프레임(210)과 상기 주행가이드부(220)가 상기 주행베이스(230)에 의해 틀어짐으로써, 틀어진 상기 주행프레임(210)과 상기 주행가이드부(220)를 정비하기 위한 불필요한 작업이 발생하는 문제가 있다. 이를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)의 상기 주행프레임(210)은 주행방향을 따라 설치되는 제 1 주행프레임(211), 및 상기 제 1 주행프레임(211)과 연결과는 제 2 주행프레임(212)을 포함한다. 이 경우, 상기 주행가이드부재(220)는 상기 주행프레임(212)에 결합되는 제 3 주행가이드부재(223), 및 상기 제 3 주행가이드부재(223)와 연결되는 제 4 주행가이드부재(224)를 포함한다. 상기 제 1 주행프레임(211)은 상기 기판(S) 등의 대상물(110)을 이동시키기 위한 주행방향을 따라 설치된다. 상기 제 1 주행프레임(211)에는 상기 제 1 주행가이드부재(221) 및 상기 제 3 주행가이드부재(223)가 결합된다. 상기 제 2 주행프레임(212)은 상기 제 1 주행프레임(211)과 연결되도록 주행방향을 따라 설치된다. 상기 제 2 주행프레임(211)에는 상기 제 2 주행가이드부재(222) 및 상기 제 4 주행가이드부재(224)가 결합된다. 여기서, 상기 제 1 경사부(221a)는 상기 제 3 주행가이드부(223)에 형성될 수 있고, 상기 제 2 경사부(222a)는 상기 제 4 주행가이드부(224)에 형성될 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 주행베이스(250)가 상기 제 1 주행가이드부재(221), 상기 제 2 주행가이드부재(222), 상기 제 3 주행가이드부재(223), 및 상기 제 4 주행가이드부재(224)를 따라 주행함에 있어서, 진동 등의 외력에 의해 상기 주행베이스(250)가 흔들리는 것을 방지할 수 있다. 상기 제 1 주행프레임(211)과 상기 제 2 주행프레임(212)이 연결되는 이음부(261)와 상기 제 1 주행가이드부재(221), 및 상기 제 2 주행가이드부재(222)가 서로 연결되는 제 1 연결부(262), 상기 제 3 주행가이드부재(223), 및 상기 제 4 주행가이드부재(224)가 서로 연결되는 제 2 연결부(263)은 서로 상이한 위치에 형성된다. 즉, 상기 제 1 주행프레임(211)에는 상기 제 1 연결부(262) 및 상기 제 2 연결부(263)가 위치하도록 상기 제 1 주행가이드부재(261), 상기 제 2 주행가이드부재(262), 상기 제 3 주행가이드부재(263), 및 상기 제 4 주행가이드부재(244)가 결합된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 제 1 연결부(262) 및 상기 제 2 연결부(263)가 상기 이음부(261)의 위치에 위치된 경우와 비교하면, 상기 주행베이스(230)에 의해 전달되는 하중이 상기 제 1 주행프레임(211) 또는 상기 제 2 주행프레임(212) 중에서 어느 하나에만 영향을 끼칠 수 있도록 한다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 주행베이스(230)에 의해 전달되는 하중에 의해 상기 제 1 주행프레임(211) 또는 상기 제 2 주행프레임(212) 중에서 어느 하나만 틀어지게 됨으로써, 제 1 주행프레임(211) 및 상기 제 2 주행프레임(212)이 모두 틀어진 경우와 비교하면, 상기 제 1 주행프레임(211) 또는 상기 제 2 주행프레임(212) 중에서 틀어진 상기 주행프레임(210)만 보수하면 되므로 상기 주행프레임(210)을 보수하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
100: 기판 이송장치 S: 기판
110: 대상물 120: 이송암
130: 승강부 140: 선회부
200: 가이드장치 210: 주행프레임
211: 제 1 주행프레임 212: 제 2 주행프레임
220: 주행가이드부 221: 제 1 주행가이드부재
221a: 제 1 경사부 222: 제 2 주행가이드부재
222a: 제 2 경사부 223: 제 3 주행가이드부재
224: 제 4 주행가이드부재 240: 주행가이드블록
250: 주행베이스 261: 이음부
262: 제 1 연결부 263: 제 2 연결부 |
