一种单晶炉的炉盖 |
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| 申请号 | CN201610151794.0 | 申请日 | 2016-03-16 | 公开(公告)号 | CN105671643A | 公开(公告)日 | 2016-06-15 |
| 申请人 | 江苏华盛天龙光电设备股份有限公司; | 发明人 | 潘清跃; 王平; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及一种单晶炉的 炉盖 ，包括炉盖主体、过流 阀 、出气管、气体处理装置和 定位 机构，所述的炉盖主体呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体内设置有空心腔体，所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座，所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处，所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道，所述的过流通道与空心腔体相连通，所述的过流阀安装在过流通道内，所述的出气管穿过炉盖主体的上 侧壁 与空心腔体相连通，所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处，所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种单晶炉的炉盖，其特征在于：包括 |
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| 说明书全文 | 一种单晶炉的炉盖技术领域背景技术[0002] 单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶硅需要在高压的环境下进行制备，但是当单晶炉内的压力过大后很容易造成自身结构的损坏，所以设计一种具有压力保护功能的单晶炉炉盖就显得尤为重要。 发明内容[0003] 本发明的目的就是通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏；发明了一种单晶炉的炉盖。 [0004] 为解决上述的技术问题，本发明提供了一种单晶炉的炉盖，包括[0005] 炉盖主体，所述的炉盖主体呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体内设置有空心腔体，所述的炉盖主体下端的两侧设置有连接座，所述的炉盖主体通过两侧的连接座安装在炉体的上沿处， [0006] 过流阀，所述的炉盖主体的弧形内壁上开设有过流通道，所述的过流通道与空心腔体相连通，所述的过流阀安装在过流通道内， [0007] 出气管，所述的出气管穿过炉盖主体的上侧壁与空心腔体相连通，[0008] 气体处理装置，所述的气体处理装置安装在出气管的出气口处，[0009] 定位机构，所述的定位机构设置在连接座与炉体的上沿之间。 [0010] 进一步：所述的过流阀包括阀筒、阀盖、弹簧和阀芯，所述的阀筒位于过流通道内，所述的阀盖连接在阀筒的上端，所述的阀芯活动连接在阀筒内，所述的阀芯通过弹簧与阀盖相连，所述的阀筒的侧壁上开设有溢流通道，所述的阀盖上相对于溢流通道的位置设置有溢流孔，所述的溢流通道通过溢流孔与过流通道相连通。 [0011] 进一步：所述的气体处理装置为气体采集袋。 [0012] 又进一步：所述的定位机构包括开设在连接座底部的导向槽、开设在炉体上沿表面的半圆形卡槽、球形卡头和弹簧，所述的球形卡头通过弹簧连接在导向槽内，当导向槽正对半圆形卡槽时，球形卡头在弹簧的作用下会卡入半圆形卡槽内。 [0014] 下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。 [0015] 图1为本发明的结构示意图。 [0016] 图2为过流阀的结构示意图。 [0017] 图3为图1中A的放大图。 具体实施方式[0018] 如图1所示的一种单晶炉的炉盖，包括炉盖主体1、过流阀4、出气管6、气体处理装置7和定位机构，所述的炉盖主体1呈向上凸的弧形，所述的炉盖主体1内设置有空心腔体2，所述的炉盖主体1下端的两侧设置有连接座3，所述的炉盖主体1通过两侧的连接座3安装在炉体的上沿处，所述的炉盖主体1的弧形内壁上开设有过流通道5，所述的过流通道5与空心腔体2相连通，所述的过流阀安装在过流通道5内，所述的出气管6穿过炉盖主体1的上侧壁与空心腔体2相连通，所述的气体处理装置7安装在出气管6的出气口处，所述的定位机构设置在连接座3与炉体的上沿之间，所述的气体处理装置7为气体采集袋。工作时，把炉盖主体1放置在炉体的上沿处，然后旋转炉盖主体1利用定位机构进行定位，然后通过两侧的连接座3对炉盖主体1和炉体进行固定，当单晶炉内的压强过大时，过流阀4会自行启动降低单晶炉内的气压，防止单晶炉受到过大的压力而造成自身结构的损坏。 [0019] 如图2所示的过流阀4包括阀筒9、阀盖10、弹簧12和阀芯11，所述的阀筒9位于过流通道3内，所述的阀盖10连接在阀筒9的上端，所述的阀芯11活动连接在阀筒9内，所述的阀芯11通过弹簧12与阀盖10相连，所述的阀筒9的侧壁上开设有溢流通道13，所述的阀盖10上相对于溢流通道13的位置设置有溢流孔14，所述的溢流通道13通过溢流孔14与过流通道5相连通。当单晶炉内的压强过大时，单晶炉内的气体会自动挤压阀芯11，使阀芯11挤压弹簧12沿着阀筒9向上运动，随着阀芯11不断向上运动，当溢流通道13与单晶炉的内部空间相连通后，单晶炉内的高压气体会依次通过溢流通道13和溢流孔14流入密封腔体5内，然后再通过出气通道6流入气体处理装置7内，从而起到降低单晶炉内压强的作用。当单晶炉内的压强降低后，此时弹簧12提高的弹力大于气体提高的压力时，弹簧12会推着阀芯11向反方向运动，重新堵塞溢流通道13，此时单晶炉内的气体就不会在自动流出。本设计通过过流阀来对单晶炉起到自我保护的功能，防止单晶炉内气体压强过大而造成自身结构的损坏。 [0020] 如图3所示的定位机构包括开设在连接座3底部的导向槽15、开设在炉体上沿表面的半圆形卡槽16、球形卡头17和弹簧18，所述的球形卡头17通过弹簧18连接在导向槽15内，当导向槽15正对半圆形卡槽16时，球形卡头17在弹簧18的作用下会卡入半圆形卡槽16内。本设计通过定位机构对炉盖主体1进行定位，从而更加准确方便地安装在炉体的上沿处；并且其具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。 |
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