[0001] 本发明涉及真空泵设备领域，具体为一种返油率低的油扩散泵。

[0002] 油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸汽射流抽气的真空泵，广泛应用于机械、电子、冶金等工业领域，通过在泵体内加热形成油蒸汽，并从伞形喷嘴以超音速喷出后，速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流上边的被抽气体因密度差要向蒸汽射流中扩散并被射流携带到水冷的泵壁处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油锅中循环使用，而被抽气体在处堆积、压缩，最后被下级射流携带走，以达到逐级压缩，最后被前级泵抽走。

[0003] 然而，现有的油扩散泵的泵芯采取多级喷射方式，即泵芯内腔的蒸汽分别从其靠近底部处、中部和顶部向下喷射出，这使得靠近底部处的蒸汽很快从排气管排出，蒸汽未能充分冷却，大部分蒸汽随空气排出，导致油的流失率提高，从而提高了成本，且现有的泵芯为锥形设计，由泵芯上方喷出的蒸汽与下方喷出的蒸汽的速率不同，这使得蒸汽下流的动力有一定损失，从而影响了抽气的效率，进而影响扩散泵的工作效率。

[0004] 针对上述背景技术的不足，本发明提供了一种返油率低的油扩散泵，具备油流失率低和工作效率高的优点，解决了背景技术提出的问题。

[0005] 本发明提供如下技术方案：一种返油率低的油扩散泵，包括泵体，所述泵体内腔的底部设有加热组件，所述加热组件的顶部设有导油盘，所述导油盘顶端的中部设有泵芯，所述导油盘顶部的外沿设有环状的泵环套，且泵环套与泵芯的高度相同，所述泵芯和泵环套的内径均由下至上均匀减小，泵体的内部设有位于泵芯和泵环套之间的冷却环，所述冷却环内腔的顶部接通有进流管，且冷却环侧面的底部接通有出流管，所述泵体侧面的底部设有出气管，且出气管的一端贯穿泵环套，所述出气管的另一端延伸至泵体的外部，且出气管上包裹有冷却套，所述冷却套和出气管之间的腔室与出流管接通，冷却环内腔顶部的一侧固定连接有伞型盖，且伞型盖位于泵芯的上方，泵体内腔的顶部固定套装有位于泵环套上的限位环，限位环的外侧与伞型盖的内侧均为弧面设计。

[0006] 优选的，所述冷却环底部的两侧均固定连接有支撑轴，且支撑轴与导油盘的顶部固定连接，冷却环的底部位于出气管底端的上方。

[0007] 优选的，所述伞型盖与泵芯的间距值小于泵芯顶部的内径值，所述限位环与泵环套的间距值小于冷却环顶部的内径值。

[0008] 优选的，所述限位环通过两侧螺丝固定到泵体上，且限位环内侧与冷却环侧面的间距值和伞型盖外侧与冷却环侧面的间距值相同。

[0009] 本发明具备以下有益效果：

[0010] 该返油率低的油扩散泵，通过在导油盘顶部的外沿增设与泵芯等高的泵环套，并将冷却环置于泵芯和泵环套之间，使得油蒸汽受冷却环作用的距离均处于最长状态，从而确保油蒸汽充分冷却，降低了油随空气的流失率，节省了成本；且设于泵芯和泵环套中间的冷却环，使得泵芯和泵环套喷出的气流均能快速受冷却环作用冷却，从而提高了油蒸汽的冷却速率，进一步降低了油随空气的流失率；并且，通过冷却环的阻挡作用，使得泵芯和泵环套喷射处的蒸汽流几乎无相互干扰，各自形成持续稳定的下流蒸汽，提高了抽气的效率。附图说明

[0011] 图1为本发明结构示意图；

[0012] 图2为本发明图1结构泵环套的俯视图；

[0013] 图3为本发明图1结构泵芯的俯视图；

[0014] 图4为本发明图1结构限位环示意图。

[0015] 图中：1、泵体；2、加热组件；3、导油盘；4、泵芯；5、泵环套；6、冷却环；601、进流管；602、出流管；7、伞型盖；8、限位环；9、出气管；901、冷却套。

