실리콘-함유 하부 층 |
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| 申请号 | KR20170111386 | 申请日 | 2017-08-31 | 公开(公告)号 | KR20180025829A | 公开(公告)日 | 2018-03-09 |
| 申请人 | ROHM & HAAS ELECT MATERIALS; | 发明人 | CHARLOTTE A CUTLER; SUZANNE M COLEY; OWENDI ONGAYI; CHRISTOPHER P SULLIVAN; PAUL J LABEAUME; LI CUI; SHINTARO YAMADA; MINGQI LI; JAMES F CAMERON; | ||||
| 摘要 | Si-O 결합을포함하는골격을포함하는하나이상의실리콘-함유중합체, 하나이상의유기배합중합체, 및경화촉매를포함하는습식-스트리핑가능한하부층 조성물이제공된다. 이러한조성물은다양한전자장치의제조에유용하다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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