吸持薄板状磁体的磁体吸持装置及包括该装置的输送装置 |
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| 申请号 | CN201710441334.6 | 申请日 | 2017-06-13 | 公开(公告)号 | CN107499934A | 公开(公告)日 | 2017-12-22 |
| 申请人 | 崔泰光; | 发明人 | 崔泰光; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及一种吸持薄板状磁体的磁体吸持装置及包括该装置的输送装置。本发明的一 实施例 的磁体吸持装置包括：至少一个永磁 铁 ；作为铁磁体的多个极片，被配置为形成将所述永 磁铁 引起的磁通循环在内部的磁路；线圈，缠绕于所述多个极片中的至少一个；及控制装置，用于控制被施加到所述线圈上的 电流 ，所述极片具有至少两个吸持面，所述控制装置控制被施加到所述线圈上的电流，以使来自所述永磁铁的磁通循环在内部，或者将该磁通发散至所述吸持面，从而将作为磁体的 吸附 对象吸持在所述吸持面，或者从所述吸持面解除所述吸附对象，其中，所述吸附对象具有板形状，具有吸持面的所述多个极片被形成为平均厚度比所述吸持面的宽度大。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种用于吸持板状磁体的磁体吸持装置，包括：至少一个永磁铁；作为铁磁体的多个极片，被配置为形成将所述永磁铁引起的磁通循环在内部的磁路；线圈，缠绕于所述多个极片中的至少一个；及控制装置，用于控制被施加到所述线圈上的电流，所述极片具有至少两个吸持面，所述控制装置控制被施加到所述线圈上的电流，以使来自所述永磁铁的磁通循环在内部，或者将该磁通发散至所述吸持面，从而将作为磁体的吸附对象吸持在所述吸持面，或者从所述吸持面解除所述吸附对象，其中， |
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| 说明书全文 | 吸持薄板状磁体的磁体吸持装置及包括该装置的输送装置技术领域[0001] 本发明涉及一种磁体吸持装置及输送装置，更为详细地涉及一种具有有效地吸持薄板状磁体的结构的磁体吸持装置及包括该装置且用于夹持并输送薄板状非磁体的输送装置。 背景技术[0002] 永磁铁工件夹持装置(permanent magnet workholding device)等磁体吸持装置是用于通过磁力来吸附由铁等磁性物质(magnetic material)构成的吸附对象的装置，如今广泛用作在挤压成型机的模具夹具、加压机的模具夹具、车床的夹盘等上吸附的内部装置等。 [0003] 这种磁体吸持装置基本上采用永磁铁的强磁力，将作为磁体的吸附对象吸附到吸持面上，在解除时，控制来自永磁铁的磁通，以免在吸持面上形成磁通，从而使吸附对象脱离吸持面。 [0004] 图1a至图1c为以往的磁体吸持装置100的剖视示意图。 [0005] 参见图1a至图1c，以往的磁体吸持装置100包括永磁铁110、N极片120、S极片130、连接极片140、线圈150及控制装置(未图示)。 [0006] N极片120与永磁铁110的N极接触，且具有吸持面121，并由铁等铁磁体构成。S极片130与永磁铁110的S极接触，且具有吸持面131，并由铁等铁磁体构成。连接极片140同时与N极片120及S极片130接触，以使N极片120和S极片130磁性连接，连接极片140由铁等铁磁体构成。 [0007] 参见图1a，当未对线圈150施加电流时，永磁铁110引起的磁通通过N极片120、连接极片140及S极片130，形成为虚线所示的磁通。在这种情况下，不会形成通过吸持面121、131的磁通，因此不能吸持吸附对象1。 [0008] 如图1b所示，当控制装置对线圈150施加电流，以免形成内部磁通时，在内部形成的磁通变弱，由此通过吸持面121、131的磁通变强，吸持面121、131能够吸持吸附对象1。此时，即使去除施加于线圈150的电流，也会保持形成为如虚线所示通过N极片120、吸附对象1及S极片130而形成的磁通。 [0009] 为了从吸持面121、131解除吸附对象1，如图1c所示对线圈150施加电流即可。此时，通过控制装置施加于线圈150的电流的方向与图1b相反。由于通过线圈150形成的磁场，图1b的虚线所示的磁通变弱，来自永磁铁110的磁通在内部循环。此时，即使不对线圈150施加电流，也会保持在内部循环的磁通。 [0010] 如此，通过控制装置控制施加于线圈150的电流，实现吸附对象1的吸持及解除。 [0012] 然而，公开这种磁体吸持装置的在先文献尚未公开对具有薄板形状的吸附对象进行吸持或解除的最佳结构。 [0013] 专利文献1：韩国专利KR10-1319052B 发明内容[0014] 本发明所要解决的技术课题是提供一种磁体吸持装置及输送装置。该磁体吸持装置具有有效地吸持薄板状磁体的结构，该输送装置包括该磁体吸持装置且用于夹持并输送薄板状非磁体。 [0015] 本发明的课题不限于上述课题，本领域技术人员可通过以下的记载能够清楚理解尚未提到的其他课题。 [0016] 本发明的一实施例的磁体吸持装置包括：至少一个永磁铁；作为铁磁体的多个极片，被配置为形成将所述永磁铁引起的磁通循环在内部的磁路；线圈，缠绕于所述多个极片中的至少一个；及控制装置，用于控制被施加到所述线圈上的电流，所述极片具有至少两个吸持面，所述控制装置控制被施加到所述线圈上的电流，以使来自所述永磁铁的磁通循环在内部，或者将该磁通发散至所述吸持面，从而将作为磁体的吸附对象吸持在所述吸持面，或者从所述吸持面解除所述吸附对象，其中，所述吸附对象具有板形状，具有吸持面的所述多个极片被形成为平均厚度比所述吸持面的宽度大。 [0017] 根据本发明的另一特征，所述吸持面的宽度为所述吸附对象的厚度的五倍以下。 [0018] 根据本发明的又一特征，具有吸持面的所述多个极片具有厚度减薄部，所述厚度减薄部越靠近所述吸持面，所述厚度减薄部的厚度越小。 [0019] 根据本发明的又一特征，所述厚度减薄部具有阶梯形状。 [0020] 根据本发明的又一特征，所述厚度减薄部被形成为厚度逐渐减小。 [0021] 根据本发明的又一特征，所述厚度减薄部与所述吸持面相邻。 [0022] 根据本发明的又一特征，所述吸持面之间的间隔比所述多个极片中与所述永磁铁接触的部分之间的间隔小。 [0023] 根据本发明的又一特征，所述多个极片包括：具有吸持面且与所述永磁铁的N极接触的N极片；具有吸持面且与所述永磁铁的S极接触的S极片；以及与所述N极片及所述S极片接触的连接极片，由此所述多个极片构成磁路。 [0024] 根据本发明的又一特征，所述多个极片包括：具有吸持面且与所述永磁铁的N极接触的N极片；具有吸持面且与所述永磁铁的S极接触的S极片；以及将所述N极片和所述S极片彼此磁性连接的连接极片，由此所述多个极片构成磁路，所述连接极片与所述N极片及所述S极片中的至少一个隔开配置，从而形成间隙。 [0025] 根据本发明的又一特征，所述多个极片包括：具有吸持面且与所述永磁铁的N极接触的N极片；具有吸持面且与所述永磁铁的S极接触的S极片；被构造为能够在第一位置和第二位置之间移动的连接极片，所述第一位置为与所述N极片及所述S极片均磁性接触的位置，所述第二位置为与所述N极片及所述S极片均磁性隔开的位置，由此所述多个极片构成磁路。 [0026] 根据本发明的又一特征，所述多个极片包括：形成有第一面和第二面且与所述永磁铁的N极接触的N极片；形成有第一面和第二面且与所述永磁铁的S极接触的S极片；形成有第一面和第二面的第一外侧极片；形成有第一面和第二面的第二外侧极片；以及形成有第一面和第二面的连接极片，所述N极片的第一面与所述连接极片的第一面相对，所述S极片的第一面与所述连接极片的第二面相对，所述N极片的第二面与所述第一外侧极片的第一面相对，所述S极片的第二面与所述第二外侧极片的第一面相对，所述N极片、所述S极片及所述永磁铁构成极片组件，所述极片组件被构造为能够在第一位置和第二位置之间移动，所述第一位置为所述连接极片的第一面及第二面分别与所述N极片的第一面及所述S极片的第一面磁性隔开、并且所述N极片的第二面和所述S极片的第二面分别与所述第一外侧极片的第一面和所述第二外侧极片的第一面磁性接触的位置；所述第二位置为所述连接极片的第一面及第二面分别与所述N极片的第一面及所述S极片的第一面磁性接触、并且所述N极片的第二面及所述S极片的第二面分别与所述第一外侧极片的第一面及所述第二外侧极片的第一面磁性隔开的位置。 [0027] 根据本发明的又一特征，进一步包括永磁铁，所述永磁铁的N极与所述第二外侧极片接触，所述永磁铁的S极与所述第一外侧极片接触。 [0028] 根据本发明的又一特征，在所述N极片和所述连接极片之间、以及在所述S极片和所述连接极片之间均形成有所述间隙。 [0029] 根据本发明的又一特征，所述永磁铁与所述连接极片相邻配置，所述线圈与多个所述吸持面相邻配置。 [0030] 根据本发明的又一特征，所述N极片和所述连接极片之间、以及所述S极片和所述连接极片之间中的至少一个中设置有弹性体。 [0031] 根据本发明的又一特征，所述N极片和所述连接极片之间、所述S极片和所述连接极片之间、所述N极片和所述第一外侧极片之间、以及所述S极片和所述第二外侧极片之间中的至少一个中设置有弹性体。 [0032] 本发明的一实施例的输送装置为用于输送具有板形状且为非磁体的输送对象的输送装置。所述输送装置包括：具有上述结构的第一磁体吸持装置；具有上述结构的第二磁体吸持装置；及作为铁磁体的介质板。所述第一磁体吸持装置及所述第二磁体吸持装置被配置为所述第一磁体吸持装置的吸持面和所述第二磁体吸持装置的吸持面彼此相对，所述输送装置执行以下操作：控制所述第二磁体吸持装置，以使所述第二磁体吸持装置的吸持面吸持所述介质板，并且控制所述第一磁体吸持装置和所述第二磁体吸持装置隔开配置；控制所述第一磁体吸持装置及所述第二磁体吸持装置中的至少一个移动，以使所述第一磁体吸持装置位于靠近所述介质板处，控制所述第二磁体吸持装置解除所述介质板，控制所述第一磁体吸持装置吸持所述介质板；控制所述第一磁体吸持装置及所述第二磁体吸持装置中的至少一个移动，从而在所述介质板和所述第二磁体吸持装置之间产生装载空间；控制所述输送对象被装载于所述装载空间；控制所述第一磁体吸持装置及所述第二磁体吸持装置中的至少一个移动，以使所述介质板靠近所述输送对象，所述第二磁体吸持装置靠近所述输送对象；控制所述第二磁体吸持装置吸持所述介质板，控制所述第一磁体吸持装置解除所述介质板；控制所述第二磁体吸持装置被输送。 [0033] 本发明的另一实施例的输送装置为用于输送具有板形状且为非磁体的输送对象的输送装置。所述输送装置包括：具有上述结构的磁体吸持装置；被构造为能够带磁性的夹盘；及作为铁磁体的介质板。所述输送装置执行以下操作：控制所述夹盘夹持所述介质板，并且控制所述磁体吸持装置和所述夹盘隔开配置；控制所述磁体吸持装置及所述夹盘中的至少一个移动，以使所述磁体吸持装置位于靠近所述介质板处，控制所述磁体吸持装置夹持所述介质板；控制所述磁体吸持装置及所述夹盘中的至少一个移动，从而在所述介质板和所述夹盘之间产生装载空间；控制所述输送对象被装载于所述装载空间；控制所述磁体吸持装置及所述夹盘中的至少一个移动，以使所述介质板靠近所述输送对象，所述夹盘靠近所述输送对象；随着控制所述磁体吸持装置解除所述介质板，所述夹盘吸持所述介质板及所述输送对象；控制所述夹盘被输送。 [0034] 根据本发明的另一特征，所述夹盘包括：永磁铁；与所述永磁铁的N极接触且具有吸持面并由铁磁体构成的N极片；以及与所述永磁铁的S极接触且具有吸持面并由铁磁体构成的S极片，所述第一磁体吸持装置及所述夹盘被配置为所述磁体吸持装置的吸持面和所述夹盘的吸持面相对，所述磁体吸持装置被设定为具有比所述夹盘的吸持力大的吸持力。 [0035] 根据本发明的又一特征，所述夹盘为电磁铁装置。 [0037] 图1a至图1c为以往的磁体吸持装置的剖视示意图。 [0038] 图2a至图2c为本发明的第一实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。并且，图2d为用于说明其他形式的厚度减薄部的剖视图。此外，图2e为用于说明其他形式的永磁铁的配置及厚度减薄部的剖视图。 [0039] 图3a至图3c为本发明的第二实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。并且，图3d为用于说明其他形式的间隙配置的剖视图。 [0040] 图4a至图4c为本发明的第三实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。 [0041] 图5a至图5d为本发明的第四实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。并且，图5e为仅改变图5a至图5d所示磁体吸持装置中线圈配置后的变形例。 [0042] 图6a至图6d为本发明的第五实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。 [0043] 图7为用于说明使用本发明的一实施例的输送装置输送作为非磁体的板状输送对象的过程的图。 [0044] 图8为用于说明使用本发明的另一实施例的输送装置输送作为非磁体的板状输送对象的过程的图。 