成膜掩模的制造方法 |
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| 申请号 | CN201480014059.4 | 申请日 | 2014-02-17 | 公开(公告)号 | CN105051243A | 公开(公告)日 | 2015-11-11 |
| 申请人 | 株式会社V技术; | 发明人 | 斋藤雄二; 工藤修二; 小菅崇之; 水村通伸; | ||||
| 摘要 | 本 发明 是将形成了多个开口图案的金属掩模片(4)张紧而固定于框状的金属 框架 7上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张 力 的合成 纤维 的网(1)上粘接金属掩模片(4)的周缘部；第2步骤，将与金属掩模片(4)的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网(1)的部分 切除 ；第3步骤，在金属掩模片(4)的周缘部从与网(1)相反的一侧接合、固定框架(7)；以及第4步骤，将网(1)从金属掩模片(4)除去。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种成膜掩模的制造方法，上述成膜掩模是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构，上述成膜掩模的制造方法的特征在于，进行如下步骤： |
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| 说明书全文 | 成膜掩模的制造方法技术领域背景技术[0003] 现有技术文献 [0004] 专利文献 [0005] 专利文献1：特开2009－074160号公报 发明内容[0006] 发明要解决的问题 [0007] 但是，在这样的现有的成膜掩模的制造方法中，直接将金属制片在向四方伸展的状态下固定于框架，所以难以对金属制片的整个面赋予均等的张力。因此，有如下问题：根据张力对金属制片的附加方式，在金属制片中发生起皱、挠曲或者相邻的开口图案间的金属部分发生断裂，或者所形成的开口图案变形。 [0008] 因此，本发明的目的在于，应对这样的问题，提供可在掩模片的整个面赋予均等的张力而固定于框架上的成膜掩模的制造方法。 [0009] 用于解决问题的方案 [0010] 为了达成上述目的，第1发明的成膜掩模的制造方法是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接上述掩模片的周缘部；第2步骤，将与上述掩模片的内含上述多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模片的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；以及第4步骤，将上述网从上述掩模片除去。 [0011] 另外，第2发明的成膜掩模的制造方法是将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架上的结构的成膜掩模的制造方法，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上，以使树脂制膜与片状的磁性金属构件的一面紧密接触的结构的掩模用构件的上述膜侧为上述网侧，粘接上述膜的周缘部，上述磁性金属构件设有内含至少一个上述开口图案的大小的多个贯通孔；第2步骤，将与上述掩模用构件的内含上述多个贯通孔的大小的成膜有效区域对应的上述网的部分切除；第3步骤，在上述掩模用构件的上述磁性金属构件的周缘部从与上述网相反的一侧接合、固定上述框架；第4步骤，将上述网从上述掩模用构件除去；以及第5步骤，向与上述磁性金属构件的上述贯通孔内的上述开口图案对应的上述膜的部分照射激光，形成上述开口图案。 [0012] 发明效果 [0013] 根据本发明，通过合成纤维的网将掩模片或者掩模用构件在张紧的状态下固定于框架，所以能在掩模片或者掩模用构件的整个面赋予均等的张力。