彩色滤光片的制造方法 |
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| 申请号 | CN201410184693.4 | 申请日 | 2014-05-04 | 公开(公告)号 | CN103984052B | 公开(公告)日 | 2017-09-29 |
| 申请人 | 深圳市华星光电技术有限公司; | 发明人 | 徐向阳; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及一种彩色滤光片的制造方法，包括：提供一 基板 ；在所述基板上形成黑矩阵层；在形成有黑矩阵层的基板上，通过一掩膜形成至少一第一滤光图案；在形成有所述黑矩阵以及所述第一滤光图案的基板上，通过所述掩膜形成至少一第二滤光图案；在形成有所述黑矩阵、所述第一滤光图案以及所述第二滤光图案的基板上，通过所述掩膜形成至少一第三滤光图案；其中，所述掩膜具有与所述第一滤光图案、所述第二滤光图案以及所述第三滤光图案分别对应的不同的透光 光谱 。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种彩色滤光片的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括以下步骤： |
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| 说明书全文 | 彩色滤光片的制造方法技术领域[0001] 本发明涉及彩色滤光片的制造方法，特别是涉及一种共用同一掩膜实现具有红(R)，绿(G)，蓝(B)三原色的滤光层的制造方法。 背景技术[0003] 主流的薄膜晶体管液晶装置(TFT-LCD)，其生产流程主要是通过曝光和掩膜实现，由于液晶装置属于被动发光显示模式，其基板包括彩色滤光片和薄膜晶体管阵列两个部 分，虽然目前发展有一种彩色滤光片阵列基板(Color film On Array,COA)设计，但由于 COA工艺较为复杂，良率也较低，因此主流的技术仍为彩色滤光片和薄膜晶体管阵列基板分 离的结构。 [0004] 上述薄膜晶体管阵列基板主要包括数据线、扫描线、薄膜晶体管开关、像素电极、外围电路等；而彩色滤光片基板上主要包括黑矩阵(Black Matrix,BM)、红(R)，绿(G)，蓝 (B)三原色的滤光层等。由于液晶面板是通过改变驱动集成芯片的电压来控制液晶分子的 排列状态，决定背光源的开关，经由滤光层形成不同色光，从而创造出各种色彩，可使液晶 显示器呈现逼真，鲜艳的画面，因此彩色滤光片为液晶显示器的关键组件。 [0005] 传统的彩色滤光片生产至少需要下列5道掩膜(Mask)如下：在玻璃基板上以溅镀树脂层膜以形成黑矩阵、接着在黑矩阵之间的开口部形成红色滤光图案、重复上述步骤再 依序形成绿色滤光图案、蓝色滤光图案、最后再形成间隙层(Photo Spacer,PS)，而垂直配 向液晶显示器(Multi-domain Vertical Alignment,MVA LCD)更需要通过六道掩膜：黑矩 阵、红色滤光图案、绿色滤光图案、蓝色滤光图案、共用电极、间隙层才能实现。 [0006] 其中，上述红色滤光图案、绿色滤光图案与蓝色滤光图案必须使用三张不同的掩膜，依序进行三次曝光、显影等步骤而完成，如图1至3所示，先利用第一张掩膜11形成红色 滤光图案110之后，利用第二张掩膜12形成绿色滤光图案120，再利用第三张掩膜13形成蓝 色滤光图案130。由于在现有技术中，形成红色滤光图案、绿色滤光图案与蓝色滤光图案必 须利用三张不同的掩膜而完成，因此生产成本高，花费时间长。故，有必要提供一种彩色滤 光片基板的制造方法，以解决现有技术所存在的问题。 