序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
81 流量传感器 CN201480011766.8 2014-02-07 CN105008869A 2015-10-28 荒井聪; 角田重晴; 田代忍; 森野毅
发明提供一种流量传感器的提高罩体与壳体的激光焊接中的接合性的稳定性并使得外观检验成为可能的焊接结构。本发明的流量传感器包括:壳体;罩体;被密封在它们之间且内置有电子部件和配线部的电路室;和供作为传感对象的流体通过的副通路部,至少上述罩体的浇口部附近的使激光透射的一部分的厚度比使激光透射的其它部分的厚度薄。
82 热式流量计 CN201180067266.2 2011-03-02 CN103380353B 2015-08-05 中野洋; 松本昌大; 浅野哲; 半泽惠二
发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理,从而提高传感元件的灵敏度,并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计,具有:形成于半导体基板的空洞部;以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部;和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体,其中,在形成上述薄膜部后,进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
83 热式流体流量传感器 CN201210209399.5 2009-12-08 CN102735298B 2015-07-15 佐久间宪之
发明提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中,上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5A、5B)和下游侧测温电阻体(5C、5D)的下层的绝缘膜,交替层叠了具有压缩应力的膜(第一绝缘膜(14)、第三绝缘膜(16)和第五绝缘膜(18))和具有拉伸应力的膜(第二绝缘膜(15)和第四绝缘膜(17)),且配置了2层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明的热式流体流量传感器,能够消除应力不均衡,提高检测灵敏度且提高可靠性。
84 流量计 CN201380051566.0 2013-10-09 CN104704328A 2015-06-10 安田宪司; 足立明久; 藤井裕史; 中林裕治; 坂口幸夫; 后藤寻一; 河野康晴; 渡边葵
流量计(1)具备:流体流入的入口部(3);上述流体流出的出口部(5);多个计量流路部(6),其被并排设置在上述入口部与上述出口部之间;以及流量测量部(19),其对流过上述计量流路部内的流路的流体的流量进行测量,其中,多个上述流路的形状相互一致,多个上述计量流路部包括设置了上述流量测量部的上述计量流路部以及没有设置上述流量测量部的上述计量流路部。
85 质量流量计及控制器以及质量流量计及控制器系统 CN201010135177.4 2010-03-11 CN101839737B 2015-05-27 鹿岛利弘; 米田豊; 矶部泰弘
发明提供一种优异的质量流量计等,无需特别的工时也能够灵活应对气体类型等试样流体的变更,并且可精度良好地测定流量。所述质量流量计包括:传感器部(2),对流路(1)中流动的试样流体G的流量进行侦测;设定部(4c),设定所指定的试样流体所固有的流量特性函数K和仪器误差修正参数α,流量特性函数K是按照每一流体所确定的、用以根据来自所述传感器部(2)的输出值确定流量的流量特性函数,且仪器误差修正参数α是独立于流量特性函数且为多个试样流体所共用的参数,用以对每一质量流量计的仪器误差进行修正;以及流量计算部(4d),根据流量特性函数K和仪器误差修正参数α,来计算出试样流体G的流量。
86 热式流量计 CN201380031631.3 2013-05-15 CN104380057A 2015-02-25 森野毅; 田代忍; 德安升; 半泽惠二; 井上淳
发明提供能得到高测量精度的具备排功能的热式流量计。热式流量计(300)设有使将主通路(124)中流动的被测量气体(30)一部分导入并使其流动的副通路中的、入口(350)与流量检测部即测量用流路面(430)间的入口侧副通路(4232)与流量检测部即测量用流路面(430)与出口(352)间的出口侧副通路(4234)连通的排水通路(3528)。排水通路(3528)有贯通形成入口侧副通路(4232)的壁面(4212)且有在入口侧副通路(4232)开口的入口(3542)和在壁面背面(4213)开口的出口(3544)的贯通孔(3512),副通路内的水(3552)被导入贯通孔(3512)通过排水通路(3528)导向出口侧副通路(4234),向主通路(124)排出,能减少进入测量部的水的影响,能提高测量精度。
87 热式流量计 CN201380031565.X 2013-05-29 CN104380053A 2015-02-25 森野毅; 田代忍; 德安升; 半泽惠二; 井上淳; 上之段晓
发明的目的在于能够简化制造工序、且提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计中,电路封装(400)具有配置流量检测部(602)的通路部(605)和配置电路的处理部(604),被固定于与电路封装(400)一体成形而构成副通路的固定部(372),由此,电路封装(400)的通路部(605)被保持在副通路内,电路封装(400)的通路部(605)中从固定部(372)离开的前端部(401)的至少一部分在副通路内露出。
88 热式流量计 CN201380031687.9 2013-05-15 CN104364619A 2015-02-18 德安升; 半泽惠二; 森野毅; 土井良介; 上之段晓; 田代忍
