1.由下式(1)表示的锍化合物：
[化学式1]
其中在式(1)中，
X表示给电子基团；
R1和R2各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R1和R2可与同R1键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；
R4至R6各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R4和R5可与同R4键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；
R3表示选自亚环烯基、亚杂环烯基、亚芳基和亚杂芳基中的任意一种；且
-
A表示阴离子。
-
2.权利要求1的锍化合物，其中 A表示选自磺酸根阴离子、酰亚胺阴离子、甲基化物阴离子、卤代烷基阴离子、羧酸根阴离子、碘鎓阴离子和磺酰亚胺阴离子中的任意一种。
-
3.权利要求1的锍化合物，其中 A表示选自由下式(1-1)、(1-2)和(1-3)表示的阴离子中的任意一种：
[化学式1-1]
其中在式(1-1)中，
Q1、Q2、Q3和Q4各自独立地表示选自氢原子、卤素原子和烷基中的任意一种；
Y1表示选自亚烷基、亚烯基、NR′、S、O、CO及其组合中的任意一种，R′表示选自氢原子和烷基中的任意一种；
Y2表示选自氢原子、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种；
n表示0至10的整数，m表示0至10的整数，且l表示0至5的整数；
[化学式1-2]
其中在式(1-2)中，
Y3和Y4各自独立地表示选自亚烷基、亚烯基、NR′、S、O、CO、O2S及其组合中的任意一种，R′表示选自氢原子和烷基中的任意一种；
Y5和Y6各自独立地表示选自氢原子、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种；
o表示0至5的整数，且p表示0至5的整数；和
[化学式1-3]
其中在式(1-3)中，
Y7、Y8和Y9各自独立地表示选自氢原子、烷基、环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种。
-
4.权利要求1的锍化合物，其中 A表示选自-OSO2CF3、-OSO2C4F9、-OSO2C8F17、-N(CF3)2、-N(C2F5)2、-N(C4F9)2、-C(CF3)3、-C(C2F5)3、-C(C4F9)3和由下式(1-4)表示的阴离子中的任意一种：
[化学式1-4]
其中在式(1-4)中，
Y10表示选自环烷基、杂环烷基、芳基、杂芳基、烷基、杂烷基、烯丙基、全氟烷基、卤代烷基和烷基磺酰基中的任意一种；
R11表示选自亚烷基、亚烯基、NR′、S、O、CO及其组合中的任意一种，R′表示选自氢原子和烷基中的任意一种；
R12和R13各自独立地表示选自氢原子和具有1-8个碳原子的烷基中的任意一种；
r表示0至5的整数；且
Q5和Q6各自独立地表示卤素原子。
5.权利要求1的锍化合物，其中R3表示选自由下式(2-1)至(2-4)表示的基团中的任意一种：
[化学式2-1]
[化学式2-2]
[化学式2-3]
[化学式2-4]
其中在式(2-1)至(2-4)中，
R21和R22各自独立地表示选自单键、具有1-5个碳原子的亚烷基和具有2-5个碳原子的亚烯基中的任意一种；且
R23表示选自-CH2-、-O-和-S-中的任意一种。
6.权利要求1的锍化合物，其中X表示选自-O-、-S-、-O-(CH2)n-O-(其中n表示1至
5的整数)、-(CH2)n-S-(其中n表示1至5的整数)和由下式(3-1)表示的基团中的任意一种：
[化学式3-1]
其中在式(3-1)中，
R31和R32各自独立地表示选自-O-、-S-及其组合中的任意一种。
7.权利要求1的锍化合物，其中所述由式(1)表示的锍化合物是选自由下式(5-1)至式(5-3)表示的化合物中的任意一种：
[化学式5-1]
[化学式5-2]
[化学式5-3]
其中在式(5-1)至式(5-3)中，
R51和R52各自独立地表示选自氢原子、具有1至5个碳原子的烷基和具有1至5个碳原子的卤代烷基中的任意一种；
n51和n52各自独立地表示1至5的整数；
n53和n54各自独立地表示0至10的整数；
R3表示选自亚环烯基、亚杂环烯基、亚芳基和亚杂芳基中的任意一种；
X表示给电子基团；
R4至R6各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R4和R5可与同R4键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；且
-A表示阴离子。
8.产酸剂，其包含权利要求1至7中任意一项的锍化合物。
9.抗蚀剂组合物，其包含权利要求8的产酸剂。