玻璃膜输送装置 |
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| 申请号 | CN201380044982.8 | 申请日 | 2013-07-19 | 公开(公告)号 | CN104583102B | 公开(公告)日 | 2017-07-14 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所; | 发明人 | 玉垣浩; 碇贺充; 大庭尚树; 樱井武; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供一种在抑制玻璃膜的破损的情况下，将玻璃膜和保护片材重叠卷取的玻璃膜输送装置。玻璃膜输送装置（1a）具备：从卷绕有玻璃膜的卷料送出该玻璃膜的放卷部（2），其中，在该玻璃膜上层叠有与该玻璃膜大致相同宽度的长保护片材；输送从放卷部（2）送出并从保护片材分离的玻璃膜的玻璃膜输送部（3）；一边在由玻璃膜输送部（3）输送的玻璃膜上层叠与玻璃膜大致相同宽度的长保护片材，一边卷取成卷状的卷取部（4）；以及搬出从放卷部（2）送出的玻璃膜分离的保护片材，并且，向卷取部（4）搬入保护片材的保护片材输送部（5a）。而且，玻璃膜输送装置（1a）具备调整卷取部（4）的保护片材以及玻璃膜的卷取状态的卷取调整机构。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种玻璃膜输送装置，用于连续输送长玻璃膜，其特征在于包括： |
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| 说明书全文 | 玻璃膜输送装置技术领域背景技术[0002] 近年，作为显示影像等的显示装置用的基板材料，使用阻气性和透光性等优异的薄膜玻璃、即玻璃膜。现在，一般的玻璃膜的厚度为200μm左右，但是最近开发了比200μm薄的厚度为30μm～150μm左右的极薄的玻璃膜。 [0003] 此种极薄的玻璃膜基于其薄度而具有挠性，因此，可作为将玻璃膜卷绕成卷状的玻璃膜卷而使用。为了防止被卷成卷状的玻璃膜与邻接于内周侧以及外周侧的玻璃膜接触而破损，在玻璃膜卷的相邻的玻璃膜之间夹入保护片材（例如保护膜）。 [0005] 专利文献1公开的玻璃膜卷的制造方法是通过下拉法成形玻璃膜，并将该成形的玻璃膜与保护片材重叠而卷取成卷状的玻璃膜卷的制造方法。该制造方法具有一边向所述保护片材施加大于所述玻璃膜的卷取方向的张力，一边将所述玻璃膜和所述保护片材卷取的特征。 [0006] 作为对此种具有挠性的玻璃膜高效率地实施各种处理的方法，提出有各种从长玻璃膜以卷状被卷绕的玻璃膜卷送出玻璃膜并以卷到卷的方式输送，且在其表面实施涂敷等各种处理的技术。 [0007] 作为对该玻璃膜的表面进行的各种处理，例如有真空蒸镀、真空溅射（sputtering）等在被减压至真空压力附近的真空容器内进行的处理。在被减压至真空压力附近的容器内，产生因压力变化而引起的各种影响。因此，提出了考虑到所产生的影响而一边输送玻璃膜一边实施真空蒸镀、真空溅射等处理（表面处理）的各种技术。 [0008] 专利文献2公开了一种在近于真空压力的压力下输送薄膜玻璃的薄膜玻璃的输送装置。 [0009] 专利文献2公开的薄膜玻璃的输送装置具备能够控制真空容器内的压力的压力控制装置，是在被减压至真空压力附近的所述真空容器内输送长薄膜玻璃的薄膜玻璃的输送装置。在该输送装置中，所述压力控制装置在卷状的所述薄膜玻璃被配置在所述真空容器内的状态下，花三分钟以上的时间将所述真空容器内的压力减至10000Pa后，再减压至真空压力附近。 [0010] 在该薄膜玻璃的输送装置中，以上述的条件减压后，在放卷时将夹于玻璃膜卷的薄膜玻璃之间的保护膜从薄膜玻璃取下，此外，在卷取被实施表面处理后的薄膜玻璃时，在薄膜玻璃之间夹入另外的保护膜并将薄膜玻璃卷成卷状。 [0011] 此外，专利文献3公开了一种连续成膜装置，从层叠了保护材料并卷成卷状的基材分离保护材料并送出，且将送出的保护材料再次与被实施成膜处理的基材一起卷成卷状。 [0012] 专利文献3公开的连续成膜装置具有放卷部、卷取部以及成膜源，其中，所述放卷部具备：保持层叠有保护材料并卷成卷状的基材，并将所述基材与保护材料一起送出的放卷卷轴；以及旋转自如地支撑从所述放卷卷轴与所述保护材料一起送出的基材以使所述保护材料接触，并向下游侧输送该基材的放卷侧支撑辊，所述卷取部具备：将挂于所述放卷侧支撑辊的基材旋转自如地支撑并输送至下游侧的卷取侧支撑辊；通过所述卷取侧支撑辊卷取所述基材的卷取卷轴，所述成膜源在基材的表面成膜，其中，该基材以被施加张力的状态从所述放卷侧支撑辊向所述卷取侧支撑辊连续地被输送。而且，该连续成膜装置具有保护材料分离供应部。保护材料分离供应部包括：在所述基材与保护材料一起通过所述放卷侧支撑辊时，将保护材料从所述基材分离并向卷取侧输送的保护材料分离输送机构；和在成膜后的基材被支撑于所述卷取侧支撑辊时，以使由所述保护材料分离输送机构分离输送的保护材料接触于所述卷取侧支撑辊并层叠于所述基材的方式，将该保护材料输送并供应至基材上的保护材料输送供应机构。 [0013] 根据该连续成膜装置，能够在不让基材发生缺损的情况下形成成膜。 [0014] 专利文献3的连续成膜装置并不是特别为了进行以玻璃膜作为对象的处理。