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一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构
申请号	CN201620938505.7	申请日	2016-08-25	公开(公告)号	CN206052147U	公开(公告)日	2017-03-29
申请人	深圳市捷佳伟创新能源装备股份; 有限公司;			发明人	肖岳南; 张勇;
摘要	本实用新型公开了一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括固定于PECVD设备内一侧的竖直向上的立柱，固定于PECVD设备内另一侧的推舟机构以及固定于PECVD设备底部的侧向出舟机构，立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区，该暂存区具有竖直方向的暂存区中心线，推舟机构上水平伸出一SIC桨，SIC桨与暂存区之间设有升降通道区，立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手，手抓取SIC桨上的石墨舟后传输到升降通道区内，侧向出舟机构固定于PECVD设备底部的位置位于暂存区的正下方。该石墨舟传送机构，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石墨舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石墨舟发生碰撞。
权利要求	1.一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括固定于PECVD设备（9）内一侧的竖直向上的立柱（1），固定于PECVD设备内另一侧的推舟机构（2）以及固定于PECVD设备底部的侧向出舟机构（6），所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区（3），该暂存区具有竖直方向的暂存区中心线（31），所述推舟机构上水平伸出一SIC桨（4），该SIC桨具有竖直方向的SIC桨中心线（41），所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区（5），该升降通道区具有竖直方向的升降通道区中心线（51），所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手（7），其特征在于：所述侧向出舟机构固定于所述PECVD设备底部的位置位于所述暂存区的正下方。 2.根据权利要求1所述的石墨舟传送机构，其特征在于：所述机械手（7）包括水平手臂（71）和手抓（72），所述水平手臂的一端安装在所述立柱（1）上，另一端安装所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右运动。 3.根据权利要求2所述的石墨舟传送机构，其特征在于：所述侧向出舟机构（6）通过固定座（61）固定在所述PECVD设备（9）底部，所述固定座包括连接板（611）和设于所述连接板同侧的间隔开的至少两个环形框体（612）；所述PECVD设备底部设有横梁（91），该横梁焊接在所述PECVD设备底部，所述环形框体套在所述横梁上并与该横梁之间通过螺钉连接。
说明书全文	一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构技术领域 [0001] 本实用新型涉及光伏行业中的生产设备，更具体地说是涉及一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构。背景技术 [0002] PECVD设备内配备有一套传送机构，该机构的作用是实现石墨舟在PECVD设备内上下及前后方向各个位置上的传输。其中传输的上下位置为SIC桨及各个暂存区位置，传输前后方向上位置依次为：暂存区、升降通道区和推舟机构SIC桨区。机械手在暂存区或SIC桨上取放石墨舟后，均需先退回升降通道区，上升或下降至需要的高度，再运行下一步动作。 [0003] 如图1，现有设计中，侧向出舟机构6的位置在机械手升降通道区5的正下方，假设侧向出舟机构6上传输的石墨舟8已经到达机械手抓取位或正在此区域附近运行，而此时机械手又正传送从SIC桨4上抓取石墨舟8并退回升降通道区5，如果SIC桨4的取放舟位置较高，那么机械手在抓取SIC桨4上石墨舟8并退回升降通道区5时不会与侧向出舟机构6上传输的石墨舟8发生碰撞。如图2，如果SIC桨4的取放舟位置较低或高度降低时，机械手在抓取SIC桨4上的石墨舟8并退回升降通道区5时会与侧向出舟机构6上传输的石墨舟8便会发生碰撞，对石墨舟造成损坏。实用新型内容 [0004] 为解决上述现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石墨舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石墨舟发生碰撞。 [0005] 本实用新型的技术方案为：一种用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括固定于PECVD设备内一侧的竖直向上的立柱，固定于PECVD设备内另一侧的推舟机构以及固定于PECVD设备底部的侧向出舟机构，所述立柱上由上至下固定有多个间隔开的暂存区，该暂存区具有竖直方向的暂存区中心线，所述推舟机构上水平伸出一SIC桨，该SIC桨具有竖直方向的SIC桨中心线，所述SIC桨与所述暂存区之间设有升降通道区，该升降通道区具有竖直方向的升降通道区中心线，所述立柱上还设有一沿该立柱上下运动的机械手，所述侧向出舟机构固定于所述PECVD设备底部的位置位于所述暂存区的正下方。 [0006] 所述机械手包括水平手臂和手抓，所述水平手臂的一端安装在所述立柱上，另一端安装所述手抓，所述手抓沿所述水平手臂左右运动。 [0007] 所述侧向出舟机构通过固定座固定在所述PECVD设备底部，所述固定座包括连接板和设于所述连接板同侧的间隔开的至少两个环形框体；所述PECVD设备底部设有横梁，该横梁焊接在所述PECVD设备底部，所述环形框体套在所述横梁上并与该横梁之间通过螺钉连接。 [0008] 本实用新型提出的用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，侧向出舟机构固定于PECVD设备底部的位置位于所述暂存区的正下方，在SIC桨的取放舟位置较低时，机械手在抓取SIC桨上的石墨舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石墨舟发生碰撞。而且SIC桨的取舟位置的高度较低时，该PECVD设备的整体高度也会降低，这样PECVD设备的适应性能就会得到很大的提高。附图说明 [0009] 图1为现有技术中SIC桨取舟位置较高时传送石墨舟的示意图； [0010] 图2为现有技术中SIC桨取舟位置较低时传送石墨舟的示意图； [0011] 图3为本实用新型的石墨舟传送机构装在PECVD设备内的示意图； [0012] 图4为本实新型的石墨舟传送机构示意图； [0013] 图5为本实用新型中固定座的结构示意图； [0014] 图6为本实用新型中PECVD设备底部结构示意图； [0015] 图7为固定座与横梁的连接示意图； [0016] 图8为图6中A处的放大图。具体实施方式 [0017] 如图3和图4，本实用新型提出的用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，包括固定于PECVD设备9内一侧的竖直向上的立柱1，固定于PECVD设备9内另一侧的推舟机构2以及固定于PECVD设备9底部的侧向出舟机构6。立柱1上由上至下固定有多个间隔开的暂存区3，该暂存区3用来摆放已加工或待加工的石墨舟，该暂存区3具有竖直方向的暂存区中心线31。立柱1上还设有一沿该立柱1上下运动的机械手7，机械手7包括水平手臂71和手抓72，水平手臂71的一端安装在立柱1上，另一端安装手抓72，手抓72用来抓取石墨舟，手抓72沿该水平手臂71左右运动，从而来传送石墨舟。 [0018] 推舟机构2水平伸出一SIC桨4，该SIC桨4用于将已加工/待加工的石墨舟从石英管内取出/送入，SIC桨4取舟位置的高度通过推舟机构2安装在PECVD设备上的位置高度来调整。该SIC桨4具有竖直方向的SIC桨中心线41。 [0019] SIC桨4与暂存区3之间设有升降通道区5，该升降通道区5是机械手上升或下降的运行区域，机械手在SIC桨4上取放石墨舟8后，需先水平退回升降通道区5，在升降通道区5上升或下降至需要的高度再运行下一步动作。该升降通道区5具有竖直方向的升降通道区中心线51。 [0020] 本实施例中，侧向出舟机构6固定于PECVD设备9底部的位置位于暂存区3的正下方，这样由于侧向出舟机构6位于升降通道区5的右侧，这样无论是SIC桨4的取舟位置较高或较低，手抓72抓取SIC桨4上的石墨舟8后传输到升降通道区5内的过程中都不会与侧向出舟机构6上的石墨舟8发生碰撞。 [0021] 如图4，侧向出舟机构6通过固定座61固定在PECVD设备底部。如图5，固定座61包括连接板611和设于连接板611同侧的间隔开的至少两个环形框体612。如图6，PECVD设备9底部设有横梁91，横梁91焊接在PECVD设备9底部。如图7和图8，环形框体612套在横梁91上并与该横梁之间通过螺钉连接。 [0022] 本实用新型提出的用于PECVD设备内的石墨舟传送机构，侧向出舟机构固定于PECVD设备底部的位置位于暂存区的正下方，机械手在抓取SIC桨上的石墨舟后传输到升降通道区时不会与侧向出舟机构上传输的石墨舟发生碰撞。而且SIC桨的取舟位置的高度在很大程度上决定了PECVD设备的整体高度，因此在PECVD设备的管数相同的情况下，SIC桨的取舟位置的高度较低时，该PECVD设备的整体高度也会降低，这样PECVD设备的适应性能就会得到很大的提高。 [0023] 以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。

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