具体实施方式[0045] 参见附图及详细后述的实施例，应能清楚理解本发明的优点和特征、以及用于实现这些优点和特征的方法。但是，本发明并不局限于以下公开的实施例，可由各种不同的形式实现。本实施例只是用于完整地公开本发明，且为了向本领域技术人员完整地告知发明的范畴而提供的，本发明应由权利要求的范畴来定义。 [0046] 所谓元件(elements)或层在另一元件或层的“上侧(on)”，包括该元件(elements)或层设置在该另一元件或层的正上方的情况和中间设置有其他层或其他元件的情况。 [0047] 虽然第一、第二等表述用于描述不同的结构要素，但毋庸置疑这些结构要素并不受限于这些用语。这些用语只是为了将一个结构要素与另一结构要素区分而使用。因此，下面提到的第一结构要素在本发明的技术思想内当然也可以是第二结构要素。 [0049] 图中表示的各结构的大小及厚度是为了便于说明而表示的，本发明并不局限于所表示的结构的大小及厚度。 [0050] 本发明的多个实施例的每一个特征可部分或全部彼此结合或组合，如本领域技术人员能够充分理解，在技术上可进行多种联动及驱动，各实施例可以彼此独立地实施，也可以通过关联关系来一起实施。 [0051] 1、磁体吸持装置 [0052] 首先，通过多种实施例说明用于吸持板状磁体的磁体吸持装置的结构。 [0053] 本发明的磁体吸持装置也可以基本上无限制地采用本申请人曾经提出专利申请的在先发明的结构。具体来说，可使用韩国专利第10-1130218号、第10-1319052号、第10-1430383号、第10-1427066号、第10-1553168号、第10-1498864号或第10-1512610号的结构来构造本发明的磁体吸持装置。 [0054] 这种磁体吸持装置共同包括：至少一个永磁铁；作为铁磁体的多个极片，被配置为形成将永磁铁引起的磁通循环在内部的磁路；线圈，缠绕于所述多个极片中的至少一个；及控制装置，用于控制施加到该线圈上的电流。这种极片具有至少两个吸持面，控制装置控制施加到所述线圈上的电流，以使来自永磁铁的磁通循环在内部，或者将该磁通发散至吸持面，从而将作为磁体的吸附对象吸持在吸持面，或者从吸持面解除吸附对象。 [0055] 这种磁体吸持装置可以有多种实施方式，在上面提到的专利中公开有这种实施方式。具有在这种专利中公开的实施方式的磁体吸持装置在开发时未将吸附对象限定为特殊形状，这些发明的发明人(即申请人)发现了当吸附对象为板状时在特殊条件下表现出最佳性能。 [0056] 下面，分实施方式详细说明适于板状吸附对象的吸持及解除的磁体吸持装置的结构。 [0057] 首先，参照图2a至图2e说明本发明的第一实施例的磁体吸持装置。 [0058] 图2a至图2c为本发明的第一实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。并且，图2d为用于说明其他形式的厚度减薄部的剖视图。并且，图2e为用于说明其他形式的永磁铁的配置及厚度减薄部的剖视图。 [0059] 参见图2a至图2c，本实施例的磁体吸持装置1000包括永磁铁1100、N极片1200、S极片1300、连接极片1400、线圈1500及控制装置(未图示)。 [0060] N极片1200与永磁铁1100的N极接触，且具有吸持面1201，并由铁等铁磁体构成。S极片1300与永磁铁1100的S极接触，且具有吸持面1301，并由铁等铁磁体构成。连接极片1400与N极片1200及S极片1300均接触，以将N极片1200及S极片1300磁性连接，并由铁等铁磁体构成。 [0061] 在本实施例中例示出N极片1200、S极片1300及连接极片1400由独立的部件构成，但也可形成为一体。 [0062] N极片1200具有厚度减薄部1210，所述厚度减薄部1210越靠近吸持面1201方向(在图2a中为下侧方向)，厚度越小。由此，吸持面1201的宽度小于N极片1200的基本厚度或平均厚度。 [0063] S极片1300具有厚度减薄部1310，所述厚度减薄部1310越靠近吸持面1301方向(在图2a中为下侧方向)，厚度越小。由此，吸持面1301的宽度被设定为小于S极片1300的基本厚度或平均厚度。 [0064] 本发明的发明人发现吸持面1201、1301的宽度优选形成为作为吸附对象的板2的厚度的五倍以下。例如，当板2的厚度为0.4mm时，优选吸持面1201、1301的宽度为2mm以下，当板2的厚度为0.6mm时，优选吸持面1201、1301的宽度为3mm以下，当板2的厚度为0.8mm时，优选吸持面1201、1301的宽度为4mm以下，当板2的厚度为1mm时，优选吸持面1201、1301的宽度为5mm以下。 [0065] 若吸持面1201、1301的宽度大于板2的厚度的五倍，则能看出吸持力急剧下降。 [0066] 厚度减薄部1210、1310也可以如本实施例所示形成为与吸持面1201、1301隔开且逐渐减小，但也可以如图2d的(a)所示形成为与吸持面1201、1301相邻，也可以如图2d的(b)所示形成为具有阶梯形状。 [0067] 在如图2d的(a)所示形成厚度减薄部1210'、1310'的情况下，可以看出与吸持面1201、1301的宽度等于N极片1200及S极片1300的平均厚度的情况(参见图1a至图1c)相比，吸持力大约增加10～20％。可以理解在厚度较薄的板的情况下，磁通集中在较小吸持面上才能使磁力无损失地流过板2而增加吸持力。 [0068] 而且，在如本实施例及图2d的(b)那样形成厚度减薄部1210”、1310”的情况下，与如图2d的(a)形成厚度减薄部1210'、1310'的情况相比，吸持力大约增加10～20％。认为这是因为厚度减薄部1210'、1310'的外侧面与板2之间的距离较近，从而吸持力分散而引起的。 [0069] 在将吸持的板2解除时，需要将通过吸持面1201、1301的磁通的方向转换到磁体吸持装置1000的内部，而在与本实施例及图2d的(a)那样厚度逐渐减小的情况下，能够顺利排出磁通，因此解除速度快。相反，在图2d的(b)的情况下，与本实施例及图2d的(a)的情况相比，解除速度有所慢。 [0070] 因此，对于吸持及解除，如本实施例那样形成厚度减薄部1210、1310最有利，但可以考虑设计时要求的条件等来确定厚度减薄部的形状及位置。 [0071] 此外，优选如本实施例那样永磁铁1100被形成为其与N极片1200接触的至少一部分表面与厚度减薄部1210相对。与此同样地，优选永磁铁1100被形成为其与S极片1300接触的至少一部分表面与厚度减薄部1310相对。用这种方式配置永磁铁1100及厚度减薄部1210、1310能够易于转换吸持及解除。 [0072] 线圈1500被缠绕于N极片1200、S极片1300及连接极片1400中的至少一个。