但可认为，该装置的结构，即、将保护材料从成膜对象物分离并输送，且在卷取时重叠而卷取的结构是优选作为专利文献1中记载的将玻璃膜与保护片材重叠的玻璃膜卷的成膜装置的结构。 [0015] 为了对通过专利文献1的制造方法制造的薄膜玻璃（玻璃膜）实施表面处理等，考虑采用专利文献3的连续成膜装置的情况。 [0016] 在此，专利文献3的连续成膜装置以基材以及保护材料均为树脂系材料为前提而设计。因此，如果采用如专利文献2的无机物的薄膜玻璃作为专利文献3的连续成膜装置中的基材，就会产生如下问题。 [0017] 也就是说，如果树脂系材料的保护材料（保护膜）在真空中被输送，则内部所含的水分和有机成分会蒸发，保护膜会收缩。另一方面，无机物的玻璃膜不会收缩。因此，如专利文献3的连续成膜装置那样将送出的保护膜再次与玻璃膜一起卷取成卷状，保护膜会因收缩而比玻璃膜短而向玻璃膜施加过剩的力或因过剩的张力而产生强的皱折而玻璃膜破损。 [0018] 反之，树脂系材料的保护膜根据材质和厚度，有时也因被施加的张力而伸长。此时，在卷取保护膜时保护膜松弛而保护膜起伏，因该起伏的保护膜的凹凸，玻璃膜也会破损。 [0019] 即，以玻璃膜为处理对象的情况下，在将树脂制的保护膜与玻璃膜重叠而卷绕时，如果仅将这些膜简单卷绕重叠，则因卷取保护膜时的一点点起伏等，就有可能使玻璃膜破损。 [0020] 现有技术文献 [0021] 专利文献 [0022] 专利文献1：日本专利公开公报特开2011-201765号 [0023] 专利文献2：日本专利公开公报特开2012-1405号 [0024] 专利文献3：日本专利公开公报特开2008-189957号。 发明内容[0025] 本发明的目的在于提供一种能够在抑制玻璃膜的破损的情况下将玻璃膜与保护膜重叠卷取的玻璃膜输送装置。 [0026] 本发明的玻璃膜输送装置，用于连续输送长玻璃膜，其包括：放卷部，从卷绕有所述玻璃膜的卷料送出该玻璃膜，其中，在所述玻璃膜层叠有长保护片材；玻璃膜输送部，输送从所述放卷部送出并从所述保护片材分离的所述玻璃膜；卷取部，在由所述玻璃膜输送部输送的所述玻璃膜层叠保护片材并卷取成卷状；保护片材输送部，搬出从所述放卷部送出的从所述玻璃膜分离的所述保护片材，并且，向所述卷取部搬入所述保护片材；以及卷取调整机构，调整所述卷取部的所述保护片材以及所述玻璃膜的卷取状态。附图说明 [0027] 图1是表示本发明的第一实施方式的玻璃膜输送装置的结构的概略图。 [0028] 图2是表示第一实施方式的玻璃膜输送装置的调节辊机构的概略图，图2（a）～图2（c）分别表示变形例。 [0029] 图3是表示本发明的第二实施方式的玻璃膜输送装置的结构的概略图。 [0030] 图4是表示本发明的第三实施方式的将玻璃膜输送装置收容于真空室的状态下的概略结构的图。 [0031] 图5是表示本发明的第一实施方式的玻璃膜输送装置的结构的概略图。图5（a）及图5（b）分别表示变形例。 [0032] 图6是表示本发明的第二实施方式的玻璃膜输送装置的卷取调整机构的变形例的概略图。 具体实施方式[0033] 下面，参照附图说明本发明的实施方式的玻璃膜输送装置。此外，在以下说明的各实施方式以及附图中，对于玻璃膜输送装置的同一构成部件附上同一符号以及同一名称。因此，对于附上同一符号以及同一名称的构成部件不会反复相同的说明。 [0034] [第一实施方式] [0035] 参照图1及图2，说明本发明的第一实施方式的玻璃膜输送装置1a。图1是表示本实施方式的玻璃膜输送装置1a的结构的概略图。图2是表示使用于玻璃膜输送装置1a的调节辊机构的结构的概略图。 [0036] 玻璃膜输送装置1a具有放卷部2、玻璃膜输送部3以及卷取部4，其中，所述放卷部2从玻璃膜卷R1送出玻璃膜GF，该玻璃膜卷R1是例如宽1米左右，厚30μm～150μm左右的极薄的玻璃膜GF被卷成卷状的玻璃膜卷，所述玻璃膜输送部3将送出的玻璃膜GF输送至实施溅射或蒸镀等表面处理的表面处理工序，所述卷取部4将实施表面处理后的玻璃膜GF再次卷取为卷状的玻璃膜卷R2。玻璃膜输送装置1a是如下的装置，即：从将例如100米以上的长玻璃膜GF卷成卷状的玻璃膜卷R1送出玻璃膜GF，并以所谓的卷对卷的方式输送。 [0037] 在玻璃膜卷R1，玻璃膜GF与保护片材PF交替层叠，该保护片材PF是以与玻璃膜GF大致相同宽度成形的树脂制的保护片材。保护片材PF的厚度与玻璃膜GF的厚度大致相同，只要是能够保护玻璃膜GF免受破损或损伤的厚度，也可以不与玻璃膜GF大致相同。此外，在此所说的玻璃膜GF和保护片材PF大致相同宽度是指玻璃膜宽度与保护片材宽度之差小于100mm左右，更有代表性的例子中指50mm左右以下。最有代表性的是，使保护片材宽度比玻璃膜宽度宽50mm左右，即使在玻璃膜卷从端部受到偶发的力，也能防止玻璃膜GF的破损。此外，在其他例子中，有时在玻璃膜GF的两端安装被称为边缘保护件（edge tab）的保护部件。 此时，有时使保护片材PF的宽度比玻璃膜GF窄10至50mm，以避免保护片材PF与保护部件的干扰。或者，也有时将玻璃膜GF和护片材PF的宽度设为完全相同。 [0039] 当从放卷部2送出玻璃膜GF时，有如下的方法，即：首先同时送出玻璃膜GF和保护片材PF，之后，将玻璃膜GF与保护片材PF分离的方法；以及先送出玻璃膜GF后再送出保护片材PF的交替送出玻璃膜GF与保护片材PF的方法。 [0040] 参照图1说明本实施方式的玻璃膜输送装置1a的结构。