发明提供在提高具有被测量气体(30)的温度测量功能的流量测量装置的可操作性的基础上提高温度测量的测量精度的热式流量计(300)。本发明的热式流量计为如下结构:利用树脂模塑形成具有用于测量气体温度的突出部(424)的流量测量用电路封装体(400),形成向被测量气体(30)的上游侧开口的入口(343),将突出部(424)配置在入口内部,在正面罩(303)和背面罩(304)上沿突出部(424)形成出口(344)和出口(345),从入口(343)导入的被测量气体(30)沿突出部(424)流动。由于测量后的被测量气体(30)沿突出部(424)流动,因此能降低来自其它热源的热量影响,能提高测量精度。
89 热式流量计 CN201380031685.X 2013-05-29 CN104364618A 2015-02-18 田代忍; 半泽惠二; 德安升; 森野毅; 土井良介; 上之段晓
发明提供减少用于将电路封装(400)保持固定于壳体(302)的固定部(3721)对电路封装(400)造成的应,可靠性高的热式流量计(300)。本发明的热式流量计,由第1树脂模塑工序形成内置流量测量电路的电路封装(400),由第2树脂模塑工序与壳体(302)一同形成固定部(3721),由固定部(3721)包围电路封装(400),由此将电路封装(400)保持固定于壳体(302)。为了减少基于固定部(3721)的温度变化产生的应力对电路封装(400)的影响,由厚壁部(4714)和薄壁部(4710)构成固定部(3721)。薄壁部(4710)的树脂厚度较薄,因此产生的应力小,能够减少施加于电路封装(400)的力。
90 用于修正热测量装置的失调漂移影响的方法、热测量装置和气体流量测量仪 CN201280050635.1 2012-10-22 CN104040300A 2014-09-10 T·克莱纳; P·普雷特尔; A·肯佩; H-M·松嫩贝格
一种用于修正热测量装置(10)的失调漂移影响的方法,该测量装置包括至少一个以确定间距邻近用于待测量流体的加热装置(12)设置的温度传感器(15a,15b),所述温度传感器用于测量至少一个描述在所述加热装置(12)运行时的温度和/或温度变化过程的测量参量,其中,在基准时间点,在加热装置(12)关断的情况下在对测量参量进行第一测量中测出基准测量值(35);在至少一个后来的时间点,在加热装置(12)关断的情况下在对测量参量进行第二测量中测出漂移测量值(36);其中,在利用加热装置(12)的测量过程中根据所述漂移测量值(36)与所述基准测量值(35)之间的差实施漂移修正。
91 热式空气流量计 CN201410167856.8 2011-08-22 CN103954327A 2014-07-30 森野毅; 小林千寻; 冈本裕树; 河野务
发明提供一种抑制基体构件的成形时的变形而确保尺寸精度、尺寸变化对测定精度的影响小且能够高精度地测定空气流量的热式空气流量计。本发明的热式空气流量计(200)具有配置在内燃机的吸气通路的壳体构件(211)、固定于壳体构件(211)且具有供通过吸气通路的空气的一部分流入的副空气通路(202)的基体构件(230),基体构件(230)通过由合成树脂材料构成的板状的树脂成形件构成,在固定电路基板(205)的基板固定部(301)与形成在基板固定部(301)前端部的副通路结构部(302)之间一体地形成有提高基体构件(230)的强度的加强结构体(231)。由此,确保由树脂成形的基体构件(230)的强度,抑制成形时的基体构件(230)的翘曲变形。
92 气体流量测定装置 CN201280040110.X 2012-08-16 CN103748439A 2014-04-23 铃木和纪; 中田圭一; 佐藤亮
发明提供一种将对流信号进行修正时的修正精度提高的气体流量测定装置。气体流量测定装置具有:配置在气体流路中的一个或多个电阻器;气体流量检测电路,其通过检测在上述电阻器中流动的电流或与该电流相应地产生的电压,输出与在上述气体流路中流动的气体流量相应的气体流量检测信号;和用于检测上述气体流路中的气体温度的气体温度检测元件或者设置在集成电路内部的用于检测基板温度的基板温度检测元件,上述气体流量测定装置根据它们的温度检测信号进行流量信号的特性修正,上述气体流量测定装置具备信号转换单元,该信号转换单元对从上述气体流量检测信号的目标特性偏离一定量以上的特性畸变进行修正。
93 带有流量监测器的压式流量控制装置、使用该装置的流体供给系统的异常检测方法及监测流量异常时的处置方法 CN201280022337.1 2012-04-05 CN103502902A 2014-01-08 平田薰; 土肥亮介; 西野功二; 池田信一; 杉田胜幸
一种带有流量监测器的压式流量控制装置,由下列部件构成:流体的入口侧通路(8);控制(3),与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a);热式流量传感器(2),与控制阀(3)的下游侧连接;节流口(6),介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10);温度传感器(4),设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近;压力传感器(5),设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10);出口侧通路(9),与节流口(6)连通;以及控制部(7),由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成,该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号,对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算,并且,向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd,该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。
