用于制造感光性层积体的装置和方法

申请号 CN200680009560.7 申请日 2006-01-05 公开(公告)号 CN101146682B 公开(公告)日 2012-02-01
申请人 富士胶片株式会社; 发明人 末原和芳; 秋好宽和; 伊本贤一; 杉原了一; 森亮; 铃木智明;
摘要 制造装置(20)具有:第一和第二送出机构(32a,32b);第一和第二加工机构(36a,36b);第一和第二标签粘结机构(40a,40b);第一和第二贮存机构(42a,42b);第一和第二剥离机构(44a,44b);基片馈送机构(45);贴附机构(46);以及基部剥离机构(186)。冷却机构(122)被设置在贴附机构(46)与基部剥离机构(186)之间,用于冷却贴附基片(24a),贴附基片(24a)由玻璃基片(24)和贴附于其上的、已被剥离保护膜(30)的感光板(22)制成。加 热机 构(182)用于将冷却的贴附基片(24a)内的 树脂 层例如 缓冲层 (27)加热到 玻璃化 温度 或玻璃化温度以下的预定温度范围。
权利要求

1.一种用于制造感光性层积体的装置,包括:
至少两个板送出机构(32a,32b),用于同步送出至少两个细长感光板(22a,22b),所述细长感光板(22a,22b)中的每一个包括:支持体(26);设置在所述支持体(26)上的热塑树脂层(27);设置在热塑树脂层(27)上的作为阻挡膜的中间层(29);设置在中间层(29)上的感光性材料层(28);和设置在所述感光性材料层(28)上的保护膜(30),所述保护膜(30)具有剩余区(30b)和位于剩余区(30b)的两侧的剥离区;
至少两个加工机构(36a,36b),用于在所述剥离区和所述剩余区(30b)之间的各个边界位置处,在已由所述板送出机构(32a,32b)送出的所述细长感光板(22a,22b)的所述保护膜(30)中形成可横向切断的加工区域(34);
标签粘结机构(40a,40b),所述标签粘结机构(40a,40b)提供粘接标签(38),用于相互连接位于剩余区(30b)的两侧的剥离区;
至少两个剥离机构(44a,44b),用于从所述细长感光板(22a,22b)中的每一个剥离所述剥离区,留下所述剩余区(30b);
基片馈送机构(45),用于将已被加热到预定温度的基片(24)馈送到贴附位置;
贴附机构(46),用于在所述贴附位置,将所述剩余区(30b)定位在所述基片(24)之间并将已剥离所述剥离区的所述感光性材料层(28)的至少两个曝露区域平行地整体贴附于所述基片(24),从而制成贴附基片(24a);
位于所述贴附机构(46)下游的至少两个支持体剥离机构(186),用于从每个贴附基片(24a)剥离所述支持体(26);
冷却机构(122),设置在所述贴附机构(46)与所述支持体剥离机构(186)之间,用于冷却所述贴附基片(24a),和
热机构(182),设置在所述冷却机构(122)与所述支持体剥离机构(186)之间,用于在玻璃化转变温度或低于玻璃化转变温度的预定温度范围内,加热热塑树脂层(27),所述粘接标签(38)具有:无粘性的位于中央的非粘附区域(38a);和第一粘附区域(38b)和第二粘附区域(38c),所述第一粘附区域(38b)和第二粘附区域(38c)分别设置在粘接标签(38)的纵向相对端部上,第一粘附区域(38b)和第二粘附区域(38c)分别粘结到位于剩余区的两侧的剥离区。
2.根据权利要求1所述的装置,其中:所述支持体剥离机构(186)包括张施加结构(222),该张力施加结构(222)用于在剥离所述支持体(26)时,沿所述支持体(26)与所述基片(24)的贴附方向向所述支持体(26)施加张力。
3.根据权利要求1所述的装置,其中:所述支持体剥离机构(250)包括:剥离辊(146),用于使所述支持体(26)跟随所述剥离辊(146)的外周部从所述基片(24)剥离;和剥离引导部件(252),所述剥离引导部件(252)用于在所述基片(24)之间运动的同时,沿所述剥离辊(146)的外周引导所述支持体(26)。
4.根据权利要求1所述的装置,其中:所述贴附机构(270)包括:
被加热到预定温度的一对橡胶辊(80a,80b);和
与所述一对橡胶辊(80a,80b)滑动接触的一对支持辊(272a,272b),
其中:所述橡胶辊(80a)中的至少一个和/或所述支持辊(272a)中的至少一个的外周表面以凸面形状设置。
5.一种利用根据权利要求1所述的用于制造感光性层积体的装置制造感光性层积体的方法,包括如下步骤:
同步送出至少两个细长感光板(22a,22b),所述感光板(22a,22b)中的每一个包括:支持体(26);设置在所述支持体(26)上的热塑树脂层(27);设置在热塑树脂层(27)上的作为氧阻挡膜的中间层(29);设置在中间层(29)上的感光性材料层(28);和设置在所述感光性材料层(28)上的保护膜(30),所述保护膜(30)具有剩余区(30b)和位于剩余区(30b)的两侧的剥离区;
在所述剥离区和所述剩余区(30b)之间的各个边界位置处,在已被送出的所述细长感光板(22a,22b)的所述保护膜(30)中形成可横向切断的加工区域(34);
提供粘接标签(38),用于相互连接位于剩余区(30b)的两侧的剥离区;
从所述细长感光板(22a,22b)中的每一个剥离所述剥离区,留下所述剩余区(30b);
将已被加热到预定温度的基片(24)馈送到贴附位置;
在所述贴附位置,将所述剩余区(30b)定位在所述基片(24)之间并将已剥离所述剥离区的所述感光性材料层(28)的至少两个曝露区域平行地整体贴附于所述基片(24),从而制成贴附基片(24a);
在所述贴附位置下游的位置处冷却所述贴附基片(24a);和
在玻璃化转变温度或低于玻璃化转变温度的预定温度范围内,加热热塑树脂层(27),所述粘接标签(38)具有:无粘性的位于中央的非粘附区域(38a);和第一粘附区域(38b)和第二粘附区域(38c),第一粘附区域(38b)和第二粘附区域(38c)分别设置在粘接标签(38)的纵向相对端部上,第一粘附区域(38b)和第二粘附区域(38c)分别粘结到位于剩余区的两侧的剥离区。
6.根据权利要求5所述的方法,还包括如下步骤:
在所述贴附位置的下游,在所述贴附基片(24a)之间切断每个细长感光板(22a,22b)后,从所述贴附基片(24a)剥离每个支持体(26)并获得感光性层积体(106);和当所述支持体(26)被剥离时,沿所述支持体(26)与所述基片(24)的贴附方向,向所述支持体(26)施加张力。
7.根据权利要求6所述的方法,还包括如下步骤:
使所述支持体(26)跟随剥离辊(146)的外周部从所述基片(24)剥离;和在剥离引导部件(252)在所述基片(24)之间运动的同时,沿所述剥离辊(146)的外周引导所述支持体(26)。

说明书全文

用于制造感光性层积体的装置和方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种用于制造感光性层积体的装置和方法,制造方式为:传送每个都包括相继置于支持体上的感光性材料层和保护膜的两个或多个细长感光板(web);剥离保护膜以曝露感光性材料层;和将彼此平行的曝露感光性材料层附于基片。 背景技术
[0002] 例如,液晶面板用的基片、印刷线路板用的基片和PDP板用的基片具有带有感光材料(感光树脂)层并贴于基片表面的感光片(感光板)。该感光片包括相继置于柔韧塑料支持体上的感光性材料层和保护膜。
[0003] 用于贴附这种感光片的贴附装置通常操作以便以预定间隔馈送诸如玻璃基片、树脂基片或相类似物的基片,并从感光片剥离对应于将被贴附于每个基片的感光性材料层的范围的长度的保护膜。
[0004] 如附图中的图50中所示,例如根据日本公开专利公布第11-34280号公开的贴附膜的方法和装置,从膜卷1开送出的层叠膜1a围绕引导辊2a,2b,并沿平膜馈送平面延伸。该引导辊2b与用于根据层叠膜1a被馈送的长度输出同样多脉冲的旋转编码器3结合。
[0005] 从引导辊2a,2b沿水平膜馈送平面延伸的层叠膜1a围绕真空辊4。局部切割机5和覆盖膜剥离器6在引导辊2b和真空辊4之间沿水平膜馈送平面布置。
[0006] 该局部切割机5具有一对圆盘切割机5a,5b。该圆盘切割机5a,5b可横向穿过层叠膜1a移动,以与覆盖膜反侧的感光树脂层(未示出)一起,切断层叠膜1a的覆盖膜(未示出)。
[0007] 该覆盖膜剥离器6将从胶带卷7开送出的胶带7a坚固地压在压 辊8a,8b之间的覆盖膜上,并且然后围绕卷取辊9卷起胶带7a。该覆盖膜由胶带7a从感光树脂层剥离,并与胶带7a一起围绕卷取辊9卷起。
[0008] 该真空辊4的下游接着一对层叠辊12a,12b,用于将层叠膜1a重叠和压在由基片馈送器10相继间歇地馈送的多个基片11的上部表面上。支撑膜卷取辊13被设置在层叠辊12a,12b的下游。贴附于各个基片11的透光支撑膜(未示出)被支撑膜卷取辊13剥离并卷起。
[0009] 随着液晶板、等离子显示板和其它面板尺寸变得更大,用于那些面板中的基片的尺寸也变得更大。更大尺寸的基片具有横向更大,即更宽的区域,感光树脂层将被转移或转印到该区域,并且因此与其一起使用的感光片需要具有更大的横向尺寸,即更大的宽度。 [0010] 然而,采用卷形式的更宽感光片不能容易地有效处理,并且用于从送出送出感光片的放出机构尺寸也更大。更宽的感光片更重,更容易在其中出现皱折,并且更难处理。 发明内容
[0011] 本发明的主要目的在于提供一种容易操作的用于制造感光性层积体的装置和方法,该装置和方法通过简单过程和布置,将彼此平行的两个或多个细长感光板可靠地附于基片制造感光性层积体。
[0012] 根据本发明的一方面,本发明提供了一种用于制造感光性层积体的装置,该装置包括:至少两个板送出机构,用于同步送出至少两个细长感光板,所述细长感光板中的每一个包括:支持体;设置在所述支持体上的热塑树脂层;设置在热塑树脂层上的作为阻挡膜的中间层;设置在中间层上的感光性材料层;和设置在所述感光性材料层上的保护膜,所述保护膜具有剩余区和位于剩余区的两侧的剥离区;至少两个加工机构,用于在所述剥离区和所述剩余区之间的各个边界位置处,在已由所述板送出机构送出的所述细长感光板的所述保护膜中形成可横向切断的加工区域;标签粘结机构,所述标签粘结机构提供粘接标签,用于相互连接位于剩余区的两侧的剥离区;至少两个剥离机构,用于从所述细长感光板中的每一个剥离所述剥离区,留下所述剩余区;基片馈送机 构,用于将已被加热到预定温度的基片馈送到贴附位置;贴附机构,用于在所述贴附位置,将所述剩余区定位在所述基片之间并将已剥离所述剥离区的所述感光性材料层的至少两个曝露区域平行地整体贴附于所述基片,从而制成贴附基片;位于所述贴附机构下游的至少两个支持体剥离机构,用于从每个贴附基片剥离所述支持体;冷却机构,设置在所述贴附机构与所述支持体剥离机构之间,用于冷却所述贴附基片,和加热机构,设置在所述冷却机构与所述支持体剥离机构之间,用于在玻璃化转变温度或低于玻璃化转变温度的预定温度范围内,加热热塑树脂层,所述粘接标签具有:无粘性的位于中央的非粘附区域;和第一粘附区域和第二粘附区域,所述第一粘附区域和第二粘附区域分别设置在粘接标签的纵向相对端部上,第一粘附区域和第二粘附区域分别粘结到位于剩余区的两侧的剥离区。