在以下的说明中，设面向图1的纸面的上下方向为玻璃膜输送装置1a的上下方向，同样，设面向纸面的左右方向为玻璃膜输送装置1a的左右方向。 [0041] 如上所述，玻璃膜输送装置1a具有从玻璃膜卷R1送出玻璃膜GF的放卷部2；将送出的玻璃膜GF输送到表面处理工序的玻璃膜输送部3；以及将被实施表面处理后的玻璃膜GF再次卷取成卷状的卷取部4。而且，玻璃膜输送装置1a具有保护片材输送部5a，该保护片材输送部5a输送在放卷部2从玻璃膜卷R1送出的保护片材PF，并向卷取部4搬入保护片材PF。此种结构的玻璃膜输送装置1a例如设置在箱形的真空室6内。 [0043] 图1所示的真空室6内的上下方向的中央部的左侧上方配置有安装了玻璃膜卷的放卷部2。放卷芯2a是全长略大于玻璃膜GF和保护片材PF的宽度的圆筒状或圆柱状的卷绕芯。在放卷芯2a，通过将玻璃膜GF和保护片材PF交替缠绕而形成有玻璃膜卷R1。将该玻璃膜卷R1安装于真空室6内，从而成为放卷部2。 [0044] 如上所述，安装了玻璃膜卷R1的放卷部2以安装有放卷芯2a的放卷部2的旋转轴面向图1的纸面成垂直方向的方式配置在真空室6内。因此，放卷部2是通过从玻璃膜卷R1送出玻璃膜GF和保护片材PF而以旋转轴为中心进行旋转运动的部件。 [0045] 在图1所示的真空室6内的上下方向的中央的下侧，即在放卷部2的下方具备成膜机构部，该成膜机构部对从放卷部2送出的从保护片材PF分离的玻璃膜GF的表面实施例如溅射或等离子CVD等表面处理工序。在本实施方式中，作为成膜机构部的一例具备溅射成膜部7。 [0046] 玻璃膜输送部3包含实施该表面处理工序的溅射成膜部7中的玻璃膜GF的输送部件。图1示出了作为一般的溅射成膜部7的结构一部分的成膜辊8以及溅射蒸发源T。 [0047] 图1所示的溅射成膜部7的成膜辊8由不锈钢材料等形成为圆筒状或圆柱状，是在形成曲面的外周面缠绕玻璃膜GF而输送的输送部件。成膜辊8被配置成作为旋转中心的成膜辊8的轴心（旋转轴）大致平行于作为放卷部2的旋转中心的轴心。 [0048] 溅射蒸发源T以与在成膜辊8输送的玻璃膜GF相向的方式被配置在成膜辊8的左右侧。溅射蒸发源T是由堆积到玻璃膜GF的表面的成分构成的蒸发源。如已周知，溅射蒸发源T中通过辉光放电而溅射（蒸发）的成分被导向玻璃膜GF的表面而堆积。 [0049] 如上所述，成膜辊8作为输送从放卷部2送出的玻璃膜GF以实施表面处理工序的部件而构成玻璃膜输送部3。 [0050] 此外，参照图1，玻璃膜输送装置1a在放卷部2和成膜辊8之间具备第一引导辊9。第一引导辊9与成膜辊8同样是由不锈钢材料等形成为圆筒状或圆柱状的部件。第一引导辊9具有外径小于成膜辊8的外径的圆筒或圆柱形状。 [0051] 第一引导辊9的旋转轴与放卷部2以及成膜辊8的旋转轴平行，且在真空室6的左右方向上配置在比成膜辊8的左端靠真空室6的中央的位置，即靠成膜辊8的旋转轴的位置。第一引导辊9的该配置能够始终以恒定的角度以及方向将玻璃膜GF向成膜辊8输送。 [0052] 玻璃膜输送部3可仅由成膜辊8构成，但是在本实施方式中，玻璃膜输送部3由成膜辊8和第一引导辊9构成，从而形成玻璃膜输送路径。 [0053] 在图1所示的真空室6内，面向图1的纸面的放卷部2的右侧配置有卷取部4。卷取部4将通过玻璃膜输送部3而被实施表面处理后的玻璃膜GF再次卷取成卷状的玻璃膜卷R2。 [0054] 卷取部4与放卷部2同样地构成，其具有卷取芯4a，该卷取芯4a是全长略大于玻璃膜GF和保护片材PF的宽度的圆筒状或圆柱状的缠绕芯。卷取部4以如下方式配置在真空室6内，即：作为该缠绕芯的轴心的卷取部4的旋转轴面向图1的纸面成垂直方向，也就是说，平行于上述的放卷部2和成膜辊8等的旋转轴。 [0055] 此种卷取部4利用致动器等而以旋转轴为中心旋转运动，从而卷取来自后述的保护片材输送部5a的保护片材PF，并卷取来自玻璃膜输送部3的玻璃膜GF。 [0056] 在此，如图1所示，玻璃膜输送装置1a在卷取部4与成膜辊8之间，在第一引导辊9的右侧具备第二引导辊10。第二引导辊10具有与第一引导辊9同样的构成，与成膜辊8同样，是由不锈钢材料等形成为圆筒状或圆柱状的部件。第二引导辊10具有与第一引导辊9的外径相同的外径。 [0057] 第二引导辊10的旋转轴平行于卷取部4以及成膜辊8的旋转轴，且在真空室6的左右方向上配置在比成膜辊8的右端靠真空室6的中央的位置，即靠成膜辊8的旋转轴的位置。第二引导辊10的该配置能够始终沿恒定的角度以及方向从成膜辊8搬出玻璃膜GF。 [0058] 在以上的说明中，说明了在玻璃膜输送装置1a中从放卷部2送出的玻璃膜GF再次被卷取于卷取部4为止的结构。下面，说明从放卷部2送出的保护片材PF再次被卷取部4卷取成卷为止的结构。 [0059] 玻璃膜输送装置1a具备保护片材输送部5a，该保护片材输送部5a将从放卷部2送出的玻璃膜GF分离的保护片材PF搬出，并朝向卷取部4搬入保护片材PF。 [0060] 如图1所示，保护片材输送部5a具有配置在放卷部2的上方的第一保护片材辊11、配置在卷取部4的上方的第二保护片材辊12以及配置在第一保护片材辊11与第二保护片材辊12的大致中间的调节辊13a。 [0061] 第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12是具有与第一引导辊9以及第二引导辊10大致相同的结构的圆筒状或圆柱状的辊。在本实施方式中，第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12的外径小于第一引导辊9以及第二引导辊10的外径。