[0001] 本发明属于单晶炉技术领域，具体的说是一种单晶炉炉体控压装置。

[0002] 单晶炉是一种利用石墨加热器对多晶材料熔化生长的设备，并且单晶炉内部需要充入惰性气体，用直拉法生长无错位单晶。

[0003] 单晶的直径在生长过程中，较为容易受到温度、提拉速度、坩埚跟踪速度和保护气体的流速等因素的影响，决定能否成晶的主要因素是单晶炉内的温度。

[0004] 在使用单晶炉生晶时，随着加热器对密闭单晶炉内部加热，从而对硅料熔化，单晶炉内的温度增高，气压也就随之越高，过高的气压容易影响单晶的生长，从而导致生长出的单晶存在质量问题，严重时甚至出现变晶现象。

[0005] 为此，本发明提供一种单晶炉炉体控压装置。

[0006] 为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。

[0007] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种单晶炉炉体控压装置，包括单晶炉盖；所述单晶炉盖的顶端固接有真空阀；所述单晶炉盖的底端安装有单晶炉筒；所述单晶炉盖的顶端固接有控压筒，且控压筒通过底端的通管连通单晶炉筒内部；所述控压筒的内部固接有电机盒，且电机盒的内部安装有伺服电机；所述伺服电机的输出端固接有连接杆；所述连接杆的外部固接有搅拌叶，且搅拌叶设置有多个；所述控压筒远离真空阀的一端设置有存储机构，存储机构用于对气体回收；所述控压筒的内部且靠近单晶炉筒处安装有监测器，且监测器分别与伺服电机和真空阀电连接。

[0008] 优选的，所述存储机构包括存储箱、一号存储腔、支撑架和封闭组件；所述存储箱固接在控压筒远离真空阀的一端，且存储箱与控压筒相连通；所述一号存储腔开设在存储箱的内部，且一号存储腔位于靠近控压筒处；所述支撑架固接在存储箱的底端，且支撑架远离存储箱的一端固接单晶炉筒外部；所述封闭组件设置在存储箱的内部，封闭组件用于对存储箱内部控制封堵。

[0009] 优选的，所述存储箱的内部开设有二号存储腔，且二号存储腔设置有多个；所述存储箱的内部且位于二号存储腔与一号存储腔之间开设有导流腔；所述存储箱的内部靠近导流腔处通过电滑块滑动连接有封堵块。

[0010] 优选的，所述单晶炉筒的外部固接有保温筒；所述保温筒的内部开设有蓄热腔；所述支撑架的内部开设有流通槽，且蓄热腔通过流通槽与一号存储腔相连通。

[0011] 优选的，所述单晶炉筒的内部固接有进料管，且进料管贯穿支撑架内部；所述进料管的材质为金属材质。

[0012] 优选的，所述封闭组件包括固定杆、一号封堵板、一号弹性件和配合部件；两个所述固定杆固接在存储箱的内部；所述一号封堵板滑动连接在固定杆的外部，一号封堵板用于封堵存储箱的的进气口；所述一号弹性件套接在固定杆的外部，且一号弹性件位于存储箱内壁与一号封堵板之间；所述配合部件设置在一号封堵板的内部，配合部件用于封堵一号封堵板。

[0013] 优选的，所述配合部件包括二号封堵板和二号弹性件；所述二号封堵板滑动连接在一号封堵板的内壁，且二号封堵板位于靠近连接杆的一端；所述二号弹性件固接在一号封堵板与二号封堵板之间，且二号弹性件设置有多个。

[0014] 优选的，所述一号封堵板的内部滑动连接有限位块，且限位块设置有多个；多个所述限位块的外部固接有三号弹性件，且三号弹性件固接一号封堵板内壁；所述存储箱的内部靠近一号封堵板处开设有限位槽，且限位槽与限位块相对应。

[0015] 优选的，所述控压筒的内部固接有过滤网板，且连接杆转动连接在过滤网板的中心外部；所述连接杆的外部且靠近过滤网板处固接有转筒；所述转筒的外部固接有一号刮板，且一号刮板贴合过滤网板的外壁。