[0013] 根据本发明的另一方面,所述支持体剥离机构包括张施加结构,该张力施加结构用于在剥离所述支持体时,沿所述支持体与所述基片的贴附方向向所述支持体施加张力。
[0014] 根据本发明的另一方面,所述支持体剥离机构包括:剥离辊,用于使所述支持体跟随所述剥离辊的外周部从所述基片剥离;和剥离引导部件,所述剥离引导部件用于在所述基片之间运动的同时,沿所述剥离辊的外周引导所述支持体。
[0015] 根据本发明的另一方面,所述贴附机构包括:被加热到预定温度的一对橡胶辊;和与所述一对橡胶辊滑动接触的一对支持辊,所述橡胶辊中的至少一个和/或所述支持辊中的至少一个的外周表面以凸面形状设置。
[0016] 根据本发明的再一方面,本发明提供了一种利用上述用于制造感光性层积体的装置制造感光性层积体的方法,该方法包括如下步骤:同步送出至少两个细长感光板,所述感光板中的每一个包括:支持体;设置在所述支持体上的热塑树脂层;设置在热塑树脂层上的作为氧阻挡膜的中间层;设置在中间层上的感光性材料层;和设置在所述感光性材料层上的保护膜,所述保护膜具有剩余区和位于剩余区的两侧的剥离区;在所述剥离区和所述剩余区之间的各个边界位置处,在已被送出的 所述细长感光板的所述保护膜中形成可横向切断的加工区域;提供粘接标签,用于相互连接位于剩余区的两侧的剥离区;从所述细长感光板中的每一个剥离所述剥离区,留下所述剩余区;将已被加热到预定温度的基片馈送到贴附位置;在所述贴附位置,将所述剩余区定位在所述基片之间并将已剥离所述剥离区的所述感光性材料层的至少两个曝露区域平行地整体贴附于所述基片,从而制成贴附基片;在所述贴附位置下游的位置处冷却所述贴附基片;和在玻璃化转变温度或低于玻璃化转变温度的预定温度范围内,加热热塑树脂层,所述粘接标签具有:无粘性的位于中央的非粘附区域;和第一粘附区域和第二粘附区域,第一粘附区域和第二粘附区域分别设置在粘接标签的纵向相对端部上,第一粘附区域和第二粘附区域分别粘结到位于剩余区的两侧的剥离区。
[0017] 根据本发明的另一方面,所述方法还包括如下步骤:在所述贴附位置的下游,在所述贴附基片之间切断每个细长感光板后,从所述贴附基片剥离每个支持体并获得感光性层积体;和当所述支持体被剥离时,沿所述支持体与所述基片的贴附方向,向所述支持体施加张力。
[0018] 根据本发明的另一方面,所述方法还包括如下步骤:使所述支持体跟随剥离辊的外周部从所述基片剥离;和在剥离引导部件在所述基片之间运动的同时,沿所述剥离辊的外周引导所述支持体。
[0019] 根据本发明,提供用于制造感光性层积体的装置,包括:至少两个板送出机构,用于同步送出细长感光板,每个感光板包括:支持体;在支持体上设置的感光性材料层;和在感光性材料层上设置的保护膜,该保护膜具有剥离区和剩余区;至少两个加工机构,用于在剥离区和剩余区之间的各个边界位置处,在已由板送出机构送出的细长感光板的保护膜中形成可横向切断的加工区域;至少两个剥离机构,用于从每个细长感光板剥离剥离区,留下剩余区;基片馈送机构,用于将已被加热到预定温度的基片馈送到贴附位置;贴附机构,用于将剩余区定位在基片之间,并在贴附位置中,将剥离区已被剥离的感光性材料层的至少两个曝露区域平行地整体贴附于基片,从而产生贴附基片;位于贴附机构下游的至少两个支持体剥离机构,用于从每个贴附基片剥离支持体;位于 贴附机构与支持体剥离机构之间的冷却机构,用于冷却贴附基片;和加热机构,用于在玻璃化温度(glass transition temperature)处或低于玻璃化温度的预定温度范围内,加热层叠在支撑上的树脂层。 [0020] 此外,该支持体剥离机构可优选地包括张力施加结构,用于在剥离支持体时,沿与基片的贴附方向向支持体施加张力。
[0021] 此外,该支持体剥离机构还可优选地包括:剥离辊,用于使支持体跟随该剥离辊的外周部从基片剥离;和剥离引导部件,在该剥离引导部件用于在基片之间运动的同时,沿剥离辊的外周引导支持体。
[0022] 此外,该贴附机构还可优选包括:能够被加热到预定温度的一对橡胶辊;和与该一对橡胶辊滑动接触的一对支持辊,其中:至少一个橡胶辊与/或至少一个支持辊的外周表面以冠状形状或凸面形状设置。
[0023] 此外,根据本发明,提供了用于制造感光性层积体的装置,包括:至少两个板送出机构,用于同步送出细长感光板,每个感光板包括:支持体;在支持体上设置的感光性材料层;和在感光性材料层上设置的保护膜,该保护膜具有剥离区和剩余区;至少两个加工机构,用于在剥离区和剩余区之间的各个边界位置处,在已由板送出机构送出的细长感光板的保护膜中形成可横向切断的加工区域;至少两个剥离机构,用于从每个细长感光板剥离剥离区,留下剩余区;基片馈送机构,用于将已被加热到预定温度的基片馈送到贴附位置;贴附机构,用于将剩余区定位在基片之间,并在贴附位置中,将剥离区已被剥离的感光性材料层的至少两个曝露区域平行地整体贴附于基片,从而产生贴附基片;和位于贴附机构下游的至少两个支持体剥离机构,用于从每个贴附基片剥离支持体,其中:加工机构包括:切割器,用于在细长感光板中形成构成加工区域的部分切割区域;和加热器,用于在进行部分切割时将部分切割区域加热到对应于切割器的预定温度。
[0024] 根据本发明,还提供了制造感光性层积体的方法,包括如下步骤:同步送出至少两个细长感光板,每个感光板包括:支持体;在支持体上设置的感光性材料层;和在感光性材料层上设置的保护膜,该保护膜具有剥离区和剩余区;在剥离区和剩余区之间的各个边界位置处,在已送出的细长感光板的保护膜中形成可横向切断的加工区域;从每个细 长感光板剥离剥离区,留下剩余区;将已被加热到预定温度的基片馈送到贴附位置;将剩余区定位在基片之间,并在贴附位置中,将剥离区已被剥离的感光性材料层的至少两个曝露区域平行地整体贴附于基片,从而产生贴附基片;在贴附位置下游的位置处冷却贴附基片;和在玻璃化温度或低于玻璃化温度的预定温度范围内,加热层叠在支持体上的树脂层。 [0025] 此外,该方法可优选地包括如下步骤:在贴附位置的下游,在贴附基片之间切断每个细长感光板后,从贴附基片剥离每个支持体,用于取得感光性层积体;并在支持体被剥离时,沿支持体与基片的贴附方向,向支持体施加张力。
[0026] 此外,该方法可优选地包括如下步骤:使支持体跟随剥离辊的外周部从基片剥离;和在剥离引导部件在基片之间运动的同时,沿剥离辊的外周引导支持体。 [0027] 此外,根据本发明,还提供了制造感光性层积体的方法,包括如下步骤:同步送出至少两个细长感光板,每个感光板包括:支持体;在支持体上设置的感光性材料层;和在感光性材料层上设置的保护膜,该保护膜具有剥离区和剩余区;在剥离区和剩余区之间的各个边界位置处,在将部分切割区域加热到对应于切割器的预定温度的同时,在细长感光板中进行部分切断,所述部分切割区域在已被送出的所述细长感光板的所述保护膜中、是可横向切断的;从每个细长感光板剥离剥离区,留下剩余区;将已被加热到预定温度的基片馈送到贴附位置;在贴附位置,将剩余区定位在基片之间并将剥离区已被剥离的感光性材料层的至少两个曝露区域平行地整体贴附于基片,从而产生贴附基片;并在贴附位置的上游附近,将细长感光板预加热到预定温度。
[0028] 作为上述特征的结果,彼此横向间隔的至少两个感光性材料层能够被有效地转移或转印到宽的基片上,并且能够高效地制造高质量的感光性层积体。此外,在细长感光板中,树脂层内的剩余应力被可靠地减轻,并且支持体能够容易和有利地从树脂层剥离。 [0029] 通过结合附图时的如下描述,本发明的上述和其它目的、特征及优点将会变得更加明显。附图中,通过示例示出本发明的优选实施例

附图说明

[0030] 图1是根据本发明第一实施例的制造装置的示意侧视图;
[0031] 图2是制造装置中使用的细长感光板的放大局部横断面视图;
[0032] 图3是胶带贴附于其上的细长感光板的局部俯视图;
[0033] 图4是制造装置的贴附机构的主视图;
[0034] 图5是膜馈送辊和夹辊组的透视图;
[0035] 图6是制造装置的贯通区域的局部横断面视图;
[0036] 图7是制造装置的一部分的示意图,显示了其初始状态;
[0037] 图8是显示保护膜被从细长感光板剥离的方式的局部侧视图;
[0038] 图9是制造装置的一部分的示意图,显示了玻璃基片进入橡胶辊之间的方式; [0039] 图10是制造装置的一部分的示意图,显示了橡胶辊开始旋转的方式; [0040] 图11是制造装置的一部分的示意图,显示了在第一玻璃基片上完成层叠过程时的制造装置的操作;
[0041] 图12是制造装置的一部分的示意图,显示了橡胶辊和基片馈送辊旋转的方式; [0042] 图13是玻璃基片的局部横断面视图,感光树脂层被转移或转印到玻璃基片上; [0043] 图14是制造装置的一部分的示意图,显示了基片馈送辊从贴附基片的端部间隔开的方式;
[0044] 图15是制造装置的一部分的示意图,显示了细长感光板在贴附基片之间切断的方式;
[0045] 图16是制造装置的一部分的示意图,显示了其停止状态;
[0046] 图17是制造装置的一部分的示意图,显示了其终止状态;
[0047] 图18是制造装置的一部分的示意图,显示了细长感光板具有设定在适当位置的前端的方式;
[0048] 图19是显示感光树脂层相对于玻璃基片前进的方式的俯视图; [0049] 图20是显示感光树脂层相对于玻璃基片伸长的方式的俯视图; [0050] 图21是显示感光树脂层具有相对于玻璃基片在不同位置的前端的方式的俯视图;
[0051] 图22是显示感光树脂层相对于玻璃基片具有不同长度的方式的俯视图; [0052] 图23是显示感光树脂层相对于玻璃基片具有不同长度并且具有在不同位置的前端的方式的俯视图;
[0053] 图24是根据本发明第二实施例的制造装置的示意侧视图;
[0054] 图25是显示具有规定长度的感光树脂层被贴附于玻璃基片的方式的俯视图; [0055] 图26是显示长于规定长度的感光树脂层被贴附于玻璃基片的方式的俯视图; [0056] 图27是显示短于规定长度的感光树脂层被贴附于玻璃基片的方式的俯视图; [0057] 图28是根据本发明第三实施例的制造装置的示意侧视图;
[0058] 图29是根据第三实施例的制造装置的预剥离器的放大剖视图; [0059] 图30是显示预剥离器操作的方式的放大横断面视图;
[0060] 图31是显示探测贴附于玻璃基片的感光树脂层的位置的方式的视图; [0061] 图32是根据本发明第四实施例的制造装置的示意侧视图;
[0062] 图33是用在制造装置中的细长感光板的横断面视图;
[0063] 图34是显示温度和tanδ之间特性的视图;
[0064] 图35是显示形成制造装置的一部分的剥离机构的示意透视图; [0065] 图36是剥离机构的基本部分的透视图;
[0066] 图37是显示剥离机构的操作的视图;
[0067] 图38是指示基膜表面温度与膜剥离中缺陷之间关系的视图;
[0068] 图39是构成根据本发明的第五实施例的制造装置的基部剥离机构的示意透视图;