此种第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12分别被配置成在放卷部2或卷取部4的正上方附近，旋转轴大致平行于放卷部2以及卷取部4的旋转轴。 [0062] 调节辊13a是具有与第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12大致相同的结构的辊。调节辊13a在第一保护片材辊11与第二保护片材辊12的大致中间位置被配置成旋转轴大致平行于第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12的旋转轴。调节辊13a以维持该旋转轴的平行且能够沿上下方向直线移动的方式被安装于真空室6的内部。 [0063] 如图2（a）所示，调节辊13a的上下方向的移动范围的中间位置与第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12的旋转轴相比略靠下方。调节辊13a在该上下方向的移动范围内利用自重或线性滑块等而上下移动，并且，通过从上方沿着保护片材PF的宽度方向接触于挂设在第一保护片材辊11至第二保护片材辊12的保护片材PF而施加荷重，从而实现施加沿保护片材PF的输送方向的张力的调节辊机构。 [0064] 在因伸长而保护片材PF的输送路径长度变长的情况下，以如下方式调整，即：使调节辊13a向下方移动输送路径长度变长的距离，以使第一保护片材辊11与第二保护片材辊12之间的保护片材PF的输送路径长度变长。反之，在因收缩而保护片材PF的输送路径长度变短的情况下，以如下方式调整，即：使调节辊13a向上方移动输送路径长度变短的距离，以使第一保护片材辊11与第二保护片材辊12之间的保护片材PF的输送路径长度变短。 [0065] 也就是说，调节辊13a适当地调整保护片材PF的输送路径长度，并且，即使保护片材PF的输送路径长度发生变化，也能始终向保护片材PF施加张力，因此，能够防止因保护片材PF的伸长引起的松弛以及因收缩引起的过剩的张力。由此，调节辊13a能够实现稳定的保护片材PF的输送。接着，参照图1，说明玻璃膜输送装置1a的动作。在以下说明中，省略将玻璃膜卷搬入玻璃膜输送装置1a，并将保护片材PF以及玻璃膜GF缠绕于各辊等用于使玻璃膜输送装置1a动作的准备操作的说明。 [0066] 从放卷部2的玻璃膜卷R1送出作为层叠膜的其中之一膜的玻璃膜GF，并输送到玻璃膜输送部3。此外，在放卷部2送出玻璃膜GF起约转动半圈后，送出作为层叠膜的另一膜的保护片材PF，并输送至保护片材输送部5a。 [0067] 被输送到玻璃膜输送部3的玻璃膜GF从第一引导辊9卷绕于成膜辊8，并被实施溅射处理等，从而被进行表面处理。 [0068] 被实施表面处理后的玻璃膜GF从成膜辊8输送至第二引导辊10，并从第二引导辊10输送至卷取部4。 [0069] 在该玻璃膜GF被输送的情况下，保护片材PF被保护片材输送部5a输送，从第一保护片材辊11通过第二保护片材辊12而被输送至卷取部4。保护片材PF在从第一保护片材辊11输送至第二保护片材辊12的途中，被调节辊13a施加张力。 [0070] 如图1所示，通过第二保护片材辊12的保护片材PF被卷绕于卷取部4。卷取部4在从保护片材PF被卷绕起约转动半圈后，将从第二引导辊10输送来的玻璃膜GF卷取到先被卷绕的保护片材PF上，再次形成玻璃膜卷R2。 [0071] 由此，卷取部4不在卷取保护片材PF后立即卷取玻璃膜GF，而是在卷取保护片材PF后转动一定程度后将玻璃膜GF卷取到已卷取的保护片材PF上。卷取部4将保护片材PF的卷取和玻璃膜GF的卷取以在这两者间设置所谓的时间差来进行。该时间差通过第二引导辊10以及第二保护片材辊12相对于卷取部4的位置关系而实现。例如，通过变更第二引导辊10和第二保护片材辊12的位置，能够根据玻璃膜GF和保护片材PF的特性而变更该时间差。 [0072] 在本实施方式中，卷取调整机构包括第二引导辊10和第二保护片材辊12。卷取调整机构调整卷取部4中的保护片材PF以及玻璃膜GF的卷取状态。第二保护片材辊12是包含在保护片材输送部5a和卷取调整机构这两者的构成部件。 [0073] 通过以上说明的具备调节辊机构的玻璃膜输送装置1a，从放卷部2送出的树脂制的保护片材PF即使在真空中收缩或伸长，也能够始终被调整为适当的输送路径长度，并且，被施加适当的张力，因此，在不产生皱折或起伏的情况下被卷取到卷取部4。如果保护片材PF在不产生皱折或起伏的情况下被卷取，就能够防止被卷取到保护片材PF上的玻璃膜GF的破损。此外，也能够防止因过剩的张力被施加到保护片材PF而引起玻璃膜GF破损的情况。 [0074] 下面，参照图2说明调节辊机构的变形例。 [0075] 图2（b）表示以第二保护片材辊12的旋转轴为中心转动的调节辊13b。在此，图2（b）包含图（b-1）以及图（b-2）。图（b-1）是将第一保护片材辊11、第二保护片材辊12以及调节辊13b从各自的旋转轴延伸的方向观察的图，图（b-2）是表示第二保护片材辊12以及调节辊 13b的平面配置的图。在图2（b）中，在第二保护片材辊12的两端侧，在第二保护片材辊12的旋转轴12a安装有以该旋转轴12a为中心转动的平板状的两个臂14的一端侧。在两个臂14的另一端侧以平行于第二保护片材辊12的旋转轴12a的方式安装有调节辊13b。