Xy stage |
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申请号 | JP20754898 | 申请日 | 1998-07-23 | 公开(公告)号 | JP3542716B2 | 公开(公告)日 | 2004-07-14 |
申请人 | 三星電子株式会社; | 发明人 | 圭 相 崔; 在 永 禹; 昌 佑 禹; 演 京 辛; | ||||
摘要 | |||||||
权利要求 | 被写体を移動するとともに前記被写体の特定位置を観察できるようにX軸及びY軸に水平移動させるXYステージにおいて、 上面に前記被写体を固定する被写体固定手段が設けられ、X軸方向に移動可能なX軸移動板と、 前記X軸移動板を搭載し、前記X軸移動板がX軸方向へ移動するように案内するとともに、Y軸方向に移動可能なY軸移動板と、 前記Y軸移動板を搭載し、前記Y軸移動板がY軸方向に移動するように案内するとともに、一端側が顕微鏡の下部に取り付けられる固定板と、 前記X軸移動板をX軸方向に移動させるためにX軸方向に設けられたベルトを有するX軸駆動装置と、 前記Y軸移動板をY軸方向に移動させるためにY軸方向に設けられたベルトを有するY軸駆動装置とを設け、 前記Y軸移動板は前記X軸移動板の左右側面に接触してX軸移動板のX軸移動を案内する二枚の接触板からなり、このY軸移動板(二枚の接触板)の底面は前記X軸移動板の底面を横切るY軸移動板連結棒により互いに接続され、前記Y軸移動板を接続した前記Y軸移動板連結棒が前記固定板に噛み合ってY軸方向へ摺動し、このY軸移動板連結棒の上部で前記X軸移動板を前記Y軸移動板の間で案内してX軸方向に摺動させることを特徴とするXYステージ。 前記X軸移動板と前記Y軸移動板との接触面には、軸受が設けられていることを特徴とする請求項 1に記載のXYステージ。 前記X軸駆動装置は、 前記Y軸移動板に回転可能に支持されるX軸従動プーリと、 前記Y軸移動板に前記X軸従動プーリとX軸方向とに一定の距離を有して回転可能に支持され、前記X軸従動プーリに駆動力を伝達するX軸駆動プーリと、 前記X軸従動プーリと前記X軸駆動プーリとの間に連動可能にX軸方向に設けられ、前記X軸移動板に固定されたベルト把持部により選択的に把持されるX軸ベルトと、 前記Y軸移動板に回転可能に設けられ、前記X軸駆動プーリに連結して回転させることにより前記X軸移動板をX軸方向に移動させるX軸移動調節ノブとを設けてなることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記Y軸駆動装置は、 前記固定板のY軸方向に互いに一定の距離を有して回転可能に支持される二つのY軸従動プーリと、 前記二つのY軸従動プーリの間でY軸方向に連動可能に装着され、前記固定板に固定されたベルト把持部により選択的に把持されるY軸ベルトと、 前記Y軸移動板に回転可能に設けられ、前記Y軸ベルトの一側面に沿って内接または外接させるとともに前記Y軸ベルトを前記ベルト把持部により固定することにより、前記Y軸ベルトの一側面に沿って回転しつつ前記Y軸移動板と同時にY軸方向に位置が移動するY軸駆動プーリと、 前記Y軸駆動プーリから延在して前記Y軸駆動プーリを回転させるY軸移動調節ノブとを設けてなることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記X軸移動板に固定されたベルト把持部及び前記固定板に固定されたベルト把持部は、 X軸ベルト及びY軸ベルトの一部と接触可能な状態に設けられ、選択的にベルトと接触して前記ベルトの一部と接触して加圧することにより前記ベルトの連動を止めるように固定する加圧手段と、 前記加圧手段に制御信号を印加して前記加圧手段を制御する制御手段とを設けてなることを特徴とする請求項 3または請求項 4に記載のXYステージ。 前記加圧手段は、 前記ベルトを貫通させて連動するように通路を形成した固定胴体と、 前記固定胴体に設けられ、前記固定胴体を通過する前記ベルトの一面に選択的に接触可能に形成されたストッパと、 前記固定胴体に設けられ、前記ベルト方向に復元力が作用して前記ストッパを前記ベルト方向に前進させるように加圧する弾性部材とを設けてなることを特徴とする請求項 5に記載のXYステージ。 前記弾性部材は、コイルバネであることを特徴とする請求項 6に記載のXYステージ。 前記制御手段は、一端が前記ストッパと連結されて前記ストッパを選択的に後退させるワイヤと、前記ワイヤの他の一端に連結されて前記ワイヤの張力を調節するワイヤ張力調節装置とを設けたことを特徴とする請求項 5に記載のXYステージ。 前記ワイヤ張力調節装置は、 前記ワイヤを包囲するように前記ワイヤを保護し、前記ワイヤの張力変化を保持させて前記ストッパに伝達するとともに、位置が変化する柔軟性な材質により形成されたワイヤチューブと、 一端部に前記ワイヤが連結され、他端側が支持点を中心にして回転可能に支持されて梃子の動作により前記ワイヤを引っ張って張力を発生させる押し台とを設けてなることを特徴とする請求項 8に記載のXYステージ。 前記X軸移動板には、移動者が手で把持して前記X軸移動板及びY軸移動板を直接に移動させることが容易になるように一端側に突出したジョイスティックを設けたことを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記ジョイスティックには、 作業者が手で把持して前記X軸及びY軸移動板を直接に高速移動させる際に前記ベルトを固定していた前記ベルト把持部にワイヤの張力を印加することで前記X軸及びY軸のベルトと連動していた前記X軸移動板、Y軸移動板、及び固定板のベルトの拘束を解除する前記ワイヤを一端側に連結した前記押し台を設けていることを特徴とする請求項 10に記載のXYステージ。 前記X軸ベルト及びX軸プーリ組み合わせは、タイミングベルト方式であることを特徴とする請求項 3に記載のXYステージ。 前記Y軸ベルト及びY軸プーリ組み合わせは、タイミングベルト方式であることを特徴とする請求項 4に記載のXYステージ。 前記ストッパは、 前記ベルトにタイミングベルト方式を用い、このベルトと接触する接触面が 前記タイミングベルトの屈曲に噛み合う凹凸部形状に形成されていることを特徴とする請求項 6に記載のXYステージ。 前記X軸移動調節ノブは、作業者が前記被写体をX軸及びY軸方向に精密移動させる際に移動操作を一カ所で容易に行えるように回転軸が前記Y軸移動調節ノブを貫通して回転する二重調節ノブの形状に設けていることを特徴とする請求項 3に記載のXYステージ。 前記Y軸移動調節ノブは、作業者が前記被写体をX軸及びY軸方向に精密移動させる際に移動操作が一カ所で容易に行えるように回転軸の中心部が前記X軸移動調節ノブに貫通して回転する二重調節ノブの形状に設けていることを特徴とする請求項 4に記載のXYステージ。 前記被写体固定手段は、ウェーハを真空吸着し、前記ウェーハを水平に回転させるウェーハホルダであることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記X軸移動板と前記Y軸移動板との間には、摺動可能に軸受が設けられることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記Y軸移動板と前記固定板との間には、摺動可能に軸受が設けられることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記固定板には、前記被写体に伝達される振動を遮断する除振台をさらに設けていることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 前記固定板には、前記被写体の水平状態を保持する水平調節装置をさらに設けてなることを特徴とする請求項1に記載のXYステージ。 |
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说明书全文 | 【0001】 |