[0069] 图40是构成根据本发明的第六实施例的制造装置的基部剥离机构的示意透视图;
[0070] 图41是构成根据本发明的第七实施例的制造装置的自动基部剥 离机构的示意透视图;
[0071] 图42是显示自动基部剥离机构的操作的视图;
[0072] 图43是显示自动基部剥离机构的操作的视图;
[0073] 图44是显示自动基部剥离机构的操作的视图;
[0074] 图45是显示包括锥形部的剥离杆的视图。
[0075] 图46是构成根据本发明第八实施例的制造装置的贴附机构的主视图; [0076] 图47是显示形成贴附机构一部分的凸面辊或冠状辊(crownroller)的示图; [0077] 图48是构成根据本发明的第九实施例的制造装置的第一和第二加工机构的示意透视图;
[0078] 图49是第一和第二加工机构的示意侧视图;和
[0079] 图50是传统膜贴附装置的示意侧视图。

具体实施方式

[0080] 图1采用示意侧视图显示了根据本发明第一实施例的用于制造感光性层积体的装置20。在制造液晶或有机EL滤色片的过程中,该制造装置20操作以将彼此平行的细长感光板22a,22b的各自的感光树脂层28(以后描述)热转移或转印到玻璃基片24。该感光板22a,22b各自的宽度为:例如,细长感光板22a比感光板22b更宽。
[0081] 图2采用横断面显示了制造装置20中使用的每个感光板22a,22b。每个感光板22a,22b包括柔韧基膜(支持体)26;设置在柔韧基膜26上的感光树脂层(感光性材料层)28;和在感光树脂层28上设置的保护膜30的层叠组件。
[0082] 如图1所示,该制造装置20具有第一和第二送出机构32a,32b,用于容纳采用卷起的感光板22a,22b形式的两个(或更多)感光板卷23a,23b,并从感光板卷23a,23b同时或同步送出感光板22a,22b;第一和第二加工机构36a,36b,用于形成部分切割区域(处理区域)34,部分切割区域34位于从感光板卷23a,23b送出的感光板22a,22b的保护膜30中可横向切割的边缘位置处;和第一和 第二标签粘结机构40a,40b,用于将每个都具有非粘附区域38a的粘接标签38(参见图3)粘结到保护膜30。
[0083] 在第一和第二标签粘结机构40a,40b的下游,该制造装置20还具有:第一和第二贮存机构42a,42b,用于将感光板22a,22b的馈送模式从间歇馈送模式改变为连续馈送模式;第一和第二剥离机构44a,44b,用于从感光板22a,22b剥离预定长度的保护膜30;基片馈送机构45,用于将加热到预定温度的玻璃基片24馈送到贴附位置;和贴附机构46,用于将已通过剥离保护膜30暴露的感光树脂层28整体并彼此平行地贴附于玻璃基片24。 [0084] 第一和第二探测机构47a,47b用于直接探测在感光板22a,22b的边缘位置处的部分切割区域34,并被设置在贴附机构46中的贴附位置的上游并接近贴附机构46中的贴附位置。基片间板切断机构48用于在相邻的玻璃基片24之间完全切断感光板22a,22b,并被设置在贴附机构46的下游。板切断机构48a在制造装置20开始和终止操作时使用,并被设置在基片间板切断机构48的上游。
[0085] 贴附座49用于贴附已基本用完的感光板22a,22b的尾端和将新使用的感光板22a,22b的前端,并分别被设置在第一和第二送出机构32a,32b的下游并接近第一和第二送出机构32a,32b。该贴附座49下游接着各个膜端部位置探测器51,膜端部位置探测器
51用于控制由于感光板卷23a,23b的缠绕不规则,感光板22a,22b的横向偏移。通过横向移动第一和第二送出机构32a,32b在位置上调节该感光板22a,22b的膜端部。然而,利用与辊组合的位置调节机构,可以调节感光板22a,22b的膜端部。第一和第二送出机构32a,
32b中的每个可包括多轴机构,多轴机构包括两个或三个开卷轴,用于支撑感光板卷23a,
23b之一并馈送出来感光板22a,22b之一。
[0086] 第一和第二加工机构36a,36b被设置在各个辊对50的下游,用于计算容纳在各自的第一和第二送出机构32a,32b中的感光板卷23a,23b的直径。第一和第二加工机构36a,36b具有各自的单个圆形刀片52,单个圆形刀片52穿过感光板22a,22b横向行进,以在感光板22a,22b上的给定位置处在感光板22a,22b中形成部分切割区 域34。 [0087] 如图2所示,部分切割区域34需要被形成在至少保护膜30中并至少横穿过保护膜30。实际上,圆形刀片52的切割深度被设置为足以切割入感光树脂层28或基膜26,以可靠地切断保护膜30。该圆形刀片52可被不旋转地安装,和穿过感光板22a,22b横向移动以形成部分切割区34,或可在感光板22a,22b上无滑动地旋转,并穿过感光板22a,22b横向运动以形成部分切割区域34。例如,该圆形刀片52可替换为激光束或超声切割机,刀片或推进刀片(汤姆森刀片)。
[0088] 第一和第二加工机构36a,36b中的每个可包括沿感光板22a,22b被馈送的、由箭头A指示的方向以预定间隔设置的两个加工机构,用于同时形成剩余区30b介于其间的两个部分切割区域34。
[0089] 在保护膜30中形成的两个接近地间隔的部分切割区域34用于设置两个邻近玻璃基片24之间的间隔间隙。例如,在从玻璃基片24的各个边缘向内间隔10mm的位置处,在保护膜30中形成这些部分切割区域34。当感光树脂层28在将在后面描述的贴附机构46中作为框贴附到玻璃基片24时,介于部分切割区域34之间并曝露在玻璃基片24之间的保护膜30的区段用作掩膜。
[0090] 该第一和第二标签粘结机构40a,40b提供粘接标签38,用于相互连接前剥离区30aa和后剥离区30ab,以将保护膜30的剩余区30b留在玻璃基片24之间。如图2所示,将被最初剥离的前剥离区30aa和将被随后剥离的后剥离区30ab分别位于剩余区30b的两侧。
[0091] 如图3所示,每条粘接标签38是矩形条状形状的,并由与保护膜30相同的材料制成。每个粘接标签38具有:无粘性的位于中央的非粘附(或轻微粘性)区域38a;和第一粘附区域38b与第二粘附区域38c,分别设置在非粘附区域38a的背侧(粘附侧)的纵向相对端上,即在粘接标签38的纵向相对端部上,第一粘附区域38b和第二粘附区域38c分别粘结到前剥离区30aa和后剥离区30ab。
[0092] 如图1所示,第一和第二标签粘结机构40a,40b中的每个具有吸盘54a到54e,用于以预定间隔贴附最多5个粘接标签38。支撑 座56可垂直移动,用于从下面分别保持感光板22a,22b,并被设置在粘接标签38由吸盘54a到54e贴附于感光板22a,22b的各个位置。
[0093] 该第一和第二贮存机构42a,42b具有各自的跳动辊60,跳动辊60可旋转和可摆动用于吸收感光板22a,22b在第一和第二贮存机构42a,42b的上游被馈送的间歇馈送模式和感光板22a,22b在第一和第二贮存机构42a,42b的下游被馈送的连续馈送模式之间的速度差。该第二贮存机构42b还具有跳动辊61,用于均衡从第一和第二送出机构32a,32b行进到贴附机构46的感光板22a,22b的馈送通路长度。
[0094] 第一和第二剥离机构44a,44b布置在各个第一和第二贮存机构42a,42b的下游,并具有各自的真空滚筒(suction drum)62,用于阻止供应的感光板22a,22b接受的张力变化,从而稳定感光板22a,22b后来层叠时的感光板22a,22b的张力。第一和第二剥离机构44a,44b还具有接近真空滚筒62设置的各个剥离辊63。除了剩余区30b之外,以成锐的的剥离角从感光板22a,22b剥离的保护膜30由各个保护膜卷取单元64缠绕。 [0095] 用于给予感光板22a,22b张力的第一和第二张力控制机构66a,66b被分别布置在第一和第二剥离机构44a,44b的下游。该第一和第二张力控制机构66a,66b分别具有汽缸
68,汽缸68可致动以使各个张力浮动辊70角位移,从而调节感光板22a,22b的张力,张力浮动辊70被保持与感光板22a,22b滚动接触。该第一第二张力控制机构66a,66b可仅在需要时使用,并且可被省略。
[0096] 该第一和第二探测机构47a,47b具有诸如激光传感器、光传感器或相类似物的各自的光电传感器72a,72b,用于直接探测由于部分切割区34中的楔形槽、由保护膜30的不同厚度产生的台阶,或其组合,感光板22a,22b的变化。自光电传感器72a,72b的探测信号被用作表示保护膜30中的边界位置的边界位置信号。该光电传感器72a,72b以面对各个支持辊73a,73b的关系布置。可选地,代替光电传感器72a,72b,可以使用诸如CCD照相机或相类似物的非接触位移计或 图像检查装置。
[0097] 由第一和第二探测机构47a,47b探测的部分切割区域34的位置数据能够被统计处理并实时转换为图形数据。当由第一和第二探测机构47a,47b探测的位置数据显示了不适当的变化或偏差,制造装置20可产生警告。该制造装置20可使用不同系统,用于产生边界位置信号。根据这种不同系统,部分切割区34不直接被探测,但标记可应用于感光板22a,22b。例如,孔或凹陷可在第一和第二加工机构36a,36b附近接近部分切割区域34形成在感光板22a,22b中,或感光板22a,22b可由激光束或水或溶液喷射形成狭缝或可由喷墨或打印机标记。该感光板22a,22b上的标记被探测,并且探测信号被用作边界位置信号。 [0098] 该基片馈送机构45具有:设置用于将玻璃基片24夹在中间并加热玻璃基片24的多个基片加热单元(例如,加热器)74;和用于沿由箭头C指示的方向馈送玻璃基片24的馈送器76。在基片加热单元74中的玻璃基片24的温度一直受监控。当玻璃基片24的监控温度变得异常时,该馈送器76停止,并发出告警,并且异常信息被发送以在后续过程中,丢弃和排出异常玻璃基片24,并且也用于质量控制和生产管理。该馈送器76具有气垫板(未示出),用于浮起玻璃基片24和沿箭头C指示的方向馈送玻璃基片24。代替上述方式,馈送器76可包括用于馈送玻璃基片24的辊输送器。
[0099] 根据接触过程(例如,使用热电偶)或非接触过程,该玻璃基片24的温度应优选地在基片加热单元74中被测量,或刚好在贴附位置前测量。
[0100] 用于存储多个玻璃基片24的基片存储框架71被设置在基片加热单元74的上游。在基片存储框架71中存储的玻璃基片24由机器人75的手75a上的吸盘(suction pad)79一个接一个地吸附,从基片存储框架71取出,并被插入基片加热单元74。 [0101] 在基片加热单元74的下游,设置了:挡77,用于邻接玻璃基片24的前端并保持玻璃基片24;和位置传感器78,用于探测玻璃基片24的前端的位置。该位置传感器78在玻璃基片24朝向贴附 位置的途中探测玻璃基片24的前端的位置。在位置传感器78已探测到玻璃基片24的前端的位置后,玻璃基片24被馈送预定距离,并位于贴附机构46的橡胶辊80a,80b之间。优选地,多个位置传感器78以预定间隔沿馈送通路设置,用于监控玻璃基片24到达位置传感器78的各个位置时的时间,从而检查玻璃基片24开始被馈送时,由于玻璃基片24的打滑等引起的延迟。在图1中,在玻璃基片24正被馈送的同时,玻璃基片24被基片加热单元加热。然而,玻璃基片24可在批量加热炉中加热并被机器人馈送。 [0102] 该贴附机构46具有能够被加热到预定温度的一对垂直间隔开的层叠橡胶辊80a,