发明内容[0007] 有鉴于此，本发明的目的在于提供一种彩色滤光片及其制造方法，特别是一种共用同一掩膜实现具有红(R)，绿(G)，蓝(B)三原色滤光层的制造方法以降低掩膜成本。 [0008] 为实现本发明目的，提供一种彩色滤光片的制造方法如下：提供一基板；在所述基板上形成黑矩阵层；在形成有黑矩阵层的基板上，通过一掩膜形成至少一第一滤光图案；在 形成有所述黑矩阵以及所述第一滤光图案的基板上，通过所述掩膜形成至少一第二滤光图 案；在形成有所述黑矩阵、所述第一滤光图案以及所述第二滤光图案的基板上，通过所述掩 膜形成至少一第三滤光图案；其中，所述掩膜具有与所述第一滤光图案、所述第二滤光图案 以及所述第三滤光图案分别对应的不同的透光光谱。 [0009] 在本发明的一实施例中，所述彩色滤光片的制造方法还可包括：在设置有所述黑矩阵层、第一滤光图案、第二滤光图案以及第三滤光图案的基板上，形成一保护层；在所述 保护层的上方形成一公用电极层；以及在所述公用电极层上方形成一间隙层。 [0010] 本发明的特征在于，所述第一滤光图案、所述第二滤光图案以及所述第三滤光图案具有不同的颜色且直列并排在所述基板上，所述在形成有所述黑矩阵层的基板上，通过 一掩膜形成至少一第一滤光图案包括：清洗设置有所述黑矩阵层的所述基板，并且在清洗 后的所述基板上涂覆第一光阻材料，所述第一光阻材料的感光频率落于所述掩膜的对应于 所述第一滤光图案的透光光谱的范围内；将涂覆有所述第一光阻材料的所述基板进行紫外 线曝光以及显影以形成第一滤光图案。 [0011] 接着，在所述形成有所述黑矩阵以及所述第一滤光图案的基板上，通过所述掩膜形成至少一第二滤光图案包括：清洗设置有所述黑矩阵层以及所述第一滤光图案的所述基 板，并且在清洗后的所述基板上涂覆第二光阻材料，所述第二光阻材料的感光频率落于所 述掩膜的对应于所述第二滤光图案的透光光谱的范围内；将涂覆有所述第二光阻材料的所 述基板进行紫外线曝光以及显影以形成第二滤光图案。 [0012] 以及，在所述形成有所述黑矩阵、所述第一滤光图案以及所述第二滤光图案的基板上，通过所述掩膜形成至少一第三滤光图案包括：清洗设置有所述黑矩阵层、所述第一滤 光图案以及所述第二滤光图案的所述基板，并且在清洗后的所述基板上涂覆第三光阻材 料，所述第三光阻材料的感光频率落于所述掩膜的对应于所述第三滤光图案的透光光谱的 范围内；将涂覆有所述第三光阻材料的所述基板进行紫外线曝光以及显影以形成第三滤光 图案。 [0013] 所述第一光阻材料、所述第二光阻材料以及所述第三光阻材料为有机负型光阻。 [0014] 所述第一滤光图案、所述第二滤光图案以及所述第三滤光图案分别为红光、绿光、蓝光图案。 [0015] 在本发明的一实施例中，提供一种由上述制造方法所完成的彩色滤光片，所述彩色滤光片包括：基板；多个黑矩阵，设置于所述基板上；以及多个不同颜色的滤光图案，直列并列于所述基板上且每一所述滤光图案设置于两相邻的所述黑矩阵之间。 [0016] 在本发明的另一实施例中，所述彩色滤光片还可包括：一保护层，设置于所述黑矩阵与所述多个不同颜色的滤光图案上方；一公用电极层，设置于所述保护层上方；以及一间 隙层，设置于所述公用电极层上方。 [0017] 由于本发明所述的掩膜可根据第一滤光图案、所述第二滤光图案以及所述第三滤光图案不同的透光光谱，选择第一光阻材料、所述第二光阻材料以及所述第三光阻材料的 感光频率，因此所述第一滤光图案、第二滤光图案以及第三滤光图案可共用同一张掩膜，进 而减少两张掩膜量，简化彩色滤光片的制程并且降低液晶显示装置的生产成本。 附图说明[0019] 图1为现有技术的第一滤光图案制造工艺示意图。 [0020] 图2为现有技术的第二滤光图案制造工艺示意图。 [0021] 图3为现有技术的第三滤光图案制造工艺示意图。 [0022] 图4为本发明彩色滤光片的制造流程图。 [0023] 图5为本发明的黑矩阵制造工艺示意图。 [0024] 图6为本发明的第一滤光图案制造工艺示意图。 [0025] 图7为本发明的第二滤光图案制造工艺示意图。 [0026] 图8为本发明的第三滤光图案制造工艺示意图。 [0027] 图9为本发明第一滤光图案、第二滤光图案以及第三滤光图案的紫外线穿透率光谱图。 [0028] 图10为本发明第一滤光图案、第二滤光图案以及第三滤光图案的感光频率图。 [0029] 图11为本发明一实施例的彩色滤光片的结构剖面图。 [0030] 图12为本发明另一实施例的彩色滤光片的结构剖面图。 具体实施方式[0031] 以下各实施例的说明是参考附图，用以式例本发明可以用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制 本发明。 [0032] 请参照图4，显示本发明第一优选实施的彩色滤光片的制造流程图。在本实施例中，所述彩色滤光片10可透过颜料分散法(Pigment Dispersed Method)所形成，具体步骤 如下： [0033] 步骤S1：提供一基板50，所述基板50为透明玻璃基板。 [0034] 步骤S2：请参照图5，在所述基板50上形成黑矩阵层51，具体可包括：步骤S211，通过裂缝式或旋转式涂覆机将有机黑色负型光阻材料51涂覆在所述基板上50；步骤S212，通 过真空干燥机干燥所述有机黑色负型光阻材料51；步骤S213，将干燥后的基板50送入EBR (Edge Bead Rinse)去除边缘光阻；步骤S214，预烘烤与冷却；步骤S215，利用紫外线曝光 机，将具有黑矩阵图案(pattern)的掩膜100设置于所述有机黑色负型光阻材料51上方，对 所述有机黑色负型光阻材料51进行曝光；步骤S216，利用显影剂对所述有机黑色负型光阻 材料51进行显影蚀刻；以及步骤S217，烘烤固化，以形成多个黑矩阵层51。 [0035] 在上述步骤S2中，所述的黑矩阵层51还可选用不同的材料所形成，例如：在铬或其合金上涂覆正型光阻材料。因此，上述步骤S2还可选用下列方式完成：步骤S221，以蒸镀或 溅镀的方式在基板上形成铬或铬合金的薄膜；步骤S222，在所述薄膜表面涂覆正型光阻材 料；步骤S223，利用紫外线曝光机，将具有黑矩阵图案的掩膜设置于所述正型光阻材料上 方，对所述正型光阻材料进行曝光；步骤S224，利用显影剂所述正型光阻材料进行显影蚀 刻，以去除所述曝光处的铬或铬合金的薄膜；以及步骤S225，利用去除剂将所述正型光阻材 料完全去除，以形成铬或铬合金材料的黑矩阵层51。 [0036] 可以理解的是，上述步骤S2也可使用有机黑色正型光阻材料，或在铬或铬合金上涂覆负型光阻材料，除了在步骤S215或S223中曝光处的材料是不可溶(负型光阻材料)或可 溶(正型光阻材料)的差异之外，并不影响本发明的实施。 [0037] 步骤S3：在形成有多个黑矩阵层51的基板上50，通过一掩膜200形成第一滤光图案52，具体包括：步骤S31，清洗设置有所述黑矩阵层51的所述基板50，并且在清洗后的所述基板50上涂覆第一光阻材料52，所述第一光阻材料52的感光频率落于所述掩膜的对应于所述 第一滤光图案52的透光光谱的范围内；步骤S32，将涂覆有所述第一光阻材料52的所述基板 50依序进行真空干燥、去掉边缘光阻、预烘烤、冷却、紫外线曝光、显影以及固化等步骤以形成第一滤光图案52。请参照图6，由于所述第一光阻材料52是依据所述第一滤光图案52的透 光光谱所选择的，因此当将所述掩膜200设置于所述第一光阻材料52上方时，自然可根据所 述第一光阻材料52的感光频率对所述第一光阻材料52进行曝光，以形成第一滤光图案52， 所述第一滤光图案52为红色滤光图案。 [0038] 步骤S4：在形成有所述黑矩阵层51以及所述第一滤光图案52的基板50上，通过所述掩膜200形成第二滤光图案53，具体包括：步骤S41，清洗设置有所述黑矩阵层51以及所述 第一滤光图案52的所述基板50，并且在清洗后的所述基板50上涂覆第二光阻材料53，所述 第二光阻材料53的感光频率落于所述掩膜的对应于所述第二滤光图案53的透光光谱的范 围内；步骤S42，将涂覆有所述第二光阻材料53的所述基板50依序进行真空干燥、去掉边缘 光阻、预烘烤、冷却、紫外线曝光、显影以及固化等步骤以形成第二滤光图案53。请参照图7，由于所述第二光阻材料53是依据所述第二滤光图案53的透光光谱所选择的，因此当将所述 掩膜200设置于所述第二光阻材料53上方时，自然可根据所述第二光阻材料53的感光频率 对所述第二光阻材料53进行曝光，以形成第二滤光图案53，所述第二滤光图案53为绿色滤 光图案。 [0039] 步骤S5：在形成有所述黑矩阵层51、所述第一滤光图案52以及所述第二滤光图案53的基板50上，通过所述掩膜200形成第三滤光图案54，具体包括：步骤S51，清洗设置有所 述黑矩阵层51、所述第一滤光图案52以及所述第二滤光图案53的所述基板50，并且在清洗 后的所述基板50上涂覆第三光阻材料54，所述第三光阻材料54的感光频率落于所述掩膜的 对应于所述第三滤光图案54的透光光谱的范围内；步骤S52，将涂覆有所述第三光阻材料54 的所述基板50依序进行真空干燥、去掉边缘光阻、预烘烤、冷却、紫外线曝光、显影以及固化等步骤以形成第三滤光图案54。请参照图8，由于所述第三光阻材料54是依据所述第三滤光 图案54的透光光谱所选择的，因此当将所述掩膜200设置于所述第三光阻材料54上方时，自 然可根据所述第三光阻材料54的感光频率对对所述第三光阻材料54进行曝光，以形成第三 滤光图案54，所述第三滤光图案54为蓝色滤光图案。 [0040] 需特别说明的是，在上述步骤S3至S5系通过所述掩膜提供的不同紫外线透光光谱,在所述基板上分别形成所述第一滤光图案、所述第二滤光图案以及所述第三滤光图案， 所述第一滤光图案、所述第二滤光图案以及所述第三滤光图案具有不同的颜色且直列并排 在所述基板上。如图9所示，其特征在于所述第一滤光图案52、第二滤光图案53以及第三滤 光图案54所共用的掩膜200在对应于所述第一滤光图案52、所述第二滤光图案53以及所述 第三滤光图案54的位置上具有不同的紫外光光谱透过率，藉由根据所述第一滤光图案52、 所述第二滤光图案53以及所述第三滤光图案54不同的透光光谱，选择与上述透光光谱对应 的所述第一光阻材料52、所述第二光阻材料53以及所述第三光阻材料54。光阻材料选定后， 自然就可确定其感光频率，因此所述第一滤光图案52、第二滤光图案53以及第三滤光图案 54可适用于同一张掩膜来完成。如图10所示，其中虚线部分表示所述第一光阻材料52、所述 第二光阻材料53以及所述第三光阻材料54的感光频率。由于本发明所述的第一滤光图案 52、所述第二滤光图案53以及所述第三滤光图案54仅需一张掩膜来完成，相对于现有技术， 无须因应不同的滤光图案而使用不同的掩膜。因此，可减少两张掩膜，在简化彩色滤光片基 板制程的同时也减少彩色滤光片的制造成本。 [0041] 本发明的第二优选实施例的彩色滤光片的制造方法可进一步包括：步骤S6，形成间隙层55于所述黑矩阵层51、第一滤光图案52、第二滤光图案53以及第三滤光图案54上方， 所述间隙层55的主要功用为支撑两层玻璃基板与维持液晶层间距的均匀性。