流量测量结构及流量测量装置 |
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| 申请号 | CN201180032824.1 | 申请日 | 2011-07-04 | 公开(公告)号 | CN102971608A | 公开(公告)日 | 2013-03-13 |
| 申请人 | 欧姆龙株式会社; | 发明人 | 上田直亚; 山本克行; 野添悟史; 前田修治; 津熊雄二; | ||||
| 摘要 | 本 发明 的流量测量装置(1)包括：主流路(5)， 流体 通过该主流路流动；以及副流路单元(20)，流体在该副流路单元处从主流路(5)分流，并被供应至流量检测元件(12)，之后再回到主流路(5)。副流路单元(20)包括：分流流路(23)，流体通过该分流流路从主流路(5)分流并回到主流路(5)而不被供应至流量检测元件(12)；以及检测通路(27)，流体在该检测通路(27)中从分流流路(23)分流并被供应至流量检测元件(12)。分流流路(23)包括：滑流部(45)，流体在该滑流部中平滑流动于与主流路(5)连接的两端之间；以及第一腔室(41)和第二腔室(42)，邻接至滑流部(45)，并且由被设置成阻 滞流 体流动的分隔件(43)划分而成。检测通路(27)的两端分别与第一腔室(41)和第二腔室连接(42)。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种流量测量结构，包括： |
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| 说明书全文 | 流量测量结构及流量测量装置技术领域[0001] 本发明涉及一种用于测量流经流路(flow channel)的流体的流率(flow rate)的装置，尤其涉及这样一种流率测量装置及流量测量结构，其用以基于从主流路分出的副流路中流动的流体来获得流经所述流路的流体的总流率。 背景技术[0002] 通常，现有直管型和分流（diverting）型的流量测量装置。如图11A所示，直管型的流量测量装置具有这样的构造，其中流率检测元件202直接布置于要测量流量的气体或液体所流经的导管201处。 [0003] 分流型的流量测量装置具有如图11B所示的构造，其中朝向分流流路212的导入口布置于主流管211处，并且流率检测装置213布置于分流流路212处；或者具有如图11C所示的构造，其中分流流路216布置于主流管215中，并且流率检测装置217布置于分流流路216处。 [0004] 通常，在直管型的流量测量装置中，是直接测量管道中流动的流体，从而在测量大流率的流体的情况下，去往流率检测元件的测量区域的流速(flowvelocity)需要降低。因此，管道的直径需要扩大，从而限制了装置的小型化。 [0005] 因此，在测量大流率的流体时，使用分流型的流量测量装置。在分流型的流量测量装置中，分流流路从主流路分出，并且通过流率检测元件来测量流经分流流路的流体的流速，由此基于主流路与分流流路之间的分流比以及分流流路处的流速来得到总流率。 [0006] 在专利文件1中，对一种分流型的流量测量装置100描述如下。具体而言，如图12A所示，专利文件1描述的流量测量装置100中，副流路114布置于主流路112上从而在主流路112的外周表面上方延伸。在流量测量装置100中，导入口115布置于孔口（未示出）上游的主流路112的内壁左右两侧处，并且排出口116布置于所述孔口下游的主流路112的内壁左右两侧处。而后，从导入口115向上延伸的导入流路117的上端部以及从排出口116向上延伸的排出流路118的上端部通过第一副流路119连接以彼此连通。另外，左右两个导入流路117的上端部通过第二副流路120连接以彼此连通，并且左右两个排出流路118的上端部通过第二副流路121连接以彼此连通。进而，第二副流路120、121的中心部通过水平检测流路122连接以彼此连通，并且用于测量气体流速的流率检测元件（未示出）布置于检测通路122中。 [0007] 然后，对流经检测流路122的气体的流速进行测量，并且基于检测流路处测量的流速以及主流路112与检测流路122之间的分流比来得到流经流量测量装置100的气体的总流率。 [0008] 相关技术文件 [0009] 专利文件 [0010] 专利文件1：日本未审查专利公开第2006-308518号（2006年11月9日公布）发明内容 [0011] 本发明要解决的问题 [0012] 然而，在上述专利文件1所描述的构造中，存在以下问题。即，在专利文件1的构造中，已经从导入口115进入导入流路117的大部分灰尘并不流经第一副流路119、排出流路118、和排出口116，而是流经第二副流路120和检测流路122。这是因为，如图12B所示，导入流路117和第一副流路119是彼此垂直连接，从而已经从导入口115进入的灰尘很大可能会因惯性力而直接照直移动（即在导入流路117中沿朝着第二副流路120的方向移动）。 须注意，图12B为图12A中区域131的局部放大示意图。 [0013] 于是，由此，灰尘127附着至布置于检测流路122处的流率检测元件125，从而降低流率检测元件125的测量精度（参见图12C）。 [0014] 另外，在专利文件1的构造中，导入流路117和第二副流路120也是彼此垂直连接从而灰尘有很大可能会累积在导入流路117与第二副流路120之间的连接部处。由此，第二副流路120中流动的气体的量有所改变，从而使主流路112与检测流路122之间的分流比改变，于是，该流量测量装置100不能精确地测量气体的总流率。 [0015] 现在将参照图13A和图13B作出示意性说明。图13A和图13B为示出分流型流量测量装置的示意图，并且图13A示出流经主流路151的气体量用a表示，流经副流路152的气体量用b表示。然后，在副流路152处布置有流率检测元件153。在该分流型的流量测量装置中，如上所述，是通过使用由流率检测元件153所检测的副流路152的流率以及主流路151与副流路152之间的分流比（这里为a:b）来计算总流率的。 [0016] 然而，如图13B所示，当灰尘154累积在副流路152上时，流经副流路152的气体流率从b变为b’，并且流经主流路151的气体流率也从a变为a’。因此，如果基于分流比为a:b的假设而在这样的状态下得到总流率，则由于实际分流比为a’:b’，从而会导致误差。 [0017] 考虑到该问题而构建本发明，并且其目的在于实现一种受灰尘影响较小的流量测量装置。 [0018] 解决问题的手段 [0019] 为了解决上述问题，根据本发明的一种流量测量结构包括：主流路，流体通过该主流路流动；以及副流路，所述流体在该副流路处从所述主流路分流，并被供应至用于测量流率的检测元件，之后再回到所述主流路。其中所述副流路包括：第一支流路，所述流体在该第一支流路处从所述主流路分流并回到所述主流路而不被供应至所述检测元件；以及第二支流路，所述流体在该第二支流路处从所述第一支流路分流并被供应至所述检测元件。并且，其中所述第一支流路包括：滑流部，在与所述主流路连接的两个端部之间，所述流体在该滑流部中平滑流动；以及第一腔室和第二腔室，邻接所述滑流部，并且由设置成阻滞所述流体流动的分隔件划分而成；并且，所述第二支流路的两个端部分别与所述第一腔室和所述第二腔室连接。 [0020] 根据该构造，已经进入第一支流路的流体平滑地流经滑流部并回到主流路，灰尘因此难以在第一支流路处累积。 [0021] 进而，已经进入第一支流路的一部分流体因为与第一腔室或第二腔室连接的端部的分隔件而流入第二支流路中。另一方面，已经进入第一支流路的灰尘因易于流动而从滑流部通过，灰尘因此难以进入第二支流路。 [0022] 如上所述，基于上述构造，已经进入第一支流路的灰尘不会累积，且倾向于直接流向主流路，并且，灰尘难以进入第二支流路，因此难以附着至布置于第二支流路处用于测量流率的检测元件。 [0023] 因此，由检测元件所检测的结果几乎不会受到灰尘的影响，并且，因此能够实现这样的流量测量结构，其由灰尘导致的误差很小。 [0024] 本发明的效果 [0025] 如上所述，根据本发明的流量测量结构具有这样的构造，该构造包括：主流路，流体通过该主流路流动；以及副流路，所述流体在该副流路处从所述主流路分流，并被供应至用于测量流率的检测元件，之后再回到所述主流路。其中所述副流路包括：第一支流路，所述流体在该第一支流路处从所述主流路分流并回到所述主流路而不被供应至所述检测元件；以及第二支流路，所述流体在该第二支流路处从所述第一支流路分流并被供应至所述检测元件。