金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置 |
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| 申请号 | CN201280022257.6 | 申请日 | 2012-05-18 | 公开(公告)号 | CN103635273A | 公开(公告)日 | 2014-03-12 |
| 申请人 | 东北泰克诺亚奇股份有限公司; 哈都工业有限会社; | 发明人 | 横山嘉彦; 山形琢一; 山形虎雄; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供一种能够使装置小型化，能够谋求成本降低，能够得到球状 金属粉末 的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置。在本发明中，供给装置（11）供给熔融金属的下垂流（1），多个喷射 燃烧器 （12）对由供给装置（11）供给的熔融金属的下垂流（1）喷射火焰喷射流（12a）。设置各喷射燃烧器（12），使其从相对熔融金属的下垂流（1）相互 旋转对称 的 位置 ，以与下垂流（1）呈相同的 角 度喷射火焰喷射流（12a）。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种金属粉末的制造方法，其特征在于，通过对熔融金属或金属线材喷射火焰喷射流得到金属粉末。 |
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| 说明书全文 | 金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置技术领域[0001] 本发明涉及一种金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置。 背景技术[0002] 过去，作为金属粉末的制造方法，广泛使用喷散法（例如，参照非专利文献1）。作为代表性喷散法，有在熔融金属（金属熔液）上喷射水或气体，粉碎熔融金属，使其凝固成液滴而制造粉末的水喷散法或气体喷散法（例如，参照专利文献1～3）。另外，还有使熔融金属落至旋转的圆盘上，在切线方向上施加剪切力进行粉碎而制造粉末的圆盘喷散法，或者通过等离子体的热及动能，使Ti等细线成为颗粒的等离子喷散法。 [0003] 现有技术文献 [0004] 非专利文献 [0005] 非专利文献1：村上阳太郎，“高品质金属粉末的制造法”[online]，2003年9月，（财）大阪科学技术中心附属新材料中心，[平成23年（2011年）1月17日检索]，因特网（URL:http://www.ostec.or.jp/nmc/TOP/nmc_news.htm）。 [0006] 专利文献 [0007] 专利文献1：特开2006-63357号公报 [0008] 专利文献2：特开2005-139471号公报 [0009] 专利文献3：特开2004-183049号公报 发明内容[0010] （一）要解决的技术问题 [0011] 但是，在水喷散法中，由于用于高速喷射水的高压泵价格高，因此具有设备费用增加的问题。另外，还有制造的粉末成为不规则形状的问题。在气体喷散法中，由于使用高压气体，因此需要高压气体制造设备，另外使用的气体价格高，因此，具有材料费和设备费等成本增加的问题。在圆盘喷散法中，为了制造微细金属粉末，需要提高圆盘的旋转数，因此具有设备费增加的同时，还有即使提高圆盘旋转数，也已经达到了技术上的极限的问题。在等离子喷散法中，具有等离子枪价格高的问题。另外，还具有为了使用等离子体抢而导致装置大型化的问题。 [0012] 本发明是着眼于这些技术问题而完成的，其目的是提供一种能够使装置小型化，能够谋求成本的降低，能够得到球状金属粉末的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置。 [0013] （二）技术方案 [0014] 为了达到上述目的，本发明的金属粉末的制造方法的特征在于，通过对熔融金属或金属线材喷射火焰喷射流得到金属粉末。 [0015] 本发明的金属粉末的制造装置的特征是，具有供给装置和喷射燃烧器，所述供给装置供给熔融金属或金属线材，所述喷射燃烧器对由所述供给装置供给的所述熔融金属或所述金属线材喷射火焰喷射流。 [0016] 本发明的金属粉末的制造装置，能够适宜实施本发明的金属粉末的制造方法。本发明的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置利用喷散法的原理，能够得到金属粉末。通过对熔融金属喷射高温的火焰喷射流，能够粉碎熔融金属。另外，通过对金属线材喷射高温的火焰喷射流，能够熔化金属线材的同时，粉碎所述熔融金属。此时，由于火焰喷射流比水喷散法的高压水或气体喷散法的高压气体更加高温，因此与水喷散法或气体喷散法相比，能够提高喷射流的流速。另外，由于是高温，无需冷却熔融金属而能够进行雾化，不必将熔融金属的温度提高至需要温度以上。因此，能够微细地粉碎熔融金属。能够使这样粉碎的熔融金属在气氛中落下或飞散时进行静态过冷而使其玻璃化的同时，能够容易地得到微细的金属粉末。另外，与水喷散法或气体喷散法相比较，能够得到更加微细的金属粉末。 [0017] 另外，根据本发明的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置，能够得到球状金属粉末。与水喷散法中所使用的高压泵、气体喷散法中所使用的高压气体制造设备、等离子喷散法中所使用的等离子枪等相比，本发明的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置能够使用比较便宜且小型的喷射燃烧器，因此能够使装置小型化，能够谋求降低设备费用或材料费用等成本。 [0018] 优选地，本发明的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置的构成为将火焰喷射流以比音速更快的速度喷射至熔融金属或金属线材上。在这种情况下，通过火焰喷射流的冲击波，能够微细地粉碎熔融金属，能够得到微细的金属粉末。另外，在本发明的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置中，对熔融金属或金属线材的喷散方式可以是自由落体型，也可以是限制型。本发明的金属粉末的制造方法及金属粉末的制造装置优选与熔融金属的流动方向或金属线材的延伸方向斜交地喷射火焰喷射流。这种情况下，能够高效地制造微细的金属粉末。 [0019] 本发明的金属粉末的制造方法，优选地，从所述熔融金属或所述金属线材的周围喷射所述火焰喷射流，使得所述火焰喷射流沿着所述熔融金属或所述金属线材的外周，以没有间隙的大致均等的喷射压碰撞所述熔融金属或所述金属线材。本发明的金属粉末装置中，优选地，所述喷射燃烧器从所述熔融金属或所述金属线材的周围喷射所述火焰喷射流，使得所述火焰喷射流沿着所述熔融金属或所述金属线材的外周，以没有间隙的大致均等的喷射压碰撞所述熔融金属或所述金属线材。这种情况下，在火焰喷射流碰撞熔融金属或金属线材的位置上，能够防止飞散，以使熔融金属或金属线材从火焰喷射流摆脱。因此，对熔融金属或金属线材，能够均匀的喷散，能够形成微细均匀的球状金属粉末。另外，还能够提高金属粉末的制造效率。 [0020] 本发明的金属粉末制造方法，可以具有用于喷射所述火焰喷射流的圆环状喷射口，将所述熔融金属或所述金属线材配置在从所述喷射口喷射的所述火焰喷射流的内侧，并喷射所述火焰喷射流。本发明的金属粉末的制造装置中，所述喷射燃烧器可以具有用于喷射所述火焰喷射流的圆环状喷射口，将所述熔融金属或所述金属线材配置在从所述喷射口喷射的所述火焰喷射流的内侧。这种情况下，能够比较容易地使所述火焰喷射流沿着所述熔融金属或所述金属线材的外周，以没有间隙的大致均等的喷射压碰撞所述熔融金属或所述金属线材。