80b。该贴附机构46还具有一对支持辊82a,82b,分别保持与橡胶辊80a,80b滚动接触。利用辊夹紧单元83的按压缸84a,84b,该支持辊82b压在橡胶辊80b上。
[0103] 如图4所示,该辊夹紧单元83具有驱动电机93,驱动电机93具有联接到减速器93a的驱动轴,减速器93a具有与滚珠螺杆94同轴连接的驱动轴93b。螺母95拧在滚珠螺杆94上并被固定到滑动基部96。锥形凸轮97a,97b被分别固定地安装在沿由箭头B指示的感光板22a,22b的横向方向的滑动基部96的相对端上。该锥形凸轮97a,97b沿由箭头B1指示的方向逐渐增高。辊98a,98b分别被放置在锥形凸轮97a,97b上并被分别保持在按压缸84a,84b的下端上。如图1所示,防接触辊86可移动地接近橡胶辊80a设置,用于防止感光板22a,22b接触橡胶辊80a。预加热单元87用于将感光板22a,22b预加热到预定温度,并被设置在贴附机构46的上游并接近贴附机构46。该预加热单元87包括红外杆式加热器或热量施加装置。
[0104] 沿在由箭头C指示的方向上延伸的馈送通路88,玻璃基片24从贴附机构46经过基片间板切断机构48馈送。该馈送通路88包括辊阵列,辊阵列包括膜馈送辊90a,90b和基片馈送辊92,板切断机构48a介于膜馈送辊90a,90b和基片馈送辊92之间。该橡胶辊80a,80b和基片馈送辊92之间的距离等于或小于一块玻璃基片24的长度。 [0105] 如图5所示,该膜馈送辊90a,90b细长并横向穿过从贴附机构46彼此平行馈送的感光板22a,22b。该膜馈送辊90a,90b被驱动以彼此独立地旋转。该膜馈送辊90a,90b分别与夹辊组89a,89b关联。
[0106] 该夹辊组89a包括多个(例如5个)夹辊91a,其沿膜馈送辊90a,即沿箭头D指示的方向以预定间隔隙布置。该夹辊91a可由各个缸99a单独向膜馈送辊90a和离开膜馈送辊90a运动。类似地,该夹辊组89b包括多个(例如5个)夹辊91b,其沿膜馈送辊90b,即沿箭头D指示的方向以预定间隔布置。该夹辊91b可由各个缸99b单独向膜馈送辊90b和离开膜馈送辊90b运动。
[0107] 在制造装置20中,第一和第二送出机构32a,32b、第一和第二加工机构36a,36b、第一和第二标签粘结机构40a,40b、第一和第二贮存机构42a,42b、第一和第二剥离机构44a,44b、第一和第二张力控制机构66a,66b和第一和第二探测机构47a,47b被设置在贴附机构46上方。相反,第一和第二送出机构32a,32b、第一和第二加工机构36a,36b、第一和第二标签粘结机构40a,40b、第一和第二贮存机构42a,42b、第一和第二剥离机构44a,44b、第一和第二张力控制机构66a,66b和第一和第二探测机构47a,47b可被设置在贴附机构46下方,以便:可使感光板22a,22b颠倒,从而感光树脂层28被附于玻璃基片24的下表面。
可选地,制造装置20的所有机构可线性或直线布置。
[0108] 如图1所示,制造装置20整个由层叠过程控制器100控制。该制造装置20还具有层叠控制器102、基片加热控制器104等,用于控制制造装置20的不同功能部件。这些控制器由进程内网络(in-process network)相互连接。该层叠过程控制器100被连接到安装制造装置20的工厂的网络,并基于自工厂CPU(未示出)的指示信息(条件设置和生产信息)执行生产信息处理,例如生产管理和机构操作管理。
[0109] 该基片加热控制器104控制基片加热单元74以从上游过程接收玻璃基片24,并将接收的玻璃基片24加热到期望的温度;控制馈送 器76以将加热的玻璃基片24馈送到贴附机构46;并且还控制有关玻璃基片24的信息的处理。
[0110] 该层叠控制器102用作过程管理器(master),用于控制制造装置20的功能部件。该层叠控制器102操作作为控制机构,用于基于由第一和第二探测机构47a,47b探测的感光片22a,22b的部分切割区域34的位置信息,控制在贴附位置中的边界位置与玻璃基片24的相对位置和边界位置本身的相对位置。
[0111] 制造装置20的安装空间由分隔壁110分成第一清洁室112a和第二清洁室112b。第一清洁室112中容纳第一和第二送出机构32a,32b、第一和第二加工机构36a,36b、第一和第二标签粘结机构40a,40b、第一和第二贮存机构42a,42b、第一和第二剥离机构44a,
44b和第一和第二张力控制机构66a,66b。第二清洁室112b中容纳第一和第二探测机构
47a,47b和伴随第一和第二探测机构47a,47b的其它部件。第一清洁室112a和第二清洁室
112b由贯通区域114彼此连接。
[0112] 如图6所示,贯通区域114具有设置在第一清洁室112a中的除尘器115和设置在第二清洁室112b中的气封116。
[0113] 除尘器115具有:一对吸嘴117a,以与感光板22a,22b的各个相对表面面对关系设置;和一对喷射喷嘴118,分别设置在吸嘴117a中。该喷射喷嘴118将空气喷射到感光板22a,22b以从感光板webs22a,22b去除灰尘粒子,并且吸嘴117a抽取喷射的空气和去除的灰尘粒子。优选地,自喷射喷嘴118的空气可以是电中性(electricneutralizing)(或抗静电)空气。
[0114] 该气封116具有一对吸嘴117b,以面对感光板22a,22b的各个相对表面的关系设置。该吸嘴117b抽取空气以密封贯通区域114。该除尘器115和气封116的位置可变换,或多个除尘器115和多个气封116可彼此结合。可以以与感光树脂层28曝露的感光板22a,22b的侧面面对的关系仅仅设置吸嘴117a而不设置喷射喷嘴118。
[0115] 在制造装置20中,分隔壁110防止来自贴附机构46的加热的空气热影响感光板22a,22b,即防止使细长感光板22a,22b折皱、 变形、热收缩或伸长。该分离壁110将制造装置20的上部区域,即灰尘粒子容易出现和落下的第一清洁室112a,与制造装置20的下部区域,即第二清洁室112b,分离开,从而保持贴附机构46特别清洁。期望保持第二清洁室
112b中的压力比第一清洁室112a中的压力更大,从而防止灰尘粒子从第一清洁室112a流入第二清洁室112b。
[0116] 气源(未示出)用于供应向下的清洁空气流,并设置在第二清洁室112b的上部。 [0117] 以下将描述用于执行根据本发明的制造方法的制造装置20的操作。 [0118] 开始时,为了将感光板22a,22b的前端定位在适当位置,感光板22a,22b从容纳在第一和第二送出机构32a,32b中的各个感光板卷23a,23b送出。经第一和第二加工机构36a,36b、第一和第二标签粘结机构40a,40b、第一和第二贮存机构42a,42b、第一和第二剥离机构44a,44b和贴附机构46,该感光板22a,22b传送到膜馈送辊90a,90b。 [0119] 如图5所示,利用各个汽缸99a,位于较宽感光板22a(更接近观察者)上方的夹辊组89a的三个夹辊91a向膜馈送辊90a位移,直到较宽感光板22a夹在三个夹辊91a和膜馈送辊90a之间。
[0120] 利用各个汽缸99b,位于较窄感光板22b(更远离观察者)上方的夹辊组89b的两个夹辊91b向膜馈送辊90b位移,直到较窄感光板22b夹在两个夹辊91b和膜馈送辊90b之间。
[0121] 夹辊组89a的其余两个夹辊91a(远离观看者)与膜馈送辊90a间隔开,并且夹辊组89b的其余三个夹辊91b(更接近观看者)与膜馈送辊90b间隔开。
[0122] 当感光板22a的部分切割区域34被第一探测机构47a的光电传感器72a探测到时,膜馈送辊90a基于来自光电传感器72a的探测信号旋转。利用将感光板22a夹在膜馈送辊90a和三个夹辊91a之间的膜馈送辊90a和三个夹辊91a,该感光板22a现在向贴附位置被馈送预定距离。
[0123] 当感光板22b的部分切割区域34被第二探测机构47b的光电 传感器72b探测到时,该膜馈送辊90b基于自光电传感器72b的探测信号旋转。利用将感光板22b夹在膜馈送辊90b和两个夹辊91b中间的膜馈送辊90b和两个夹辊91b,该感光板22b现在向贴附位置被馈送预定距离。该感光板22a,22b的部分切割区域34现在被定位在贴附位置中。该感光板22a,22b的部分切割区域34可在贴附位置下游被探测,并且感光板22a,22b可停止在给定位置处。
[0124] 如图7所示,在感光板22a,22b已被馈送预定距离后,防接触辊86被下降以防止感光板22a,22b接触橡胶辊80a。玻璃基片24紧接贴附位置前等待。该感光板22a,22b现在处于制造装置20的初始状态中。
[0125] 以下将描述在层叠模式中,制造装置20的功能部件的操作。
[0126] 如图1所示,在第一和第二加工机构36a,36b中,该圆形刀片52穿过感光板22a,22b横向运动以切入感光膜30、感光树脂层28和基膜26,从而形成部分切割区域34(参见图2)。然后,该感光板22a,22b沿由箭头A(见图1)指示的方向被再次馈送对应于保护膜
30的剩余区30b的尺寸的距离,并且然后停止,从而由圆形刀片52在其中形成其它部分切割区域34。如图2所示,现在,在每个感光板22a,22b中提供了前剥离区30aa和后剥离区
30ab,剩余区30b介于其中间。
[0127] 然后,该感光板22a,22b被馈送到第一和第二标签粘结机构40a,40b,以将保护膜30的各个预定粘结区域放置在支撑座56上。在第一和第二标签粘结机构40a,40b中,预定数量的粘接标签38被吸盘54b到54e在吸力下吸引和保持,并被紧固地结合到保护膜30的前剥离区30aa和后剥离区30ab,横过其剩余区30b(参见图3)。
[0128] 具有5个粘接标签38结合到其上的感光板22a,22b例如被第一和第二贮存机构42a,42b隔离,防止供应的感光板22a,22b接受的张力的变化,并且然后连续被馈送到第一和第二剥离机构44a,44b。如图8所示,在第一和第二剥离机构44a,44b中,感光板22a,
22b的基膜26被吸引到真空滚筒62,并且保护膜30被从感光板 22a,22b剥离,留下剩余区
30b。该保护膜30以成锐角的剥离角度剥离,并由保护膜卷取单元64(参见图1)缠绕。优选地,电中性(electric neutralizing)空气可被吹到剥离后的部分上。 [0129] 此时,因为感光板22a,22b被真空滚筒62紧固地保持,因此保护膜30被从感光板
22a,22b剥离时产生的冲击不会被传送到真空滚筒62下游的感光板22a,22b。因此,这种冲击不会被传送到贴附机构46,并且因此,有效地防止玻璃基片24的层叠区产生有条纹的缺陷区。
