基板载体系统、运输设备和基板载体系统的用途 |
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| 申请号 | CN202310452907.0 | 申请日 | 2023-04-25 | 公开(公告)号 | CN117904587A | 公开(公告)日 | 2024-04-19 |
| 申请人 | 冯·阿登纳资产股份有限公司; | 发明人 | S·奥尔霍恩; J·克劳斯; R·库南兹; M·迪默; C·波斯卢兹尼; R·西伯特; | ||||
| 摘要 | 各种实施方式涉及 基板 载体系统、运输设备和基板载体系统的用途。该基板载体系统(100)包括：基板接收区域(120)； 底板 (110)，底板具有对基板接收区域限界的基板支承面(111)，接收在基板接收区域(120)中的基板(121)可以放置在基板支承面上；其 中底 板(110)具有至少一个纵向延伸的槽(112)，该槽沿第一方向对基板支承面(111)限界；至少一个条带(130)，该条带插入槽(112)中，条带以第一部段(131)接合到基板接收区域下方并且以第二部段(132)侧向地对基板接收区域(120)限界。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种基板载体系统(100)，包括： |
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| 说明书全文 | 基板载体系统、运输设备和基板载体系统的用途技术领域[0001] 各种实施方式涉及基板载体系统、运输设备和基板载体系统的用途。 背景技术[0002] 通常，一个或多个基板可以在覆层(或用于处理基板的其他工艺期间)期间借助于基板载体来保持和运输。在此，基板载体例如可以用于：将一个或多个基板保持在覆层室中的预定位置处或运输穿过覆层室和/或在覆层室中移动。例如，所谓的物理气相沉积(PVD)可以用作覆层工艺。基板载体通常具有底板，该底板对每个基板具有凹陷部(也称为基板凹处)，基板插入该凹陷部中。 [0003] 然而，在此，底板与基板一起暴露于覆层工艺，使得底板和基板快速变脏。该情况要求：只要底板出于成本原因要重新使用并且不应被整体清除，就应当可以清洁该底板。为了保持低的成本压力，因此在该情况下通常关注于底板可易于清洁的要求，因此通常使用钢。对于这种底板很难满足覆层工艺的其他要求。例如，必须在温度稳定性方面做出妥协，因为钢容易扭曲。 [0004] 多件式的基板载体提供更大的裕度以满足要求，这种多件式的基板载体除了每个基板的底板之外还具有掩模，其中基板插入掩模中。使用掩模(也称为工艺掩模)尽管可以实现保护底板免受通过覆层工艺(例如PVD)而被污染，但反之由于工艺掩模也会增加成本。在该情况下，只要出于成本原因而在此使用掩模并且不应被清除，就清洁掩模而不清洁底板。此外，热诱导的机械应力会出现在掩模和底板之间，该应力会损坏底板。 [0005] 因此，传统上需要在基板载体的成本和基板载体的可操作性之间做出折衷。发明内容 [0006] 根据各种实施方式，提供改善这种折衷的基板载体系统，使得可以低成本提供更好的可操作性(例如，高的温度抗性和/或鲁棒性)。除其他外，这显然可实现，因为已经认识到需要更少的掩模，或者甚至可以完全弃用掩模。 [0007] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，包括：基板接收区域；底板，该底板具有(优选地对基板接收区域限界的)基板支承面，接收在基板接收区域中的基板可以放置在基板支承面上；其中底板具有至少一个纵向延伸的槽，槽沿第一方向对基板支承面限界；插入到槽中的至少一个(即一个或多于一个)条带(也称为插入条带)，条带以第一部段接合到基板接收区域下方并且以第二部段侧向地对基板接收区域限界。 [0008] 根据不同的方面，已经认识到：插入底板内的槽中的插入条带可能会由于热膨胀而变得与底板张紧。此外，已经认识到：如果底板和插入条带彼此不同，例如在化学组分和/或热膨胀系数方面彼此不同，则对于底板和插入条带的张紧会是有利的。 [0010] 图1A至图1D分别示意性地示出根据不同方面的基板载体系统。 [0011] 图2A和图2B分别示意性地示出根据不同方面的第一基板载体系统并且示意性地示出根据不同方面的第二基板载体系统。 [0012] 图3A示意性地示出根据不同方面的插入条带的俯视图。 [0013] 图3B示意性地示出根据不同方面的插入条带的仰视图。 [0014] 图4示意性地示出根据不同方面的基板载体系统。 [0015] 图5A和图5B分别示意性地示出根据不同方面的螺栓。 [0016] 图6至图11B示意性地示出根据不同方面的基板载体系统。 [0017] 图12示意性地示出根据不同方面的运输设备。 具体实施方式[0018] 在下面详细的描述中参考附图，附图形成本说明书的一部分，并且其中示出能够实施本发明的具体实施方式以用于说明。在此方面，关于所描述的一个(多个)附图的定向而使用方向术语例如是“上”、“下”、“前”、“后”、“前部”、“后部”等等。因为实施方式的部件能够以多个不同的定向来定位，所以方向术语用于说明并且不以任何方式进行限制。要理解的是，能够使用其他实施方式并且能够进行结构上的或逻辑上的改变，而不偏离本发明的保护范围。要理解的是，只要没有具体地另外说明，就能够将在此描述的不同的示例性实施方式的特征互相组合。因此，下面详细的描述不能够理解为受限制的意义，并且本发明的保护范围通过所附的权利要求来限定。 [0019] 在本说明书的范围内，术语“连接”、“联接”以及“耦合”用于描述直接的和间接的连接(例如欧姆的和/或导电的、例如导电连接)、直接的或间接的联接以及直接的或间接的耦合。在附图中，只要是适当的，相同的或类似的元件就设有相同的附图标记。 [0020] 在各种实施方案中，术语“耦合的”或“耦合”可以(例如机械的、流体静力学的、热的和/或电的)连接和/或相互作用(例如直接或间接的连接和/或相互作用)的意义来理解。多个元件可以例如沿着相互作用的链彼此耦合，沿该相互作用的链可以传输相互作用(例如信号)。例如，两个相互耦合的元件可以彼此交换相互作用，例如机械的、流体静力学的、热的和/或电的相互作用。在各种实施方案中，“耦合”可以以机械(例如整体或物理)耦合的意义来理解，例如通过直接物理接触机械耦合。耦合可以被构造成传递机械相互作用(例如，力、扭矩等)。 [0021] 根据不同的方面，参考一种或多于一种材料和/或尤其构成的组件的特性，例如其机械硬度或其热膨胀系数。机械硬度在此可以理解为材料(例如由其构成的组件)抵抗另一物体的机械侵入的机械阻力。机械硬度可以例如借助于根据DIN EN ISO 14577和/或DIN EN ISO 6508‑1的测试方法来求出。例如，机械硬度可以通过使用以预设预加载测试力压到待测材料表面上的测试体来对材料(例如由其构成的组件)的表面进行预加载来求出。在预加载下，在预加载的情况下，可以求出在预加载时测试体侵入要测试的材料中的第一深度。随后，测试体可以在预定的时间段期间(例如2秒至6秒之间)使用主测试力压入到要测试材料的表面中，主测试力大于预加载测试力。然后，将测试力减小到预加载测试力，并且可以使用预加载测试力来求出测试体侵入待测试的材料中的第二深度。第一和第二深度的差可以代表机械硬度。热膨胀系数(也称为热扩展系数)是描述材料(或由其构成的组件)在其尺寸在温度变化时的变化方面的表现的特征值。造成这种情况的效应是热膨胀。在此，热膨胀系数将几何形状(例如长度或体积)的变化与温度变化彼此关联。 [0022] 根据不同的方面，参考轮廓，例如如果组件是轮廓形的，就参考关于组件(例如插入条带，随后也成为轮廓条带)的轮廓。具有轮廓的组件(也成为轮廓形的组件)例如可以具有空腔，空腔由组件的一个或多于一个壁包围。例如，轮廓形的组件可以具有弯折的或弯曲的壁(例如外壁)，壁至少部分地围绕空腔。例如，轮廓形的组件可以具有C轮廓、U轮廓、D轮廓、V轮廓等。例如，空腔可以是椭圆形或多边形的和/或至少在四个侧处上由轮廓的壁限界。例如，轮廓形的组件可以是管状的或具有管形状的至少一部分(也称为部分管)，例如半管。 [0024] 例如，例如轮廓形的组件(例如该插入条带或每个插入条带)可以具有钢或至少铁，例如基本上由其构成，例如大于50重量百分比(重量％)、例如大于75重量％、例如大于90重量％、例如大于95重量％由其构成。 [0025] 根据不同的方面，该轮廓条带或每个轮廓条带在横截面中可以具有几乎完全包围空腔的壁(例如外壁)和在组件长度之上延伸的开口，开口暴露空腔。例如，轮廓条带可以具有同心的、矩形的或除了开口之外闭合的其他横截面。例如，轮廓条带可以是沿其长度具有开口的管形组件。例如，当轮廓条带布设到面上时，该轮廓条带可以与该面一起形成通道。 [0027] 根据不同的实施方式，标准条件可以理解为在101,325帕斯卡下为293.15开尔文。本文对关于物理变量(例如，热膨胀系数、膨胀、拉伸等)的说明可以基于标准条件。 [0028] 图1A示意性地示出根据不同方面的基板载体系统100的细节俯视图。基板载体系统100具有底板110和设计用于接收基板的基板接收区域120。在图1A中，基板接收区域120借助于虚线来标记。 [0029] 底板110具有基板支承面111。基板支承面111对基板接收区域120限界(例如，从z方向限界)。基板支承面111例如对基板接收区域120的下侧限界。基板支承面111设计用于：在其上放置基板。例如，基板支承面111可以是平面的。 [0030] 此外，底板具有至少一个槽112。槽112沿着一个方向(例如x方向)对基板支承面111限界。槽112可以是纵向延伸的槽(例如，沿y方向)或横向延伸的槽(例如，沿x方向)。例如，槽112可平行于底板110的外边缘延伸。例如，槽112可以平行于和/或横向于基板载体系统100可以被沿其运输的运输方向延伸。 [0031] 根据不同的方面，基板载体系统100还具有插入条带130。插入条带130可设计用于：插入槽112中。例如，基板接收区域120可以突出超过基板支承面111和/或可以以端部部段设置在槽112之上。 [0032] 插入条带130具有第一部段131，当该第一部段插入到槽112中时，第一部段接合到基板接收区域120下方。例如，插入条带130的第一部段131可以在横截面视图中终止于基板支承面111的表面，使得放置在基板支承面111上的基板也放置在插入条带130的第一部段131上。因此，例如，可以确保基板更大的稳定性。替代地，当插入条带130插入槽112中时，插入条带130的第一部段131在横截面视图中可以处于基板支承面111的表面下方，使得放置在基板支承面111上的基板和插入条带130的第一部段131之间可以形成间隙。然后，沿着z方向，第一部段131可以具有比槽112更小的延伸(直观高度)。这例如提供用于插入条带的热膨胀、例如由于加热引起的膨胀的空间。 [0033] 插入条带130具有第二部段132(例如设置在第一部段131下方)，第二部段对基板接收区域120限界。例如，第二部段可以具有隆起部和/或拱起部，例如，第二部段可以是隆起部和/或拱起部。因此，第二部段132侧向地对基板接收区域120限界。例如，第二部段132沿第一方向(例如，在此称为x方向)对基板接收区域120限界。 [0034] 图1B示意性地示出图1A中基板载体系统100沿图1A的线1B‑1B的侧视图。 [0035] 类似于图1A，示出底板110，其具有支承面111和槽112。支承面111对基板接收区域120的下侧限界。基板接收区域120可以突出超过基板支承面111，例如在侧向方向上(例如在x方向上或与x方向相反)。槽112可设计用于：使插入条带130可插入槽中。 [0036] 例如，插入条带130可以例如在标准条件下松动地(即以间隙配合)插入槽112中，使得插入条带130可以在槽112内热膨胀。标准条件可以具有为大约293.15开尔文(K)的温度T0(也称为标准温度)。间隙配合可以设计为，使得当插入条带130插入到槽中时，该插入条带可以沿x方向移位路程Δx(也称为间隙)。 [0037] 间隙配合可以可选地设计用于：插入条带130由于热膨胀由机械应力被固定在槽112内或是固定在其中。为此，间隙Δx(然后也称为伸缩缝)设计成，使得该间隙小于沿着x方向在插入条带130和底板110之间的热膨胀差，该热膨胀差由温度差ΔT引起。例如，ΔT可以是约50K或更大，例如约100K或更大，例如约200K或更大，例如约300K或更大。当底板和插入条带的化学组分和/或热膨胀系数不同时，就到达热膨胀差。 [0038] 例如，插入条带130和底板110可以具有彼此不同的化学组分，例如可以由彼此不同的材料构成。例如，插入条带130可具有铁，例如比底板110更大份额的铁。例如，插入条带可以具有钢，例如优质钢，例如由其构成。例如，底板110可以具有铝，例如由铝构成，和/或具有比插入条带130更大份额的铝。例如，插入条带130和底板110可以具有彼此不同的化学组分，使得底板110在加热时比插入条带130不那么强地膨胀。这有利于：插入条带130可以由于热膨胀而卡在槽112中。例如，底板110可具有比插入条带130更多的铝(以插入条带130的重量份额计例如多于100％，例如多于200％，多于500％)。 [0039] 铝是尤其热学稳定的，使得当其暴露于温度变化时，其仅少量变形。这改进基板载体系统的操作。 [0040] 插入条带130可具有第一部段131和第二部段132。插入条带130的第一部段131可突出于基板接收区域120下方。例如，第一部段可以与基板支承面111处于相同高度，或者如图1B中示例性地示出的，可以设置在该高度以下。因此，插入条带130的第一部段131可以(至少部分地)设置在基板接收区域120和底板110之间或者至少延伸到其之间的区域中。直观地，插入条带130的第一部段131在基板接收区域120下方(至少部分地)覆盖底板110。插入条带130的第二部段132侧向地对基板接收区域120限界。因此，例如，设置在基板接收区域120内的基板可以保持就位和/或与第二部段重叠。 [0041] 如图1C和图1D所示，根据不同方面的基板载体系统100的结构可以有利于覆层工艺之后的清洁。 [0042] 图1C示意性地示出根据不同方面的在覆层工艺之后的基板载体系统100。基板载体系统100装载有基板121，基板接收在基板接收区域120内。借助于覆层工艺，例如物理沉积工艺(PVD)，例如蒸镀、溅射或离子镀，层122可以沉积在基板121上(然后也称为覆层122)，该层具有覆层工艺的覆层材料或由其形成。附加地，覆层工艺的层形成材料(也称为靶材料或覆层材料)也可以例如寄生地(也称为寄生层122a)积聚在周围部件，比如在基板载体系统100上。在没有保护的情况下，覆层材料例如可以直接沉积在底板110上，即例如在基板121左侧所示出的。 [0043] 插入条带130在基板121右侧设置在槽112中。在覆层期间，覆层材料可以沉积在插入条带130上，进而形成寄生层122a。插入条带130的接合基板接收区域120下方的第一部段131也接合到基板121下方。例如，寄生层122a可沉积在插入条带130的第一部段131和基板 121之间。通过插入条带130因此可以抑制、例如防止底板110的寄生覆层。为此，第二部段例如可以大于1mm，例如大于2mm，例如大于5mm，例如大于10mm的重叠131a接合到基板接收区域120下方。例如，重叠131a可以适配于相应的覆层工艺。 [0044] 图1D示意性地示出了在移除基板121之后的根据图1C的各个方面的基板载体系统100。插入条带130可以从槽112移除，例如，如通过箭头1331示出的，从槽112取出。插入条带 130然后可以更换为另一插入条带130或至少被清洁。例如，插入条带130可以被清洁并且然后再使用。因此，根据不同的方面，基板载体系统100实现：以成本有效的方式保护底板110免受污染。此外，根据不同的方面，基板载体系统100实现：使用能够以具有成本有效的方式更换和/或清洁的部件。因此提供了可以重复使用的基板系统，即例如特别是其底板110。 [0045] 例如，插入条带130可由机械硬度和/或热膨胀系数大于底板110的材料构成。例如，插入条带130的机械硬度可大于底板110的机械硬度的200％(例如大于300％或500％)。这例如可以实现将机械清洁工艺应用于通过其(即例如喷砂)会损坏底板110的插入条带 130。替代地或附加地，插入条带130和底板110可以具有彼此不同的化学组分，例如可以具有彼此不同的材料。这简化了插入条带130的化学清洁。因此，除了由热膨胀引起的影响之外，如上所述，这还可以对隔板组件，即底板110和插入条带130的可重复使用性带来有利影响。 [0046] 根据不同的方面，底板110可以具有多个槽112。例如，基板支承面111可以设置在多个槽112的第一槽和第二槽之间，槽例如(例如沿着第一方向，例如在第一方向上或相反于第一方向)对基板支承面111限界，例如沿x方向限界。附加地或替代地，基板支承面111可以设置在多个槽112的第三和第四槽之间，槽例如(例如沿着第二方向，例如在第二方向上或相反于第二方向)对基板支承面111限界，例如沿y方向限界。例如，基板支承面111可以完全由多个槽112中的第一、第二、第三和第四槽限界。 [0047] 此外，根据不同的方面，基板载体系统100可具有多个插入条带130。多个插入条带130中的每一者都可以类似于根据其中描述的、例如参考图1A和图1D描述的插入条带130构成。多个插入条带可以在如下部位处形成凹陷部，在这些部位处条带中的至少两个彼此直接相邻。为此，多个插入条带可以分别具有第三部段，第三部段也可以称为端部部段或端侧部段。