通过该两个臂 14，调节辊13b以第二保护片材辊12的旋转轴12a为中心转动自如，如图2（b）所示，能够从保护片材PF的上方施加张力。保持调节辊13b的两个臂14也可以利用调节辊13b的自重而转动，也可以与第二保护片材辊12的旋转轴12a独立而利用致动器来使该两个臂14转动。 [0076] 作为调节辊机构的另一变形例，有图2（c）所示的机构。在此，图2（c）包含图（c-1）、图（c-2）以及图（c-3）。图（c-1）是将第一保护片材辊11、第二保护片材辊12、第一辊13c以及第二辊13d从各自的旋转轴延伸的方向观察的图，图（c-2）是表示第一辊13c以及第二辊13d绕中心O沿顺时针方向旋转而吸收保护片材PF的伸长的状态的图，图（c-3）是表示第一辊13c以及第二辊13d的平面配置的图。图2（c）所示的调节辊机构是平行地保持与上述的调节辊13b同样的结构的第一辊13c和第二辊13d的机构。在图2（c）中，通过用两个圆板15将平行地保持的第一辊13c以及第二辊13d从各辊13c、13d的旋转轴方向夹住而成为一体，由此构成调节辊机构。此时，优选在平行地保持的第一辊13c以及第二辊13d的旋转轴方向上，两个圆板15的中心O互相对应。此外，优选第一辊13c以及第二辊13d的旋转轴以在各圆板15的某一个直径上与圆板15的中心O具有等距离的方式被保持于圆板15。 [0077] 此外，如图2（c）所示，两个圆板15的中心O、即第一辊13c以及第二辊13d成为一体的调节辊机构的旋转轴15a是贯穿两个圆板15的中心的轴，且以平行于第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12的旋转轴的方式配置在第一保护片材辊11以及第二保护片材辊12的大致中间位置。 [0078] 如果在使保护片材PF通过调节辊机构的第一辊13c与第二辊13d之间后，向调节辊机构施加面向图2的纸面的顺时针方向的旋转转矩，则能够使第一辊13c以及第二辊13d朝按压保护片材PF的方向旋转移动，如图2（c）的图（c-1）所示，能够向保护片材PF施加张力。 [0079] 如果在玻璃膜输送装置的运转过程中例如发生保护片材PF的伸长，则如图2（c）的图（c-2）所示，调节辊机构进一步向顺时针方向旋转，以吸收保护片材PF的伸长，并且，能够继续施加适当的张力。在保护片材PF发生收缩的情况下，通过与其相反的动作来调整路径长度。 [0080] 另外，也可以使构成保护片材输送部5a的辊的至少一个的表面具有粘着性，以便构成为具有清洁保护片材PF的功能。例如，在图2（a）的结构中，如果调节辊13a的表面以及第一保护片材辊11或第二保护片材辊12的其中之一表面分别具有清洁功能，就能够清洁保护片材PF的两面。本实施方式的玻璃膜输送装置1a通过去除附着于保护片材PF的表面的灰尘等粒子，能够防止因附着于保护片材PF的异物导致的被卷取的玻璃膜GF的破损。 [0081] 但是，如果不考虑对卷取部4的玻璃膜GF的进入与保护片材PF的进入的位置关系而决定将玻璃膜GF和保护片材PF卷取到卷取部4的结构，则因残留有卷取玻璃膜GF之前的保护片材PF的起伏等，有可能发生引起玻璃膜GF的破损的问题。 [0082] 在本实施方式的最后说明用于防止上述的问题的卷取部4周围的结构，具体而言，说明构成卷取调整机构的各辊的适当的位置关系。 [0083] 如上所述，由第二引导辊10以及第二保护片材辊12构成调整卷取部4中的保护片材PF以及玻璃膜GF的卷取状态的卷取调整机构。在图1中，卷取部4不在卷取保护片材PF后立即卷取玻璃膜GF，而是在旋转一定程度后，在已卷取的保护片材PF上卷取玻璃膜GF。卷取部4以所谓的角度差来进行保护片材PF的卷取和玻璃膜GF的卷取。该角度差通过相对于卷取部4的第二引导辊10以及第二保护片材辊12的位置关系而实现。例如，通过变更第二引导辊10和第二保护片材辊12的位置，能够根据玻璃膜GF和保护片材PF的特性而变更该角度差。 [0084] 再次参照图1进行说明。在本实施方式的玻璃膜输送装置1a中，调整卷取部4中的保护片材PF以及玻璃膜GF的卷取状态的卷取调整机构包括第二保护片材辊12以及第二引导辊10，卷取部4在卷取从保护片材辊12供应的保护片材PF后经过指定的角度θ后，卷取来自第二引导辊10的玻璃膜GF。该角度θ通过保护片材PF和玻璃膜GF被供应至卷取部4的角度关系而实现。 [0085] 在本实施方式中，卷取调整机构在从保护片材辊12供应的保护片材PF接触于卷取部4后的卷取部4的旋转角θ为90°以上且315°以下的旋转范围（即，保护片材PF开始被卷取部4卷取的位置起90°以上且315°以下的旋转范围），保持玻璃膜GF层叠于先被卷取的保护片材PF上的位置关系，由此调整卷取部4中的保护片材PF以及玻璃膜GF的卷取状态。 [0086] 例如，在图1中，卷取部4、保护片材辊12以及第二引导辊10被配置成从保护片材辊12供应的保护片材PF在卷取部4的左侧接触，而来自第二引导辊10的玻璃膜GF在卷取部4的右侧接触。在图1中，从保护片材PF接触卷取部4的位置起至玻璃膜GF接触卷取部4的位置为止，卷取部4需要约180°的旋转角θ。 [0087] 如上所述，从卷取保护片材PF起至卷取玻璃膜GF之间设置旋转角θ是为了防止玻璃膜GF的破损。即，刚被卷取到卷取部4的保护片材PF有可能残存导致玻璃膜GF的破损的片材的起伏，因此，优选在其起伏消失后层叠玻璃膜GF。