[0016] 优选的，所述转筒的外部固接有支撑板，且支撑板设置有多个；多个所述支撑板的外部固接有二号刮板，且二号刮板贴合控压筒的内壁。

[0017] 本发明的有益效果如下：1.本发明所述的一种单晶炉炉体控压装置，通过设置的监测器对单晶炉筒内部的
气压实时监测，在单晶炉筒内部气压过高时，伺服电机带动多个搅拌叶正向转动，抽取单晶炉筒内部的热量送至存储箱的内部暂存，起到对单晶炉筒内部减压的作用，若单晶炉筒内部气压过低，利用伺服电机反向转动，将存储箱内部的热量回送单晶炉筒内部，起到对单晶炉筒内部增压的效果，利用封堵块对二号存储腔实现封堵，起到对热气封存的作用，依靠保温筒内暂存部分热量，起到对单晶炉筒外壁保温的作用，利用回收的部分热量对进料管加热，能够对进料管内的料物进行预热。

[0018] 2.本发明所述的一种单晶炉炉体控压装置，通过设置的一号封堵板随风力吹动滑向一号存储腔处，在单晶炉筒内部减压时，能够使控压筒和存储箱连通，在一号封堵板随风力抽动滑向连接杆处时，连接杆将二号封堵板顶开远离一号封堵板，能够使控压筒和存储箱再次连通，利用多个限位块卡入限位槽中，起到对一号封堵板辅助限位的作用，依靠过滤网板对杂质过滤，配合多个一号刮板刮扫过滤网板的外壁，保证过滤网板的过滤效果，利用支撑板随连接杆转动，带动二号刮板对控压筒的内壁刮扫，减少控压筒内壁的杂质附着。附图说明

[0019] 下面结合附图对本发明作进一步说明。

[0020] 图1是本发明的立体图；图2是本发明中保温筒的局部结构剖视图；
图3是本发明中存储箱的局部结构剖视图；
图4是本发明中搅拌叶的结构示意图；
图5是本发明中一号封堵板的局部结构剖视图。

[0021] 图中：1、单晶炉盖；11、真空阀；12、单晶炉筒；13、控压筒；14、电机盒；15、连接杆；16、搅拌叶；17、监测器；2、存储箱；21、一号存储腔；22、支撑架；3、二号存储腔；31、导流腔；
32、封堵块；4、保温筒；41、蓄热腔；5、进料管；6、固定杆；61、一号封堵板；62、一号弹性件；7、二号封堵板；71、二号弹性件；8、限位块；81、三号弹性件；9、过滤网板；91、转筒；92、一号刮板；93、二号刮板。

[0022] 为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

[0023] 如图1至图4所示，本发明实施例所述的一种单晶炉炉体控压装置，包括单晶炉盖1；所述单晶炉盖1的顶端固接有真空阀11；所述单晶炉盖1的底端安装有单晶炉筒12；所述单晶炉盖1的顶端固接有控压筒13，且控压筒13通过底端的通管连通单晶炉筒12内部；所述控压筒13的内部固接有电机盒14，且电机盒14的内部安装有伺服电机；所述伺服电机的输出端固接有连接杆15；所述连接杆15的外部固接有搅拌叶16，且搅拌叶16设置有多个；所述控压筒13远离真空阀11的一端设置有存储机构，存储机构用于对气体回收；所述控压筒13的内部且靠近单晶炉筒12处安装有监测器17，且监测器17分别与伺服电机和真空阀11电连接；在使用单晶炉生晶时，随着炉内的温度增高，气压也随之增高，过高的气压容易导致生晶异常，单晶炉盖1盖在单晶炉筒12的顶端封堵单晶炉筒12内部，单晶炉筒12内部放置料物生晶，真空阀11和控压筒13共同安装在单晶炉盖1的顶端，并且真空阀11和控压筒13通过单晶炉盖1与单晶炉筒12连通，在单晶炉筒12内部气压过高时，利用真空阀11和控压筒13同时对单晶炉筒12内部的气压释放，真空阀11外接管道先行释放少量气压，电机盒14内部的伺服电机输出端转动，带动连接杆15上的多个搅拌叶16正向转动，多个搅拌叶16转动抽取单晶炉筒12内部的热气，将部分热气送至存储机构内暂存，起到对部分热量回收的作用，单晶炉筒12内部随着热气的排出，使得单晶炉筒12内部气压降低，从而降低变晶现象发生的概率，若存储机构内部热气饱和过多时，真空阀11开始释放大量气压，通过监测器17实时监测单晶炉筒12内部的气压状态，监测器17是现有技术中监测气压变化的传感器，直至单晶炉筒12内部气压保持稳定，监测器17信号通知伺服电机和真空阀11停止泄压，起到对单晶炉筒12内部控压的作用。