[0130] 在第一和第二剥离机构44a,44b已将保护膜30从基膜26剥离,留下剩余区30b后,利用第一和第二张力控制机构66a,66b调节感光板22a,22b的张力,并且然后感光板22a,22b的部分切割区域34被第一和第二探测机构47a,47b的光电传感器72a,72b探测。 [0131] 基于对部分切割区域34的探测信息,膜馈送辊90a,90b被旋转以将感光板22a,
22b向贴附机构46馈送预定长度。此时,防接触辊86在感光板22a,22b上方等待,并且橡胶辊80b被设置在感光板22a,22b下方。
[0132] 如图9所示,被预加热的第一玻璃基片24被基片馈送机构45馈送到贴附位置。该玻璃基片24暂时地位于橡胶辊80a,80b之间,与彼此平行的感光板22a,22b的贴附的感光树脂层28对准。
[0133] 然后,如图4所示,滚珠螺杆94被联接到驱动电机93的减速器93a沿一定方向旋转,使滑动基部96与拧在滚珠螺杆94上的螺帽95一致地沿箭头B2指示的方向移动。因此,锥形凸轮97a,97b使其与辊98a,98b接触的凸轮表面升高,向上移动辊98a,98b。该按压汽缸84a,84b被提升,升高支持辊82b和橡胶辊80b以在预定按压压力下将玻璃基片24夹在橡胶辊80a,80b之间。此时,利用施加于按压缸84a,84b的空气压力调节按压压力。该橡胶辊80a被旋转以将利用热量融化的平行感光树脂层28转移或转印,即层叠,到玻璃基片24。
[0134] 该感光树脂层28在下述条件下层叠在玻璃基片24上:感光树 脂层28以从1.0m/min到10m/min范围的速度馈送;橡胶辊80a,80b具有从100℃到150℃范围的温度和从40到90范围的硬度,并施加范围从50N/cm到400N/cm的压力(线压力)。
[0135] 如图10所示,当玻璃基片24的前端到达接近膜馈送辊90a,90b的位置时,夹辊91a,91b向离开膜馈送辊90a,90b的方向运动。如图10中的虚线所指示,当沿由箭头C指示的方向,向玻璃基片24的前方伸出的感光板22a,22b的前端到达相对于板切断机构48a的预定位置时,板切断机构48a被开启以切断感光板22a,22b的前端。除了切断感光板22a,
22b的前端时,操作终止时,和在故障情况下切断感光板22a,22b时,该板切断机构48a返回到其待用位置。当制造装置20在正常操作时,该板切断机构48a将不使用。 [0136] 如图11所示,当感光板22a,22b已被橡胶辊80a,80b层叠到玻璃基片24上直到玻璃基片24尾端时,橡胶辊80a,80b停止旋转,并且具有层叠的感光板22a,22b的玻璃基片24(也称作“贴附基片24a”)由基片馈送辊92夹紧。
[0137] 该橡胶辊80b向离开橡胶辊80a的方向缩回,松开贴附基片24a。具体地,如图4所示,联接到驱动电机93的减速器93a倒转,导致滚珠螺杆94和螺帽95沿由箭头B1指示的方向移动滑动基部96。因此,锥形凸轮97a,97b使其与辊98a,98b接触的凸轮表面下降,向下移动按压缸84a,84b。该支持辊82b和橡胶辊80b被降低,松开贴附基片24a。 [0138] 然后,该基片馈送辊92开始旋转以沿箭头C指示的方向馈送贴附基片24a预定距离。将在两个相邻玻璃基片24之间传送的感光板22a,22b的位置现有位移到橡胶辊80a的下方的位置。下一玻璃基片24被基片馈送机构45向贴附位置馈送。当下一玻璃基片24的前端位于橡胶辊80a,80b之间时,橡胶辊80b被抬升,将下一玻璃基片24和感光板22a,22b夹在橡胶辊80a,80b之间。该橡胶辊80a,80b和基片馈送辊92被旋转以开始将感光板
22a,22b层叠到玻璃基片24上,并沿由箭头C指示的方向馈送贴附基片24a(参见图12)。 [0139] 此时,如图13所示,贴附基片24a具有由各个剩余区30b覆盖的相对端。因此,当感光树脂层28被转移或转印到玻璃基片24时,该橡胶辊80a,80b不会被感光树脂层28污染。
[0140] 如图14所示,当第一贴附基片24a的尾端到达基片馈送辊92时,基片馈送辊92的上部的一个被抬升以松开第一贴附基片24a,并且基片馈送辊92的下部的一个和馈送通路88的其它辊连续旋转以馈送贴附基片24a。当下一个,即第二,贴附基片24a的尾端到达橡胶辊80a,80b附近的位置时,橡胶辊80a,80b和基片馈送辊92停止旋转。基片馈送辊92的上部的一个被下降以夹紧第二贴附基片24a,并且橡胶辊80b被降低以松开第二贴附基片24a。然后,基片馈送辊92被旋转以馈送第二贴附基片24a。将在两个相邻玻璃基片
24之间传送的层叠感光板22a,22b的位置现有被移动到橡胶辊80a下方的位置,并且感光板22a,22b被重复层叠到第三玻璃基片24。
[0141] 如图15所示,当两个相邻贴附基片24a之间的位置到达对应于基片间板切断机构48的位置时,基片间板切断机构48在以与贴附基片24a相同的速度沿由箭头C指示的方向移动的同时,基片间板切断机构48在贴附基片24a之间一起切断两个感光板22a,22b。
此后,基片间板切断机构48返回到待用位置,并且基膜26和剩余区30b从前端的贴附基片
24a剥离,从而制造感光性层积体106(参见图1)。
[0142] 当层叠过程暂时停止时,如图16所示,夹辊组89a,89b和橡胶辊80b进入松开位置,并且防接触辊86被降低以防止两个感光板22a,22b接触橡胶辊80a。 [0143] 当制造装置20将被关闭时,基片馈送辊92被旋转以沿箭头C指示的方向馈送贴附基片24a,并且膜馈送辊90夹紧感光板22a,22b。在旋转中的膜馈送辊90a,90b正夹紧感光板22a,22b的同时,板切断机构48a穿过感光板22a,22b横向行进,切断感光板22a,22b。
[0144] 结果,如图17所示,两个感光板22a,22b经过橡胶辊80a,80b之间,并被膜馈送辊90a,90b夹在中间,并被降低的防接触辊 86朝向离开橡胶辊80a的方向支撑。该板切断机构48a已被置于其待用位置。
[0145] 当基片间板切断机构48和板切断机构48a切断感光板22a,22b时,它们沿箭头C指示的方向与感光板22a,22b同步地运动。然而,该基片间板切断机构48和板切断机构48a可仅穿过感光板22a,22b横向运动,以切断感光板22a,22b。该感光板22a,22b可在它们保持静止时由汤姆逊刀片(Thomson blade)切断,或当它们运动时,由旋转刀片切断。 [0146] 如图18所示,当制造装置20在其初始状态中操作时,防接触辊86被定位在下部位置中,并且橡胶辊80b与橡胶辊80a间隔开。然后,该膜馈送辊90a被旋转以将感光板
22a,22b排放入板处置容器(未示出)。此时,感光板22a,22b被板切断机构48a切断成一定长度。
[0147] 当第一和第二探测机构47a,47b探测到感光板22a,22b的部分切割区域34时,该感光板22a,22b从探测位置被馈送预定长度。具体地,当防接触辊86被升高时,感光板22a,22b被馈送直到部分切割区34到达感光板22a,22b将被橡胶辊80a,80b层叠的位置。
该感光板22a,22b的前端现在被定位在适当的位置。
[0148] 在第一实施例中,感光板22a,22b的部分切割区域34分别被第一和第二探测机构47a,47b在贴附机构46上面并在贴附机构46附近直接探测。从第一和第二探测机构47a,
47b到部分切割区域34被橡胶辊80a,80b停止的位置的距离需要小于将被层叠的感光板
22a,22b的最短长度。这是因为通过反馈,探测的部分切割区域34的信息被用于下一层叠过程。
[0149] 第一和第二探测机构47a,47b执行如下所述的两个测量过程。 [0150] 根据第一测量过程,橡胶辊80a,80b夹紧玻璃基片24,与用于旋转橡胶辊80a,80b的驱动电机(未示出)结合的编码器生成的脉冲数量,表示玻璃基片24被从橡胶辊80a,80b的旋转开始馈送的距离,与当各个部分切割区34被第一和第二探测机构47a,47b探测到时产生的预设脉冲数目比较,从而测量部分切割区34的位移。如果在 到达预设脉冲数前探测到每个感光板22a,22b的部分切割区34,则部分切割区域34被判断为从玻璃基片
24上的预定位置向前错位了由脉冲数目差表示的距离。相反,如果在到达预设脉冲数后,探测到每个感光板22a,22b的部分切割区域34,则部分切割区域34被判断为从玻璃基片24上的预先确定位置向后错位。
[0151] 根据第二测量过程,从探测到部分切割区域34到探测到下一部分切割区域34测量由与用于旋转橡胶辊80a,80b的驱动电机(未示出)结合的编码器产生的脉冲数,从而测量每个感光板22a,22b的层叠长度。对应于每个感光板22a,22b的正常条件下的层叠长度的预设脉冲数目与实际测量的脉冲数目比较。如果实际测量的脉冲数目大于预设脉冲数目,则感光板22a,22b被判断为由于热量等被伸长由脉冲数目之差表示的距离。如果实际测量的脉冲数目小于预定脉冲数目,则感光板22a,22b被判断为变短。 [0152] 如图19所示,如果根据第一测量过程,相对于玻璃基片24的贴附范围P1-P2,感光树脂层28的前端被探测为错位(前进)相等的距离或基本上相等的距离,则调节玻璃基片24与感光板22a,22b的部分切割区域34的相对位置。
[0153] 具体地,如果由光电传感器72a,72b探测到的部分切割区域34被探测为从预定位置前进了,则如图11所示,基片馈送辊92将层叠后的感光板22a,22b的未贴附部分馈送由预设距离与前进距离之间的差表示的距离。结果,部分切割区34得到位置调节并被放置在橡胶辊80a,80之间的预定位置中。此后,玻璃基片24在橡胶辊80a,80b之间在正常传送控制下传送,并且感光树脂层28在正常位置被贴附于玻璃基片24,即在玻璃基片24的贴附范围P1-P2。
[0154] 如果由光电传感器72a,72b探测到的部分切割区域34被探测为从玻璃基片24的贴附范围P1-P2延迟,则基片馈送辊92将层叠后的感光板22a,22b的未贴附部分馈送预设距离与延迟距离的和表示的距离。结果,部分切割区34得到位置调节和放置在橡胶辊80a,80之间的预定位置中。此后,玻璃基片24在橡胶辊80a,80b之间在正常传送控制下传送,并且感光树脂层28在正常位置被贴附于玻璃基片 24,即在玻璃基片24的贴附范围P1-P2。 [0155] 不是调节贴附基片24a被基片馈送辊92馈送的距离,基片馈送机构45可被控制以将玻璃基片24将停止的位置调节所述前进距离或延迟距离。
[0156] 根据第二测量过程测量由光电传感器72a,72b探测到的部分切割区域34之间的距离,即将被贴附于玻璃基片24的感光树脂层28的长度H。如果长度H大于贴附范围P1-P2相等的长度或基本上相等的长度(参见图20),则部分切割区域34的位置被第一和第二加工机构36a,36b改变,以便部分切割区域34之间的距离,即长度H,被减小该差值。如果长度H小于贴附范围P1-P2,则部分切割区域34的位置被第一和第二加工机构36a,36b改变,以便部分切割区域34之间的距离,即长度H,被增加该差值。采用这种方式,感光树脂层28的贴附长度被调节到预定长度。
[0157] 通过利用第一和第二张力控制机构66a,66b的张力浮动辊70调节感光板22a,22b的张力,也可以改变感光板22a,22b的伸长的量。
