一种带有压力感应的传送系统 |
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| 申请号 | CN201710689426.6 | 申请日 | 2017-08-07 | 公开(公告)号 | CN107521900A | 公开(公告)日 | 2017-12-29 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司; | 发明人 | 年婷; 陈沈; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及一种带有压 力 感应的传送系统，包括传送机构、压力 传感器 和触控面板；所述传送机构包括 机架 ，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮；所述 压力传感器 围绕于所述滚轮并设置于所述滚轮上，用于测量滚轮所承受的压力；所述触控面板与所述压力传感器相连接，用于显示滚轮所承受的压力。本发明的带有压力感应的传送系统灵敏性高、实时性强、监控性强；本发明的带有压力感应的传送系统反应时间快，可快速检测到滚轮的问题。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种带有压力感应的传送系统，其特征在于，包括传送机构、压力传感器和触控面板； |
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| 说明书全文 | 一种带有压力感应的传送系统技术领域[0001] 本发明涉及压力感应技术领域，尤其涉及一种带有压力感应的传送系统。 背景技术[0002] 清洗机主要作用为在基板制程前清洗基板，如图1所示，清洗机主要包括入口模块1、极紫外光刻模块(EUV模块)2、冲洗模块3、吹干模块4和出口模块5五个单元，每个单元的传送机构6都是滚轴输送机。滚轴输送机主要用于传送基板，在传送过程中，有一个或者几个滚轮的大小有所差异就会导致玻璃传送时，滚轮输送机上存在一些地方凸起或凹陷，这会导致一些滚轮不能完全接触玻璃，从而发生空转现象，另外，如果一个滚轮凸起还会导致玻璃基板背面划伤。可见，由于整个滚轮输送机的平坦度没有监控系统，无法实时监控滚轮运行状况。 发明内容[0003] 针对上述问题中存在的不足之处，本发明提供一种带有压力感应的传送系统，能够实时监控滚轮转动过程中与玻璃基板的接触面的压力值，本系统可根据压力值判定滚轮的实际状况并进行调整，滚轮的整个接触面压力都可以被监控。 [0005] 所述传送机构包括机架，所述机架上设置有多个滚轮轴，所述滚轮轴上设置有滚轮； [0006] 所述压力传感器围绕于所述滚轮并设置于所述滚轮上，用于测量滚轮所承受的压力； [0007] 所述触控面板与所述压力传感器相连接，用于显示滚轮所承受的压力。 [0008] 在一个实施例中，所述压力传感器的输出端与所述触控面板相连，滚轮所承受的压力数据由压力传感器的输出端传送到触控面板进行显示。 [0009] 在一个实施例中，所述压力传感器设置于所述滚轮的外表面上，以便于测量出滚轮所承受的压力。 [0010] 在一个实施例中，所述压力传感器设置于所述滚轮的内表面上，压力传感器不容易破损。 [0011] 在一个实施例中，所述压力传感器为薄膜压力传感器，其有柔软的卷曲性以及耐用性，可适用于各种不同的安装环境。 [0012] 在一个实施例中，所述薄膜压力传感器为柔性触觉压力传感器，其柔性很好，因而为测量各种接触面之间的压力创造了更好的条件。 [0013] 在一个实施例中，所述柔性触觉压力传感器包括相叠的第一薄膜和第二薄膜，其中，所述第一薄膜的朝向所述第二薄膜的一侧设置有多条横向带状导体，所述第二薄膜的朝向所述第一薄膜的一侧设置有多条纵向带状导体。这些横向带状导体和纵向带状导体的交叉点就形成了压力传感点阵列，呈网格状。当外力作用到传感点上时，半导体的阻值会随外力成比例变化，压力为零时，阻值最大，压力越大，阻值越小。 [0015] 在一个实施例中，所述柔性触觉压力传感器的厚度为0.1mm，十分轻薄，为测量各种接触面之间的压力创造了更好的条件。 [0016] 在一个实施例中，所述触控面板设置于所述传送机构上，便于根据触控面板所显示的压力值调整传送机构。 [0017] 在上述技术方案中，本发明提供的带有压力感应的传送系统，与现有技术相比具有以下优点： [0018] 本发明通过在滚轮上增加压力传感器，在传动机构传送基板时，基板与滚轮之间产生压力，压力传感器可实时监控滚轮转动过程中与基板接触面的压力值，如果存在压力异常，可根据压力值对滚轮进行调整，滚轮的整个接触面压力都可以被监控。 [0020] 在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。