并且，其中所述第一支流路包括：滑流部，在与所述主流路连接的两个端部之间，所述流体在该滑流部中平滑流动；以及第一腔室和第二腔室，邻接所述滑流部，并且由设置成阻滞所述流体流动的分隔件划分而成，并且所述第二支流路的两个端部分别与所述第一腔室和所述第二腔室连接。 [0027] 图1A至图1C为用于示出作为本发明实施例的流量测量装置的副流路的构造的视图，图1A为示出流量测量装置的剖面的视图，图1B为图1A所示剖面视图的副流路部的局部放大视图，并且图1C为副流路部的透视图。 [0028] 图2A和图2B为示出流量测量装置的构造和外观的视图，图2A为示出流量测量装置的基本构造的视图，并且图2B为示出外观的视图。 [0029] 图3A至图3D为示出流量测量装置中的气体和灰尘流的视图，图3A为示出流量测量装置的剖面中的气体和灰尘流的视图，图3B为示出副流路部的剖面中的气体和灰尘流的视图，图3C为示出整个副流路部中的气体和灰尘流的视图，并且图3D示出对副流路部的剖面中的气流的仿真结果。 [0030] 图4为示出本发明与现有构造之间的通过粒子数的差异的视图。 [0031] 图5A和图5B为用于示出流量测量装置中流率检测元件的结构的视图，图5A为示出其中气体不流动的状态的视图，并且图5B为示出其中气体流动的状态的视图。 [0032] 图6A和图6B为用于示出副流路部的构造的模型的视图，图6A为包括副流路部的流量测量装置的透视图，并且图6B为图6A的局部放大视图。 [0033] 图7A和图7B为用于示出副流路部的构造的模型的视图，图7A为包括副流路部的流量测量装置的透视图，并且图7B为图7A的局部放大视图。 [0034] 图8A至图8C为用于示出本发明另一实施例中副流路部的流路模型的视图，图8A为本实施例中副流路部的侧视图，图8B为本实施例中副流路部的透视图，并且图8C为示出该实施例中的气流的视图。 [0035] 图9A和图9B为示出本发明又一实施例中副流路部的流路构造的视图，图9A为示出本实施例中副流路部的构造的透视图，并且图9B为示出本实施例的副流路部的构造的俯视图。 [0036] 图10A和图10B为示出本发明再一实施例中副流路部的构造的视图，图10A为示出副流路部的透视图，并且图10B为副流路部的俯视图。 [0037] 图11A至图11C为用于示出本发明背景技术的视图。 [0038] 图12A至图12C为用于示出现有技术的视图。 [0039] 图13A和图13B为用于示出分流型流量测量装置中的问题的视图。 具体实施方式[0040] （第一实施例） [0041] 下面将参照图1A至图7B描述本发明的实施例。 [0042] 根据本实施例的流量测量装置（流量测量结构）1为分流型的流量测量装置，下文描述的所提出的结构设置防止灰尘在流路中累积，并且还防止灰尘附着至流率检测元件，从而可维持其测量精度。须注意，下文将针对由流量测量装置1要测量的对象为气体的情况作出说明，但这并非唯一的情况，并且液体可作为测量对象。 [0043] （流量测量装置的基本构造和外观） [0044] 首先，参照图2A和图2B，将描述流量测量装置1的基本构造和外观。图2A和图2B为示出流量测量装置1的构造和外观的视图，图2A示出流量测量装置1的基本构造，并且图2B示出流量测量装置1的外观。 [0045] 如图2A所示，流量测量装置1配置有：基本组件17，由人造树脂制成，其中用于形成副流路20的副流路形成部16被整体形成于具有主流路5的主流管10的外周面上；环状密封组件11，由诸如橡胶等绝缘材料形成；电路板13，在基本组件17一侧的电路板13表面上设置有流率检测元件（检测元件）12；以及盖14，其覆盖电路板13。 [0046] 然后，如图2B中的箭头所示，当气体流经主流路5时，一部分气体流经布置于副流路形成部16中的副流路（稍后说明），并且其流量由布置于副流路中的流率检测元件12进行测量，由此得到流经流量测量装置1的气体的总流率。 [0047] 须注意，在本实施例中，将气体在主管10中流动的方向定义为z-方向，将副流路形成部16在主流管10的竖直剖面上形成的方向定义为y-方向，并且将垂直于y-方向的方向定义为x-方向。另外，x-方向和y-方向为相互垂直的方向，并且z-方向为垂直于包括x-方向和y-方向的平面的方向。 [0048] （副流路的构造） [0049] 接着，将参照图1A至图1C对形成于副流路形成部16中的副流路（分流流路导入口21、导入通路22、分流流路(第一支流路)23、检测通路导入口24、第一连接通路(第二支流路)25、第二连接通路(第二支流路)26、检测通路(第二支流路)27、第三连接通路(第二支流路)28、第四连接通路(第二支流路)29、检测通路排出口30、分流流路排出口31）作出说明。图1A至图1C为用于描述副流路的构造的附图，图1A为示出流量测量装置1的剖面的附图，图1B为图1A所示剖面视图中副流路部20的局部放大视图，并且图1C为副流路部20的透视图。 [0050] 如图1A所示，阻滞元件（孔口）15布置于主流路5处，副流路的导入口布置于阻滞元件15的上游，并且副流路的排出口布置于阻滞元件15的下游。 [0051] 将参照图1B和图1C作出更详细的说明。如图所示，作为副流路导入口的分流流路导入口21布置于主流路5的阻滞元件15的上游。然后，分流流路导入口21通过导入通路22与分流流路23连接。 [0052] 在分流流路23中，其更远离主流路10的壁面具有这样的结构（弯曲部），该结构这样形成邻近于导入通路22的弧形，使得气体的流向从垂直于主流管10的方向（y-方向）改变为平行于主流管10的方向（z-方向）。另外，邻近于分流流路排出口31，该壁面具有这样的结构（弯曲部），该结构这样形成弧形，使得气体的流向从平行于主流管10的方向（z-方向）改变为垂直于主流管10且去往主流管10的方向（负y-方向）。 [0053] 结果是，气体沿着分流流路23的更远离主流管10的壁面在流路（滑流部45）中平滑流动，并且已经进入分流流路23的灰尘趋向于回到主流路5，因为灰尘由于惯性力而沿着壁面流动。 [0054] 另外，更靠近主流管10的壁面沿着主流管10构成，并且在该壁面中央附近形成有分隔件43，从而使得更远离主流管10的壁面与更靠近主流管10的壁面之间的距离缩短，以便缩窄分流流路23的流路。并且，在沿着主流管10的部分与分流流路23的流路缩窄处的部分之间形成有弧形。 [0055] 须注意，本实施例中，在滑流部与分隔件之间所夹的区域中，更靠近于分流流路导入口21的部分被定义为第一腔室41，并且更靠近于分流流路排出口31的部分被定义为第二腔室42。 [0056] 进而，检测通路导入口24以这样的方向（负x-方向）布置，该方向在分流流路23的这样的部分垂直于该弧部，此部分大体对应于邻近导入通路22的弧部中心（曲率中心）且面对更靠近主流管10的侧壁。检测通路排出口30以这样的方向（负x-方向）布置，该方向在分流流路23的这样的部分垂直于该弧部，此部分大体对应于邻近分流流路排出口31的弧部中心（曲率中心）且面对更靠近主流管10的侧壁。用于将已经流入分流流路23中的一部分气体导入至检测通路27的第一连接通路25与检测通路导入口24连接。该第一连接通路25包括弧形弯曲部以使得气体的流向从负x-方向改变为负z-方向，并与第二连接通路26连接。第二连接通路26沿y-方向布置，并与检测通路27连接。 [0057] 检测通路27为沿z-方向布置的流路，并具有这样的结构，该结构中其中央部的流路宽度要宽于端部的流路宽度。然后，装设于电路板13上的流率检测元件12布置于所述中央部处。而后，检测通路27与沿y-方向布置的第三连接通路28连接，并且第三连接通路28与第四连接通路29连接。第四连接通路29包括弧形弯曲部以使得气体的流向从z-方向改变为x-方向。然后，第四连接通路29与检测通路排出口30连接。 [0058] 如上所述，已经流入分流流路导入口21的一部分气体以这样的顺序流动：导入通路22、分流流路23、检测通路导入口24、第一连接通路25、第二连接通路26、检测通路27、第三连接通路28、第四连接通路29、检测通路排出口30、和分流流路排出口31，如图1A至图1C所示。须注意，气体的流向不限于此，并且即使流向相反，流量测量装置也能测量气体的流量。 [0059] 由此，已经流入检测通路27中的气流率由流率检测元件12测量，并且通过使用流经主流路10的气体与流经检测通路27的气体之间的分流比能够得到流经流量测量装置1的气体的总流率。 [0060] 另外，分流流路23的壁面具有弧形以使得能够阻止灰尘累积。