[0158] 如果如图21所示,根据第一测量过程,感光板22a,22b的感光树脂层28的前端被判断为从玻璃基片24的贴附范围P1-P2错位,则紧接感光板22a,22b已层叠到玻璃基片24上后,玻璃基片24从橡胶辊80a,80b松开,并且然后,基片馈送辊92馈送贴附基片24a以将感光板22a,22b馈送到感光板22a,22b能够被切断的位置。在感光板22a,22b被切断后,感光板22a,22b使用各个膜馈送辊90a,90b被定位。
[0159] 通过调节感光板22a,22b的部分切割区域34中的一个或两个的位置,可以调节将贴附于玻璃基片24的感光树脂层28的位置。此时,玻璃基片24和感光树脂层28的相对位置可被设定为与感光树脂层28的沿箭头C指示的方向的错位量的中间位置对准地定位贴附范围P1-P2,直到错位被校正。在基片馈送机构45的控制下,利用被层叠后的感光板22a或22b的未贴附部分的基片馈送辊92调节馈送量,或通过调节玻璃基片24的停止位置,可以设定该相对位置。
[0160] 如图22所示,如果根据第二测量过程,感光板22a的感光树脂层28的长度和感光板22b的感光树脂层28的长度被判断为彼此不同,则可以调节感光板22a,22b的部分切割区域34中的一个或两个的位置。可选地,不是调节部分切割区域34中的一个或两个的位置,利用第一和第二张力控制机构66a,66b可以调节感光板22a,22b的张力。 [0161] 如图23所示,如果根据第一和第二测量过程,感光树脂层28的前端的长度和位置被判断为彼此不同,则紧接感光板22a,22b已被层叠后,贴附基片24a从橡胶辊80a,80b松开,并且此后被馈送到感光板22a,22b能够被切断的位置。在感光板22a,22b已被切断后,感光板22a,22b由膜馈送辊90a,90b进行位置对准。通过调节感光板22a,22b的部分切割区域34的一个或两个的位置或通过利用第一和第二张力控制机构66a,66b调节感光板22a,22b的张力,也可均衡感光树脂层28的长度。
[0162] 该感光板22a,22b的横向位置能够得到膜端部位置探测器51和膜端部位置调节机构(未示出)的控制。该玻璃基片24的横向位置能够由正好在贴附位置前设置的横向位置调节机构(未示出)校正。
[0163] 结果,感光板22a,22b的部分切割区域34能够相对于贴附位置被高精度地定位,允许感光板22a,22b的感光树脂层28彼此平行地精确贴附在玻璃基片24的期望区域中。因此,可以通过简单过程和布置高效地制造高质量感光性层积体106。
[0164] 根据第一实施例,由于彼此横向间隔开的两个感光树脂层28能够很好地被转移或转印到宽玻璃基片24上,因此感光板22a,22b本身无需较宽。因此,感光板22a,22b能够更加容易地处理,以便:总的制造过程能够有效地执行并且能够容易地减小制造设施的费用
[0165] 图1的第一实施例被构造为两个感光板22a,22b的各个树脂层28被整体贴附于玻璃基片24,然而,本发明不必局限于这种结构。例如,自三个或四个不同感光板的各个树脂层可被整体贴附于玻璃基片。
[0166] 图24以侧视图示意性地显示了根据本发明第二实施例的制造装置120。与根据第一实施例的制造装置20的部件相同的根据第二实施 例的制造装置120的那些部件由相同的标号指示,并且在下面将不再进行详细描述。
[0167] 如图24所示,该制造装置120具有:第一和第二探测机构121a,121b;设置在基片间板切断机构48的下游的冷却机构122;和设置在冷却机构122下游的基部剥离机构124。该第一和第二探测机构121a,121b分别具有光电传感器123a,123b和光电传感器123c,
123d,光电传感器彼此间隔预定距离L,并分别以与支持辊73a,73c和支持辊73b,73d面对的关系设置。
[0168] 在由基片间板切断机构48,在贴附基片24a与后面的贴附基片24a之间切断感光板22a,22b后,该冷却机构122将冷空气供应到贴附基片24a,以冷却贴附基片24a。具体地,冷却机构122以从1.0到2.0m/min的速度供应具有10℃温度的冷空气。 [0169] 该基部剥离机构124被设置在冷却机构122的下游,并具有多个吸盘126,用于吸引贴附基片24a的下表面。当贴附基片24a在吸力下被吸盘126吸引时,基膜26和剩余区30b被机械手128从贴附基片24a剥离。电中性鼓机(未示出)用于将离子空气喷射到贴附基片24a的层叠区域的四个边,并被设置在吸盘126的上游、下游和侧面。该基膜26和剩余区30b可从贴附基片24a剥离,同时为了去除灰尘,用于在其上支撑贴附基片24a的台被垂直、斜向定位,或上侧朝下地翻转。
[0170] 该基部剥离机构124的下游接着用于存储多个感光性层积体106的感光性层积体存储框架132。当基膜26和剩余区30b被基部剥离机构124从贴附基片24a剥离时产生的感光性层积体106被机器人134的手134a上的吸盘136吸引,从基部剥离机构124取出,并放置在感光性层积体存储框架132中。
[0171] 层叠控制器102、基片加热控制器104和基部剥离控制器138被连接到层叠处理控制器100。该基部剥离控制器138控制基部剥离机构124以从自贴附机构46供应的贴附基片24a剥离基部膜26,并也将感光性层积体106排出到下游过程。该基部剥离控制器138还处理有关贴附基片24a和感光性层积体106的信息。
[0172] 在根据第二实施例的第一和第二探测机构121a,121b中,位于光电传感器123b,123d上游的光电传感器123a,123c首先探测到感光板22a,22b的部分切割区34。此后,下游光电传感器123b,123d探测到感光板22a,22b的部分切割区域34。支持辊73a,73c和支持辊73b,73d之间的距离L对应于贴附于玻璃基片24的每个感光树脂层28的长度。 [0173] 从上游光电传感器123a,123c探测到感光板22a,22b的部分切割区域时的时刻和当下游光电传感器123b,123d探测到感光板22a,22b的相同部分切割区域34时的时刻之间的差,感光树脂层28的实施贴附长度能够精确地计算出。基于计算的感光树脂层28的实际贴附长度,感光板22a,22b被馈送的速度被调节以将感光树脂层28贴附于玻璃基片24中央。
[0174] 因此,根据第二实施例,感光板22a,22b的部分切割区域34之间的距离,即贴附于玻璃基片24的每个感光树脂层28的长度H,被精确地探测以将感光树脂层28贴附于玻璃基片24中央(参见图25)。
[0175] 如图26所示,如果由第一和第二探测机构121a,121b探测的每个感光树脂层28的长度H1大于正常长度H,则感光树脂层28被贴附于玻璃基片24中央,以便:感光树脂层28的相对端部从贴附长度L的端部向外间隔相等的距离。
[0176] 如图27所示,如果由第一和第二探测机构121a,121b探测的每个感光树脂层28的长度H2小于正常长度H,则感光树脂层28被贴附于玻璃基片24中央,以便:感光树脂层28的相对端部从贴附长度L的端部向内间隔相等的距离。在这种情况中,感光树脂层28的贴附位置的目标错位为如果感光树脂层28的相对端部不从贴附长度L的端部向内间隔相等的距离出现的错位的约一半。
[0177] 此外,根据第二实施例,部分切割区34被形成在从第一和第二送出机构32a,32b送出的感光板22a,22b中;并且然后,感光膜30被剥离,留下剩余区30b,之后,感光板22a,22b被层叠到玻璃基片24上以转移或转印感光树脂层28;并且然后基膜26和剩余区 30b被基部剥离机构124剥离,从而制造感光性层积体106。该感光性层积体106能够容易、自动地制造。
[0178] 图28以侧视图示意性地显示了根据本发明第三实施例的制造装置140。与根据第一实施例的制造装置20的部件相同的根据第三实施例的制造装置140的那些部件由相同的标号指示,并且在下面将不再进行详细描述。
[0179] 该制造装置140包括基片间板切断机构48,其通常不使用,除了在故障的情况下切断感光板22a,22b,并分离感光板22a,22b以去除有缺陷的部分。该制造装置140具有设置在板切断机构48a的下游的冷却机构122和自动基部剥离机构142。该自动基部剥离机构142用于连续剥离细长基膜26,利用基膜26,以给定间隔相间隔的玻璃基片24被贴附在一起。该自动基部剥离机构142具有预剥离器144、具有相对较小直径的剥离辊146、卷取辊148和自动贴附单元150。该卷取辊148在其操作期间执行转矩控制,用于将张力施加于基膜26。例如,优选地,张力反馈控制根据设置在剥离辊146中的张力探测装置(未示出)执行。
[0180] 如图29和30所示,预剥离器144具有一对夹辊组件152,154和剥离杆156。在玻璃基片24馈送的方向上,该夹辊组件152,154可朝向彼此和远离彼此地移动。该夹辊组件152,154具有可垂直移动的上部辊152a,154a和下部辊152b,154b。当上部辊152a,154a降低时,上部辊152a,154a和下部辊152b,154b在其间夹紧玻璃基片24。该剥离杆156可在邻近玻璃基片24之间垂直移动。该上部辊152a,154a可由按压杆或按压销替代。 [0181] 该感光板22a,22b被剥离辊146,或在刚好在剥离辊146前的位置处被重新加热到从30℃到120℃的范围的温度。当感光板22a,22b从而被重新加热时,当基膜26被剥离时,防止色材(colormaterial)层从那里剥离,以便高质量层叠表面能够在玻璃基片24上产生。
[0182] 该自动基部剥离机构142下游接着测量单元158,用于测量实际贴附于玻璃基片24的感光树脂层28的区域。该测量单元158具有 每个都包括CCD或相类似物的多个相间隔的照相机160。如图31所示,测量单元158具有例如四个照相机160,用于捕获感光树脂层28被贴附的玻璃基片24的四个角K1到K4的图像。可选地,该测量单元158可具有至少两个照相机,用于捕获玻璃基片24的纵向和横向侧中的每一侧的图像,而不是其四个角K1到K4。
[0183] 该测量单元158可包括用于探测玻璃基片24的端部表面的色彩传感器(color sensor)或激光传感器;或可包括用于探测玻璃基片24的端部表面的LED传感器、光电二极管传感器或线传感器(linesensor)的组合。期望这些传感器中的至少两个用于捕获每个端部表面的图像,用于探测每个端部表面的线性度。
[0184] 表面检查单元(未示出)可被使用以探测感光性层积体106的表面缺陷,诸如由感光板22a,22b本身导致的表面不规则性,由制造设施导致的层叠膜密度不规则性、皱折、有条纹的图案、灰尘粒子和其它异物。当探测这种表面缺陷时,制造装置140发出告警、排出有缺陷产品,并基于探测到的表面缺陷管理后续过程。
[0185] 根据第三实施例,感光板22a,22b被层叠到的贴附基片24a被冷却机构122冷却,并且然后被传送到预剥离器144。在预剥离器144中,夹辊组件152,154夹紧两个相邻玻璃基片24的尾端和前端,并且夹辊组件152以与玻璃基片24相同的速度沿由箭头C指示的方向运动,夹辊组件154在沿由箭头C指示的方向的行进中减速。
