保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置 |
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| 申请号 | CN201480033957.4 | 申请日 | 2014-06-06 | 公开(公告)号 | CN105308221B | 公开(公告)日 | 2017-12-15 |
| 申请人 | KYB株式会社; 株式会社中央制作所; | 发明人 | 望月嘉隆; 宫崎稔久; 高松辉; | ||||
| 摘要 | 本 发明 提供一种保持装置，该保持装置能够对多种 工件 进行保持，并且能够可靠地防止液槽内的液体的漏泄。保持装置(40)具备保持部件(41)，其在保持室(45)内对跨及流动有电 镀 液(液体)的液槽和与该液槽连通的保持室(45)而配置的被镀物(工件)(1)进行保持。保持部件(41)具有多个抵接部(43)，所述抵接部(43)由具有耐化学性的海绵板(弹性体)(46)构成，且无缝地抵接在被镀物(工件)(1)的同一外周面上并对被镀物(工件)(1)进行夹持，所述保持装置具备加压装置(50)，所述加压装置(50)在被镀物(工件)(1)已被保持部件(41)夹持的状态下，送入空气而对保持室(45)内进行加压。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种保持装置，具备保持部件，所述保持部件在保持室内对跨及流动有液体的液槽和与该液槽连通的保持室而配置的工件进行保持， |
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| 说明书全文 | 保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置技术领域背景技术[0002] 在专利文献1中公开了一种现有的高速电镀装置。该高速电镀装置具备由金属筒和盖部件构成的密闭容器，其中，所述金属筒为阳极，所述盖部件一体地结合在该金属筒的两端上。盖部件为绝缘材料或者其表面由绝缘材料而被覆。相对置的两个盖部件设置有供栓部件滑动自如地插穿的插穿孔。栓部件为对被镀物进行夹持并保持的部件，且构成保持装置的一部分。此外，栓部件也为与被镀物接触并对被镀物施加负电压的供电部件。栓部件由耐蚀性的树脂而被覆。 [0003] 另外，该高速电镀装置具备电源装置，所述电源装置以向金属筒施加正电压且向被镀物施加负电压的方式，对金属筒以及栓部件进行通电。此外，该高速电镀装置具备由以使电镀液在密闭容器内流动的方式使电镀液进行循环的泵等构成的循环装置。 [0004] 该高速电镀装置在将栓部件所夹持的被镀物收纳至密闭容器内之后，以使电镀液在密闭容器内流动的方式对泵进行驱动。而且，通过向金属筒施加正电压并经由栓部件而向被镀物施加负电压，从而能够实施电镀时间较短的高速电镀。由于该高速电镀装置与一般的电镀装置相比，以更大的电流密度来实施电镀，因此，构成密闭室的金属筒的内表面会在较短时间内腐蚀。因此，该高速电镀装置以能够容易地更换金属筒的方式而被构成。 [0005] 在先技术文献 [0006] 专利文献 [0007] 专利文献1：日本特开昭55-138097号公报 发明内容[0008] 发明所要解决的课题 [0009] 但是，由于专利文献1的高速电镀装置在密闭容器的盖部件上设置有插穿孔，以供对被镀物进行保持的栓部件滑动自如地插穿，因此在实施高速电镀时，电镀液可能会从栓部件的外周面与插穿孔的内周面之间漏泄。此外，对被镀物进行保持的栓部件未与大小或形状不同的多种工件相对应，因而该高速电镀装置难以向多种工件实施电镀。 [0010] 本发明为鉴于上述现有的情况而完成的发明，并将提供一种能够对多种工件进行保持并且能够可靠地防止液槽内的液体的漏泄的保持装置以及具备该保持装置的高速电镀装置作为应当解决的课题。 [0011] 用于解决课题的方法 [0012] 本发明的保持装置具备：保持部件，所述保持部件在保持室内对跨及流动有液体的液槽和与该液槽连通的保持室而配置的工件进行保持，所述保持装置的特征在于，所述保持部件具有多个抵接部，所述抵接部由具有耐化学性的弹性体构成，且无缝地抵接在所述工件的同一外周面上并对所述工件进行夹持，所述保持装置具备加压装置，所述加压装置在所述工件已被所述保持部件夹持的状态下，送入空气而对所述保持室内进行加压。 [0013] 发明效果 [0014] 该保持装置通过具有耐化学性的弹性体来构成无缝地抵接在工件的同一外周面上的抵接部，并且加压装置送入空气而对保持室内进行加压。因此，由弹性体构成的抵接部被气压所按压，从而密接在工件的外周面上。此外，通过对保持室内进行加压，从而欲从抵接部与工件的边界部或抵接部彼此的边界部向保持室侧漏泄的液体将被气压推回。因此，该保持装置能够可靠地防止液体从液槽漏泄。此外，由于该保持装置通过弹性体来构成抵接部，因此即使工件的外周面形状发生变化也能够使抵接部密接在工件的外周面上。因此，该保持装置能够应对多种工件。此外，由于该保持装置的构成抵接部的弹性体具有耐化学性，因此能够防止由于液体而造成的抵接部的劣化，从而能够长期防止液体的漏泄。 [0015] 此外，在具备该保持装置的高速电镀装置中，通过由具有耐化学性的弹性体构成的抵接部无缝地抵接在作为工件的被镀物的同一外周面上，并且加压装置送入空气而对保持室内进行加压，从而抵接部通过气压而被按压，并密接在工件的外周面上，进而欲从抵接部与被镀物的边界部或抵接部彼此的边界部向保持室侧漏泄的电镀液被气压推回。因此，具备该保持装置的高速电镀装置能够可靠地防止电镀液从液槽漏泄。此外，由于该高速电镀装置通过弹性体来构成对被镀物进行保持的保持部件的抵接部，因此即使被镀物的外周面形状发生变化也能够使抵接部密接在被镀物的外周面上。因此，该保持装置能够与应对多种被镀物。此外，由于该高速电镀装置的构成抵接部的弹性体具有耐化学性，因此能够防止由于电镀液而造成的抵接部的劣化，从而能够长期防止电镀液的漏泄。 [0017] 图1为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面的剖视图。 [0018] 图2为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面的剖视图。 [0020] 图4为表示实施例的阳极与第一供电部件的剖视图。 [0021] 图5为将实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行放大的剖视图。 [0022] 图6为将实施例的高速电镀装置的对阳极下部进行支承的下部承受部件周围放大后的剖视图。 [0023] 图7为从上方观察实施例的高速电镀装置的俯视图。 [0025] 图9为实施例的第二供电部件的局部剖视图。 [0026] 图10为实施例的保持部件所处的位置的水平剖视图。 [0027] 图11为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。 [0028] 图12为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内前的剖视图。 [0029] 图13为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物的下端部被插入到支承棒的上端的凹部中的状态的剖视图。 [0030] 图14为表示沿着实施例的高速电镀装置的第二供电部件的移动方向的截面、且为被镀物下降至阳极内的状态的剖视图。 [0031] 图15为表示实施例的第二供电部件的顶端部与被镀物的外周面接触的状态的剖视图。 [0032] 图16为表示沿着实施例的高速电镀装置的保持部件的移动方向的截面、且为保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。 [0033] 图17为表示保持部对被镀物进行保持的状态的水平剖视图。 [0034] 图18为对实施例的高速电镀装置的与阳极的上部相比靠上方的部分进行了放大、且为表示保持部对被镀物进行保持的状态的剖视图。 具体实施方式[0035] 参照附图，对将本发明的具备保持装置的高速电镀装置具体化了的实施例进行说明。 [0036] ＜实施例＞ [0037] 如图1及图2所示，实施例的高速电镀装置具备：阳极10；第一供电部件20，其与阳极10接触并施加正电压；第二供电部件30，其与作为工件的被镀物1接触并施加负电压；保持装置40，其具备对被镀物1进行保持的保持部件41；加压装置50，其向配置有保持部件41的保持室45内送入空气而进行加压；循环装置60，其使电镀液进行循环；电源装置70，其对阳极10和第二供电部件30进行通电。 [0038] 阳极10为圆筒状并以在铅直方向上延伸的方式而被配置。如图3及图4所示，阳极10具有由钛制的板料形成的外筒部11、和由铂制的板料形成的内筒部12。此外，如图1及图2所示，阳极10具有分别外嵌于上下端部上的钛制的环形部件13。 [0039] 该阳极10以接下来所说明的方式被制造。首先，使铂制的平板料12A重叠在钛制的平板料11A上，并通过电阻焊接而使表面彼此焊接在一起，从而制造双重结构的板料10A(参照图3(A))。接下来，以使铂制的平板料12A成为内侧的方式卷起来，以成为圆筒状的方式成形，并以使端面对接的方式进行焊接(参照图3(B))。而且，将环形部件13分别焊接在阳极10的上下端部的外周面上从而实现一体化。 [0040] 如此，由于将由铂制的板料12A构成的内筒部12焊接在具有导电性的钛制的外筒部11的内表面上从而形成阳极10，因此，能够使由铂制的板料12A构成的内筒部12牢固地紧贴在导电性的外筒部11上。因此，能够减少在电镀工序中由铂制的板料12A构成的内筒部12从外筒部11的内表面上剥离的情况。此外，由于内筒部12由铂制的板料12A形成，因此与电沉积而成的铂薄膜相比能够减少由于实施电镀而产生的消耗量。如此，该阳极10能够减少更换频率，从而能够降低追加加工费。 [0041] 因此，实施例的阳极10以及具备该阳极10的高速电镀装置能够以长期间良好地实施电镀。 [0042] 此外，由于通过使铂制的平板料12A重叠在钛制的平板料11A上并使表面彼此焊接在一起之后，以成为圆筒状的方式卷起来并使端面对接地进行焊接，从而使阳极10成形，因此，能够容易地使圆筒状的阳极10成形，所述圆筒状的阳极10通过由钛制的平板料11A形成的外筒部11、和由铂制的平板料12A形成的外筒部11而构成。 [0043] 如图1、图2及图4所示，第一供电部件20由第一部件21和第二部件22形成，并且这些部件被安装于分别外嵌在阳极10的上下端部上的环形部件13之间。第一部件21为铜板，第二部件22由与第一部件21相比而较薄的铜板形成。第一部件21为沿着阳极10而在上下方向上延伸的纵长的长方形的平板，其左右中央部与在铅直方向上于一条直线上延伸的阳极10的外周面接触。第二部件22为以两端部与第一部件21抵接的方式在上下方向上延伸的纵长的长方形的平板，该两端部通过多个螺栓而被螺纹结合在第一部件21上。第二部件22以在被螺纹结合在第一部件21上的状态下覆盖阳极10的方式中央部U字状地向前方鼓出，并且其内表面与阳极10的从第一部件21远离的半周面接触。第一供电部件20通过使对第一部件21与第二部件22进行结合的螺栓旋松从而拆卸阳极10并进行更换。 [0044] 如图1及图2所示，阳极10的上端部通过上部承受部件80而被支承，下端部通过下部承受部件90而被支承。上部承受部件80被固定在具有供阳极10插穿的开口的平板状的第一固定部件100上。下部承受部件90被固定在具有供后述的支承棒15插穿的开口的平板状的第二固定部件101上。第二固定部件101通过从第一固定部件100的下表面起向下方垂下的四个连结部件102而被连结于第一固定部件100的下方。 [0045] 如图5所示，上部承受部件80的外形形状为长方体形状，并具有向铅直上方开口的上部空间81、和与该上部空间81的下端连续并向铅直下方开口的下部空间82。上部承受部件80的上部空间81以及下部空间82的各自的内周面的水平截面形状被形成为同心圆形状。上部空间81供后述的基座部件85的下部从上方插入。此外，被配置在一条直线上、且顶端在与基座部件85相比靠下方的上部空间81内相对置的第二供电部件30以朝向上部空间81的中心而进退自如的方式被配置。