从保护片材PF接触于卷取部起至处于适合层叠玻璃膜GF的稳定的展开状态，从经验上讲，优选经过90°以上的角度。 [0088] 另一方面，如果从卷取保护片材PF起至卷取玻璃膜GF为止的旋转角θ过大，反而刚卷取玻璃膜GF之后保护片材PF就会接触。如果在卷取玻璃膜GF之后，在45°以内缠绕保护片材PF，则在玻璃膜GF以充分安定的状态（即，充分稳定的状态）接触卷取部之前保护片材PF就被缠绕，因此并不优选。其结果，优选从卷取保护片材PF起至卷取玻璃膜GF为止的旋转角为90°～315°之间的角度。此外，该旋转角θ能够根据保护片材PF和玻璃膜GF的特性而变更。 [0089] 接下来，参照图5说明具备用于调整旋转角θ的缠绕调整辊19的卷取调整机构。 [0090] 图5（a）示出缠绕调整辊19被配置在保护片材辊12与卷取部4之间的卷取调整机构的结构来作为第一实施方式的变形例。缠绕调整辊19具有与保护片材辊12大致同样的结构。缠绕调整辊19将从保护片材辊12供应的保护片材PF一旦引导至与卷取部4相比位于左侧的位置后供应到卷取部4的左下侧。与图1进行比较，利用该缠绕调整辊19，保护片材PF接触于卷取部4的位置向卷取部4的下方侧移动，从保护片材PF接触于卷取部4的位置起至玻璃膜GF接触于卷取部4的位置为止的卷取部4的旋转角θ大致为90°。 [0091] 图5（b）示出缠绕调整辊19被配置在卷取部4的右侧方的卷取调整机构的结构来作为第一实施方式的另一变形例。缠绕调整辊19将从保护片材辊12供应的保护片材PF一旦引导至卷取部4的右侧方后供应到卷取部4的右侧。据此，保护片材PF接触于卷取部4的位置移动到与图5（a）的卷取部4的左下侧完全不同的位置。在图5（b）中，从保护片材PF接触于卷取部4的位置起至玻璃膜GF接触于卷取部4的位置为止的卷取部4的旋转角θ大致为315°。 [0092] 如上所述，通过将从保护片材辊12供应的保护片材PF引导至与卷取部4不同的位置的缠绕调整辊19设置在保护片材辊12与卷取部4之间，能够根据保护片材PF和玻璃膜GF的特性而变更上述的旋转角θ。 [0093] 此外，上述的保护片材PF和玻璃膜GF供应至卷取部4的角度关系对于除本发明作为对象的、具有保护片材PF的输送机构的玻璃杯输送装置以外也有效。例如，如专利文献2所记载，在放卷部2附近回收保护片材PF，或者将不使用保护片材PF而卷取的玻璃膜卷安装于放卷部2的情况下，卷取侧不存在需要输送的保护片材PF。在此种情况下，保护片材PF的供应部例如被设置在如现有文献2记载的卷取部4的附近。在此种情况下，也以满足上述的角度关系的方式供应从保护片材供应部供应的保护片材PF即可。具体而言，也可以取而代之在保护片材辊12的位置设置保护片材供应部。 [0094] [第二实施方式] [0095] 参照图3，说明本发明的第二实施方式的玻璃膜输送装置1b。 [0096] 图3表示第二实施方式的玻璃膜输送装置1b的概略结构。图3的放卷部2、成膜辊8、卷取部4、第一引导辊9以及第二引导辊10具有与在第一实施方式中附上同一符号的构成部件同样的结构。 [0097] 本实施方式的玻璃膜输送装置1b与第一实施方式相比，包含调节辊机构的保护片材输送部5b的结构以及配置不同于第一实施方式的保护片材输送部5a。因此，以下，说明包含调节辊机构的保护片材输送部5b的结构以及配置。 [0098] 保护片材输送部5b具有第一保护片材辊11、第二保护片材辊12以及调节辊13e，而且还具有层叠辊16。保护片材输送部5b的第一保护片材辊11、第二保护片材辊12以及调节辊13e的配置位置与第一实施方式不同而设置在比放卷部2、卷取部4靠下方的位置，但是执行与第一实施方式的第一保护片材辊11、第二保护片材辊12以及调节辊13a同样的功能。 [0099] 层叠辊16具有与第二引导辊10大致相同的结构。层叠辊16在卷取部4与第二引导辊10之间以平行于卷取部4以及第二引导辊10的方式被设置。被保护片材输送部5b移送的保护片材PF从下侧缠绕于层叠辊16而改变输送方向，在层叠辊16上与从玻璃膜输送部3输送来的玻璃膜GF重合而层叠，并被输送至卷取部4。卷取部4卷取从层叠辊16输送来的层叠膜LF，形成玻璃膜卷R2。 [0100] 如图3所示，保护片材输送部5b具有与第一实施方式中图2（a）所示的调节辊机构同样地在第一保护片材辊11与第二保护片材辊12之间能够在上下方向上直线移动的调节辊13e。在本实施方式中，调节辊13e利用致动器而从上方朝向下方移动，由此沿宽度方向接触于保护片材PF，并向保护片材PF施加张力。 [0101] 在本实施方式的玻璃膜输送装置1b中，即使从放卷部2送出的树脂制的保护片材PF在真空中收缩或伸长，也能利用调节辊机构始终调整为适当的输送路径长度，并且施加适当的张力。因此，保护片材PF在不发生皱折或起伏的状态下缠绕于层叠辊16。保护片材PF在不发生皱折或起伏的状态下缠绕于层叠辊16，从而能够防止层叠于保护片材PF上的玻璃膜GF的破损。 [0102] 如上所述，卷取部4卷取在层叠辊16层叠了保护片材PF和玻璃膜GF的层叠膜LF。层叠辊16以少许时间差进行保护片材PF的卷取和玻璃膜GF的卷取。该时间差通过相对于层叠辊16的第二引导辊10的位置关系而实现。因此，通过变更第二引导辊10和层叠辊16的位置，能够根据玻璃膜GF和保护片材PF的特性而变更该时间差。 [0103] 因此，调整卷取部4中的保护片材PF和玻璃膜GF的卷取状态的卷取调整机构包括第二引导辊10、第二保护片材辊12以及层叠辊16。