레이저 생성 플라즈마 광원을 위한 액적 생성 |
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| 申请号 | KR20187016153 | 申请日 | 2016-11-10 | 公开(公告)号 | KR20180067709A | 公开(公告)日 | 2018-06-20 |
| 申请人 | KLA TENCOR CORP; | 发明人 | AHR BRIAN; BYKANOV ALEXANDER; GARCIA RUDY; HALE LAYTON C; KHODYKIN OLEG; | ||||
| 摘要 | 본개시는액체타겟재료를분배하기위한노즐; 하나이상의중간챔버(들)를구비하는디바이스에관한것으로, 각각의중간챔버는타겟재료를수용하도록배치되며레이저생성플라즈마(LPP) 챔버에서의하류조사를위해타겟재료를출력하기위한출구어퍼쳐를가지고형성된다. 개시된몇몇실시형태에서, 디바이스의중간챔버(들) 중하나, 몇몇또는모두에서가스온도, 가스압력및 가스조성중 하나이상을제어하기위한제어시스템이포함된다. 하나의실시형태에서, 조정가능한길이를갖는중간챔버가개시된다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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