在图中： [0021] 图1为本发明背景技术所述的清洗机的结构示意图； [0022] 图2为本发明带有压力感应的传送系统的结构示意图； [0023] 图3为本发明中的一种薄膜压力传感器的结构示意图。 [0024] 在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例描绘。 具体实施方式[0025] 下面将结合附图对本发明作进一步说明。 [0026] 请参阅图2，其为本发明带有压力感应的传送系统的结构示意图。如图所示，该带有压力感应的传送系统，包括传送机构6、压力传感器10和触控面板11；其中，传送机构6包括机架7，机架7上设置有多个滚轮轴8，滚轮轴8上设置有滚轮9；压力传感器10围绕于滚轮9并设置于所述滚轮9上，用于测量滚轮9所承受的压力；触控面板11与压力传感器10相连接，用于显示滚轮9所承受的压力。 [0027] 传送机构6用于传送玻璃基板，在一个具体实施例中，传送机构6为滚轮输送机，当滚轮输送机传送玻璃基板时，滚轮输送机上的滚轮9会承受玻璃基板带来的压力，本发明通过测量滚轮9所承受的压力，以对滚轮输送机进行调整，以保证玻璃基板在传送的过程中完好无损。 [0028] 压力传感器10用于测量玻璃基板带给滚轮9的压力，以便于实时监控滚轮9与玻璃基板的接触状况，为了更加准确的测量玻璃基板带给滚轮9的压力，本发明使压力传感器10设置于滚轮9上并围绕于滚轮9，进而的，滚轮9的整个接触面压力都可以被监控。为了将压力传感器10测得的压力值传送给触控面板11，本发明使压力传感器10的输出端与触控面板11相连，以使触控面板11接收到压力传感器10测得的压力值并进行显示。 [0029] 触控面板11用于对压力传感器10测得的压力值进行显示，该触控面板11能够显示每个滚轮9所承受的压力值，通过触控面板11所显示的每个滚轮9的示数，工作人员能够十分容易的锁定异常滚轮9的位置，并判断出该滚轮9的凹凸状况或磨损状况。 [0030] 在本发明的一个具体实施例中，压力传感器10设置于滚轮9的外表面上，基于这种设置，压力传感器10能够十分准确的测量到玻璃基板带给滚轮9的压力值。 [0031] 在本发明的一个具体实施例中，压力传感器10设置于滚轮9的内表面上，即滚轮9与滚轮轴8之间，基于这种设置，压力传感器10由于没有被暴露在外，进而的，压力传感器10不容易被破坏，使用寿命更长。 [0032] 在本发明的一个具体实施例中，压力传感器10为薄膜压力传感器。薄膜压力传感器的一种结构如图3所示。薄膜压力传感器具有柔软的卷曲性以及耐用性，可适用于各种不同的安装环境。 [0033] 在本实施例中，薄膜压力传感器为柔性触觉压力传感器，该柔性触觉压力传感器由两片很薄的第一薄膜和第二薄膜组成，其中，第一薄膜的内表面铺设有多条横向带状导体，第二薄膜的内表面铺设有多条纵向带状导体。导体本身的宽度以及导体之间的距离可以根据不同的测量需要而设计，导体外表面涂有特殊的压敏半导体材料涂层。当第一薄膜和第二薄膜合为一体时，这些横向带状导体和纵向带状导体的交叉点就形成了压力传感点阵列，呈网格状。当外力作用到传感点上时，半导体的阻值会随外力成比例变化，压力为零时，阻值最大，压力越大，阻值越小。 [0034] 在本实施例中，第一薄膜和第二薄膜的均为聚酯薄膜，聚酯薄膜(PET)是以聚对苯二甲酸乙二醇酯为原料，采用挤出法制成厚片，再经双向拉伸制成的薄膜材料，因其综合性能优良而越来越受到广大消费者的青睐。聚酯薄膜厚度一般为0.012mm，通常为无色透明、有光泽的薄膜(现已可加入添加剂粒子使其具有颜色)，其机械性能优良，刚性、硬度及韧性高，其耐穿刺、耐摩擦、耐高温和低温，其耐化学药品性、耐油性、气密性和保香性良好。 [0035] 在本实施例中，柔性触觉压力传感器的厚度为0.1mm，十分轻薄，为测量各种接触面之间的压力创造了更好的条件。 [0036] 在本发明的一个具体实施例中，触控面板11设置于所述传送机构6上，以便于工作人员根据触控面板11所显示的压力值调整传送机构6。 [0037] 综上所述，本发明通过在滚轮9上增加压力传感器10，在传动机构6传送玻璃基板时，玻璃基板与滚轮9之间产生压力，压力传感器10可实时监控滚轮9转动过程中与玻璃基板接触面的压力值，如果存在压力异常，可根据压力值对滚轮9进行调整，滚轮9的整个接触面压力都可以被监控。 [0038] 本发明的传送机构6用压力感应系统灵敏性高、实时性强、监控性强；本发明的传送机构6用压力感应系统反应时间快，可快速检测到滚轮9的问题。 [0039] 虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。 |
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