现有技术中，期图尔特·平台式的平行机械装置是公知的，该 平行机械装置中，用若干个连杆连接可被液压缸等促动器伸缩的上部 可动板和下部固定板，通过使各促动器伸缩，改变连杆长度，控制可 动板的姿势，保持在各种角度(水平或倾斜)。
该平行机械装置中，各液压缸的位置固定，通过这些液压缸的 伸缩，调节各连杆的长度，决定可动板的姿势。
把平行机械装置例如用于宏观检查装置等，把被检查基板载置 在可动板上，可用目视观察被检查基板表面的膜厚不均匀或损伤。
但是，采用已往的平行机械装置的宏观基板检查装置中，存在 以下问题。即，仅靠各促动器的连杆长度的伸缩调节范围，决定可动 板的姿势，所以，相对于装置容积，可动板的动作范围小。因此，不 能把被检查基板充分靠近检查者，以窥视被检查基板的状态进行基板 检查，检查者以不适的姿势进行作业。
另一方面，通过调节各连杆长度可设定的可动板的姿势，只限 于水平方向和倾斜方向，所以，被检查基板面的损伤形成在某些方向 时不容易被看见，不能进行精度高的检查。
本发明的目的是提供一种自由度高且实现广范围动作的平行机 械装置、以及采用该平行机械装置的、效率高、能进行高精度基板检 查的检查装置。
发明的公开
本发明的平行机械装置，其特征在于备有：至少3个可伸缩的直 动促动器；
行走驱动机构，其将这些直动促动器的基端部可沿各移动通路直 线移动地支承着，并且，在这些移动通路的至少一个上，具有随着所 述直动促动器的移动而高度变化的倾斜部；
可动部件，其通过万向连接机构而被支承在与上述直动促动器的 基端部处于相对的位置关系的所述直动促动器的作动轴的前端部。使 直动促动器沿着倾斜部移动，协调地进行各直动促动器的伸缩控制， 可使可动部件前后左右地运动。
本发明的检查装置，其特征在于备有：至少3个可伸缩的直动促 动器；
行走驱动机构，其将该直动促动器的基端部可沿各移动通路直线 移动地支承着，并且，在这些移动通路的至少一个上，具有随着直动 促动器的移动而高度变化的倾斜部；
可动部件，其通过万向连接机构而被支承在与上述直动促动器的 基端部处于相对的位置关系的所述直动促动器的作动轴的前端部；
被检体保持机构，设在该可动部件上，用于保持被检体。
结果，根据本发明，可使保持着被检体的保持机构，移动到检查 者眼睛附近，并且使被检体保持机构前后左右地移动，可改变照明的 反射角，可容易发现缺陷，进行高精度的宏观检查。
附图的简单说明
图1A、1B是表示本发明一实施例之基板检查装置的图，图1 A是表示整体的立体图，图1B是表示基板座的平面图。
图2是表示组入该基板检查装置中的促动器用移动台的正面图。
图3是表示组入该基板检查装置中的直动促动器的纵断面图。
图4是表示该基板检查装置动作的说明图。
图5是表示该基板检查装置动作的说明图。
图6是表示该基板检查装置动作的说明图。
下面，参照附图说明本发明的实施例。
(第1实施例)
图1A是表示采用本发明一实施例之平行机械装置的基板检查 装置的立体图，图1B是表示基板座24的平面图，该基板座24用 于保持作为被检体的被检查基板W。图1中，1是由矩形状框体构成 的基台，在其边部1a(该边部1a与检查者位于的装置前面对应)的 中央部，形成预定长度的凹部101，另外，在与装置两侧面对应的 边部1b，形成朝着装置前面渐渐增高的倾斜部102、103。
另外，沿着基台1的凹部101，配置着作为移动通路的导轨2， 设有可沿着该导轨2移动的促动器用移动台3，在该促动器用移动台 3上，通过摆动部4设置直动促动器5的基端部。
同样地，在基台1的倾斜部102、103上，沿着其上面配置 着作为移动通路的导轨6、7，设有可沿着这些导轨6、7移动的促 动器用移动台8、9，在这些促动器用移动台8、9上，分别通过摆 动部10、11设置直动促动器12、13的基端部。
摆动部4、10、11，分别是绕旋转轴4a、10a、11a以 一个自由度旋转的接头。摆动部4的旋转轴4a，平行于导轨2的轴方 向。摆动部10、11的旋转轴10a、11a，平行于水平面，并且 相对于导轨6、7的水平面投影线以角度θ朝内侧倾。本实施例中θ 是约15度，该值可根据所需的动作范围等作设计变更。
如图2所示，促动器用移动台3沿着导轨2可移动地支承着，通 过固定螺丝部15，与沿着该导轨2配置的螺杆轴14连接，当马达 16使螺杆轴14旋转时，通过固定螺丝部15沿着导轨2往复移动。
该构造对于促动器用移动台8、9也是同样的，援用上述图2， 其说明从略。
如图3所示，直动促动器5，沿着固定筒体17的中空部，并 排设有导引件18和螺杆轴19，在螺杆轴19上通过固定螺丝部2 0设有作动轴21，马达22通过齿轮231使螺杆轴19旋转时， 使固定螺丝部20沿着导引件18往复移动，这样，使作动轴21直 动动作。
该构造对于直动促动器12、13也是同样的，援用上述图3， 其说明从略。