若如本实施例，线圈1500在永磁铁1100和连接极片1400之间与N极相邻配置则适于控制磁通，因此优选，但并不限于此，线圈1500也可以配置在极片1200、1300、1400的任何部分。 [0073] 参见图2a，在未对线圈1500施加电流的情况下，永磁铁1100引起的磁通通过N极片1200、连接极片1400及S极片1300，形成为虚线所示状。在这种情况下，不会形成通过吸持面 1201、1301的磁通，因此不能吸持板2。 [0074] 如图2b所示，当控制装置对线圈1500施加电流以免形成内部磁通时，在内部形成的磁通变弱，随之，通过吸持面1201、1310的磁通变强，吸持面1201、1301能够吸持板2。此时，即使去除施加于线圈1500的电流，也会保持如虚线所示通过N极片1200、板2及S极片1300而形成的磁通。 [0075] 此时，来自永磁铁1100的磁通集中到较小吸持面1201、1301上，每单位面积提供较大吸持力，并且吸持面1201、1301的宽度值为板2的厚度的五倍以下，从而这种磁通能够完整地通过板2。由此，能够牢固地吸持具有较薄板形状的吸附对象。 [0076] 为了解除作为吸附对象的板2，如图2c所示对线圈1500施加电流即可。此时，通过控制装置对线圈1500施加的电流方向与图2b相反。通过由线圈1500形成的磁场，图2b中虚线所示的磁通变弱，来自永磁铁1100的磁通在内部循环。此时，即使不对线圈1500施加电流，也会保持在内部循环的磁通。 [0077] 参见图2e，也可以配置为永磁铁1100靠近连接极片1400，并且线圈1500靠近吸持面1201。若改变永磁铁1100的配置，则能调节板2的吸持及解除特性。 [0078] 例如，在如图2a至图2c所示配置永磁铁1100的情况下，永磁铁1100位于靠近板2处，从而加强吸持力，但可能会有损解除特性。即，在解除时需要更大电流，或者即使解除，产生较大残磁的可能性更大。 [0079] 相反，在如图2e所示配置永磁铁1100的情况下，永磁铁1100远离板2，从而相对减弱吸持力，但解除特性良好。即，使用更小的电流即能进行解除，在解除后形成较弱残磁的可能性更大。 [0080] 因此，在需要较强吸持力但在解除时允许存在残磁的情况下，选择图2a至图2c所示的永磁铁1100的配置；在无需较大吸持力但需要将残磁最小化的情况下，选择图2e所示的永磁铁1100的配置即可。 [0081] 此外，在图2e中公开的极片1200、1300的结构如下：吸持面1201、1301的宽度L1形成为小于极片1200、1300的基本厚度L2或平均厚度，并且吸持面1201、1301之间的间隔L4小于极片中的与永磁铁1100接触的部分之间的间隔L3。当具有这种结构时，极片1200、1300之间的平均间隔较宽，吸持面1201、1301之间的间隔较窄，用于吸持板2的磁通能够集中到吸持面1201、1301上。由此，能够将永磁铁1100引起的磁力有效地集中到板2上，从而加强吸持力。 [0082] 需要注意的是，图2d及图2e中的这种结构可以不受限制地应用到下面描述的实施例。 [0083] 图3a至图3c为本发明的第二实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。并且，图3d为用于说明其他形式的间隙配置的剖视图。 [0084] 参见图3a至图3c，本实施例的磁体吸持装置2000包括永磁铁2100、N极片2200、S极片2300、连接极片2400、线圈2500和控制装置(未图示)。 [0085] 在本实施例的磁体吸持装置2000中，永磁铁2100、N极片2200、S极片2300、线圈2500及控制装置分别与图2a至图2c中的永磁铁1100、N极片1200、S极片1300、线圈1500及控制装置相同，因此省略详细说明。 [0086] 在本实施例中，连接极片2400不直接与N极片2200接触，而与N极片2200隔开而形成间隙(gap，G)。当然，与此不同地，连接极片2400也可以与S极片2300形成间隙。此外，如图3d所示，也可以在连接极片2400和N极片2200之间、以及连接极片2400和S极片2300之间均形成有间隙G。 [0087] 间隙G的大小必须设定为能够形成通过间隙G的磁通的大小。若间隙G增加到两倍，通过间隙G的磁通强度减小至1/4。考虑到这一点，可以适当选择间隙G的大小，例如，间隙G可以设定为0.2mm、0.5mm、0.8mm或1mm等不同的大小。 [0089] 参见图3a，即使不对线圈2500施加电流，也能形成通过间隙G并在内部循环的磁通。但是，有可能形成比图3a中形成的磁通弱的内循环磁通，并且部分磁通流过吸持面2201、2301，从而在吸持面2201、2301上形成某种程度的残磁。此时，为了消除这种残磁，对线圈2500施加图3c所示方向的些许电流即可。 [0090] 当如图3b所示对线圈2500施加电流时，以与前述内容相同的原理，形成通过板2的磁通，从而吸持板2。此时，由于形成有间隙G，因此通过比图2b中的电流小的电流也能消除内循环磁通。因此，可通过比前述第一实施例中的电流更小的电流，在短时间内实现吸持。 [0091] 可通过如图3c所示对线圈2500施加电流来解除吸持。在进行解除时，由于存在间隙G，因此需要比第一实施例中的电流更大的电流。 [0092] 关于适合板2的厚度减薄部2210、2310的形状及配置等，在第一实施例中已经进行了说明，因此省略该说明。如第一实施例中的说明，厚度减薄部当然可以采用图2d中的厚度减薄部1210'、1310'、1210”、1310”。 [0093] 图3d为例示出多种间隙及永磁铁的配置的剖视图。 [0094] 图3d的(a)为只有永磁铁的配置与图3a至图3c中的磁体吸持装置2000的结构不同的磁体吸持装置2000'的剖视图，图3d的(b)为所具有的间隙G比图3d的(a)中的磁体吸持装置2000'的间隙G大两倍的磁体吸持装置2000”的剖视图，图3d的(c)为具有一对间隙G的磁体吸持装置2000”'的剖视图。 [0095] 发明人对每个磁体吸持装置2000'、2000”、2000”'的其他条件固定为相同的条件，并且改变间隙G的配置及宽度而进行了实验。将磁体吸持装置2000'的间隙G的大小设定为1.5mm，将磁体吸持装置2000”的间隙G的大小设定为2.0mm，将磁体吸持装置2000”'的间隙G的大小设定为1.0mm。 [0096] 在对线圈2500根本没有施加电流的情况下，由于磁体吸持装置2000”的间隙G比磁体吸持装置2000'的间隙G大，因此具有约大3％的吸持力。所测量的磁体吸持装置2000”'的吸持力明显大，磁体吸持装置2000”'的吸持力比磁体吸持装置2000”的吸持力约大11％。 [0097] 在如图3a所示进行解除后未对线圈2500施加电流的情况下，因残磁而存在的残余力相对于吸持力的比率被测量如下：在磁体吸持装置2000'中为37％，在磁体吸持装置2000”中为44％，在磁体吸持装置2000”中'为46％。即可知，间隙G越大或越多，因残磁而存在的残余力越大。 [0098] 这可能是缺点，但可通过对线圈2500施加消除这种残磁的方向的电流来减小残余力。例如，若施加某种程度的图3c所示方向的电流，则能减小残磁。为了减小残磁而对线圈2500施加具有相同电压及电流值的电流时，磁体吸持装置2000'、2000”、2000”'的残余力分别被测量为6％、5％、5％，没有多大的区别。 [0099] 综合判断则如下：磁体吸持装置2000”'的吸持力最强，而在解除时为了消除残磁，即使施加小电流，也能有效地将残磁减小至5％左右，因此表现出最优异的性能。 [0100] 另外，图3d示出与图3a至图3c不同地在间隙G中设置有由非磁性物质构成的间隔物2001。通过这种间隔物2001，不仅能够提高各极片2200、2300、2400之间的结合力，还能将间隙G的大小保持一定。 [0101] 如此，可用多种方式设定永磁铁2100的配置、线圈2500的配置及间隙G的配置等，这根据板2的厚度、所要求的磁体吸持装置的大小等适当选择即可。 [0102] 图4a至图4c为本发明的第三实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。 [0103] 参见图4a至图4c，本实施例的磁体吸持装置3000包括永磁铁3100、N极片3200、S极片3300、连接极片3400、线圈3500和控制装置(未图示)。 [0104] 在本实施例的磁体吸持装置3000中，永磁铁3100、N极片3200、S极片3300、线圈3500及控制装置分别与图2a至图2c中的永磁铁1100、N极片1200、S极片1300、线圈1500及控制装置相同，因此省略详细说明。 [0105] 在本实施例的磁体吸持装置3000中，连接极片3400被构造为能够在第一位置和第二位置之间移动。其中，第一位置为连接极片3400与N极片3200及S极片3300均磁性接触的位置；第二位置为连接极片3400与N极片3200及S极片3300均磁性隔开的位置。 [0106] 其中，“磁性接触”的含义包括如图4a及图4c所示直接接触而磁性连接的情况，也包括虽然没有直接接触但两者之间设置有橡胶材质的弹性体(缓冲件)而接触的情况。即，即使极片之间彼此隔开，极片之间的引力为彼此接触时的例如80％以上(也可以是90％以上或70％以上等)时，也可以视作磁性接触。 [0107] 此外，“磁性隔开”的含义为隔开得彼此之间不会有大的引力作用。例如，极片之间隔开时的引力例如为彼此接触时的引力的10％以下(也可以是20％以上或5％以上等)时可以视作磁性隔开。 [0108] 连接极片3400通过螺栓3410连接于N极片3200及S极片3300。螺栓3410的头部被卡在形成于连接极片3400上的沉孔(C-Bore)，从而限制隔开距离。 [0109] 此外，在连接极片3400和N极片3200之间、以及在连接极片3400和S极片3300之间设置有弹性件3420，该弹性件3420提供使连接极片3400和N极片3200/S极片3300彼此远离的弹力。弹性件3420可以采用弹簧。 [0110] 参见图4a，当连接极片3400位于第一位置时，来自永磁铁3100的磁通形成于磁体吸持装置3000的内部，从而吸持面3101、3201不能吸持板2。 [0111] 若要吸持板2，则如图4b所示对线圈3500施加电流即可。若如图4b所示对线圈3500施加电流，则在内部循环的磁通变弱，并通过弹性件3420的弹力，连接极片3400移到第二位置。若连接极片3400与N极片3200及S极片3300隔开，则能更加彻底阻断内循环磁通，在吸持面3201、3301上的吸持力会变得更强。 [0112] 若要解除板2，则如图4c所示对线圈3500施加电流即可。若如图4c所示对线圈3500施加电流，则在内部循环的磁通变强，若连接极片3500及N极片3200/S极片3300之间的引力大于弹性件3420的弹力，则连接极片3500移到第一位置。若连接极片3400与N极片3200及S极片3300接触，则内循环磁通形成为更强，在吸持面3201、3301上的残磁会变小。 [0113] 需要注意的是，本实施例的磁体吸持装置3000的结构可以无限制地使用韩国专利第10-1319052号中公开的磁体吸持装置的结构。 [0114] 关于适合板2的厚度减薄部3210、3310的形状及配置等，在第一实施例中已经进行了说明，因此省略该说明。如第一实施例中的说明，厚度减薄部当然可以采用图2d的厚度减薄部1210'、1310'、1210”、1310”。 [0115] 另外，虽然未图示，但在N极片3200和连接极片3400之间、以及/或在S极片3300和连接极片3400之间可设置有弹性体。弹性体可以使用橡胶、具有弹性的聚合物或弹簧等。通过设置弹性体，能够缓冲连接极片3400和各极片3200、3300之间的冲击，从而能够减少噪音，也有助于提高耐久性。 [0116] 图5a至图5d为本发明的第四实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。并且，图5e为只改变图5a至图5d所示磁体吸持装置中的线圈配置后的变形例。 [0117] 参见图5a至图5d，第四实施例的磁体吸持装置4000包括极片组件4100、第一外侧极片4200、第二外侧极片4300、连接极片4400、线圈4500和控制装置(未图示)。 [0118] 极片组件4100包括N极片4110、S极片4120和永磁铁4130。N极片4110为铁等铁磁体，且具有第一面4111及第二面4112。此外，S极片4120为铁等铁磁体，且具有第一面4121及第二面4122。永磁铁4130被配置为其N极与N极片4110接触，其S极与S极片4120接触。 [0119] 极片组件4100被构造为在后述的第一外侧极片4200及第二外侧极片4300和连接极片4400之间移动，因此优选具有至少一个固定装置4101以将N极片4110和S极片4120彼此固定。固定装置4101优选由不影响磁通的非磁性材质或对磁通的影响较小的铝等顺磁体构成，并且优选为没有头部的无头螺栓，以将N极片4110和S极片4120所占的内部空间最小化。 [0120] 第一外侧极片4200具有第一面4201及第二面4202，且由铁等铁磁体构成。此外，第二外侧极片4300具有第一面4301及第二面4302，且由铁等铁磁体构成。此外，连接极片4400具有第一面4401及第二面4402，且由铁等铁磁体构成。 [0121] N极片4110的第一面4111与连接极片4400的第一面4401相对。S极片4120的第一面4121与连接极片4400的第二面4402相对。N极片4110的第二面4112与第一外侧极片4200的第一面4201相对。S极片4120的第二面4122与第二外侧极片4300的第一面4301相对。可通过以这种面之间相对的方式配置极片4110、4120、4200、4300、4400来提供磁通线路。 [0122] 极片组件4100被构造为能够在第一位置(图5a及图5b中的位置)和第二位置(图5c及图5d中的位置)之间移动。其中，第一位置表示连接极片4400的第一面4401及第二面4402与N极片4110的第一面4111及S极片4120的第一面4121分别磁性隔开、且N极片4110的第二面4112及S极片4120的第二面4122与第一外侧极片4200的第一面4201及第二外侧极片4300的第一面4301分别磁性接触的极片组件4100的位置。此外，第二位置表示连接极片4400的第一面4401及第二面4402与N极片4110的第一面4111及S极片4120的第一面4121分别磁性接触、且N极片4110的第二面4112及S极片4120的第二面4122与第一外侧极片4200的第一面4201及第二外侧极片4300的第一面4301分别磁性隔开的极片组件4100的位置。 [0123] 其中，“磁性接触”的含义包括如图5a至图5d所示直接接触而磁性连接的情况，也包括虽然没有直接接触但两者之间设置有橡胶材质的弹性体缓冲件而接触的情况。即，即使极片之间彼此隔开，极片之间的引力为彼此接触时的例如80％以上(也可以是90％以上或70％以上等)时，也可以视作磁性接触状态。 [0124] 此外，“磁性隔开”的含义为隔开得彼此之间不会有大的引力作用。例如，极片之间隔开时的引力例如为彼此接触时的引力的10％以下(也可以是20％以上或5％以上等)时可以视作磁性隔开。 [0125] 极片组件4100的移动可由多种方式来实现。例如如本实施例，可以采用贯穿极片组件4100的引导棒4001。引导棒4001优选由非磁体或顺磁体构成，以免影响磁通。除此之外，极片组件4100的移动还可以由轨道或直线导轨(linear guide)等公知的输送方法实现。 [0126] 线圈4500缠绕于N极片4110、S极片4120、第一外侧极片4200、第二外侧极片4300及连接极片4400中的至少一个。当对线圈4500供给电流时，会形成磁场，从而影响被线圈4500缠绕的极片4110、4120、4200、4300或4400的内部的磁通。 [0127] 线圈4500位于能够控制磁通且容易控制的位置。例如，如本实施例，可以隔着永磁铁4130，在N极片4110及S极片4120上分别配置有一个线圈4500。线圈4500的除此之外的配置将在后面描述。 [0128] 控制装置(未图示)控制施加到线圈4500上的电流的方向及强度。控制装置向线圈4500供给直流，从而在线圈4500的周边形成磁场。 [0129] 下面说明具有上述结构的磁体吸持装置4000的操作方法。 [0130] 参见图5a，当极片组件4100配置于第一位置时，因永磁铁4130，第一外侧极片4200的第二面4202及第二外侧极片4300的第二面4302磁化，在第二面4202、4302的外侧形成磁场。即，当磁体或永磁铁位于第二面4202、4302的外侧时会受到引力或斥力。例如，当极片组件4100处于图5a所示状态时，第二面4202、4302可以吸持作为铁等磁体的板2。在吸持板2的情况下，形成虚线所示的磁通(将图5a所示状态称作“施加磁场状态”，这与“吸持状态”相同)。 [0131] 若要将通过第一外侧极片4200的第二面4202及第二外侧极片4300的第二面4302形成的磁场最小化或消除，如图5b所示，控制装置对线圈4500施加电流即可。 [0132] 将施加于线圈4500的电流的方向设定为减小图5a中虚线所示的磁通、且将来自永磁铁4130的磁通引向连接极片4400。 [0133] 施加于线圈4500的电流强度越大，则图5a的虚线所示的磁通越小，在规定的电流强度下，几乎不存在朝向外侧极片4200、4300的磁通。在这种情况下，来自永磁铁4130的磁通朝向N极片4110的第一面4111及S极片4120的第一面4121，引力作用于N极片4110/S极片4120和连接极片4400之间。由此，极片组件4100移动至第二位置，并与连接极片4400接触。 [0134] 当极片组件4100和连接极片4400接触时，形成图5c的虚线所示的磁通。这种磁通在磁体吸持装置4000的内部循环，因此将其定义为内循环磁通。一旦形成该内循环磁通，永磁铁4130引起的磁通向磁体吸持装置4000外部的泄漏最小化。尤其是，虽然N极片4110的第二面4112及S极片4120的第二面4122可能会形成某种程度的残磁，但由于N极片4110及S极片4120与第一外侧极片4200及第二外侧极片4300分别隔开，因此第一外侧极片4200和第二外侧极片4300的第二面4202、4302上几乎不会形成残磁或为0(将图5c所示状态称作“未施加磁场状态”，这与“解除状态”相同)。 [0135] 若再次需要制造图5a所示的状态即施加磁场状态，则如图5d所示对线圈4500施加电流即可。此时，施加于线圈4500的电流的方向与在图5b中施加于线圈4500的电流的方向相反。当如图5d所示施加电流时，内循环磁通变弱，极片组件4100再次移到第一位置。由此，在第一外侧极片4200及第二外侧极片4300的第二面4202、4302的外侧形成磁场。 [0136] 如上所述，控制装置控制施加于线圈4500的电流，使得极片组件4100能够在第一位置和第二位置之间移动，由此将第一外侧极片4200及第二外侧极片4300的第二面4202、4302的外侧形成的磁场最大化或最小化(即，能够在施加磁场状态和未施加磁场状态之间转换)。 [0137] 此时，只有在转换施加磁场状态和未施加磁场状态之间时才需要对线圈4500施加电流，此时仅施加转换磁通路径程度的电流即可。在图5a所示的施加磁场状态和图5c所示的未施加磁场状态下，无需消耗任何电流，因此能够将耗电最小化。此外，在阻断对线圈4500施加电流的异常情况下，只是不会转换施加磁场状态和未施加磁场状态，而会保持现状，因此在安全性方面上也优异。 [0138] 另外，可由多种方式设定线圈4500的配置，如图5e的磁体吸持装置4000'所示，也可在第一外侧极片4200、第二外侧极片4300及连接极片4400上配置线圈4500。例如，也可以只配置一个线圈4500。当如图5e所示，线圈4500被配置为未缠绕极片组件4100的情况下，极片组件4100较轻而便于移动。 [0139] 如此，线圈4500优选包括：至少一个第一线圈，位于当极片组件4100处于图5c所示的第二位置时形成的内循环磁通的路径上；以及至少一个第二线圈，位于永磁铁4130和第一外侧极片4200的第二面4202之间、或者永磁铁4130和第二外侧极片4300的第二面4302之间。例如，在图5a至图5d的实施例中，第一线圈为缠绕于N极片4110的线圈，在图5e的实施例中，第一线圈为缠绕于连接极片4400的线圈。而且，在图5a至图5d的实施例中，第二线圈为缠绕于S极片4120的线圈，在图5e的实施例中，第二线圈为缠绕于第二外侧极片4300的线圈。 [0140] 除了例示的配置之外，线圈4500的配置还可设定为多种形式。线圈4500的数量越多，则用于转换施加磁场状态和未施加磁场状态的电流的大小会越小，并能减少线圈4500的匝数。然而，线圈4500的数量越多，则布线越复杂，所占空间有可能变大。因此，线圈4500的数量和配置应当按照能够转换施加磁场状态和未施加磁场状态、并且易于进行控制、能够将所占内部空间最小化的条件进行优化。这可以考虑永磁铁4130的数量和磁强、极片4110、4120、4200、4300、4400的厚度和长度等并通过实验确定。 [0141] 另外，与第一至第三实施例不同地，厚度减薄部4210、4310由第一外侧极片4200及第二外侧极片4300形成。关于适合板2的厚度减薄部4210、4310的形状及配置等在第一实施例中已经进行了说明，因此省略。如第一实施例中的说明，厚度减薄部当然可以采用图2d的厚度减薄部1210'、1310'、1210”、1310”。 [0142] 另外，虽然未图示，但在N极片4110和连接极片4400之间、以及/或在S极片4120和连接极片4400之间可设置有弹性体。此外，可在N极片4110和第一外侧极片4200之间、以及/或在S极片4120和第二外侧极片4300之间设置有弹性体。弹性体可以使用橡胶、具有弹性的聚合物或弹簧等。通过设置弹性体，能够缓冲连接极片4400和各极片4110、4120之间、以及各极片4110、4120和各外侧极片4200、4300之间的冲击，从而能够减少噪音，也有助于提高耐久性。 [0143] 图6a至图6d为本发明的第五实施例的磁体吸持装置的剖视示意图。 [0144] 参见图6a至6d，第五实施例的的磁体吸持装置5000包括极片组件5100、第一外侧极片5200、第二外侧极片5300、连接极片5400、线圈5500、外侧永磁铁5600和控制装置(未图示)。 [0145] 本实施例的磁体吸持装置5000的极片组件5100、第一外侧极片5200、第二外侧极片5300、连接极片5400、线圈5500及控制装置的结构分别与第四实施例的磁体吸持装置4000的极片组件4100、第一外侧极片4200、第二外侧极片4300、连接极片4400、线圈4500及控制装置相同。 [0146] 在本实施例中，磁体吸持装置5000与图5a至图5d的磁体吸持装置4000相比，进一步包括外侧永磁铁5600。该外侧永磁铁5600被配置为其N极与第二外侧极片5300接触，其S极与第一外侧极片5200接触。 [0147] 与第四实施例不同，本实施例的磁体吸持装置5000在极片组件5100如图6a所示配置在第一位置的情况下解除板2，如图6c所示配置在第二位置的情况下吸持板2。除这种区别之外的原理与第四实施例相同，因此省略具体说明。 [0148] 另外，虽然未图示，但在N极片5110和连接极片5400之间、以及/或在S极片5120和连接极片5400之间可设置有弹性体。此外，可在N极片5110和第一外侧极片5200之间、以及/或在S极片5120及第二外侧极片5300之间设置有弹性体。弹性体可以使用橡胶、具有弹性的聚合物和弹簧等。通过设置弹性体，能够缓冲连接极片5400和各极片5110、5120之间、以及各极片5110、5120和各外侧极片5200、5300之间的冲击，从而能够减少噪音，也有助于提高耐久性。 [0149] 另外，在本实施例中优选将连接极片5400的厚度设定为薄于N极片5110及S极片5120的平均厚度。在磁体吸持装置5000吸持较薄的板2的情况下，不会有较多的磁通通过板 2而循环，因此通过残余磁通的影响，极片组件5100会被吸引到连接极片5400方向。此时，为了将吸力最小化，优选连接极片5400较薄。 [0150] 2、用于输送作为非磁体的板状输送对象的输送装置 [0151] 图7为用于说明使用本发明的一实施例的输送装置来输送作为非磁体的板状输送对象的过程的图。 [0152] 参见图7，本实施例的输送装置10000包括第一磁体吸持装置11000、第二磁体吸持装置12000和介质板13000。 [0153] 第一磁体吸持装置11000及第二磁体吸持装置12000可以采用上述第一至第五实施例的磁体吸持装置1000、2000、3000、4000、5000中的任一个。需要注意的是，第一磁体吸持装置11000和第二磁体吸持装置12000可以是相同的结构，但也可以具有不同的结构。 [0154] 在图7中，为了避免图的复杂性，省略了第一磁体吸持装置11000及第二磁体吸持装置12000的具体结构的图示，只表示吸持面的配置。 [0155] 第一磁体吸持装置11000和第二磁体吸持装置12000被配置为吸持面11001、11002、12001、12002彼此相对。尤其是，如本实施例所示，优选配置为将带N极的吸持面 11001、12002和将带S极的吸持面11002、12001彼此相对。 [0156] 需要参考的是，在图7中，涂有颜色的吸持面表示吸持状态，未涂颜色的吸持面表示解除状态。 [0157] 介质板13000可为铁等铁磁体的板，厚度例如可为0.1mm、0.3mm、0.5mm、1mm等。 [0158] 参见图7的(a)，第二磁体吸持装置12000被控制为第二磁体吸持装置12000的吸持面12001、12002吸持介质板13000。即，控制磁通能够通过第二磁体吸持装置12000的吸持面12001、12002。 [0159] 接下来，参见图7的(b)，控制第一磁体吸持装置11000及第二磁体吸持装置12000中的至少一个移动，以使第一磁体吸持装置11000位于靠近介质板13000处。第一磁体吸持装置11000可以与介质板13000接触，但也可稍微隔开地配置。在本实施例中示出第一磁体吸持装置11000下降的例，但这不过是一个示例，也可以第二磁体吸持装置12000上升。 [0160] 当第一磁体吸持装置11000位于靠近介质板13000处时，控制第二磁体吸持装置12000解除介质板13000，控制第一磁体吸持装置11000吸持介质板13000。通过这种过程，介质板13000脱离第二磁体吸持装置12000而被吸持到第一磁体吸持装置11000。 [0161] 接下来，参见图7的(c)，控制第一磁体吸持装置11000及第二磁体吸持装置12000中的至少一个移动，从而在介质板13000和第二磁体吸持装置12000之间产生装载空间L。在本实施例中示出第一磁体吸持装置11000上升的例，但这不过是一个示例，也可以第二磁体吸持装置12000下降。 [0163] 接下来，参见图7的(e)，控制第一磁体吸持装置11000及第二磁体吸持装置12000中的至少一个移动，以使介质板13000靠近输送对象3，第二磁体吸持装置12000靠近输送对象3。在本实施例中示出只有第一磁体吸持装置11000移动的例，但这不过是一个示例，也可以第二磁体吸持装置12000移动。另外，在装载输送对象3时，也可以通过将输送对象3放置在第二磁体吸持装置12000的吸持面12001、12002上的方式装载输送对象3。 [0164] 接下来，控制第二磁体吸持装置12000吸持介质板13000，并且控制第一磁体吸持装置11000解除介质板13000。由此，如图7的(f)所示，介质板1300脱离第一磁体吸持装置11000，第二磁体吸持装置12000能够通过与介质板13000之间的引力固定输送对象3。 [0165] 之后，可通过输送第二磁体吸持装置12000，来将输送对象3输送到希望的位置。 [0166] 本实施例的输送装置10000可在OLED显示面板的生产工艺等中应用。 [0167] 图8为用于说明使用本发明的另一实施例的输送装置输送作为非磁体的板状输送对象的过程的图。 [0168] 图8的输送装置20000除了由夹盘22000取代图7所示输送装置10000中的第二磁体吸持装置12000之外，其他结构相同。下面省略相同结构的说明，具体描述不同点。 [0169] 参见图8，本实施例的输送装置20000包括磁体吸持装置21000、夹盘22000及介质板23000。 [0170] 磁体吸持装置21000可以采用上述第一至第五实施例的磁体吸持装置1000、2000、3000、4000、5000中的任一个。 [0171] 在图8中，为了避免图的复杂性，省略了磁体吸持装置21000的具体结构的图示，只表示吸持面的配置。 [0172] 夹盘22000包括：永磁铁22100；N极片22200，与该永磁铁22100的N极接触，且具有吸持面22201，并由铁磁体构成；和S极片22300，与该永磁铁22100的S极接触，且具有吸持面22301，并由铁磁体构成。 [0173] 另外，夹盘22000可进一步具有与N极片22200及S极片22300接触的非磁体连接件22400。 [0174] 磁体吸持装置21000和夹盘22000被配置为吸持面21001、21002、22201、22301彼此相对。尤其是，如本实施例所示，优选配置为将带N极的吸持面21001、22301和将带S极的吸持面21002、22201彼此相对。 [0175] 另外，磁体吸持装置21000被构造为在吸持时具有比夹盘22000的吸持力大的吸持力。 [0176] 另外，夹盘22000的结构也可以与本实施例中的结构不同。例如，需要注意的是夹盘22000也可由公知的电磁铁装置构成。 [0177] 参见图8的(a)，控制介质板23000被吸持在夹盘22000上。这通过将介质板23000放置在夹盘22000的吸持面22201、22301上的方式实现。 [0178] 接下来，参见图8的(b)，控制磁体吸持装置21000及夹盘22000中的至少一个移动，以使磁体吸持装置21000位于靠近介质板23000处。磁体吸持装置21000可以与介质板23000接触，但也可以稍微隔开而配置。在本实施例中示出磁体吸持装置21000下降的例，但这不过是一个示例，也可以夹盘22000上升。 [0179] 当磁体吸持装置21000位于靠近介质板23000处时，控制磁体吸持装置21000吸持介质板23000。由于磁体吸持装置21000的引力大于夹盘22000的引力，因此介质板23000脱离夹盘22000而被吸持到磁体吸持装置21000。 [0180] 接下来，参见图8的(c)，控制磁体吸持装置21000及夹盘22000中的至少一个移动，从而在介质板23000和夹盘22000之间产生装载空间L。在本实施例中示出磁体吸持装置21000上升的例，但这不过是一个示例，也可以夹盘22000下降。 [0181] 当如图8的(c)所示产生装载空间L时，控制非磁体输送对象3如图8的(d)所示被装载到该装载空间L。其中，非磁体输送对象3也可以是玻璃材质或合成树脂材质，具体也可以是OLED衬底。 [0182] 接下来，参见图8的(e)，控制磁体吸持装置21000及夹盘22000中的至少一个移动，以使介质板23000靠近输送对象3，夹盘22000靠近输送对象3。在本实施例中示出只有磁体吸持装置21000移动的例，但这不过是一个示例，也可以夹盘22000移动。另外，在装载输送对象3时，也可以通过将输送对象3放置在夹盘22000的吸持面22001、22002上的方式装载输送对象3。 [0183] 接下来，控制磁体吸持装置21000解除介质板23000，从而使夹盘22000吸持介质板23000。由此，如图8的(f)所示，介质板23000脱离磁体吸持装置21000，夹盘22000能够通过与介质板23000之间的引力固定输送对象3。 [0184] 之后，输送夹盘22000，从而将输送对象3输送到希望的位置。 [0185] 本实施例的输送装置20000可在OLED显示面板的生产工艺等中应用。 [0186] 以上参照附图进一步详细说明了本发明的实施例，但本发明所属技术领域的技术人员能够理解在不改变本发明的技术思想或必要技术特征的情况下可由其他具体形式来实施。因此，应理解以上描述的实施例在所有方面是示意性的，而不是限定性的。 [0187] 附图标记说明 [0188] 1100、2100、3100、4130、5130、5600...永磁铁 [0189] 1200、2200、3200、4110、5110...N极片 [0190] 1210、1310、2210、2310、3210、3310、4210、4220、5210、5220...厚度减薄部[0191] 1300、2300、3300、4120、5120...S极片 [0192] 1400、2400、3400、4400、5400...连接极片 [0193] 1500、2500、3500、4500、5500...线圈 [0194] 4100、5100...极片组件 [0195] 1000、2000、3000、4000、5000...磁体吸持装置 [0196] 10000、20000...输送装置。 |
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