[0024] 如图1至图3所示，所述存储机构包括存储箱2、一号存储腔21、支撑架22和封闭组件；所述存储箱2固接在控压筒13远离真空阀11的一端，且存储箱2与控压筒13相连通；所述一号存储腔21开设在存储箱2的内部，且一号存储腔21位于靠近控压筒13处；所述支撑架22固接在存储箱2的底端，且支撑架22远离存储箱2的一端固接单晶炉筒12外部；所述封闭组件设置在存储箱2的内部，封闭组件用于对存储箱2内部控制封堵；在对单晶炉筒12内部控压时，支撑架22固定在单晶炉筒12外部支撑存储箱2的底端，利用多个搅拌叶16转动抽取单晶炉筒12内部的热气，热气被抽送至存储箱2的内部，并将热气暂存于一号存储腔21处，依靠封闭组件对存储箱2的内部封堵，起到对单晶炉筒12内部控压和回收热量的作用，同时若单晶炉筒12内部的气压过低，也容易对生晶造成影响，在单晶炉筒12内部的气压过低时，利用伺服电机带动连接杆15上的多个搅拌叶16反向转动，封闭组件随之打开，将存储箱2内部的热气回送至单晶炉筒12内部增压，对资源合理分配使用。

[0025] 所述存储箱2的内部开设有二号存储腔3，且二号存储腔3设置有多个；所述存储箱2的内部且位于二号存储腔3与一号存储腔21之间开设有导流腔31；所述存储箱2的内部靠近导流腔31处通过电滑块滑动连接有封堵块32；当热气暂存在存储箱2的内部时，利用电滑块带动封堵块32滑动在存储箱2的内部，在封堵块32滑动靠近一号存储腔21处时，一号存储腔21能够通过封堵块32的开槽与导流腔31相连通，使得一号存储腔21处暂存的热气充入二号存储腔3内，二号存储腔3设置有多个，二号存储腔3内部充压过多时，电滑块带动封堵块
32复位，封堵块32能够对导流腔31封堵，起到对热气封存的作用，在需要少量热气回送单晶炉筒12内部时，依次打开每个二号存储腔3释放热气，起到控压的效果。

[0026] 所述单晶炉筒12的外部固接有保温筒4；所述保温筒4的内部开设有蓄热腔41；所述支撑架22的内部开设有流通槽，且蓄热腔41通过流通槽与一号存储腔21相连通；当热气被暂存至存储箱2的内部时，部分热气经过支撑架22开设的流通槽，送至保温筒4的内部，并存积在蓄热腔41内，保温筒4紧密贴合单晶炉筒12的外壁，起到对单晶炉筒12外壁降压后保温的作用。

[0027] 所述单晶炉筒12的内部固接有进料管5，且进料管5贯穿支撑架22内部；所述进料管5的材质为金属材质；当对单晶炉筒12内部加料时，进料管5外接料管通入单晶炉筒12内部，随着料管上料至进料管5的内部，存积在支撑架22内部的部分热气的热量能够被进料管5的金属材质吸收，从而对进料管5内部经过的料物预热，起到对料物熔化的速度，降低单晶炉筒12内部气压变化过大的情况。

[0028] 如图1至图5所示，所述封闭组件包括固定杆6、一号封堵板61、一号弹性件62和配合部件；两个所述固定杆6固接在存储箱2的内部；所述一号封堵板61滑动连接在固定杆6的外部，一号封堵板61用于封堵存储箱2的的进气口；所述一号弹性件62套接在固定杆6的外部，且一号弹性件62位于存储箱2内壁与一号封堵板61之间；所述配合部件设置在一号封堵板61的内部，配合部件用于封堵一号封堵板61；当对单晶炉筒12内部降压时，利用多个搅拌叶16快速转动抽取单晶炉筒12内部热气，多个搅拌叶16转动产生的风力，将一号封堵板61吹动并向远离控压筒13的方向滑行于两个固定杆6的外部，一号弹性件62被拉拽受力，此时存储箱2的进气口被打开，使得控压筒13与存储箱2之间的通道连通，热气被抽送至存储箱2的内部，同时在伺服电机停止运行时，多个一号弹性件62拉拽一号封堵板61复位，一号封堵板61复位并关闭存储箱2的进气口，起到对存储箱2内部控制封堵的作用，并且在热气回送单晶炉筒12内部时，通过一号封堵板61反向滑动，使得连接杆15的一端将配合组件顶出一号封堵板61内，使得控压筒13与存储箱2内部连通，热气才能被送回单晶炉筒12内。