其方法具体可 为：基板清洗、正光阻涂覆、真空干燥、去掉边缘光阻、预烘烤与冷却、紫外线曝光、显影、以及烘烤等步骤。或是在步骤S5与步骤S6之间更进一步包括：步骤S7，采用旋转涂覆或裂缝涂 覆等方法，在所述基板50上形成覆盖所述黑矩阵层51、第一滤光图案52、第二滤光图案53以 及第三滤光图案54的一保护层56，用于保护滤光图案以及增加表面平滑性；以及步骤S8，采 用真空溅镀装置进行溅镀等方法，在所述保护层56上方形成一公用电极层57，用于与液晶 设计图案电极(Pattern Electrodes)构成正负极以驱动液晶分子旋转。上述步骤S7及步骤 S8亦可同时进行，即在所述基板50上同时形成覆盖所述黑矩阵层51、第一滤光图案52、第二 滤光图案53以及第三滤光图案54的保护层56与公用电极层57。 [0042] 请参照图11，本发明的另一优选实施例提供一种彩色滤光片10，所述彩色滤光片10可由上述制造方法所形成，其包括：基板50；多个黑矩阵51，设置于所述基板50上；多个不同颜色的滤光图案52、53、54，直列并列于所述基板50上，且每一所述滤光图案52、53、54设置于两相邻的所述黑矩阵51之间，并且可更进一步形成一间隙层55于所述黑矩阵51以及所 述多个不同颜色的滤光图案52、53、54上方。 [0043] 请参照图12，在本发明的另一实施例中，所述彩色滤光片10还可包括：一保护层56，设置于所述黑矩阵51与所述多个不同颜色的滤光图案52、53、54上方，并位于所述间隙 层55之下；以及一公用电极层57，设置于所述保护层56以及所述间隙层55之间。 [0044] 其中，所述基板50为透明玻璃基板，厚度可选自为0.7mm或以下，但不局限于此。 [0046] 且需具有改善色彩对比值、防止相邻的所述多个不同颜色的滤光图案52、53、54互相混色等功能，为达上述目的，所述黑矩阵51需具备低反射率，并且光学浓度3倍以上的遮 光率，其厚度优选为1μm以下，但不局限于此。 [0047] 所述多个不同颜色的滤光图案52、53、54的光阻材料即为一种光刻胶，又称光致抗蚀剂，光刻胶在接受一定波长的光或者射线时，会相应的发生一种光化学反应或者激励作 用。其系为由感光树脂、光增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，所述感 光树脂经光照后，在曝光区能很快地发生光固化反应，使得光阻材料的物理性能，特别是溶 解性、亲合性等发生明显变化，其具备高色纯度、高光穿透率、高旋光性与高耐热性等特性，并且其厚度一般可约为1～2μm，但不局限于此。 [0048] 根据光阻材料的化学反应机理和显影原理，其可分负型光阻材料和正型光阻材料两类。当光照后形成不可溶物质时为负型光阻材料；反之，对某些溶剂是不可溶的，经光照 后变成可溶物质的即为正型光阻材料。而本发明所述的第一光阻材料52、第二光阻材料53 以及第三光阻材料54优选采用有机负型光阻材料。 [0050] 所述公用电极层57可以是透明导电层或金属导电层，其厚度可选自为0.15μm左右，但不局限于此。若为透明导电层可选用氧化铟锡薄膜(Indium Tin Oxide,ITO)；若为金 属导电层则可选用铝金属作为导电材料。然而，由于ITO具有高导电度(1～5x10-6Ωm)、高透光度及耐候性佳等优势，因此优选为透明导电层。 [0051] 综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可做各种更动与润 饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。 |
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