[0186] 结果,如图30所示,玻璃基片24之间的感光板22a,22b在夹辊组件152,154之间弯曲。然后,剥离杆156被升高以将感光板22a,22b向上推动,从两个相邻玻璃基片24的尾端和前端剥离突起的膜30。
[0187] 在自动基部剥离机构142中,卷取辊148被旋转以连续缠绕来自贴附基片24a的基膜26。在出现故障的情况下,在感光板22a,22b被切断并被分离以排出有缺陷的区域后,利用自动贴附单元150,感光板22a,22b开始层叠的贴附基片24a上的基膜26的前端和缠绕在卷取辊148上的基膜26的尾端被自动彼此贴附。
[0188] 基膜26被剥离的玻璃基片24被放置在与测量单元158结合的 检查站中。在检查站中,玻璃基片24被固定在适当的位置,并且四个照相机160捕获玻璃基片24和感光树脂层28的图像。捕获的图像被处理以确定贴附位置a到d。
[0189] 在检查站中,玻璃基片24可不停止地向前馈送,并且玻璃基片24的横向端可由照相机或图像扫描探测,并且其纵向端可由计时传感器(timing sensor)探测。然后,可基于照相机或图像扫描和传感器产生的探测数据测量该玻璃基片24。
[0190] 根据第三实施例,在感光板22a,22b已被层叠到玻璃基片24上后,两个相邻贴附基片24a之间的感光板22a,22b未被切断。相反,在贴附基片24a正被剥离辊146按压的同时,基膜26被从贴附基片24a连续剥离,并围绕旋转的卷取辊148缠绕。 [0191] 根据第三实施例,可以取得与第二实施例的优点相同的优点,例如感光性层积体106能够被自动和有效地制造。此外,制造装置140的结构简单。在第二和第三实施例中,使用了两个感光板卷23a,23b。然而,根据第二和第三实施例的制造装置可使用三个或多个感光板卷。
[0192] 图32是根据本发明第四实施例的制造装置180的示意侧视图。
[0193] 如图33所示,制造装置中使用的感光板22是由基膜26、缓冲层(cushion layer)(热塑树脂层)27、中间层(氧阻挡膜)29、感光树脂层28和保护膜30组成的层积体。 [0194] 该基膜26由聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene-telephthalate,PET)形成;缓冲层27由乙烯和氧化乙烯共聚物(ethylene and oxidized-vinyl copolymer)形成;该中间层29由聚乙烯醇形成;感光树脂层28由着色感光性树脂合成物(colorphotosensitive resin composition)形成,彩色感光树脂合成物包括性可溶粘合剂(alkaline soluble binder)、单体(monomer)、光聚合引发剂(photo-polymerizing initiator)和着色剂(coloring agent);并且保护膜30由聚丙烯形成。 [0195] 在基片间板切断机构48的下游的位置处,该制造装置180包括:冷却机构122,用于冷却贴附基片24a,即玻璃基片24和贴附 于其上的感光板22,保护膜30已从感光板22剥离;加热机构182,用于将前述冷却的贴附基片24a内的树脂层,例如缓冲层27,加热到玻璃化温度(Tg)或玻璃化温度(Tg)以下的预定温度范围内(在下面进行描述);和基部剥离机构186,用于从由多个吸盘184在吸力下支撑的前述贴附基片24a剥离基膜26,从而产生感光性层积体106。
[0196] 通过向贴附基片24a供应冷空气流,该冷却机构122执行冷却处理。更具体地,通过设定10℃的冷却温度和0.5到2.0m/min的风或空气流速度执行这种冷却。该加热机构182配备有:在贴附基片24a的基膜26侧布置的加热辊188;和在与加热辊188相反的玻璃基片24侧布置的接收辊190。
[0197] 该加热辊188根据电磁感应加热法进行内部和外部加热,并通过与基膜26直接接触,从基膜26侧加热缓冲层27。代替电磁感应加热,也可以采用使用铠装加热器(sheathed heater)的加热方法或热水(流体)加热法。此外,加热辊188可由橡胶辊、金属辊、织物包围辊或树脂辊或相类似物构造,另外,多个辊可以沿箭头C的方向设置。 [0198] 接收辊190无需加热,并且如果认为需要,接收辊190可被构造为冷却液体在其中循环的冷却辊。
[0199] 该加热辊188将缓冲层27加热到预设温度范围内,预设温度范围在玻璃化温度或低于玻璃化温度。在这种情况下,对于缓冲层27的玻璃化温度,例如tanδ(损失系数)通过测量粘弹性探测,并且玻璃化温度从tanδ变得最大处的值取得。
[0200] 由Toyo Baldwin有限公司制造的粘弹性测量设备可用于层积体膜,用于探测温度与tanδ之间的特征,从而取得图34中所示的结果。从这种结果可知,缓冲层27的玻璃化温度被确定为37.8℃。
[0201] 如图35所示,基部剥离机构186配置有框架部件192。在框架部件192中,上部导轨194a,194b沿与贴附基片24a的馈送方向(箭头C的方向)垂直的箭头D的方向延伸,并以彼此间给定的固定距离相互平行延伸。在上部导轨194a,194b下面,更短的下部导轨195a,195b沿箭头D的方向类似地相互平行地延伸。利用电机196a,196b沿箭头D的方向能够往复运动的移动部件198a,198b被支撑在上部导轨194a,194b上。 [0202] 如图35和36所示,可移动部件198a,198b垂直延伸(沿箭头E的方向),其中垂直延伸的导轨200a,200b沿可移动部件198a,198b的彼此面对的表面设置。升降台202a,
202b被支撑在导轨200a,200b上,其中:升降台202a,202b利用电机204a,204b升高和降低。旋转驱动源206a,206b被水平安装在升降台202a,202b上。夹盘(chuck)208a,208b被固定到旋转驱动源206a,206b的旋转轴(未示出)。该夹盘208a,208b被形成为可自由旋转,并且此外,该夹盘208a,208b在贴附基片24a的基膜剥离位置处,是位置可调节的,以取得用于抓住基膜26的两侧部的位置,所述两侧部从构成前述贴附基片24a的玻璃基片24的馈送方向上的两端向外突出。
[0203] 如图35所示,滑动基部210a,210b被支撑在下部导轨195a,195b上,并且仿形辊(profiling roller)212的两端部可上升和下降地支撑在滑动基部210a,210b上。沿箭头D的方向,该滑动基部210a,210b能够在固定位置间隔内与移动部件198a,198b一体地往复运动。
[0204] 如图32所示,根据第四实施例,由基片间板切断机构48分离的每个贴附基片24a被馈送到冷却机构122,并且在被强制冷却后,例如在供应的冷却空气作用下冷却到室温(约20℃)之后,被接着馈送到加热机构182。在加热机构182中,贴附基片24a被夹在加热辊188和接收辊190之间,并且进行从加热辊188到贴附基片24a的基膜26的直接传热
[0205] 结果,在缓冲层27被基膜26加热到预定温度后,贴附基片24a被传送到基部剥离机构186。在基部剥离机构186中,当贴附基片24a的玻璃基片24侧在吸盘184的吸附作用下支撑时,夹盘208a,208b每个都沿箭头D的方向朝向基膜26的一端侧布置,所述一端侧从玻璃基片24的馈送方向上的两端向内突出。(参照图37)
[0206] 然后,在电机196a,196b的作用下,移动部件198a,198b向 着贴附基片24a运动,并且每个夹盘208a,208b闭合以抓住基膜26的馈送方向上的两端部。此外,在旋转驱动源206a,206b的作用下,夹盘208a,208b旋转,同时升降台202a,202b和移动部件198a,198b沿给定方向被受控驱动。
[0207] 结果,如图36和37所示,该夹盘208a,208b沿固定剥离轨道运动,并且由夹盘208a,208b抓住的基膜26从缓冲层27分离并且从贴附基片24a剥离开。此时,该仿形辊
212沿箭头D的方向与移动部件198a,198b一体移动,直到到达固定位置,从而基膜26被平稳和顺利地剥离。作为从贴附基片24a剥离基膜26的结果,取得该感光性层积体106。 [0208] 在这种情况下,根据第四实施例,在已经冷却机构122强制冷却的贴附基片24a的缓冲层27然后在加热机构182的作用下从基膜26侧被加热到玻璃化温度附近的温度后,通过基部剥离机构186执行基膜26的剥离。
[0209] 更具体地,在贴附机构46中,在施加固定张力下,感光板22利用热压贴附于玻璃基片24,其中:在缓冲层27内容易生成残余应力。此外,因为贴附基片24a接受冷却机构122强制冷却,残余应力也生成在缓冲层27中。因此,在这种状态下,当基膜26被从贴附基片24a剥离时,作为缓冲层27中的残余应力的结果,缓冲层27容易撕裂,或者以其它方式损坏。因此,诸如凹痕或空腔的缺陷区域可形成在缓冲层27中,导致产品质量下降。 [0210] 根据第四实施例,在剥离基膜26前,从基膜26侧执行加热直到缓冲层27的玻璃化温度附近的温度,并且结果,缓冲层27中残余应力得以减轻。
[0211] 该基膜26的表面温度进行了种种变更,并且执行了实验,以探测基膜26的剥离期间撕裂缺陷的存在。该实验结果如图38所示。根据这个实验,通过将基膜26的表面温度设定在32℃到38℃的温度范围内,对应于在缓冲层27的玻璃化温度(37.8℃)处或该玻璃化温度以下的固定温度范围,实现了优选的剥离过程并取得高质量的感光性层积体106。 [0212] 此外,加热机构182从贴附基片24a的基膜26侧加热贴附基片24a。因此,与从玻璃基片24侧加热的情况相比,由于基膜26和缓冲层27之间的剥离区域能够很快地和可靠加热到期望温度,因此能够实现在剥离区域的高度精确的剥离处理。
[0213] 此外,基部剥离机构186与加热机构182分离开固定的间隔。因此,在贴附基片24a被传送到基部剥离机构186的同时,曾被加热并且残余应力已被减轻的贴附基片24a被冷却。
[0214] 顺便提及,通过未显示的加热机构,组成基部剥离机构186的部分的仿形辊212也可被加热,并与基膜26接触。结果,在对基膜26施加热量的同时,基膜26可从缓冲层27剥离。此外,仿形辊212也可被布置作为多个辊。
[0215] 在第四实施例中,该基部剥离机构186被构造为沿与贴附基片24a的馈送方向(箭头C的方向)交叉的箭头D的方向剥离基膜26。然而,该基膜26的剥离方向也可沿与贴附基片24a的馈送方向平行的箭头C的方向设定。
[0216] 此外,预加热机构(未示出)可被安装在加热机构182的上游侧处,用于对贴附基片24a执行辅助加热。例如,包括线圈、或卤素源的红外电加热器,或陶瓷IR加热器,或其它多种接触类型加热辊,可使用作预加热机构。
[0217] 此外,在第四实施例中,使用了基本上根据第一实施例的制造装置20。然而,本发明并不局限于采用这种方式,并且这个实施例的特征也可应用于根据第二和第三实施例的制造装置120,140。