因此，不用担心掩模片或者掩模用构件发生起皱、挠曲，或者所形成的开口图案变形。故此，能提高开口图案的形成位置精度。附图说明 [0014] 图1是表示本发明的成膜掩模的制造方法的实施方式，是表示掩模片向框架的接合工序的截面图。 [0015] 图2是表示作为上述掩模片的金属掩模片的一构成例的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。 [0016] 图3是表示作为上述掩模片的复合型掩模片的一构成例的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。 [0017] 图4是表示上述复合型掩模片的开口图案形成前的掩模用构件的图，(a)是俯视图，(b)是局部放大截面图。 具体实施方式[0018] 以下基于附图详细说明本发明的实施方式。图1表示本发明的成膜掩模的制造方法的实施方式，是表示掩模片向框架的接合工序的截面图。该成膜掩模的制造方法制造将形成了多个开口图案的掩模片张紧而固定于框状的金属框架的结构的成膜掩模，进行如下步骤：第1步骤，在被施加一定张力的合成纤维的网上粘接掩模片的周缘部；第2步骤，将与掩模片的内含多个开口图案的大小的成膜有效区域对应的网的部分切除；第3步骤，在掩模片的周缘部从与网相反的一侧接合、固定框架；以及第4步骤，将网从掩模片除去。以下对各步骤详细说明。此外，在此，对掩模片如图2所示是使用抗蚀剂掩模蚀刻片状的例如殷钢等磁性金属材料形成多个开口图案5的金属掩模片4的情况进行说明。 [0019] 在上述第1步骤中，首先，如图1(a)所示，分别用夹具2夹着包含例如聚酯等的四边形的合成纤维的网1的四边缘部，以预先决定的一定张力将网1向四方拉伸。此时，利用网1自身具有的伸缩性，在网1的整个面内赋予均等的张力。 [0020] 接着，如图1(b)所示，使包含例如铝(Al)等的支撑框3的端面与网1的一个面(在同图中为下表面)对接，从网1的上方将粘接剂涂敷于支撑框3的端面，利用通过网1的网眼浸入的粘接剂将网1粘接到支撑框3的端面。然后，沿着支撑框3的外周缘部切断网1，形成以拉伸的状态固定于支撑框3的网1。 [0021] 接着，如图1(c)所示，例如在网1的里面侧，在支撑框3的内侧的网1中央部配置金属掩模片4，沿着金属掩模片4的边缘部从网1的上方涂敷粘接剂，利用通过网1浸入的粘接材料将金属掩模片4的周缘部粘接到网1。由此，第1步骤结束。此外，也可以在网1的表侧粘接金属掩模片4。在该情况下，只要使粘接了网1的支撑框3上下翻转，与上述同样地进行即可。 [0022] 在上述第2步骤中，如图1(d)所示，利用例如刀具等将内含形成于金属掩模片4的多个开口图案5(参照图2)的大小的、沿着图2中由虚线包围地表示的成膜有效区域6的周缘部的网1的部分切取而除去。由此，对网1赋予的均匀的张力转移到金属掩模片4，金属掩模片4以均等的张力向其四方被拉伸。 [0023] 在上述第3步骤中，首先，如图1(e)所示，在金属掩模片4的周缘部从与网1相反的一侧使例如殷钢或者殷钢合金等的框架7的端面对接。此时，也可以利用相机观察金属掩模片4的边缘部和框架7的边缘部，调整框架7相对于金属掩模片4的位置偏移。另外，一边利用2台相机观察位于在金属掩模片4的左右离开一定距离的位置的开口图案5，一边用省略图示的其它夹具夹着支撑框3的内侧、金属掩模片4的外侧的网1的部分使网1伸缩来调整张力的大小，以使得该开口图案5的间隔成为预先决定的距离。 [0024] 接着，如图1(f)所示，向金属掩模片4的周缘部照射激光L，将金属掩模片4和框架7点焊。由此，金属掩模片4在整个面内被赋予均等的张力的状态下固定于框架7。在该情况下，由于将金属掩模片4和框架7点焊，因此与使用有机粘接剂的粘接不同，不可能有如下情况：由于成膜时的热，接合部的金属掩模片4缓慢地变形，或者由于排气的产生，所形成的膜被污染。 [0025] 在上述第4步骤中，如图1(g)所示，用例如刀具等将焊接部的外侧的网1沿着金属掩模片4的外周缘切断，从金属掩模片4除去网1。或者，向网1和金属掩模片4的粘接部照射激光而烧断网1，或者对上述粘接部赋予适当的温度而使粘接剂软化，从金属掩模片4除去网1。由此，可得到金属掩模片4以均等的张力绷紧、固定于框架7的成膜掩模。 [0026] 在以上说明中，对掩模片为金属掩模片4的情况进行了描述，但是如图3所示，掩模片也可以是使例如聚酰亚胺等透射可见光的树脂制膜8与片状的包含殷钢、殷钢合金、镍或者镍合金等磁性金属构件10紧密接触的结构的复合型掩模片11，树脂制膜8设有多个开口图案5，磁性金属构件10设有内含至少一个开口图案5的大小的多个贯通孔9。 [0027] 在掩模片是复合型掩模片11的情况下，在上述第1步骤中，将上述膜8侧作为网1侧，与上述同样地在网1上粘接膜8的周缘部。 [0028] 另外，在上述第3步骤中，与上述同样，在磁性金属构件10的周缘部从与网1相反的一侧粘接固定框架7。 [0029] 此外，上述复合型掩模片11能按如下方法形成。即，在厚度为30μm～50μm程度的例如殷钢等片状的磁性金属构件10的一面以一定厚度涂敷例如聚酰亚胺的树脂液，然后使其干燥，形成厚度为10μm～30μm程度的膜8。接着，在磁性金属构件10的另一面涂敷光致抗蚀剂，使用光掩模对光致抗蚀剂进行曝光后使其显影，形成与想要形成的贯通孔9对应地具有开口的抗蚀剂掩模。接着，使用该抗蚀剂掩模蚀刻上述磁性金属构件10，在磁性金属构件10中形成到达膜8的贯通孔9。接着，向上述贯通孔9内的膜8的部分照射激光，形成上述开口图案5。 [0030] 或者，上述复合型掩模片11也可以按如下方法形成。即，在树脂制的膜8上形成50nm程度的厚度的例如镍等的导电性金属的基底层后，在该基底层上涂敷光致抗蚀剂，利用公知的技术使该光致抗蚀剂图案化，在与上述贯通孔9对应的位置形成与贯通孔9相同形状的岛图案。接着，利用电镀在岛图案的外侧部分电镀形成上述磁性金属构件10。接着，在将上述岛图案除去后，蚀刻存在于岛图案的下部的基底层，将其除去，形成贯通孔9。并且，与上述同样地向贯通孔9内的膜8的部分照射激光，形成开口图案5。 [0031] 另外，在掩模片是复合型掩模片11的情况下，上述第1～第4步骤也可以使用在磁性金属构件10的贯通孔9内的膜8部分形成开口图案5前的如图4所示的掩模用构件12取代掩模片来进行。 [0032] 即，在第1步骤中，在被施加一定张力的合成纤维的网1上，以使树脂制膜8与片状的磁性金属构件10的一面紧密接触的结构的掩模用构件12的膜8侧为网1侧，粘接膜8的周缘部，磁性金属构件10设有内含至少一个开口图案5的大小的多个贯通孔9。另外，在第2步骤中，切除与掩模用构件12的内含多个贯通孔9的大小的成膜有效区域对应的网 1的部分。然后，在第3步骤中，在掩模用构件12的磁性金属构件10的周缘部从与网1相反的一侧接合、固定框架7。然后，将网1从掩模用构件12除去。 [0033] 在该情况下，进一步执行第5步骤：向磁性金属构件10的贯通孔9内的与上述开口图案5对应的膜8的部分照射激光，形成开口图案5。由此，对以均等的张力绷紧、固定于框架7的掩模用构件12照射激光，形成开口图案5，因此能更加提高开口图案5的形成位置精度。 [0034] 此外，在上述实施方式中，对将网1张紧而固定于支撑框3的情况进行了说明，但是本发明不限于此，也可以不将网1固定于支撑框3，而在用夹具2夹着向四方拉伸而张紧的状态的网1上粘接掩模片或者掩模用构件12，实施上述第2步骤以后的步骤。 [0035] 附图标记说明 [0036] 1…网 [0037] 4…金属掩模片 [0038] 5…开口图案 [0039] 6…成膜有效区域 [0040] 7…框架 [0041] 8…膜 [0042] 9…贯通孔 [0043] 10…磁性金属构件 [0044] 11…复合型掩模片 [0045] 12…掩模用构件 |
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