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一种三明治对位图形转移工艺
申请号	CN201610851480.1	申请日	2016-09-27	公开(公告)号	CN106527067A	公开(公告)日	2017-03-22
申请人	昆山维嘉益材料科技有限公司;			发明人	夏玉龙; 杨海涛;
摘要	本发明公开一种三明治对位图形转移工艺，包括以下具体步骤：制作底片、架底片、三明治对位、上板定位、曝光和下板。通过上述方式，本发明提供一种三明治对位图形转移工艺，针对现有对位工艺易造成层间错位和偏移的问题，本发明采用4～6个蝶形十字靶标孔，能实现高精度的三明治对位，极大提高生产效率，同时免去对位设备的采购成本，提高生产利润。
权利要求	1.一种三明治对位图形转移工艺，其特征在于，包括以下具体步骤： a、制作底片，在底片BOT面边缘绘制4～6个蝶形靶标，在底片TOP面边缘绘制4～6个与BOT面的蝶形靶标大小和位置相适应的蝶形靶标孔； b、架底片，将底片TOP面层叠于BOT面之上； c、三明治对位，将底片上绘制的蝶形靶标对位至蝶形靶标孔内后对底片进行固定； d、上板定位，在底片TOP面与BOT面之间夹入SUS材料定位； e、曝光和下板，将定位完成的底片进行曝光处理后将SUS材料下板。 2.根据权利要求1所述的三明治对位图形转移工艺，其特征在于，所述制作底片步骤中，所述蝶形靶标呈实心十字形状，所述蝶形靶标孔呈空心十字形状，所述蝶形靶标与蝶形靶标孔的内心空隙相吻合。 3.根据权利要求1所述的三明治对位图形转移工艺，其特征在于，所述上板定位步骤中，在底片TOP面与BOT面之间的单侧边缘处设置胶粘层以实现底片固定，形成三明治叠构。
说明书全文	一种三明治对位图形转移工艺技术领域 [0001] 本发明涉及影像转移生产加工与制造领域，尤其涉及一种三明治对位图形转移工艺。背景技术 [0002] 在SUS生产行业，图形转移制程菲林对位的技术会造成层间错位、偏移等不必要的不良，对位精度较低。普遍地，现有SUS厂家规模较小，需要采购先进的自动对位设备，导致生产成本急剧增加。发明内容 [0003] 本发明主要解决的技术问题是提供一种三明治对位图形转移工艺，针对现有对位工艺易造成层间错位和偏移的问题，本发明采用4～6个蝶形十字靶标孔，能实现高精度的三明治对位，极大提高生产效率，同时免去对位设备的采购成本，提高生产利润。 [0004] 为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种三明治对位图形转移工艺，包括以下具体步骤：a、制作底片，在底片BOT面边缘绘制4～6个蝶形靶标，在底片TOP面边缘绘制4～6个与BOT面的蝶形靶标大小和位置相适应的蝶形靶标孔； b、架底片，将底片TOP面层叠于BOT面之上； c、三明治对位，将底片上绘制的蝶形靶标对位至蝶形靶标孔内后对底片进行固定； d、上板定位，在底片TOP面与BOT面之间夹入SUS材料定位； e、曝光和下板，将定位完成的底片进行曝光处理后将SUS材料下板。 [0005] 在本发明一个较佳实施例中，所述制作底片步骤中，所述蝶形靶标呈实心十字形状，所述蝶形靶标孔呈空心十字形状，所述蝶形靶标与蝶形靶标孔的内心空隙相吻合。 [0006] 在本发明一个较佳实施例中，所述上板定位步骤中，在底片TOP面与BOT面之间的单侧边缘处设置胶粘层以实现底片固定，形成三明治叠构；本发明的有益效果是：本发明提供的一种三明治对位图形转移工艺，针对现有对位工艺易造成层间错位和偏移的问题，本发明采用4～6个蝶形十字靶标孔，能实现高精度的三明治对位，极大提高生产效率，同时免去对位设备的采购成本，提高生产利润。附图说明 [0007] 为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：图1 是本发明一种三明治对位图形转移工艺的一较佳实施例的流程图。具体实施方式 [0008] 下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。 [0009] 如图1所示，本发明实施例包括：一种三明治对位图形转移工艺，包括以下具体步骤： a、制作底片，在底片BOT面边缘绘制4～6个蝶形靶标，在底片TOP面边缘绘制4～6个与BOT面的蝶形靶标大小和位置相适应的蝶形靶标孔； b、架底片，将底片TOP面层叠于BOT面之上； c、三明治对位，将底片上绘制的蝶形靶标对位至蝶形靶标孔内后对底片进行固定； d、上板定位，在底片TOP面与BOT面之间夹入SUS材料定位； e、曝光和下板，将定位完成的底片进行曝光处理后将SUS材料下板。 [0010] 其中，所述制作底片步骤中，所述蝶形靶标呈实心十字形状，所述蝶形靶标孔呈空心十字形状，所述蝶形靶标与蝶形靶标孔的内心空隙相吻合。通过上述方式，较好地实现高精度对位。 [0011] 进一步的，所述上板定位步骤中，在底片TOP面与BOT面之间的单侧边缘处设置胶粘层以实现底片固定，形成三明治叠构。通过上述方式，提高生产效率，降低人工成本。 [0012] 综上所述，本发明提供了一种三明治对位图形转移工艺，针对现有对位工艺易造成层间错位和偏移的问题，本发明采用4～6个蝶形十字靶标孔，能实现高精度的三明治对位，极大提高生产效率，同时免去对位设备的采购成本，提高生产利润。 [0013] 以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

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