[0016] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0017] 请参阅图1-4，一种返油率低的油扩散泵，包括泵体1，泵体1内腔的底部设有加热组件2，加热组件2的顶部设有位于泵体1内腔的导油盘3，通过加热组件2通电使得导油盘3对泵体1内腔的底部的油进行加热，从而在泵体1内腔的底部形成油蒸汽导油盘3顶端的中部固定安装有泵芯4，导油盘3顶部的外沿固定安装有环状的泵环套5，泵环套5与泵芯4的顶部和底部均为开口设计，且泵环套5与泵芯4的高度值相同，泵芯4和泵环套5内腔的尺径由下至上均匀减小，泵体1的内部设有位于泵芯4和泵环套5之间的冷却环6，冷却环6的顶部固定套接有进流管601，冷却环6侧面的底部接通有出流管602，泵体1侧面的底部固定套接有出气管9，且出气管9的一端贯穿泵环套5，出气管9的另一端延伸至泵体1的外部，出气管9上包裹有冷却套901，冷却套901和出气管9之间的腔室与出流管602接通，且冷却套901的顶部接通有排水管，以便冷区流体循环流经冷却环6，冷却环6内腔顶部的一侧固定连接有伞型盖7，且伞型盖7位于泵芯4的上方，泵体1内腔的顶部固定套装有位于泵环套5上的限位环8，限位环8的外侧与伞型盖7的内侧均为弧面设计，且伞型盖7与泵芯4的间距值小于泵芯4顶部的内径值，限位环8与泵环套5的间距值小于冷却环6顶部的内径值，泵体1内腔底部产生的油蒸汽高速通过泵芯4和泵环套5的内腔，并从泵芯4和泵环套5的顶部高速喷射出，经伞型盖7和限位环8的阻隔折射，射流的油蒸汽向下高速流动，并经泵体1底部的出气管9排出，从而在泵体1的内部构成一个向下运动的油蒸汽射流，从泵体1顶部进入的气体分子落入油蒸的气流中，获得向下运动的动量向下飞，从而实现抽真空，并通过进流管601向冷却环6中持续通入冷却流体，使得油蒸汽冷却成液滴，落入导油盘3中循环利用，在泵体1内腔的尺径不变的情况下，通过泵环套5与泵芯4的等高设计，再不改变油蒸汽喷射速率的情况下，提高了油蒸汽流经冷却环6的距离，有效的利用率冷却环6进行冷却，从而降低了油蒸汽的流失率，节省了成本，同时，通过泵环套5设于泵芯4的中心处，冷却环6设于泵芯4和泵环套5之间，使得从泵芯4和泵环套5喷射处的油蒸汽能充分受到冷却环6内冷却流体的冷却作用，进一步提高了油蒸汽的冷却效果，进而有效降低油蒸汽的流失率，且泵芯4与泵环套5内的油蒸汽流同时从同一高度向下喷射，并由冷却环6的阻隔作用，批次互不影响干扰，进一步保障了油蒸汽和进入泵体1内空气的高速下流，从而保障了扩散泵的高效抽真空工作。

[0018] 其中，冷却环6底部的两侧均固定连接有支撑轴，且支撑轴与导油盘3的顶部固定连接，冷却环6的底部位于出气管9底端的上方，通过导油盘3稳固冷却环6的同时，不影响进入泵体1内腔的空气从出气管9排出。

[0019] 其中，限位环8通过两侧螺丝固定到泵体1上，且限位环8内侧与冷却环6侧面的间距值和伞型盖7外侧与冷却环6侧面的间距值相同，伞型盖7与限位环8的弧度与现有扩散泵伞型喷嘴的弧度相同，以保障油蒸汽从泵芯4和泵环套5的顶部向下喷射。

[0020] 使用时，先将出气管9的一端接前级机械泵，使得加热组件2通电，导油盘3加热泵体1内腔底部的油，从而产生油蒸汽，油蒸汽经泵芯4和泵环套5后并分别经顶部的伞型盖7和限位环8的阻挡，向下射流的油蒸汽向下高速流动，并经前级机械泵的抽吸，从出气管9排出，从而在泵体1的内部构成一个向下运动的油蒸汽射流，从泵体1顶部进入的气体分子落入油蒸的气流中，获得向下运动的动量向下飞，从而实现抽真空，同时通过进流管601向冷却环6中持续通入冷却流体，使得油蒸汽冷却成液滴，落入导油盘3中循环利用。

[0021] 需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

[0022] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。