[0218] 图39是构成根据本发明的第五实施例的制造装置的基部剥离机构220的示意透视图。与构成根据第四实施例的制造装置180的基部剥离机构186的元件相同的根据本发明的第五实施例的结构元件由类似标号指示,并且省略了其详细说明。 [0219] 该基部剥离机构220包括张力施加结构222,用于当基膜26从贴附基片24a剥离时,将张力沿基膜26与玻璃基片24的贴附方向(箭头C的方向)施加于基膜26。 [0220] 该张力施加结构222包括:可移动夹盘部件224a,226a,228a, 230a,能够抓住从贴附基片24a的传送方向前端侧向外突起的基膜26的端部26a;和可移动夹盘部件224b,226b,228b,230b,能够抓住向贴附基片24a的传送方向后端侧突出的基膜26的尾端部26b。 [0221] 该夹盘部件224a,224b沿箭头C的方向彼此相互面对,并且其它夹盘部件226a,
226b,228a,228b和230a,230b分别沿箭头C的方向彼此相互面对地布置。该夹盘部件224a到230a和224b到230b分别可开启和可关闭,并且此外可朝向基膜26移动和可朝远离基膜26的方向移动。
[0222] 在第五实施例中,当贴附基片24a被布置在基部剥离位置时,构成张力施加结构222的夹盘部件224a到230a抓住基膜26的前端部26a,并且夹盘部件224b到230b抓住基膜26的后端部26b。在这种状态下,由于沿用于相互分离夹盘部件224a到230a和夹盘部件224b到230b的方向的转矩控制,固定张力沿箭头C的方向施加于基膜。 [0223] 随后,夹盘208a,208b抓住基膜26的前端部26a和后端部26b,并沿预设剥离轨迹沿箭头D1的方向运动。此时,固定张力沿箭头C的方向施加于基膜26,以便基膜26能够平稳并可靠地从玻璃基片24剥离。
[0224] 此外,随着仿形辊212沿箭头D1的方向运动并接近夹盘部件224a,224b,夹盘部件224a,224b释放在基膜26的前端部26a和后端部26b上的抓握作用后,夹盘部件224a,224b沿彼此相互远离的方向(即,沿箭头的方向)运动。因此,该夹盘部件224a,224b不会与仿形辊212干涉。随着仿形辊212沿箭头D1的方向继续运动,夹盘部件226a,226b从基膜26离开,并且接着,夹盘部件228a,228b,然后夹盘部件 230a,230b从基膜26离开,从而基膜26的剥离操作结束。
[0225] 图40是构成根据本发明的第六实施例的制造装置的基部剥离机构230的示意透视图。
[0226] 该基部剥离机构230配备有张力施加机构232,用于当基膜26从贴附基片24a剥离时,沿基膜26与贴附基片24a的贴附方向,将 张力施加于基膜26。
[0227] 该张力施加机构232包括:前端夹盘234,能够抓住朝向贴附基片24a的进给方向前端侧突起的基膜26的前端部26a;和后端夹盘236,能够抓住贴附基片24a的向馈送方向的相反方向突起的基膜26的后端部26b。该前端夹盘234和后端夹盘236沿箭头D的方向宽范围地形成,用于基本上分别抓住基膜26的前端部26a和后端部26b的整个宽度尺寸。 [0228] 该前端夹盘234被安装到旋转驱动源206a,206b,而该结构的其它部件以与第四实施例的基部剥离机构186相同的方式形成。在这种情况下,前端夹盘234的运动方向沿箭头C的方向设置,箭头C的方向与夹盘208a,208b的运动方向(箭头D的方向)垂直。 [0229] 在第六实施例中,当贴附基片24a被馈送到基部剥离位置时,向贴附基片24a的前端侧突出的基膜的前端部26a被前端夹盘234抓住。另一方面,向贴附基片24a的后端侧突起的基膜26的后端部26b被后端夹盘236抓住。
[0230] 接着,后端夹盘236,或后端夹盘236和前端夹盘234接受转矩控制,其中:张力被施加于由此沿箭头C的方向抓住的基膜26。在这种状态下,通过沿预设剥离轨迹移动前端夹盘234,施加预定张力的基膜26被平稳和可靠地从玻璃基片24剥离开。 [0231] 图41是构成根据本发明的第七实施例的制造装置的自动基部剥离机构250的示意图。与构成根据第三实施例的制造装置140的自动基部剥离机构142的元件相同的第七实施例的制造装置的自动基部剥离机构250的结构元件由类似标号指示,并且省略了其详细说明。
[0232] 该自动基部剥离机构250配备有剥离杆(剥离引导部件)252,剥离杆252在贴附基片24a之间运动的同时,剥离杆252沿剥离辊146的外周引导基膜26。该剥离杆252能够在缸254的作用下垂直(沿箭头E的方向)前进和缩回。连接到电机256的滚珠螺杆258与缸254螺纹接合,用于沿箭头C的方向往复运动。优选剥离辊146被未示出的加热源加热。
[0233] 如图42所示,根据第七实施例,当剥离杆252位于各个贴附基 片24a之间时,剥离杆252在缸254的作用下向上伸出,从剩余区30b侧将基膜26按压在剥离辊146的外周表面上。此外,滚珠螺杆258在电机256的作用下旋转,并且缸254沿箭头C的方向运动,从而剥离杆252通过缸254的装置压在剥离辊146上(参见图43)。
[0234] 结果,剥离杆252沿剥离辊146的外周表面引导剩余区30b。因此,如图44所示,由于剥离杆252向上运动到剥离辊146的外周上的固定位置,剩余区30b从向前前进的贴附基片24a的后端部可靠地剥离,并且与基膜26一体卷起。因此,当基膜26从贴附基片24a剥离开时,剩余区30b不保持在贴附基片24a上,并且能够完成有利的自动剥离处理。 [0235] 此外,剥离杆252形成有球状形状末端;然而,本发明并不限于这种结构。例如,如图45所示,也可以使用具有锥形末端部260a的剥离杆260,剥离杆260的锥形表面在相应的剥离辊146侧。
[0236] 图46是构成根据本发明的第八实施例的制造装置的贴附机构270的主视图。 [0237] 该贴附机构270包括橡胶辊80a,80b和支持辊272a,272b,其中:支持辊272a,272b的外周被配置为具有冠状形状或凸面形状。此外,至少一个支持辊272a,272b和/或至少一个橡胶辊80a,80b可形成为冠状辊或凸面辊。
[0238] 该冠状形状或凸面形状可以是正弦曲线、二次曲线或四次曲线。例如,如图47所示,该辊表面长度L=1000mm到3000mm,辊直径φ=200mm到300mm,凸面量(crown rate)d(=2d1)=0.1mm到3.0mm,并且层叠线压力是100N/cm到200N/cm。
[0239] 图48是构成根据本发明的第九实施例的制造装置的第一和第二加工机构290a,290b的示意透视图。图49是第一和第二加工机构290a,290b的示意侧视图。 [0240] 该第一和第二加工机构290a,290b每个都包括:加热机构292,用于将感光板22a,
22b中的部分切割区域34加热到预定温度(以后讨论);和切割机构294,用于沿已被加热到预定温度的部分切 割区域34进行部分切割。
[0241] 该切割机构294包括直线引导器296,直线引导器296沿垂直于感光板22的馈送方向(箭头A的方向)的箭头B的方向延伸,其中:滑动台298被支撑在直线引导器296上。电机300被安装在滑动台298内部,并且小齿轮302被轴向安装到电机300的旋转轴300a。
小齿轮302啮合齿条304沿直线引导器296沿箭头B的方向延伸,其中:在电机300的作用下,滑动台298可沿箭头B的方向往复移动。
[0242] 旋转轴306被设置在滑动台298中,并从设置小齿轮302侧的相对侧伸出。旋转圆形刀片(刀具)308被整体安装到旋转轴306。切割台310被设置在与旋转圆形刀片308相对的位置,感光板22a,22b夹在其中间。
[0243] 该切割台310包括双层金属板结构,并沿箭头B的方向延伸。凹槽312被形成在切割台310的上部表面中,以沿箭头B的方向沿旋转圆形刀片308的运动范围延伸,其中:该凹槽312中容纳树脂制成的接收部314。
[0244] 加热机构292被嵌入切割台310,并且更具体地,包括夹在两个金属板中间的片型加热器316。该切割台310用作加热部件,用于直接加热接触切割台310的感光板22a,22b的部分切割区域34。该片型加热器316还可设置在凹槽312和接收部314之间。 [0245] 代替旋转圆形刀片308,还可以使用固定到从滑动台298延伸的固定轴318的固定圆形刀片320。这种固定圆形刀片320可以调节在各个角度位置中的每个,从而相对于固定轴318形成预设角度。
[0246] 该部分切割区域34提供用于切割(切断)至少保护膜30,并且实际上,旋转圆形刀片308(或固定圆形刀片320)的切割深度被设置以可靠切断保护膜30。在部分切割区域34中,使用声波的切割方法,或由刀片、带状推动切割刀片(Thomson刀片)形成的任何方法等可用于代替旋转圆形刀片308(或固定圆形刀片320)。除了垂直推动切割结构,该推动切割刀片可包括斜向推动切割结构。
[0247] 在第九实施例中,启动形成加热机构292的片状加热器316,其 中:其中包括片状加热器316的切割台310被加热到预设期望温度。结果,沿箭头A的方向馈送的感光板22a,22b接触与感光板22a,22b同时运动的切割台310,由此被直接加热,并且在部分切割区域
34被加热到对应于旋转圆形刀片308的预定固定温度的同时,部分切割通过切割机构294进行。在感光板22a,22b在静止状态中的同时,进行部分切割,这也是可接受的。 [0248] 具体地,当在设置在滑动台298中的电机300的驱动作用下,小齿轮302被旋转时,在小齿轮302和齿条304的啮合作用下,滑动台298由直线引导器296支撑并沿箭头B的方向运动。随后,在刀片以期望深度切入感光板22a,22b的部分切割区34的状态下,旋转圆形刀片308在沿箭头B的方向运动的同时旋转。结果,从保护膜30的期望切割深度的部分切割区域34被形成在感光板22a,22b中。
[0249] 在这种情况下,部分切割区域34被切割机构294部分切割,同时感光板22a,22b的部分切割区域34通过加热机构292加热。此时,对于旋转圆形刀片308或固定圆形刀片320中的每个,作为设定感光板22a,22b的加热温度的结果,产生切割碎片或层间剥离(分层)能够得到有效防止。
[0250] 在上述第九实施例中,凹槽312形成在切割台310中,并且接收部314被容纳在凹槽312内部。然而,在切割台的上表面上提供树脂接收膜,其中不形成任何凹槽,这也是可接受的。此外,代替片状加热器316,可以接受使用铠装加热器或管状类型的加热器。此外,可以提供其中容纳切割机构294和部分切割区域34的加热箱,其中:加热的空气被供应到加热箱的内部。此外,还可以接受下面的方式:在切割机构294的上游提供加热板、杆状加热器或加热箱或相类似物,以在切割机构294中进行部分切割前,加热感光板22a,22b。 [0251] 虽然已详细示出和描述了本发明的一定优选实施例,应该理解:在不背离所附权利要求的范围的情况下,可以进行多种改变和变更。
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