在直动促动器5、12、13的作动轴21的前端部，通过球 接头等的万向连接机构21a，连接着作为可动部件的、由矩形状的 框体构成的载物台支承部23。
载物台支承部23，在与装置前面对应的边部23a的中央， 连接着直动促动器5的作动轴21；在与装置侧面对应的边部23b 上，形成彼此相向的、朝垂直方向伸出的伸出部23a1、23b1。 直动促动器12、13的作动轴21连接在这些伸出部23a1、2 3b1上。在这些伸出部23a1、23b1之间，支承着可转动的基 板座24。在伸出部23a1、23b1上，设有旋转驱动部25。旋 转驱动部25将基板座24可转动地支承着。
基板座24用于载置被检查基板W，备有与被检查基板W的周 缘相向的框体24a、和设有该框体24a上的若干吸附口24b。在 各吸附口24b，作用着由图未示真空泵产生的真空吸引力，将被检 查基板W吸附保持着。图中的24c表示开口部。
下面说明该构造的实施例的动作。接受被检查基板W时，如图 4所示，使直动促动器12、13的各促动器用移动台8、9，位于 倾斜部102、103的最低部，并且驱动旋转驱动部25，将基板 座24保持为水平状态。
然后，协调控制直动促动器5、12、13的伸缩，使载物台 支承部23移动到被检查基板W的运入待机位置，把被检查基板W载 置到以水平状态待机着的基板座24上。
基板座24把接受的被检查基板W排列在正常位置，并且，用 吸附口24b的真空吸引，将被检查基板W吸附保持住。
接着，如图5所示，使直动促动器12、13的各促动器用移 动台8、9沿着倾斜部102、103移动。这时，促动器用移动台 8、9，沿着导轨6、7朝装置前面方向移动。
如图6所示，使促动器用移动台8、9移动到倾斜部102、 103的预定高度位置时，再次协调控制直动促动器5、12、13 的伸缩，将基板座24设定在最适合于目视观察被检查基板W的高 度。
在该状态，将照明光照射到基板座24上的被检查基板W的表 面。然后，驱动旋转驱动部25，使基板座24从水平状态倾斜到最 适于目视观察的预定角度，利用被检查基板W表面的反射光，用目视 宏观地观察被检查基板W表面的膜厚不均匀和损伤等，进行外观检 查。
另外，也可以一边使直动促动器12、13沿着倾斜部102、 103移动，一边协调控制各直动促动器5、12、13的伸缩，使 基板座24向前后左右摆动，这样，可从多方面一边目视基板座24， 一边进行宏观检查。
另外，最近也要求对被检查基板W背面进行检查。这是因为如 果污物或水分附着在被检查基板W的背面，则在划片时断面上容易产 生裂缝，或者在划片后把芯片粘接到基板上时会产生粘接不良，使成 品不合格率增大。为了满足上述要求，在把被检查基板W吸附保持在 基板座24上的状态，用旋转驱动部25使基板座24旋转180 °，使被检查基板W的背面朝向装置前面，这样，与上述同样地，可 用目视对被检查基板W的背面进行宏观检查。
因此，这样，使直动促动器12、13沿着形成在基台1的边 部1b上的倾斜部102、103移动，可以使保持着被检查基板W 的基板座24，移动到检查者的眼睛附近，并且，协调地进行各直动 促动器5、12、13的伸缩，可以使基板座24与载物台支承部2
3一起前后左右地运动，因此，可以对准进行宏观观察的照明，然后 高精度地进行目视检查。
另外，为了使检查者容易地进行被检查基板W的检查，最好将 基板座24尽量靠前并提高。为此，曾采用过加长直动促动器12、 13的伸缩行程的方法，但是该方法使装置的刚性降低，同时装置的 重心增高，稳定性降低。
而本发明的基板检查装置中，由于倾斜部102、103朝着 跟前侧增高地倾斜，所以，使直动促动器12、3的基端部移动到跟 前侧时，不必加长伸缩行程，可将基板座24定位在高的位置，可确 保稳定性。
另一方面，检查者从装置跟前侧观察被检查基板W时，如果在 跟前侧有妨碍观察的部件、例如有直动促动器时，则会影响观察。而 本基板装置中，跟前侧的直动促动器5的支点，安装在载物台支承部 23的底部附近，所以，不妨碍观察。另外，两侧的直动促动器12、 13由于配置在后方，所以，也不妨碍观察。
用旋转驱动部25，使保持着被检查基板W的基板座24旋转， 可将被检查基板W倾斜到观察者容易观察的角度，进行宏观检查。另 外，进一步使基板座24旋转，可将被检查基板W的背面朝向装置前 面，所以，对被检查基板W的背面也可进行高精度的宏观检查。
即，通过使旋转驱动部25作动，使基板座24在载物台支承 部23上旋转，与仅用平行机械装置将被检查基板W翻转时相比，不 必加长直动促动器5、12、13的伸缩行程，可使装置小型化、简 单化。
产业上的可使用性
本发明的平行机械装置及检查装置，可实现自由度高的、以高 速在广范围内的动作，适用于平行机械装置的技术领域、以及适用于 采用该平行机械装置的高精度检查装置。