层叠辊16是包含在保护片材输送部5b和卷取调整机构这两者的构成部件。 [0104] 但是，如果不考虑对层叠辊16的玻璃膜GF的进入和保护片材PF的进入的位置关系而决定在层叠辊16上层叠玻璃膜GF和保护片材PF的结构，则因残留有缠绕玻璃膜GF之前的保护片材PF的起伏等，发生引起玻璃膜GF的破损的问题。 [0105] 对此，说明用于防止上述的问题的层叠辊16周围的结构，具体而言，说明构成卷取调整机构的各辊的适当的位置关系。 [0106] 如上所述，层叠辊16、第二引导辊10以及第二保护片材辊12构成调整卷取部4中的保护片材PF和玻璃膜GF的卷取状态的卷取调整机构。在图3中，在层叠辊16上，不在缠绕保护片材PF后立即卷取玻璃膜GF，而是在卷取保护片材PF起旋转一定程度后，在已缠绕的保护片材PF上缠绕重叠玻璃膜GF。在层叠辊16上，以角度差进行保护片材PF的缠绕和向该保护片材PF上的玻璃膜GF的缠绕重叠。该角度差通过相对于层叠辊16的第二引导辊10、第二保护片材辊12以及卷取部4的位置关系而实现。例如，通过变更第二引导辊10和第二保护片材辊12的位置，能够根据玻璃膜GF和保护片材PF的特性而变更该角度差。 [0107] 再次参照图3进行说明。在本实施方式的玻璃膜输送装置1b中，调整卷取部4中的保护片材PF和玻璃膜GF的卷取状态的卷取调整机构由层叠辊16、第二保护片材辊12以及第二引导辊10构成。在层叠辊16上首先缠绕从第二保护片材辊12供应的保护片材PF，然后，在层叠辊16旋转指定的旋转角θ后，在保护片材PF上缠绕重叠来自第二引导辊10的玻璃膜GF。接着，玻璃膜GF以被缠绕重叠于保护片材PF上的状态在层叠辊16上被输送与指定的旋转角η对应的距离。然后，层叠有玻璃膜GF和保护片材PF的层叠膜LF朝向卷取部4。该旋转角θ和旋转角η通过保护片材PF和玻璃膜GF被供应到层叠辊16的角度与朝向卷取部4的角度的关系而实现。 [0108] 在本实施方式中，卷取调整机构通过以下方式来调整保护片材PF和玻璃膜GF的卷取状态，即在从第二保护片材辊12供应的保护片材PF在层叠辊16上缠绕旋转角θ（第一旋转角）45°以上后，将玻璃膜GF层叠于先卷取的保护片材PF上，并且，保持保护片材PF和玻璃膜GF以层叠的状态在层叠辊16上被保持的旋转角η（第二旋转角）处于30°以上且90°以下（30°～90°）的范围，且保护片材缠绕于层叠辊16的旋转角（即，第一旋转角和第二旋转角之和（旋转角θ+旋转角η））小于270°的位置关系。 [0109] 在本实施方式中，卷取调整机构在从第二保护片材辊12供应的保护片材PF在层叠辊16的旋转角θ为45°以上、优选60°以上的旋转范围，维持玻璃膜GF层叠于保护片材PF上的位置关系，并且，调整保护片材PF和玻璃膜GF的卷取状态。 [0110] 本发明的发明人通过实验得知，与第一实施方式那样在玻璃膜卷R2上缠绕的情况相比，在层叠辊16上保护片材PF的起伏消失早。具体而言，得知从保护片材PF接触于层叠辊16起以层叠辊16的旋转角输送45°左右，则保护片材PF在层叠辊16上无起伏或无皱折而展开。 [0112] 而且，在本实施方式的卷取调整机构中，在层叠辊16上层叠保护片材PF和玻璃膜GF而成为层叠膜LF之后，在层叠辊16上保持与层叠辊16的接触的状态下将层叠膜LF进一步输送与层叠辊16的指定的旋转角η（旋转角η为30°以上且90°以下的旋转范围）相对应的量，之后，使其脱离层叠辊16并供应至卷取部4。如果旋转角η小于30°，则在玻璃膜GF和保护片材PF的重叠稳定之前脱离层叠辊，作为层叠膜LF不稳定。另一方面，如果以90°以上的角度重叠，则从经验上讲，玻璃膜GF破损的可能性提高。因此，如果将旋转角η设定在30°以上且90°以下的旋转范围，则玻璃膜GF和保护片材PF的重叠稳定，且玻璃膜GF破损的可能性低，因此优选。 [0113] 在此，卷取调整机构优选上述的两个旋转角之和、即保护片材PF接触层叠辊16后至玻璃膜GF层叠于保护片材PF上的层叠辊16的旋转角θ和在层叠辊16上层叠膜LF保持与层叠辊16的接触的旋转角η之和（θ+η）为270°以下。这是因为，如果超过270°，则在机械机构上难以实现。 [0114] 此外，卷取部4的玻璃膜卷的直径随着卷取层叠膜LF而变大。各机构的配置要考虑到即使有此种变动，也能满足上述的角度关系。 [0115] 如上所述，本实施方式的玻璃膜输送装置1b以具有如下结构的卷取调整机构为特征，即：从保护片材PF被卷取到层叠辊16起至玻璃膜GF被卷取为止设置旋转角θ，并且，在层叠辊16上得到层叠膜LF后将该层叠膜LF供应到卷取部4为止设置旋转角η。 [0116] 卷取调整机构的此种结构是为了防止玻璃膜GF的破损。刚被卷取到层叠辊16上的保护片材PF有可能存在导致玻璃膜GF的破损的起伏，因此，优选在该起伏消失后层叠玻璃膜GF。此外，层叠膜LF优选在保护片材PF和玻璃膜GF充分稳定后卷取。在本实施方式中，首先，确保被卷取的保护片材PF的起伏消失所需的层叠辊16的旋转角θ，并且，确保层叠辊16的旋转角η来作为被层叠的保护片材PF和玻璃膜GF互相稳定（例如固定（fix））所需的时间差。此外，这些旋转角θ、旋转角η可根据保护片材PF和玻璃膜GF的特性而变更。 [0117] 接下来，参照图6说明具备用于调整上述两个角度中被卷取的保护片材PF的起伏消失所需的旋转角θ的缠绕调整辊20的卷取调整机构。 [0118] 图6表示本实施方式的卷取调整机构的结构。