A method of manufacturing a micro-electromechanical systems (MEMS) device, comprising providing a base layer (10) and a mechanical layer (12) on a substrate (14), providing a sacrificial layer (16) between the base layer (10) and the mechanical layer (12), providing an etch stop layer (18) between the sacrificial layer (16) and the substrate (14), and removing the sacrificial layer (16) by means of dry chemical etching, wherein the dry chemical etching is performed using a fluorine-containing plasma, and the etch stop layer (18) comprises a substantially non-conducting, fluorine chemistry inert material, such as Hf02, ZrO2, Al203 or TiO2

Es wird ein elektrisches/elektronisches Installationsgerät für die Gebäudesystemtechnik vorgeschlagen, welches eine erste Leiterplatte aufweist, auf dessen Oberseite alle zur Bedienung notwendigen Funktionselemente angeordnet sind. Zu dem Zweck ein elektrisches/elektronisches Installationsgerät zu schaffen, das nicht nur hinsichtlich seines in die Installationsdose hineinragenden Bereiches besonders kompakt ausgeführt ist und somit bei seiner Installation eine besonders einfache und kostengünstige Handhabung ermöglicht, sondern darüber hinaus hinsichtlich der Verwendung verschiedener Applikationen besonders variabel ausgestaltet ist, sind auf der Unterseite ein- und derselben ersten Leiterplatte sowohl die für die jeweilige Applikation notwendigen, als auch ein erster Teil der für den Betrieb in einem Bussystem notwendigen Funktionsbauteile angeordnet, und steht die erste Leiterplatte elektrisch leitend mit einer zweiten Leiterplatte in Verbindung, auf welcher der zweite Teil der für den Betrieb im Bussystem notwenigen Funktionsbauteile angeordnet sind, und steht die zweite Leiterplatte mit einer, der Oberseite der ersten Leiterplatte zugeordneten, Anzeigeeinrichtung in Verbindung.

Erfindungsgemäß wird eine elektrische Kontaktierungseinrichtung mit elektrischen Kontaktstellen (11) auf einem beweglichen Träger (10) und mit diesen gegenüberliegenden Festkontakten geschaffen, die nach einer Schaltbewegung des Träges (10) die Kontaktstellen (11) kontaktieren. Um mehrere galvanisch getrennte Kontakte zu schaffen, werden die Kontaktstellen (11) gegenseitig derart isoliert, dass sie zueinander und/oder zum Träger (10) unterschiedliche Potenziale ermöglichen. Des Weiteren wird eine besonders geeignete Tastatur (30) angegeben, mit mindestens einem ersten Tastenfeld (32), welchem eine derartige elektrische Kontaktierungseinrichtung zugeordnet ist, und mindestens einem zweiten Tastenfeld (31), dessen zugeordneter Taster (36) schaltblasenartig ausgeführt ist oder ein durch ein Schnappelement (38) vermitteltes Sprungschaltverhalten aufweist.

Zum Kontaktieren von Betätigungs- und Anzeigemitteln mit auf Leiterplatten angeordneten Baugruppen in Gehäusen von Endgeräten der elektrischen Nachrichtentechnik wird vorgeschlagen, die Leiterzüge (11) und Anschlußkontakte (12) der Betätigungs- und Anzeigemittel auf einer Distanzplatte (10) oder direkt auf Gehäuseteilen anzuordnen . Über Leitfolien (15) oder Leitgummis werden die Leiterzüge (11) und Anschlußkontakte (12) mit der Leiterplatte (20) verbunden.

Zum Kontaktieren von Betätigungs- und Anzeigemitteln mit auf Leiterplatten angeordneten Baugruppen in Gehäusen von Endgeräten der elektrischen Nachrichtentechnik wird vorgeschlagen, die Leiterzüge (11) und Anschlußkontakte (12) der Betätigungs- und Anzeigemittel auf einer Distanzplatte (10) oder direkt auf Gehäuseteilen anzuordnen . Über Leitfolien (15) oder Leitgummis werden die Leiterzüge (11) und Anschlußkontakte (12) mit der Leiterplatte (20) verbunden.

An electronic device including a switch member which has a multiplicity of switch contacts 15, 16 provided thereon, a film liquid crystal display unit 19 disposed above the switch member 8 and having openings 18 provided at positions opposite to the respective switch contacts 15, 16, and operation members 5 disposed in the corresponding openings 18 so as to depress the operation members 5 from above the film liquid crystal display 19. By the depression of the respective operation members 5, the corresponding switch contacts 15, 16 are switched. According to this structure, the switching operations are performed on the film liquid crystal display unit, so that the operability of the switches is improved and the device itself is miniaturized.

Eine Schaltungskarte für eine Tastatur weist als Grundlage eine, mit einer Kupferschicht (CUS) versehene Trägerkarte (LT) auf, bei der eine erste Teilfläche einem Tastenfeld und eine zweite Teilfläche einer Auswerteelektronik (DB) zugeordnet ist. Wenigstens im Bereich der zweiten Teilfläche sind in der Kupferschicht durch Freiätzungen Leiterbahnen (LB) und/oder Leiterflächen gebildet und wenigstens im Bereich der ersten Teilfläche sind Leiterbahnen und/oder Leiterflächen im Druckverfahren aufgebracht.

Pour assurer la fixation d'un composant CMS (1) sur un circuit imprimé souple (5), on découpe dans ce dernier un orifice correspondant à la forme du composant en ménageant des languettes (2) qui sont pliées lors de l'introduction du com­posant dans l'orifice et maintiennent le composant par la suite.

Application aux circuits souples et particulièrement à ceux utilisés dans les claviers.

A contact-type keyboard comprises a plurality of modular keys and a support panel (11) provided with openings (12) in which the keys are inserted. Each key is provided with a pair of resilient tongue portions (51, 52) which lock it to the panel (11) and which are deformable to permit the key to be easily removed from the panel (11). Each key further comprises a resilient system formed by a dome-shaped spring and a coil spring, which are interposed between a movable actuator and the subjacent conducting parts of an electrical circuit.