如图2及图5所示，上部空间81具有连续地在水平方向上延伸并向上部承受部件80的侧面开口的电镀液的流出口83。电镀液的流出口83与L字状的流出管61连接。 [0046] 如图1、图2及图5所示，上部承受部件80的下部空间82中插入有外嵌有环形部件13的阳极10的上端部。在下部空间82的内周面与环形部件13的外周面之间，存在两个具有耐蚀性的O型环R1。由此，可以防止电镀液从上部承受部件80的下部空间82与阳极10连结处漏泄。 [0047] 如图6所示，下部承受部件90的外形形状为长方体形状，并具有向铅直上方开口的上部空间91、和与该上部空间91的下端连续的下部空间92。下部承受部件90的上部空间91以及下部空间92的各自的内周面的水平截面形状被形成为同心圆形状。上部空间91中插入有外嵌有环形部件13的阳极10的下端部。在上部空间91的内周面与环形部件13的外周面之间，存在两个具有耐蚀性的O型环R2。由此，可以防止电镀液从下部承受部件90的上部空间91与阳极10的连结处漏泄。 [0048] 如图1、图2及图6所示，下部承受部件90的下部空间92具有连续地在水平方向上延伸并向下部承受部件90的侧面开口的电镀液的流入口93。电镀液的流入口93与流入管62连接。此外，下部空间92具有连续地向铅直下方延伸并向下部承受部件90的下端面开口的插穿口94。插穿口94、下部承受部件90的下部空间92以及上部空间91的各自的内周面的水平截面形状被形成为同心圆形状。圆柱形状的支承棒15以升降自如的方式插穿于该插穿口94中。 [0049] 支承棒15具有在上端向上方开口的凹部16。该凹部16供圆柱形状的被镀物1的下端部被插入。此外，支承棒15的下端部与未图示的气缸的活塞杆连结。因此，通过对该气缸进行驱动，从而能够使支承棒15在阳极10的中心轴上进行升降。在插穿口94的内周面与支承棒15之间，存在两个具有耐蚀性的O型环R3以及一个防尘封S1。由此，可以防止电镀液从插穿口94与支承棒15之间漏泄，并且防止灰尘从外部进入。 [0050] 如图1及图8所示，以从上部承受部件80的相反侧的两侧面朝向上部空间81的方式在一条直线上贯穿的两个贯穿孔84中各自插入有第二供电部件30。这些第二供电部件30如前文所述那样被配置在一条直线上，并且顶端在与基座部件85相比靠下方的上部空间81内相对置。此外，如图7所示，各第二供电部件30的后端在与上部承受部件80的侧面相比靠外侧处经由把持部件130而与气缸110的活塞杆111连结。各气缸110被固定在从第一固定部件100的两端部立起的固定壁103上。因此，通过对气缸110进行驱动，从而各第二供电部件30朝向上部空间81的中心而进退自如。即，各第二供电部件30朝向被配置在上部空间81的中心处的被镀物1而在前进位置与后退位置之间进退自如。各第二供电部件30在前进位置处其顶端部与圆柱形状的被镀物1的外周面接触，而在后退位置处其顶端部从被镀物1的外周面分离。此外，在对第二供电部件30的后端部进行把持的把持部件130上，连结有弯曲成大致U字状的铜制的供电板71的一端部。各供电板71的另一端部通过铜制的连结板72而被连结。各供电板71能够以追随各第二供电部件30的进退的方式而进行变形。此外，各供电板71与电源75连接。 [0051] 各第二供电部件30为以轴向作为进退方向的圆柱形状。此外，如图8所示，在各第二供电部件30的外周面与各贯穿孔84的内周面之间，存在两个具有耐蚀性的O型环R4。由此，在电镀液不会从各第二供电部件30与上部承受部件80的上部空间81之间漏泄的条件下，各第二供电部件30能够平滑地进退。 [0052] 此外，如图7至图9所示，各第二供电部件30在从上方进行俯视观察时，顶端被形成为中心与两侧相比靠后方的V字状切口。如图9所示，这些第二供电部件30通过作为圆柱形状的铜制的中心部件31、和对中心部件31的四周进行被覆的钛制的被覆部件32而被构成。中心部件31的直径为被覆部件32的外径的90％～50％之间。由于在与基座部件85相比靠下方的上部空间81内充满电镀液，因此，对第二供电部件30中电镀液所浸湿的部位通过钛制的被覆部件32而进行被覆。