进而，检测通路导入口24位于具有弧形的分流流路23的侧壁的弧部中心处，以使得能够减小流入检测通路27中的灰尘量。由此，能够阻止灰尘附着至流率检测元件12，并且能够维持流量测量装置 1的测量精度。 [0061] 将参照图3A至图3D作出具体说明。图3A至图3D为示出流量测量装置1中的气体和灰尘流的视图，图3A为示出流量测量装置1的剖面中的气体和灰尘流的视图，图3B为示出副流路部20的剖面中的气体和灰尘流的视图，图3C为示出整个副流路部20中的气流和灰尘流的视图，并且图3D示出副流路部20的剖面中的气流的仿真结果。 [0062] 如图3A所示，当流经主流路5的一部分气体和灰尘从分流流路导入口21流入副流路部20中时，如图3B所示，灰尘流经靠近分流流路23的壁面处的部分，并以朝向分流流路排出口31的方向运动。这是因为已经从分流流路导入口21流入的灰尘趋向于以灰尘能够易于流动的方向流动。结果，灰尘流入检测通路导入口24的可能性较低。 [0063] 另一方面，在分流流路23中央附近的流路缩窄的部分处，一部分气体撞击靠近主流管10的壁面（分隔件43），并直接流入检测通路导入口24中。如图3C所示，已经流入检测通路导入口24中的气流经检测通路27，并通过检测通路排出口30回到分流流路23。 [0064] 如上所述，本实施例具有这样的构造，其中一部分气体流入检测流路27中，而灰尘则难以流入检测通路27中。 [0065] 接着，参照图4，在本实施例和现有构造中，将描述流入检测通路中的灰尘量的分析结果。图4为示出本实施例与现有构造之间的通过粒子数的比较结果的图表。须注意，在该分析中，流入气体的流率为100升/分钟(liter/min)，并且流入粒子的直径为0.1μm，3 具体密度(gravity)为3000kg/m，其数目为1000000个粒子。 [0066] 图4中示出分析结果。在图4中，虚线表示现有构造中的计数，并且实线表示本发明中的计数。如图4所示，在现有构造中，粒子的计数在经过0.03s的时间之后突然增加，而在本实施例中，粒子的计数在经过0.06s的时间之后仅略微增加。以这种方式，在本实施例中，防止了粒子（即，灰尘）进入检测通路。 [0067] （流率检测元件的结构） [0068] 接着，参照图5A和图5B，将描述流率检测元件12的结构。图5A和图5B为用于示出流率检测元件12的结构的视图，图5A为示出其中气体不流动的状态的视图，并且图5B为示出其中气流动的状态的视图。 [0070] 如图5A所示，在流率检测元件12中，通过蚀刻在基板36的一个表面上形成空腔35，并且绝缘薄膜37覆盖在空腔35上以便使绝缘薄膜37的边缘保留在基板36上。加热器33在绝缘薄膜37的中央部处形成有多晶硅，并且热电堆32、34分别布置在加热器33的上游和下游。热电堆32、34配置有选择性连接的Al线元件和多晶硅的线元件以布置成Z字形。热电堆32、34相对于加热器33呈对称性地布置以测量加热器33两侧对称位置处的温度。 [0071] 然后，在测量时，加热器33生热至预定温度以使得加热器33周围产生预定温度分布α（温度梯度）。由于热电堆32、34是对称布置，当气体未流过加热器33上时，由热电堆32、34检测的温度彼此相等从而温差为零。 [0072] 另一方面，如图5B所示，当加热器33上出现气流时，加热器33的热向下游传递从而温度分布α向下游偏移，因此，下游的热电堆34所检测的温度升高，并且上游的热电堆32所检测的温度下降，由此造成热电堆32、34所检测的温度之间的温差。这一温差的改变与气体的质量流率成比例从而基于该温差能够得到气体的质量流率。因此，基于所得到的质量流率和主流路5与副流路部20之间的分流比能够得到流量测量装置1中的总流率。 [0073] （副流路部的构造） [0074] 接着，将参照图6A至图7B描述副流路部20的模型。图6A和图6B为用于示出副流路部20的构造的模型的视图，图6A为包括副流路部20的流量测量装置的透视图，并且图6B为图6A中区域99的放大视图。 [0075] 如图6A和图6B所示，副流路部20可以这样的方式构造，使得检测通路27形成于基本组件17中，并且包括分流流路23、检测通路导入口24、第一连接通路25、第二连接通路26、第三连接通路28、第四连接通路29、以及检测通路排出口30的部分被定义为副流路部 96，以便用中间（intermediate）组件来形成。 [0076] 理由如下。在流率检测元件12装设于电路板13上并且电路板13以某种方式与基本组件17结合时没有问题。然而，在流率检测元件12布置于中间组件处的构造情况下，中间组件的未对准等等有可能会破坏流率检测元件12与检测通路27之间的位置关系从而会导致特性改变。 [0077] 根据该构造，由于布置了流率检测元件12的检测通路27形成在与电路板13结合的基本组件17一侧，即使出现中间组件的未对准，其影响也能得到抑制。 [0078] 另外，图7A和图7B为用于示出副流路部20的构造的模型的视图，图7A为包括副流路部20的流量测量装置的透视图，并且图7B为图7A中区域80的放大视图。 [0079] 如图7A和图7B所示，副流路部20可这样形成，其被划分成：基本组件17；第一副流路部97，其包括第一连接通路25、第二连接通路26、检测通路27、第三连接通路28、和第四连接通路29；以及第二副流路部98，其包括分流流路导入口21、导入通路22、分流流路23、检测通路导入口24、检测通路排出口30、和分流流路排出口31。 [0080] （第二实施例） [0081] 接着，将参照图8A至图8C描述本发明的另一实施例。图8A至图8C为用于示出副流路部20的流路的另一模型的视图，图8A为本实施例中副流路部20的侧视图，图8B为本实施例中副流路部20的透视图，并且图8C为示出该实施例中气流的视图。本实施例就检测通路导入口24和检测通路排出口30的位置而言与前述实施例不同。 [0082] 在本实施例中，如图8C所示，分流流路23的壁面具有弧形，检测通路导入口24和检测通路排出口30对应于该弧部的中心，并布置于面对更靠近主流管10的壁面的位置处。 [0083] 另一方面，在本实施例中，如图8A所示，检测通路导入口24和检测通路排出口30布置于沿远离主流管10的方向（y-方向）自前述实施例的位置偏移一距离的位置处，该距离大体对应于检测通路导入口24的直径，即，检测通路导入口24和检测通路排出口30的位置处于第一腔室41的中心和第二腔室42的中心。因此，在本实施例中，检测通路导入口24和检测通路排出口30并不是面对分流流路23的更靠近主流管10的壁面。 [0084] 由此，如图8B中的箭头所指示，即使灰尘沿着壁面流动，也能防止该灰尘通过检测通路导入口24流入。因此，更能确保防止灰尘流入检测通路27中。即，即使灰尘撞击分隔件43，并沿朝着检测通路导入口24的方向流入，也能够防止灰尘通过检测通路导入口24进入检测通路27。 [0085] 另外，在像本实施例那样形成检测通路导入口24和检测通路排出口30时，从形成金属模的角度来看，仅用副流路部20的部件来形成是困难的。于是，可以这样来实施：在主流管10侧的组件处形成凸起（图8B），并将这些凸起与在副流路部20的组件处形成的凹陷相结合。 [0086] （第三实施例） [0087] 接着，将参照图9A和图9B描述本发明的又一实施例。图9A和图9B为示出副流路部20的流路的另一构造的视图，图9A为示出本实施例的副流路部20的构造的透视图，并且图9B为示出本实施例的副流路部20的构造的俯视图。 [0088] 本实施例就副流路部20中包括的分流流路模块（分流流路导入口21、导入通路22、分流流路23、检测通路导入口24、第一连接通路25、第三连接通路28、第四连接通路29、检测通路排出口30、和分流流路排出口31）的数目而言与前述实施例不同。也即，在本实施例中，如图9A和图9B所示，两个分流流路块分别布置于检测通路27的两侧（x-方向和负x-方向）。 [0089] 由此，即使流经主流管10的气体存在偏离，也能防止流经检测通路27的气体的流速分布出现偏离。 [0090] 须注意，分流流路模块的数目并不限于两个，只要这些分流流路相对于检测通路27组成一对或多对，则任意数目都是可用的。 [0091] （第四实施例） [0092] 接着，将参照图10A和图10B描述本发明的再一实施例。图10A和图10B为示出本实施例中的副流路部91的构造的视图，图10A为副流路部91的透视图，并且图10B为副流路部91的俯视图。 [0093] 本实施例就以下几点而言与前述实施例不同：分流流路92在分流流路23的x-方向侧不包括对应于侧壁的组件，并且从检测通路导入口93到检测通路94的流路不包括对应于第一连接通路25的组件。 [0094] 在本实施例中，由于在分流流路23的x-方向侧没有对应于侧壁的组件，所以是形成于基本组件17中的凹进部的壁面来形成分流流路92的侧壁。 [0096] 如上所述，根据本发明的流量测量结构包括主流路和副流路，流体流经该主流路，且流体在该副流路处从主流路分流并被供应至检测元件用以测量流率，之后再回到所述主流路。其中，所述副流路包括第一支流路和第二支流路，流体在该第一支流路处从主流路分流并回到主流路而不被供应至检测元件，且流体在该第二支流路处从第一支流路分流并被供应至检测元件。并且，其中第一支流路包括：滑流部，并且流体在该滑流部中平滑流动于与主流路连接的两个端部之间；以及第一腔室和第二腔室，其与所述滑流部邻接，并且由分隔件（设置该分隔件以阻滞流体的流动）划分而成，并且所述第二支流路的两个端部分别与第一腔室和第二腔室连接。 [0097] 根据该构造，已经进入第一支流路的流体在滑流部中平滑流动，并回到主流路，从而灰尘难以在第一支流路中累积。 [0098] 进而，已经进入第一支流路的一部分流体因分隔件而通过与第一腔室或第二腔室连接的端部流到第二支流路。另一方面，已经进入第一支流路的灰尘因易于流动而经滑流部通过，从而灰尘难以进入第二支流路。 [0099] 以这种方式，基于所述构造，已经进入第一支流路的灰尘不会累积，且倾向于直接流向主流路，并且，灰尘难以进入第二支流路，因此难以附着至布置于第二支流路处的用于测量流率的检测元件。 [0100] 因此，由检测元件所检测的结果几乎不会受到灰尘的影响，并且，因此能够实现这样的流量测量结构，其由灰尘导致的误差很小。 [0101] 在根据本发明的流量测量结构中，所述滑流部可设置有两个弯曲部，其平滑地改变流体的行进方向，并且第二支流路的两端可与第一腔室和第二腔室中两个弯曲部的曲率中心连接。 [0102] 基于所述构造，已经进入第一支流路的灰尘因离心力而经弯曲部附近通过，并且，灰尘因此难以朝弯曲部的曲率中心移动。因此，灰尘难以进入端部与弯曲部的曲率中心连接的第二支流路。 [0103] 结果是，能够防止灰尘进入第二支流路，并且能够实现这样的流量测量结构，其由灰尘导致的误差很小。 [0104] 在根据本发明的流量测量结构中，第二支流路的两个端部可与第一腔室和第二腔室的中心连接。 [0105] 基于该构造，第二支流路的端部远离面对流体行进方向的壁面，从而，即使灰尘沿着壁面流动，也能防止灰尘进入第二支流路。 [0106] 结果是，能够实现这样的流量测量结构，其由灰尘导致的误差很小。 [0107] 在根据本发明的流量测量结构中，可跨过第二支流路布置两个上述第一支流路。 [0108] 基于该构造，流体通过两个第一支流路进入第二支流路。因此，即使流体的流动有偏离，其在副流路处也可得到平衡，从而能够通过计算得到没有偏离的测量结果。 [0109] 上文提及的有益效果也能由这样的流量测量装置得到，该流量测量装置用于测量流率的检测元件被布置在流量测量结构中的第二支流路处。 [0110] 工业实用性 [0111] 即使在灰尘与流体混合时，也能精确测量流体的流率，因此，本发明适用于在灰尘易与流体混合等场所中使用的流量测量装置（例如，安装于工厂等中的气量计）。 [0112] 附图标记说明 [0113] 1 流量测量装置（流量测量结构） [0114] 5 主流路 [0115] 10 主流管 [0116] 12 流率检测元件（检测元件） [0117] 20 副流路部（副流路） [0118] 21 分流流路导入口 [0119] 22 导入通路 [0120] 23 分流流路（第一支流路） [0121] 24 检测通路导入口 [0122] 25 第一连接通路（第二支流路） [0123] 26 第二连接通路（第二支流路） [0124] 27 检测通路（第二支流路） [0125] 28 第三连接通路（第二支流路） [0126] 29 第四连接通路（第二支流路） [0127] 30 检测通路排出口 [0128] 31 分流流路排出口 [0129] 41 第一腔室 [0130] 42 第二腔室 [0131] 43 分隔件 [0132] 45 滑流部 |
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