在图6中，具有与第二保护片材辊12大致同样的结构的缠绕调整辊20在第二保护片材辊12的右方配置在层叠辊16的略上方。缠绕调整辊20将从第二保护片材辊12供应的保护片材PF一旦引导至层叠辊16的上方后再供应至层叠辊16的左侧。 [0119] 与图3比较，利用该缠绕调整辊20，保护片材PF接触于层叠辊16的位置向层叠辊16的左侧上方变化，从保护片材PF接触于层叠辊16的位置起至玻璃膜GF接触的位置为止的旋转角θ从约90°变化至约135°。缠绕调整辊20通过使该旋转角θ变化，实现被卷取的保护片材PF的起伏完全消失的行程长度。 [0120] 如上所述，通过将从第二保护片材辊12供应的保护片材PF一旦引导至与层叠辊16不同的位置的缠绕调整辊20设置在第二保护片材辊12与层叠辊16之间，能够根据保护片材PF和玻璃膜GF的特性而变更上述的旋转角θ。 [0121] 或者，也可代替缠绕调整辊20而变更第二保护片材辊12的位置。 [0122] 此外，上述的保护片材PF和玻璃膜GF被供应至层叠辊16，而且，被供应至卷取部4的角度的关系对于除本发明作为对象的具有保护片材PF的输送机构的玻璃膜GF输送装置以外的装置也有效。例如，如专利文献2所记载，在放卷部2附近回收保护片材PF或将不使用保护片材PF而卷取的玻璃膜卷安装于放卷部2的情况下，在卷取侧不存在需要输送的保护片材PF。在此种情况下，将保护片材PF的供应部另外设置在卷取部4附近即可。此时，也能将从保护片材供应部供应的保护片材PF以满足上述的角度的方式进行供应。具体而言，在第二保护片材辊12的位置设置保护片材供应部即可。 [0123] [第三实施方式] [0124] 参照图4，说明本发明的第三实施方式。图4表示在第一实施方式中说明的玻璃膜输送装置1a被收容在具有室分隔壁P的真空室6内的状态的概略结构。图4所示的第三实施方式在真空室6具有室分隔壁P的这一点上与第一实施方式不同。 [0125] 图4所示的真空室6在上下方向的大致中央，在配置有第一引导辊9以及第二引导辊10的位置具有室分隔壁P。 [0126] 该室分隔壁P以不与第一引导辊9以及第二引导辊10发生干扰的方式形成在从真空室6内的左侧的侧壁至右侧的侧壁的部分，分隔真空室6的上区域和下区域。真空室6的上区域被设置在上方的真空泵减压，真空室6的下区域被设置在下方的真空泵减压。 [0127] 利用该室分隔壁P，能够使实施表面处理工序的溅射成膜部7与保护片材输送部5a隔离，能够防止因成膜而产生的剥离的覆膜的碎片（薄片）等灰尘附着于保护片材输送部5a的输送片材PF上。因此，能够避免因附着于保护片材PF的灰尘而层叠于保护片材PF上的玻璃膜GF破损的情况。 [0128] 此外，伴随减压，会从保护膜释放水蒸气以及有机成分等释气成分（outgas component），但是通过设置室分隔壁P，能够抑制释气成分向溅射成膜部7周围的移动。因此，能够使释气成分对成膜等处理的影响抑制到最小限度。 [0129] 另外，上述的具体实施方式主要包含具有以下结构的发明。 [0130] 本发明的玻璃膜输送装置，用于连续输送长玻璃膜，其包括：放卷部，从卷绕有所述玻璃膜的卷料送出该玻璃膜，其中，在所述玻璃膜层叠有长保护片材；玻璃膜输送部，输送从所述放卷部送出并从所述保护片材分离的所述玻璃膜；卷取部，在由所述玻璃膜输送部输送的所述玻璃膜层叠保护片材并卷取成卷状；保护片材输送部，搬出从所述放卷部送出的从所述玻璃膜分离的所述保护片材，并且，向所述卷取部搬入所述保护片材；以及卷取调整机构，调整所述卷取部的所述保护片材以及所述玻璃膜的卷取状态。 [0131] 在此，优选：所述保护片材输送部具有调节辊机构，该调节辊机构在所述保护片材输送部的输送过程中通过沿该保护片材的宽度方向接触于所述保护片材来施加张力，并且，调整所述保护片材输送部的所述保护片材的输送路径的路径长度。 [0132] 进一步优选：所述调节辊机构具有通过以互相平行的状态接触于所述保护片材来向该保护片材施加张力的第一辊以及第二辊，所述第一辊配置在能够接触于所述保护片材的其中一面的位置，所述第二辊配置在能够接触于所述保护片材的另一面的位置，所述第一辊以及所述第二辊能够向接触于所述保护片材的方向移动。 [0133] 此外，优选：所述保护片材输送部包含具有与所述保护片材接触的接触面的至少一个辊，其中，所述接触面具有粘性。 [0134] 另外，优选：所述卷取调整机构在所述保护片材接触于所述卷取部后的旋转角为90°以上且315°以下的旋转范围内保持所述玻璃膜层叠于所述保护片材上的位置关系，并调整所述保护片材以及所述玻璃膜的卷取状态。 [0135] 而且，优选：所述卷取调整机构具有层叠辊，该层叠辊将所述玻璃膜输送部输送的所述玻璃膜层叠于由所述保护片材输送部输送的所述保护片材上，在所述保护片材接触于所述层叠辊后的所述层叠辊的第一旋转角为45°以上的旋转范围，所述玻璃膜层叠于所述保护片材上，在该层叠后的所述层叠辊的第二旋转角为30°以上且90°以下的旋转范围，层叠有所述玻璃膜的所述保护片材在保持与所述层叠辊的接触的状态下被输送后从所述层叠辊脱离，且所述第一旋转角与所述第二旋转角之和为270°以下。 [0136] 进一步优选包括：能够个别地收容所述玻璃膜输送部和所述保护片材输送部的互相独立的两个区域，其中，所述两个区域分别独立地排气。 |
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