94 热式流量计 CN201180067266.2 2011-03-02 CN103380353A 2013-10-30 中野洋; 松本昌大; 浅野哲; 半泽惠二
发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理,从而提高传感元件的灵敏度,并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计,具有:形成于半导体基板的空洞部;以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部;和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体,其中,在形成上述薄膜部后,进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。
95 气体供应装置用流量控制器的流量测定装置及流量测定方法 CN201180064390.3 2011-11-28 CN103282748A 2013-09-04 泽田洋平; 永濑正明; 池田信一; 西野功二; 土肥亮介
发明能够更迅速且高精度地进行气体供应装置用流量控制器的流量测定,并且谋求用于测定的流量测定装置的构造的简化及小型化。本发明由以下部分构成:分支管路(Lb),其成分支状且分离自如地将其入口侧端部向设于气体供应管路(L)的出口端部的开闭(V0)的上游部连结,并且将其出口侧端部向气体流出侧连结;开闭阀(V),其设于分支管路(Lb)的出口侧;压检测器(Pd)及温度检测器(Td),其检测开闭阀(V)的上游侧的气体压力及气体温度;以及运算控制装置(CP),其被输入来自压力检测器(Pd)及温度检测器(Td)的检测信号,且运算流通于分支管路(Lb)的气体流量,该流量测定装置成分支状且分离自如地向设于气体供应装置(GF)的气体供应管路(L)的出口端部的开闭阀(V0)的上游部连结。
96 流量测定装置 CN200980133370.X 2009-08-03 CN102138061B 2013-08-21 上田直亚; 野添悟史
一种流量测定装置,在具有主流路(43)的主流管(42)的外侧形成副流路。在主流路(43)内具备将气体的流动节流的节流孔(49)。副流路由与节流孔(49)的上游侧连通的一对导入流路(56)、两端与导入流路(56)的下游侧的端部连接的第二副流路(59)、与节流孔(49)的下游侧连通的一对排出流路(57)、两端与排出流路(57)的上游侧的端部连接的第二副流路(60)、两端与第二副流路(59)的中央和第二副流路60的中央连接且配置有流量检测元件(47)的检测流路(61)构成。检测流路(61)上游侧的端部位于比第二副流路(59)的两端更靠主流路(43)的上游侧,检测流路(61)的下游侧的端部位于比第二副流路(60)的两端更靠主流路(43)的下游侧。
97 用于测量包括双向流的多种被测对象的封装系统和方法 CN200710149425.9 2007-05-16 CN101216331B 2013-08-21 C·S·贝克; L·F·里克斯; J·W·斯佩尔德里奇
用于测量包括双向流在内的多种被测对象的封装方法和系统包括:以对称形式布置在流管中的采样端口。关于流管的X和Y中心线对称布置端口。此外,这些端口相对于限流器也对称布置,以便将流管中湍流的量最小化。
98 声波流体测量装置 CN200780041613.8 2007-11-08 CN101535779B 2013-07-31 中林裕治; 足立明久; 佐藤真人
一种具有增加的测量精度声波流体测量装置。在该超声波流体测量装置(10)中,第一到第三超声波测量部分(16-18)具有第一超声波发射器-接收器(16A-18A)和第二超声波发射器-接收器(16B-18B)。第一和第二超声波发射器-接收器被置于测量流路(14)中。第一到第三超声波传播路径(36-38)连接第一超声波发射器-接收器(16A-18A)和第二超声波发射器-接收器(16B-18B)并且以不同度与测量流路(14)中的流体(24)的流动方向相交。与流量(Q)相对应地,超声波流体测量装置(10)采用第一到第三超声波测量部分(16-18)中的任何一个的测量值。
99 流量控制装置以及处理装置 CN201210384397.X 2012-10-11 CN103049008A 2013-04-17 冈部庸之; 守谷修司; 松野一成
发明提供一种流量控制装置以及处理装置。在控制流向气体通路的气体流量的流量控制装置中,具备:主气体管;检测流向该主气体管的气体的流量,输出流量信号的流量检测单元;控制流量的流量控制机构;存储用于表示从外部输入的流量指示信号与目标流量的关系的、与多个气体种类对应的多个换算数据的换算数据存储部;基于从外部输入的气体种类选择信号,从多个换算数据中选择对应的换算数据,并且基于流量指示信号求出上述目标流量,并基于目标流量与流量信号控制流量控制阀机构的流量控制主体。
100 流量测量结构及流量测量装置 CN201180032824.1 2011-07-04 CN102971608A 2013-03-13 上田直亚; 山本克行; 野添悟史; 前田修治; 津熊雄二
发明的流量测量装置(1)包括:主流路(5),流体通过该主流路流动;以及副流路单元(20),流体在该副流路单元处从主流路(5)分流,并被供应至流量检测元件(12),之后再回到主流路(5)。副流路单元(20)包括:分流流路(23),流体通过该分流流路从主流路(5)分流并回到主流路(5)而不被供应至流量检测元件(12);以及检测通路(27),流体在该检测通路(27)中从分流流路(23)分流并被供应至流量检测元件(12)。分流流路(23)包括:滑流部(45),流体在该滑流部中平滑流动于与主流路(5)连接的两端之间;以及第一腔室(41)和第二腔室(42),邻接至滑流部(45),并且由被设置成阻滞流体流动的分隔件(43)划分而成。检测通路(27)的两端分别与第一腔室(41)和第二腔室连接(42)。
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