1.一种光致抗蚀剂面漆组合物，其包含：
第一聚合物，其包含通式(I)的第一重复单元和通式(II)的第二重复单元：
其中：R1独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基；R2表示任选氟化的直链、分支链或环状C1到C20烷基；L1表示单键或多价键联基团；并且n为1到5的整数；
第二聚合物，其包含通式(III)的第一重复单元和通式(IV)的第二重复单元：
其中：R3独立地表示H、F或任选氟化的C1到C4烷基；R4表示直链、分支链或环状C1到C20烷基；R5表示直链、分支链或环状C1到C20氟烷基；L2表示单键或多价键联基团；并且n为1到5的整数；以及
溶剂。
2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂面漆组合物，其中所述第一聚合物不含羧酸基团。
3.根据权利要求1或2所述的光致抗蚀剂面漆组合物，其中L2表示
-C(O)OCH2-。
4.根据权利要求1到3中任一项所述的光致抗蚀剂面漆组合物，其更包含第三聚合物，所述第三聚合物包含通式(II)的第一重复单元。
5.根据权利要求4所述的光致抗蚀剂面漆组合物，其中所述第三聚合物更包含通式(V)的第二重复单元和通式(VI)的第三重复单元：
其中：R6独立地表示H、F以及任选氟化的C1到C4烷基；R7表示直链、分支链或环状C1到C20烷基；并且R8表示直链、分支链或环状C1到C20氟烷基。
6.根据权利要求1到5中任一项所述的光致抗蚀剂面漆组合物，其中所述组合物包含溶剂混合物。
7.根据权利要求6所述的光致抗蚀剂面漆组合物，其中所述溶剂混合物包含：选自C4到C10单价醇的第一有机溶剂；和由通式(VII)表示的第二有机溶剂：
其中：R16和R17独立地选自C3到C8烷基；并且R16和R17一起中的碳原子总数大于6。
8.一种经涂布衬底，其包含：
衬底上的光致抗蚀剂层；以及
所述光致抗蚀剂层上的由根据权利要求1到7中任一项所述的光致抗蚀剂面漆组合物形成的面漆层。
9.一种加工光致抗蚀剂组合物的方法，其包含：
(a)在衬底上方涂覆光致抗蚀剂组合物以形成光致抗蚀剂层；
(b)在所述光致抗蚀剂层上方涂覆根据权利要求1到7中任一项所述的光致抗蚀剂面漆组合物以形成面漆层；
(c)使所述面漆层和所述光致抗蚀剂层曝露于活化辐射；以及
(d)使所述经曝露面漆层和光致抗蚀剂层与显影剂接触以形成抗蚀剂图案。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述面漆层由旋涂形成，并且在所述旋涂期间第一聚合物迁移到所述面漆层的上表面，其中所述面漆层的上表面基本上由所述第一聚合物组成。