[0029] 所述配合部件包括二号封堵板7和二号弹性件71；所述二号封堵板7滑动连接在一号封堵板61的内壁，且二号封堵板7位于靠近连接杆15的一端；所述二号弹性件71固接在一号封堵板61与二号封堵板7之间，且二号弹性件71设置有多个；当对存储箱2内部的热气回送至单晶炉筒12内部时，多个搅拌叶16随伺服电机反向转动，多个搅拌叶16快速转动使控压筒13内形成负压，一号封堵板61在存储箱2内部气压的作用下滑动进入控压筒13，并且连接杆15的一端顶在二号封堵板7上，二号封堵板7与一号封堵板61发生相对位移产生缝隙，二号弹性件71被拉拽受力，存储箱2内部的热气从一号封堵板61与二号封堵板7之间的缝隙流通，起到对存储箱2内热量回送至单晶炉筒12内增压的作用。

[0030] 所述一号封堵板61的内部滑动连接有限位块8，且限位块8设置有多个；多个所述限位块8的外部固接有三号弹性件81，且三号弹性件81固接一号封堵板61内壁；所述存储箱2的内部靠近一号封堵板61处开设有限位槽，且限位槽与限位块8相对应；当对存储箱2内部热量回送单晶炉筒12内部时，随着多个搅拌叶16快速转动，一号封堵板61随之滑动在存储箱2的内壁，一号封堵板61滑动的过程中，多个限位块8能够被三号弹性件81挤压顶入限位槽中，从而起到对一号封堵板61辅助限位的作用，同时在伺服电机停止转动时，多个一号弹性件62弹力复位挤压一号封堵板61，使得多个限位块8脱离限位槽，一号封堵板61实现对控压筒13和存储箱2之间通道的封堵。

[0031] 如图1至图4所示，所述控压筒13的内部固接有过滤网板9，且连接杆15转动连接在过滤网板9的中心外部；所述连接杆15的外部且靠近过滤网板9处固接有转筒91；所述转筒91的外部固接有一号刮板92，且一号刮板92贴合过滤网板9的外壁；当对单晶炉筒12内部减压时，多个搅拌叶16转动抽取单晶炉筒12内部的热气，热气进入控压筒13内部时容易遇冷凝华出杂质，利用过滤网板9对杂质过滤，减少杂质送入存储箱2的内部，连接杆15带动转筒
91上的多个一号刮板92转动，多个一号刮板92贴合过滤网板9的外壁刮扫，减少过滤网板9外壁杂质的附着，提高过滤网板9的过滤效果。

[0032] 所述转筒91的外部固接有支撑板，且支撑板设置有多个；多个所述支撑板的外部固接有二号刮板93，且二号刮板93贴合控压筒13的内壁；当控压筒13长时间使用内壁凝结杂质时，利用多个支撑板固定在转筒91的外部，转筒91随着连接杆15快速转动，带动支撑板上的二号刮板93对控压筒13的内壁刮扫，从而减少控压筒13内壁的杂质附着。