因此，提高了该第二供电部件30对于电镀液的耐蚀性。因此，能够减少该第二供电部件30的更换频率。此外，由于该第二供电部件30具备与钛相比电传导率较高的铜制的中心部件31，因此与仅由钛形成的供电部件相比，能够对供电时的散热量进行抑制，从而能够减少电镀液的温度上升。 [0053] 因此，实施例的第二供电部件30以及具备该第二供电部件30的高速电镀装置能够以长期间良好地实施电镀。 [0054] 该第二供电部件30以接下来所说明的方式而被制造。首先，如图9所示，在被覆部件32上形成能够供中心部件31插入的圆柱形状的插入空间，并且在其内周面上形成螺纹牙。以相同的螺纹直径而将中心部件31加工成外螺纹。而且，将中心部件31旋入被覆部件32的插入空间内，并且通过在被覆部件32的插入口处进行钎焊从而制造第二供电部件30。第二供电部件30的中心部件31的后端部从被覆部件32露出。该露出的中心部件31作为经由把持部件130而从电源75通电的通电部而被利用。 [0055] 如图2、图5及图10所示，保持装置40具有基座部件85，且所述基座部件85的下部从上方被插入至上部承受部件80的上部空间81内。基座部件85的下部的外形形状为圆柱形状，且上部的外形形状为长方体形状。上部承受部件80的外形形状也为长方体形状，上部承受部件80与基座部件85在从上方进行俯视观察时，以形成外边缘的各个四边成为平行的方式被组合在一起。在上部承受部件80的上表面与从基座部件85的下部的上端于水平方向上扩张的表面之间，存在具有耐蚀性的O型环R5。由此，可以防止电镀液从上部承受部件80与基座部件85之间漏泄。 [0056] 基座部件85具有收纳部86，所述收纳部86向铅直上方开口、且具有在下部中央处向下方开口的连通口87。收纳部86以及连通口87的内周面的水平截面形状被形成为同心圆形状。连通口87被形成为，与收纳部86的内周面相比直径较小且与圆柱形状的被镀物1相比直径略大，从而能够使被镀物1插穿。 [0057] 收纳部86对一对保持部件41进行收纳。通过基座部件85的收纳部86、和将基座部件85的上部开口封闭的密封盖88而形成保持室45。密封盖88具有圆盘形状的上表面部88A、和从上表面部88A的边缘向下方延伸的侧面88B部。上表面部88A贯穿设置有进气口89。进气口89上连接有通风管52的一端部。通风管52的另一端部连接于压缩机51。如此，加压装置50具有压缩机51和通风管52。密封盖88能够通过未图示的移动装置而移动至将基座部件85的上部开口封闭的位置处，并且成为在该位置处向下方被按压的状态。在基座部件85的上表面与密封盖88的侧面部的下表面之间，存在一个O型环R6。由此，可以防止空气从基座部件85与密封盖88之间漏出。 [0058] 各保持部件41具有保持部主体42和抵接部43。各保持部主体42为半圆柱形状，并且被形成为沿着平面部的轴部的中央凹陷为半圆柱形状的凹部44A。该凹部44A被形成为大于圆柱形状的被镀物1的外径。各保持部主体42以平面部44B对置的方式被配置。 [0059] 如图10所示，抵接部43由在从上方进行俯视观察时呈长方形状的海绵板46而形成。该海绵板46为具有耐化学性的弹性体。在海绵板46的长边部的中央部处凹切口形成为半圆形状的切口部为抵接部43。抵接部43以直径小于圆柱形状的被镀物1的外径的方式被形成，并与被镀物1的外周面抵接。即，抵接部43通过以与所抵接的被镀物1的侧面形状相比而较小的相似形状对海绵板46进行凹切的方式被形成。因此，抵接部43能够与被镀物1的外周面无缝地抵接。 [0060] 如图5所示，在各保持部主体42中，在对置的面上、且在高度方向上远离的两个位置处，形成有夹持海绵板46的于水平方向上延伸的槽部47A、47B。在上侧的槽部47A中重叠地插入两块较薄的海绵板46并对其进行夹持，在下侧的槽部47B中插入一块较厚的海绵板46并对其进行夹持。 [0061] 如图10所示，在基座部件85中，在与插入了第二供电部件30的上部承受部件80的侧面正交的两个侧面上安装有气缸120。基座部件85具有从该两个侧面贯穿至收纳部86内、且供各气缸120的活塞杆121插穿的插穿孔85A。