由于一台喷射燃烧器、一个燃烧室就足够，因此能够使装置更加小型化，能够降低制造成本。 [0021] 本发明的金属粉末的制造方法可以将多个火焰喷射流，从相对所述熔融金属或所述金属线材相互旋转对称的位置，喷射至所述熔融金属或所述金属线材上。本发明的金属粉末的制造装置中，所述喷射燃烧器可以由多个构成，设置成从相对所述熔融金属或所述金属线材相互旋转对称的位置，喷射至所述熔融金属或所述金属线材上。这种情况下，通过多个火焰喷射流的碰撞，能够微细地粉碎熔融金属，能够得到微细的金属粉末。 [0022] 另外，在具有多个喷射燃烧器的情况下，各喷射燃烧器可以分别具有用于喷射所述火焰喷射流的细长形状的喷射口，以所述喷射口的较长直径方向沿着所述熔融金属或所述金属线材的外周方式配置。这种情况下，能够将从喷射燃烧器喷射口喷射的火焰喷射流沿着喷射口的较长直径方向扩展为面状，或者分散成多个。因此，通过包围熔融金属或金属线材地从多个喷射燃烧器喷射火焰燃烧流，对熔融金属或金属线材能够均匀地喷散。优选地，喷射燃烧器为3台，以围绕熔融金属或金属线材。 [0023] 本发明的金属粉末的制造装置，所述喷射燃烧器的前端具有耐热喷嘴，在所述耐热喷嘴的内部具有使所述熔融金属或所述金属线材通过的通孔，设置成能够对通过所述通孔的所述熔融金属或所述金属线材喷射所述火焰喷射流。这种情况下，使用一台喷射燃烧器能够得到金属粉末。耐热喷嘴可以在其内部分为多个火焰喷射流，从相对所述熔融金属或所述金属线材相互旋转对称的位置，喷射至熔融金属或金属线材上。耐热喷嘴可以由碳制或水冷铜制等只要具有耐热性，则可由任意材质形成。 [0024] （三）有益效果 [0026] 图1表示本发明的第一实施方式的金属粉末的制造装置为（a）自由落体型及（b）限制型时的使用状态的侧视图。 [0027] 图2表示本发明的第一实施方式的金属粉末的制造装置使用金属线材的变形例。 [0028] 图3表示本发明的第一实施方式的金属粉末的制造装置喷射燃烧器的变形例的侧视图。 [0029] 图4表示本发明的第二实施方式的金属粉末的制造装置的纵剖视图。 [0030] 图5表示本发明的第三实施方式的金属粉末的制造装置的（a）立体图及（b）使用状态立体图。 [0031] 图6表示图5所示金属粉末的制造装置的（a）喷射口的主视图及（b）喷射的火焰喷射流形状的侧视图。 [0032] 图7（a）表示图1（a）所示金属粉末的制造装置的火焰喷射流的喷射状态侧视放大图；（b）表示图1（b）所示金属粉末的制造装置中，使用熔融金属时的喷散时状态的火焰喷射流的喷射位置的附近的侧视放大图；（c）是使用图1（a）所示金属粉末的制造装置，由Fe-Si-B系熔融金属得到的Fe75Si10B15非晶质粉末的电子显微镜照片；（d）是将所述粉末颗粒进一步放大的电子显微镜照片。 [0034] 图9是使用图2所示金属粉末的制造装置，由TIG焊条的金属线材（株式会社神户制钢所生产TGS50）得到的金属粉末的倍率分别为（a）1500倍、（b）2500倍的电子显微镜照片。 [0035] 图10是使用图2所示金属粉末的制造装置，由SUS420合金构成的金属线材得到的金属粉末的倍率分别为（a）200倍、（b）1200倍的电子显微镜照片。 [0036] 图11表示对Fe-Si10-B15合金的熔融金属，使用在（a）图1（a）所示金属粉末的制造装置；（b）图4所示金属粉末的制造装置；（c）图4所示金属粉末的制造装置上拉瓦尔喷嘴型的喷射口，喷射火焰喷射流而制造的金属粉末的粒度分布的图标。 具体实施方式[0037] 下面，基于附图，说明本发明的实施方式。 [0038] 图1及图3表示本发明的第一实施方式的金属粉末的制造装置。 [0039] 如图1所示，金属粉末的制造装置10具有供给装置11及多个喷射燃烧器12。此外，在下述说明中，主要说明图1（a）所示的自由落体型进行说明。 [0040] 如图1（a）所示，供给装置11由存放熔融金属的容器构成。供给装置11的底面中央具有连通内部的浇注喷嘴11a。供给装置11构成为能够使存放至其内部的熔融金属从浇注喷嘴11a向下方流出。 [0041] 多个喷射燃烧器12能够以比音速更快的速度喷射火焰喷射流12a。各喷射燃烧器12在供给装置11的下方，配置成能够将火焰喷射流12a朝向斜下方进行喷射。各喷射燃烧器12设置成，使其从相对来自浇注喷嘴11a的熔融金属的下垂流1相互旋转对称的位置，以与下垂流1呈相同角度斜交而进行喷射。由此，各喷射燃烧器12将火焰喷射流12a集中喷射至下垂流1的一点上。 [0042] 此外，在具体的一例中，喷射燃烧器12是由Hard（パード）工业株式会社生产的喷射燃烧器构成，其小型且能够以比音速更快的速度喷射火焰喷射流12a。喷射燃烧器12由三台构成，以熔融金属的下垂流1为中心轴，以中心角度为120度的间隔配置在距下垂流1相同距离的位置上，以相对下垂流的斜上方大约45度的角度进行喷射。另外，各喷射燃烧器12以相同的压力及速度喷射火焰喷射流12a。 [0043] 金属粉末的制造装置10能够适宜实施本发明的第一实施方式的金属粉末的制造方法。金属粉末的制造装置10利用喷散法的原理，能够得到金属粉末。通过对熔融金属的下垂流1喷射高温的火焰喷射流12a，能够粉碎熔融金属。此时，火焰喷射流12a比水喷散法的高压水或气体喷散法的高压气体更高温，因此与水喷散法或气体喷散法相比，能够提高喷射流的流速。另外，由于是高温，能够不冷却熔融金属而进行喷散，不必将熔融金属的温度提高至需要温度以上。例如，与现有的水喷散法或气体喷散法相比，能够将熔融金属温度设定为略低的50～100℃左右。因此，能够在更加容易进行非晶化的条件下微细地粉碎熔融金属。能够使这样粉碎的熔融金属在气氛中落下或飞散时进行静态过冷而使其玻璃化的同时，能够容易地得到微细的金属粉末。另外，与水喷散法或气体喷散法相比较，能够得到更加微细的金属粉末。 [0044] 另外，金属粉末的制造装置10的各喷射燃烧器12以比音速更快的速度喷射火焰喷射流12a的情况下，通过火焰喷射流12a发出的冲击波，能够微细地粉碎熔融金属。另外，由于各喷射燃烧器12从相对熔融金属的下垂流1相互旋转对称的位置，以相同角度，将火焰喷射流12a集中喷射在下垂流1的一点上，因此通过多个火焰喷射流12a的碰撞，能够更加微细地粉碎熔融金属，能够得到更加微细的金属粉末。此外，在供给装置11的下方设置容器或腔室，以覆盖各火焰喷射流12a的周围及下方，由此能够容易地回收所得到的金属粉末。 [0045] 与水喷散法中所使用的高压泵、气体喷散法中所使用的高压气体制造设备或等离子喷散法中所使用的等离子体炬等相比，金属粉末的制造装置10能够使用比较便宜且小型的喷射燃烧器12，因此能够使装置小型化，能够谋求降低设备费用或材料费用等成本。 [0046] 此外，金属粉末的制造装置10可以是图1（b）所示的限制型。在为限制型的情况下，不仅可以得到与自由落体型相同的效果，而且能够将熔融金属直接供给至喷散区，因此能够以各喷射燃烧器12的火焰喷射流12a的动能不衰减的状态有效地进行喷散。另外，限制型的情况下，现有的气体喷散等中，因喷射气体等冷却浇注喷嘴11a使熔融金属凝固，具有容易阻塞浇注喷嘴11a的问题。与此相对，图1（b）所示的金属粉末的制造装置10中，由于从各喷射燃烧器12喷射高温的火焰喷射流12a，因此不会使浇注喷嘴11a冷却，能够防止熔融金属的凝固或浇注喷嘴11a的阻塞。 [0047] 另外，如图2所示，金属粉末的制造装置10设置成供给装置11朝向下方能够连续供给金属线材2，各喷射燃烧器12可以设置为对金属线材2喷射火焰喷射流12a。这种情况下，通过对金属线材2喷射高温的火焰喷射流12a，能够熔化金属线材2并粉碎该熔化的金属。金属线材2的材质例如为不锈钢、SUS420合金。 [0048] 另外，金属粉末的制造装置10中，喷射燃烧器12由一台构成，前端具有耐热喷嘴，耐热喷嘴在其内部具有使熔融金属或所述金属线材通过的通孔，可以设置成在内部分为多个火焰喷射流12a，从相对通过通孔的熔融金属或金属线材相互旋转对称的位置，以相同的角度喷射至熔融金属或金属线材上。这种情况下，使用一台喷射燃烧器12能够得到金属粉末。