掩模板 |
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| 申请号 | CN201310056668.3 | 申请日 | 2013-02-22 | 公开(公告)号 | CN103149790A | 公开(公告)日 | 2013-06-12 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司; | 发明人 | 黎午升; | ||||
| 摘要 | 本 发明 公开了一种掩模板，所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区，所述狭缝状透光区设置有狭缝，所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线，所述狭缝存在拐 角 ，所述拐角两侧狭缝的内径分别为A1、A2，所述凹状圆弧的半径分别为R1、R2，所述拐角分为内角和外角，所述狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接。本发明的掩模板，采用连续的凹状圆弧曲线狭缝，并对狭缝拐角处进行平滑连接，不仅实现了窄线宽，而且线宽平滑无毛刺，保证了线宽的均一度，能够有效的避免拐角处线宽细线和过刻等问题，满足了两个方向窄线宽的需求，提高了产品生产制造的成品率和品质。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种掩模板，所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区，所述狭缝状透光区设置有狭缝，其特征在于，所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线。 |
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| 说明书全文 | 掩模板技术领域背景技术[0003] 为了克服这一效应的影响，目前实现窄线宽的方法是通过锯齿形掩模狭缝设计来实现窄线宽的方法，如图1所示；通过调节A，B，θ，来调节线宽的大小。这种方法的优点是只需要更改掩模狭缝的格局设计就能实现窄线宽的效果，但缺点是毛刺较多，不够平滑，且缺乏拐角设计，实际上往往采取直线型设计与锯齿形设计相结合的方式，即不需要窄线宽的方向使用直线型设计而需要窄线宽的方向使用锯齿形设计并将其插入直线型，如图2所示。两种设计的连接处因缺少平滑连接设计导致拐角处线宽过细易被刻蚀最终导致断线不良。另外，当两个方向都需要窄线宽设计时，图2的设计无法不能满足两个方向均需窄线宽的要求。 发明内容[0004] （一）要解决的技术问题 [0005] 本发明要解决的技术问题是：如何提供一种掩模板，能够避免掩模板上折线型或凸起状狭缝造成的毛刺较多、且不够平滑，缺少拐角处设计等问题，从而实现窄线宽的平滑无毛刺，保证线宽的均一度，能够有效的避免拐角处线宽细线和过刻等问题，提高产品生产制造的成品率和品质。 [0006] （二）技术方案 [0007] 为解决上述技术问题，本发明提供了一种掩模板，所述掩模板包括不透光区和狭缝状透光区，所述狭缝状透光区设置有狭缝，所述狭缝的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线。 [0008] 优选的，所述狭缝两侧边缘的凹状圆弧的沿中心轴对称。。 [0009] 优选的，所述凹状圆弧为半圆弧。 [0010] 优选的，所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝，所述第一狭缝与第二狭缝之间通过拐角连接。 [0011] 优选的，所述拐角分为内角和外角，所述狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接。 [0012] 优选的，所述内角凹状圆弧为以第一狭缝的凹状圆弧半径与第二狭缝的凹状圆弧半径的平均值为半径，内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。 [0013] 优选的，当内角两侧凹状圆弧相互重叠时，删除相互重叠部分的凹状圆弧，所述内角凹状圆弧为以内角顶点到删除后距内角顶点距离最近的凹状圆弧端点之间的距离为半径，内角凹状圆弧角度为拐角角度的凹状圆弧。 [0014] 优选的，所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别向外角顶点延伸，所述凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点小于各自直径处停止，所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点之间的距离为直径的半圆弧。 [0015] 优选的，所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别向外角顶点延伸，所述凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点小于各自直径处停止，所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点及外角顶点为顶点的外接圆弧。 [0016] 优选的，当拐角角度为180度时，所述内角凹状圆弧与所述外角凹状圆弧同化为连接圆弧，所述连接圆弧为以第一狭缝和第二狭缝内径差的一半为半径的1/4圆弧。 [0017] （三）有益效果 [0018] 本发明的掩模板，采用连续的凹状圆弧曲线狭缝，并对狭缝拐角处进行平滑连接，不仅实现了窄线宽，而且线宽平滑无毛刺，保证了线宽的均一度，能够有效的避免拐角处线宽细线和过刻等问题，满足了两个方向窄线宽的需求，提高了产品生产制造的成品率和品质。附图说明 [0019] 图1是现有技术掩模板狭缝的结构示意图； [0020] 图2是现有技术直线形狭缝与锯齿形狭缝连接结构示意图； [0021] 图3是本发明实施例掩模板的结构示意图； [0022] 图4是本发明实施例掩模板狭缝拐角处的结构示意图 [0023] 图5是本发明实施例掩模板拐角为180度的结构示意图； [0024] 图6是本发明实施例掩模板拐角过小时凹状圆弧相互重叠的结构示意图； [0025] 图7是本发明实施例掩模板拐角过小时的结构示意图。 具体实施方式[0026] 下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。 [0027] 实施例1 [0028] 本发明实施例的掩模板，所述掩模板包括不透光区B和狭缝状透光区T，掩模板上设置有狭缝，狭缝两侧的边缘为连续的凹状圆弧构成的曲线，两侧的凹状圆弧构成的曲线位置相互对应，两侧的凹状圆弧沿狭缝方向的中心轴对称，如图3所示。 [0029] 优选的，凹状圆弧为半圆弧，半圆弧的半径为R，所述凹状圆弧的半径R小于0.5μm，优选为0.3μm，各半圆弧底端形成的两条切线为内径切线，两内径切线之间的距离为内径。 [0030] 优选的，所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝，所述第一狭缝与第二狭缝之间通过拐角连接如图4所示，所述拐角的角度为β，所述拐角分为内角和外角，所述狭缝在拐角处通过内角凹状圆弧和外角凹状圆弧连接，拐角两侧狭缝的内径切线分别交于内角顶点和外角顶点，拐角两侧狭缝（即所述狭缝包括第一狭缝和第二狭缝）的内径分别为A1、A2，凹状圆弧的半径分别为R1、R2，拐角两侧狭缝的内径A1、A2和凹状圆弧半径R1、R2可以相同也可以不同。 [0031] 具体的，所述内角凹状圆弧为以内角顶点为圆心，凹状圆弧半径R1和R2的平均值为半径（即以第一狭缝的凹状圆弧的半径R1和第二狭缝凹状圆弧的半径R2的平均值为半径），角度为β的凹状圆弧。内角两侧的连续凹状圆弧曲线分别以内角凹状圆弧两端点为起点，沿内角两侧的内径切线向两侧延伸。内角凹状圆弧不局限于本实施例所述，本领域技术人员可根据需要在狭缝拐角连接圆滑的情况下可进行各种变换。 [0032] 所述外角两侧的凹状圆弧曲线分别沿外角两侧的内径切线向外角顶点延伸，所述外角两侧凹状圆弧曲线在延伸到距离外角顶点距离小于各自凹状圆弧直径处停止，外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点之间的距离为直径的凹状半圆弧。外角凹状圆弧不局限于本实施例所述，本领域技术人员可根据需要在狭缝拐角连接圆滑的情况下可进行各种变换。 [0033] 实施例2 [0034] 本发明实施例提供一种掩模板，其结构与实施例1基本相同，不同之处在于：所述外角凹状圆弧为以所述凹状圆弧曲线停止处的两端点及外角顶点为顶点的外接圆弧。 [0035] 实施例3 [0036] 本发明实施例提供一种掩模板，其结构与实施例1和实施例2基本相同，不同之处在于：所述拐角角度β=180度，所述内角凹状圆弧与所述外角凹状圆弧同化为连接圆弧，拐角两侧狭缝的中心轴为同一中心轴如图5所示。 [0037] 当拐角两侧狭缝的内径A1和A2相同时，拐角两侧狭缝一各自半径的凹状圆弧曲线直接连接无需连接圆弧。 [0038] 当拐角两侧狭缝的内径A1和A2不相同时，内径较小的狭缝的内径切线与分界线交于C、D两点，所述连接圆弧为分别以C、D为圆心，以两狭缝内径A1和A2差的一半为半径的1/4圆弧。连接圆弧不局限于本实施例所述，本领域技术人员可根据需要在狭缝拐角连接圆滑的情况下可进行各种变换。 [0039] 实施例4 [0040] 本发明实施例提供一种掩模板，其结构与实施例1基本相同，不同之处在于：当拐角角度较小，内角两侧凹状圆弧相互重叠时如图6，删除相互重叠部分的凹状圆弧，所述内角凹状圆弧增加内角圆弧半径来连接删除后的内角两侧凹状圆弧曲线端点如图7所示。 [0041] 优选的，所述内角凹状圆弧为以内角顶点到删除后距内角顶点距离最近的凹状圆弧端点之间的距离为半径，内角凹状圆弧角度为β的凹状圆弧。 |
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