在该插穿孔85A的内周面与活塞杆121的外周面之间，存在一个O型环R7。由此，可以防止空气从插穿孔与活塞杆之间漏出。 [0062] 各气缸120的活塞杆121的顶端部在基座部件85的保持室45内与保持部主体42连结。各保持部件41在后退位置与前进位置之间进退自如，所示后退位置为，保持部主体42的平面部44B以及海绵板46的端面彼此分离，且保持部主体42的圆弧状的侧面的一部分与基座部件85的内周面抵接的位置，所述前进位置为，海绵板46的对置的端面彼此接触，且海绵板46的抵接部43从被镀物1的两侧无缝地抵接在同一外周面上并对该被镀物1进行夹持的位置。 [0063] 如图5所示，在保持部主体42的下表面与基座部件85的收纳部86的底面之间，存在具有耐蚀性的O型环R8。由此，可以防止电镀液从保持部主体42与基座部件85之间漏泄。 [0064] 如图1及图2所示，循环装置60具有循环通道63、和被设置在该循环通道63的中途的电镀液管理槽64以及泵65，所述循环通道63具有：与在上部承受部件80的侧面开口的电镀液的流出口83连接的L字状的流出管61、和与在下部承受部件90的侧面开口的电镀液的流入口93连接的流入管62。当对泵65进行驱动时，循环装置60能够使电镀液管理槽64内的电镀液在向下部承受部件90的电镀液的流入口93输送、之后依次穿过下部承受部件90、阳极10、上部承受部件80、电镀液的流出口83而返回至电镀液管理槽64的循环通道63中巡回。 [0065] 如图1所示，电源装置70以如下方式与电源75连接，即，经由第一供电部件20而向阳极10施加正电压，并经由第二供电部件30而向被镀物1施加负电压。 [0066] 在下文中，对具有这样的结构的高速电镀装置的电镀工序进行说明。 [0067] 首先，如图11及图12所示，高速电镀装置在各第二供电部件30以及各保持部件41位于后退位置处且支承棒15已上升的状态下，对上端部被夹头5所把持了的被镀物1的下降进行待命。之后，使被镀物1从基座部件85的上部开口下降，并且如图13所示，将被镀物1的下端部插入至在支承棒15的上端向上方开口的凹部16中。 [0068] 另外，通过使对被镀物1的上端部进行把持的夹头5下降，从而与支承棒15的下端部连结的未图示的气缸的活塞杆会下降，进而被镀物1下降至电镀位置。即，将被镀物1配置为，在被镀物与阳极10之间形成供电镀液流动的空间的状态。 [0069] 在该状态下，经由把持部件130而与第二供电部件30的后端连结的气缸110的活塞杆111前进。即，第二供电部件30朝向被镀物1而移动至向前进位置，并且如图14及图15所示，第二供电部件30的顶端部与被镀物1的上部的外周面接触并对被镀物1进行保持。在该时间点，各保持部件41仍然处于后退位置。而且，夹头5放开被镀物1的上端部并上升。 [0070] 接下来，与各保持部件41的保持部主体42连结的气缸120的活塞杆121前进。即，如图16及图17所示，各保持部主体42移动至海绵板46的抵接部43从被镀物1的两侧无缝地抵接在同一外周面上并对该被镀物1进行夹持的前进位置。此外，各海绵板46的其他的部分也成为如下状态，即，对置的端面彼此无缝地相互抵接、且保持部主体42的对置平面部彼此接触的状态。 [0071] 接下来，如图1、图2及图18所示，密封盖88成为通过移动装置而移动至堵塞基座部件85的上部开口的位置，并在该位置处向下方被按压的状态。而且，对压缩机51进行驱动，从而向密封盖88的进气口89送入空气并对保持室45内进行加压。此时，以后述的方式而使电镀液循环，并以将保持室45内的内压维持在电镀液于被镀物1与阳极10之间流动的区域(该区域相当于液槽)的内压以上的方式，对压缩机51进行驱动并将空气送进保持室45内。 [0072] 在该状态下，被镀物1被配置在阳极10的轴上。即，阳极10的内周面与被镀物1的外周面等间隔地分离，且电镀液在该空间内流动。 [0073] 接下来，对循环装置60的泵65进行驱动，从而使电镀液管理槽64内的电镀液在向下部承受部件90的电镀液的流入口93输送、之后依次穿过下部承受部件90、阳极10、上部承受部件80、电镀液的流出口83而返回至电镀液管理槽64的循环通道63中巡回。