耐热喷嘴可以由碳或水冷铜等耐热性材料形成的水喷散法或气体喷散法中所使用的喷嘴构成。 [0049] 另外，如图3所示，金属粉末的制造装置10可以使喷射燃烧器12的喷射喷嘴12c弯曲，使得火焰喷射流12a的喷射方向相对喷射燃烧器12主体12b的长度方向形成规定角度。这种情况下，能够使喷射喷嘴12c更加容易使供给装置11的浇注喷嘴11a接近。尤其是，金属粉末的制造装置10为限制型的情况下更加有效。 [0050] 图4表示本发明的第二实施方式的金属粉末的制造装置及金属粉末的制造方法。 [0051] 如图4所示，金属粉末的制造装置20是限制型，具有供给装置11及喷射燃烧器12。 [0052] 此外，在下述说明中，对与本发明的第一实施方式的金属粉末的制造装置10相同的结构，标注相同的符号，并省略重复说明。 [0053] 供给装置11具有存放熔融金属的容器21，在容器21的底部中央具有连通外部的供给口21a。另外，供给装置11具有浇注喷嘴11a，该浇注喷嘴11a与供给口21a连通，经由隔热板22（例如，氧化铝板）安装在容器21底面中央。浇注喷嘴11a的前端外形朝向下方形成为渐渐变细的锥形。供给装置11能够从浇注喷嘴11a供给存放至容器21内部的熔融金属。 [0054] 喷射燃烧器12具有一个燃烧室（未图示）及用于喷射火焰喷射流的圆环状喷射口24。喷射燃烧器12以浇注喷嘴11a配置在注射口24的内侧的方式安装在供给装置11的容器21的下部。喷射燃烧器12的喷射口24沿着浇注喷嘴11a前端的锥形而形成。 [0055] 喷射燃烧器12能够从喷射口24向前方内侧，沿着喷射口24的圆周没有间隙地喷射火焰喷射流。由此，喷射燃烧器12能够从由浇注喷嘴11a供给的熔融金属的周围，相对熔融金属的流动方向斜交地将喷射火焰喷射流集中在熔融金属的一个位置。另外，喷射燃烧器12能够使火焰喷射流沿着由浇注喷嘴11a供给的熔融金属的外周，以没有间隙的大致均等的喷射压碰撞熔融金属。 [0056] 另外，喷射燃烧器12在喷射口24的周围上具有使水循环来冷却喷射口24的水冷部25。此外，喷射燃烧器12能够以比音速更快的速度喷射火焰喷射流。另外，作为具体的一例，喷射燃烧器12以相对由浇注喷嘴11a供给至下方的熔融金属，从斜上方大约40度的角度进行喷射。 [0057] 本发明的第二实施方式的金属粉末的制造方法可以使用金属粉末的制造装置20适当地实施。本发明的第二实施方式的金属粉末的制造装置20及金属粉末的制造方法中，从熔融金属周围喷射的火焰喷射流沿着熔融金属的外周，以没有间隙的大致均等的喷射压碰撞熔融金属，因此在该碰撞位置上，能够防止飞散，以使熔融金属从火焰喷射流摆脱。因此，对熔融金属，能够进行均匀的喷散，能够形成微细均匀的球状金属粉末。另外，还能够提高金属粉末的制造效率。此外，作为具体的一例，制造的金属粉末的直径为大约5μm。 [0058] 本发明的第二实施方式的金属粉末的制造装置20及金属粉末的制造方法，其由于一台喷射燃烧器12、一个燃烧室就足够，因此能够使装置更加小型化，还能够进一步降低制造成本。此外，本发明的第二实施方式的金属粉末的制造装置20及金属粉末的制造方法，其可以不对熔融金属，而对金属线材喷射高温的火焰喷射流。 [0059] 图5及图6表示本发明的第三实施方式的金属粉末的制造装置及金属粉末的制造方法。 [0060] 如图5及图6所示，金属粉末的制造装置30具有供给装置11及喷射燃烧器12。 [0061] 此外，在下述说明中，对与本发明的第一实施方式的金属粉末的制造装置10及本发明的第二实施方式的金属粉末的制造装置20相同的结构，标注相同的符号，并省略重复说明。 [0062] 金属粉末的制造装置30由三台喷射燃烧器12构成，其分别具有用于喷射火焰喷射流12a的细长形成的喷射口24。各喷射燃烧器12的较长直径方向沿着熔融金属的下垂流1的外周配置。设置各喷射燃烧器12能够以相同压力及速度喷射火焰喷射流12a，使得从相对下垂流1相互旋转对称的位置，以相同的角度碰撞在下垂流1上。 [0063] 在图5及图6所示的具体的一例中，喷射口24形成两个圆连接的葫芦型的形状。另外，各喷射燃烧器12以熔融金属的下垂流1为中心轴，以中心角度为120度的间隔配置在距下垂流1相同距离的位置上，以相对下垂流的斜上方大约40度的角度进行喷射。 [0064] 本发明的第三实施方式的金属粉末的制造方法可以使用金属粉末的制造装置30适当地实施。本发明的第三实施方式的金属粉末的制造装置30及金属粉末的制造方法，如图6（b）所示，能够将从喷射燃烧器12的喷射口24喷射的火焰喷射流12a沿着喷射口24的较长直径方向扩展为面状，或者分散成多个。因此，从各喷射燃烧器12喷射火焰喷射流12a，使其包围熔融金属的下垂流1，由此能够沿着熔融金属的下垂流1的外周，以没有间隙的大致均等的喷射压碰撞熔融金属的下垂流1。另外，在所述碰撞位置上，能够防止飞散，以使熔融金属从火焰喷射流12a摆脱。因此，对熔融金属，能够进行均匀的喷散，能够形成微细均匀的球状金属粉末。另外，还能够提高金属粉末的制造效率。 [0065] 此外，本发明的第三实施方式的金属粉末的制造装置30及金属粉末的制造方法可以不对熔融金属，而对金属线材喷射高温的火焰喷射流12a。 [0066] 实施例1 [0067] 图7表示使用图1（a）所示的金属粉末的制造装置喷射火焰喷射流12a时的状态。如图7（a）所示，能够确认多个火焰喷射流集聚成一个。通过使用该金属粉末的制造装置10，对Fe-Si-B系熔融金属喷射火焰喷射流12a，得到微细的球状的Fe75Si10B15非晶质粉末。将此时的火焰喷射流12a的喷射附近的情况及所得到的粉末的电子显微镜照片示于图7（b）～（d）。 [0068] 实施例2 [0069] 通过使用图2所示的金属粉末的制造装置10，对不锈钢SUS420的金属线材2喷射火焰喷射流12a，可以得到微细的球状的金属粉末。所得到的金属粉末的电子显微镜照片示于图8。 [0070] 实施例3 [0071] 通过使用图2所示的金属粉末的制造装置10，对TIG焊条TGS50（株式会社神户制钢所生产）的金属线材2喷射火焰喷射流12a，可以得到微细的球状的金属粉末。所得到的金属粉末的电子显微镜照片示于图9。 [0072] 实施例4 [0073] 通过使用图2所示的金属粉末的制造装置10，对由SUS420合金构成的金属线材2喷射火焰喷射流12a，可以得到微细的球状的金属粉末。所得到的金属粉末的电子显微镜照片示于图10。 [0074] 实施例5 [0075] 通过图1（a）所示的金属粉末的制造装置10、图4所示的金属粉末的制造装置20及图4所示的金属粉末的制造装置20中喷射口24为拉瓦尔喷嘴型装置，对Fe-Si10-B15合金的熔融金属分别喷射火焰喷射流，从而制造金属粉末。各装置所制造的金属粉末的粒度分布示于图11。 [0076] 此外，图1（a）所示的金属粉末的制造装置10中，以熔融金属的下垂流1为中心轴，中心角度为90度的间隔配置四台喷射燃烧器12，对下垂流分别以斜上方15度的角度（顶角为30度）喷射火焰喷射流。另外，每台喷射燃烧器12的燃烧参数，即空气量为700L/min，燃料（煤油）为130mL/min。图4所示的金属粉末的制造装置20上的燃烧参数，即空气量为3000L/min，燃料（煤油）为550mL/min。拉瓦尔喷嘴型装置的燃烧参数，即空气量为3000L/min。燃料（煤油）为550mL/min。 [0077] 如图11（a）及（b）所示，使用图1（a）所示的金属粉末的制造装置10及图4所示的金属粉末的制造装置20制造的金属粉末，其直径为40～70μm的为最多，基本上为100μm以下。另外，使用拉瓦尔喷嘴型装置制造的金属粉末大部分是直径为50μm的粉末。 从这些结果可以确认到通过火焰喷射流的喷射，得到微细的粉末。另外，由拉瓦尔喷嘴型装置制造的金属粉末的直径小可知，火焰喷射流的速度越大，制造的金属粉末的直径越小。 [0078] 附图标记说明 [0079] |
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