[0033] 工作过程：在使用单晶炉生晶时，随着炉内的温度增高，气压也随之增高，过高的气压容易导致生晶异常，单晶炉盖1盖在单晶炉筒12的顶端封堵单晶炉筒12内部，单晶炉筒12内部放置料物生晶，真空阀11和控压筒13共同安装在单晶炉盖1的顶端，并且真空阀11和控压筒13通过单晶炉盖1与单晶炉筒12连通，在单晶炉筒12内部气压过高时，利用真空阀11和控压筒13同时对单晶炉筒12内部的气压释放，真空阀11外接管道先行释放少量气压，电机盒14内部的伺服电机输出端转动，带动连接杆15上的多个搅拌叶16正向转动，多个搅拌叶16转动抽取单晶炉筒12内部的热气，将部分热气送至存储机构内暂存，起到对部分热量回收的作用，单晶炉筒12内部随着热气的排出，使得单晶炉筒12内部气压降低，从而降低变晶现象发生的概率，若存储机构内部热气饱和过多时，真空阀11开始释放大量气压，通过监测器17实时监测单晶炉筒12内部的气压状态，监测器17是现有技术中监测气压变化的传感器，直至单晶炉筒12内部气压保持稳定，监测器17信号通知伺服电机和真空阀11停止泄压，起到对单晶炉筒12内部控压的作用；在对单晶炉筒12内部控压时，支撑架22固定在单晶炉筒12外部支撑存储箱2的底端，利用多个搅拌叶16转动抽取单晶炉筒12内部的热气，热气被抽送至存储箱2的内部，并将热气暂存于一号存储腔21处，依靠封闭组件对存储箱2的内部封堵，起到对单晶炉筒12内部控压和回收热量的作用，同时若单晶炉筒12内部的气压过低，也容易对生晶造成影响，在单晶炉筒12内部的气压过低时，利用伺服电机带动连接杆15上的多个搅拌叶16反向转动，封闭组件随之打开，将存储箱2内部的热气回送至单晶炉筒12内部增压，对资源合理分配使用；当热气暂存在存储箱2的内部时，利用电滑块带动封堵块32滑动在存储箱2的内部，在封堵块32滑动靠近一号存储腔21处时，一号存储腔21能够通过封堵块32的开槽与导流腔31相连通，使得一号存储腔21处暂存的热气充入二号存储腔3内，二号存储腔3设置有多个，二号存储腔3内部充压过多时，电滑块带动封堵块32复位，封堵块32能够对导流腔31封堵，起到对热气封存的作用，在需要少量热气回送单晶炉筒12内部时，依次打开每个二号存储腔3释放热气，起到控压的效果；
当热气被暂存至存储箱2的内部时，部分热气经过支撑架22开设的流通槽，送至保温筒4的内部，并存积在蓄热腔41内，保温筒4紧密贴合单晶炉筒12的外壁，起到对单晶炉筒
12外壁降压后保温的作用；
当对单晶炉筒12内部加料时，进料管5外接料管通入单晶炉筒12内部，随着料管上料至进料管5的内部，存积在支撑架22内部的部分热气的热量能够被进料管5的金属材质吸收，从而对进料管5内部经过的料物预热，起到对料物熔化的速度，降低单晶炉筒12内部气压变化过大的情况；
当对单晶炉筒12内部降压时，利用多个搅拌叶16快速转动抽取单晶炉筒12内部热
气，多个搅拌叶16转动产生的风力，将一号封堵板61吹动并向远离控压筒13的方向滑行于两个固定杆6的外部，一号弹性件62被拉拽受力，此时存储箱2的进气口被打开，使得控压筒
13与存储箱2之间的通道连通，热气被抽送至存储箱2的内部，同时在伺服电机停止运行时，多个一号弹性件62拉拽一号封堵板61复位，一号封堵板61复位并关闭存储箱2的进气口，起到对存储箱2内部控制封堵的作用，并且在热气回送单晶炉筒12内部时，通过一号封堵板61反向滑动，使得连接杆15的一端将配合组件顶出一号封堵板61内，使得控压筒13与存储箱2内部连通，热气才能被送回单晶炉筒12内；当对存储箱2内部的热气回送至单晶炉筒12内部时，多个搅拌叶16随伺服电机反向转动，多个搅拌叶16快速转动使控压筒13内形成负压，一号封堵板61在存储箱2内部气压的作用下滑动进入控压筒13，并且连接杆15的一端顶在二号封堵板7上，二号封堵板7与一号封堵板61发生相对位移产生缝隙，二号弹性件71被拉拽受力，存储箱2内部的热气从一号封堵板61与二号封堵板7之间的缝隙流通，起到对存储箱2内热量回送至单晶炉筒12内增压的作用；当对存储箱2内部热量回送单晶炉筒12内部时，随着多个搅拌叶16快速转动抽取，一号封堵板61随之滑动在存储箱2的内壁，一号封堵板61滑动的过程中，多个限位块8能够被三号弹性件81挤压顶入限位槽中，从而起到对一号封堵板
61辅助限位的作用，同时在伺服电机停止转动时，多个一号弹性件62弹力复位挤压一号封堵板61，使得多个限位块8脱离限位槽，一号封堵板61实现对控压筒13和存储箱2之间通道的封堵；
当对单晶炉筒12内部减压时，多个搅拌叶16转动抽取单晶炉筒12内部的热气，热
气进入控压筒13内部时容易遇冷凝华出杂质，利用过滤网板9对杂质过滤，减少杂质送入存储箱2的内部，连接杆15带动转筒91上的多个一号刮板92转动，多个一号刮板92贴合过滤网板9的外壁刮扫，减少过滤网板9外壁杂质的附着，提高过滤网板9的过滤效果；当控压筒13长时间使用内壁凝结杂质时，利用多个支撑板固定在转筒91的外部，转筒91随着连接杆15快速转动，带动支撑板上的二号刮板93对控压筒13的内壁刮扫，从而减少控压筒13内壁的杂质附着。

[0034] 以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。