此时，在阳极10内与被镀物1之间流动有电镀液。 [0074] 而且，由电源装置70对第一供电部件20以及第二供电部件30进行通电，并向阳极10施加正电压，向被镀物1施加负电压，从而执行高速电镀。 [0075] 如此，该高速电镀装置在执行高速电镀时，使保持装置40的抵接部43无缝地抵接在圆柱形状的被镀物1的同一外周面上，且该抵接部43由作为具有耐化学性的弹性体的海绵板46而构成。另外，压缩机51送入空气而对保持室45内进行加压。因此，由海绵板46构成的抵接部43通过气压而被按压，从而能够紧密连接在被镀物1的外周面上。此外，通过对保持室45内进行加压，从而欲从抵接部43与被镀物1的边界部或抵接部43彼此的边界部向保持室45侧漏泄的电镀液利用气压而被推回。因此，该保持装置40能够可靠地防止电镀液从基座部件85的下方向基座部件85的收纳部86内漏泄。此外，由于该保持装置40通过作为弹性体的海绵板46来构成抵接部43，因此即使被镀物1的外周面形状发生变化也能够使抵接部43紧密连接在被镀物1的外周面上。因此，该保持装置40能够应对多种的被镀物1。此外，由于该保持装置40的构成抵接部43的海绵板46具有耐化学性，因此能够防止由于电镀液而造成的抵接部43的恶化，从而能够长期防止电镀液的漏泄。 [0076] 因此，实施例的保持装置40以及具备该保持装置40的高速电镀装置能够对多种的被镀物1进行保持，并且能够可靠地防止电镀液的漏泄。 [0077] 当结束高速电镀时，该高速电镀装置停止从电源装置70向第一供电部件20及第二供电部件30的通电。此外，循环装置60的泵65也停止，使电镀液从阳极10内排出并贮留在电镀液管理槽64内。而且，密封盖88通过移动装置而从堵塞基座部件85的上部开口的位置向退避位置移动。于是，各保持部件41向后退位置移动，夹头5对被镀物1的上端部进行把持，并且第二供电部件30向后退位置移动。而且，夹头5将被镀物1上提，并且支承棒15将被镀物1上推，从而使被镀物1从基座部件85的上部开口抽出并结束电镀工序。 [0078] 本发明并不限定于通过上述记载以及附图所说明的实施例，例如接下来的实施例也被包含在本发明的技术范围内。 [0079] (1)虽然在实施例中，将保持装置应用于高速电镀装置中，但该保持装置也能够被应用于需要长期防止液体的漏泄的装置中。 [0080] (2)虽然在实施例中，使阳极形成为圆筒形状，但在对其他形状的被镀物进行电镀的情况下只要形成为与其形状相符的形状即可。 [0081] (3)虽然在实施例中，对第二供电部件的中心部件与被覆部件进行螺纹结合，但也可以采用如下方式，即，将被覆部件的插入空间的内周面和中心部件的外周面设为圆锥形状，并将中心部件压入被覆部件的插入空间内。 [0082] (4)虽然在实施例中，第二供电部件的被覆部件以与电镀液所浸湿的部位相比较广的范围对中心部件进行被覆，但被覆部件只要至少对电镀液所浸湿的部位进行被覆即可。 [0083] (5)虽然在实施例中，将海绵板的长边部的中央部切口形成为半圆形状而形成抵接部，但只要切口形状符合被镀物的形状即可。此外，也可以设为没有切口。 [0084] (6)虽然在实施例中，通过两个保持部件而从两个方向对被镀物进行夹持，但也可以通过三个以上的保持部件而使抵接部无缝地抵接在被镀物的同一外周面上。 [0085] (7)虽然在实施例中，在保持部主体上设置有两处对海绵板进行夹持的在高度方向上远离的槽部，但也可以仅设置一处，也可以设置三处以上。 [0086] (8)虽然在实施例中，将一块或两块海绵板重叠地插入到保持部主体的槽部中并对其进行夹持，但也可以将三块以上重叠地插入到保持部主体的槽部中并对其进行夹持。 [0087] 符号说明 [0088] 1…被镀物(工件)； [0089] 40…保持装置； [0090] 41…保持部件； [0091] 43…抵接部； [0092] 45…保持室； [0093] 46…海绵板(弹性体)； [0094] 50…加压装置。 |
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