多个插入条带130的第三部段可以分别构成为，使得其可以彼此并排地定位，而没有接触或重叠。例如，可以在多个插入条带130中的两个之间形成中间空间，使得其可以热膨胀。因此，中间空间可以是伸缩缝。由于热膨胀，插入条带会接触。 [0048] 图2A和图2B分别示意性地示出根据不同方面的第一基板载体系统200‑1并且示意性地示出根据不同方面的第二基板载体系统200‑2。 [0049] 第一基板载体系统200‑1具有底板110和多个基板接收区域120。多个基板接收区域120例如可以根据矩阵布置来设置。例如，多个基板接收区域120可以设置成N行M列，其中N和M为任意自然数。在多个基板接收区域120的每一者中，底板110具有基板支承面111，基板121可以放置在基板支承面上(例如在图2A中示出)。基板支承面111例如向下对多个基板接收区域120中的相应基板接收区域限界。基板支承面111直观地形成多个基板接收区域120的相应基板接收区域的底部。在图2A和图2B中仅示例性地示出了基板支承面111和基板接收区域120。此外，第一基板载体系统200‑1的基板接收区域120示例性地设有基板121。 [0050] 根据不同的方面，底板110包括多个槽112。一个或多于一个插入条带130可以插入到多个槽中的每一者中或是处于多个槽中的每一者中。多个插入条带130例如可以分别具有多个第一部段131，使得其可以接合到多个相邻的基板接收区域下方，例如同时接合到其下方。此外，多个插入条带可以分别具有一个或多个第三区域。一个或多个插入条带130可以借助于一个或多个插入条带130的一个或多个第三区域，即所谓的端部部段或端侧部段相互连接。 [0051] 在图2A和图2B中仅分别示出插入多个槽112中的多个插入条带130。例如，示出了多个槽112中的一个槽。例如，多个槽112可以设置在多个基板接收区域120的彼此直接相邻的基板接收区域之间。多个槽112和多个插入条带130因此清楚地将直接相邻的基板接收区域彼此分开。 [0052] 第二基板载体系统200‑2类似于第一基板载体系统200‑1构成，其中基板121被接收在多个基板接收区域120的每一者中。 [0053] 在图3A和图3B中示出根据不同方面的插入条带130的俯视图、即图3A，和仰视图、即图3B。根据不同方面，插入条带可具有第一部段131、第二部段132和可选的第三部段133。插入条带130的第一部段131可以设计用于：接合到基板接收区域120下方。插入条带130的第二部段132例如可以设计用于：侧向地对基板接收区域120限界。例如，插入条带130的第二部段132可以设计用于：将两个直接相邻的基板接收区域120彼此分开。为此，插入条带 130的第二部段132例如可以具有隆起部。插入条带130的第三部段133可以设计用于：将两个插入条带彼此联接。例如，插入条带130的第三部段133可以具有联接机构。例如，插入条带130的第三部段133可具有用于螺栓的插入条带开口，例如插入条带开口的一部分(也称为螺栓开口)。例如，底板110可具有对应于插入条带开口的一个或多个螺栓开口。例如，每个螺栓开口都可以设计为穿通开口。 [0054] 因此，插入条带130可以例如借助于螺栓(例如，力配合和/或形状配合地)固定在底板处，螺栓穿过插入条带开口伸入到第一螺栓开口中或穿过第一螺栓开口。一个或多个螺栓开口可以任选地穿过底板110(例如，从底板110的后侧)和/或通入槽中。 [0055] 例如，插入条带可以借助于铸造方法和/或压制方法和/或通过冲压和/或压印方法和/或借助于深拉方法来制造。因此，插入条带可以例如成本有效地和/或大量地制造。例如，插入条带130可以具有轮廓。例如，插入条带130可以是槽池形的。例如，在插入条带130的后侧上，第二部段132可为中空的，如图3B所示，使得插入条带130放置在插入条带130的第一区域131和第三区域133的下侧上。 [0056] 根据不同的方面，插入条带可具有多个第一部段131，第二部段132设置在这些第一部段之间。例如，多个第一部段131中的第一个第一部段可以接合到多个基板接收区域120的第一基板接收区域下方，并且多个第一部段131中的第二个第一部段可以接合到多个基板接收区域120的第二基板接收区域下方。 [0057] 替代地或附加地，插入条带130可以具有多个第三部段133，第二部段132设置在这些第三部段之间。 [0058] 图4示意性地示出根据不同方面的基板载体系统400的3D剖视图。根据不同的方面，如前所述的那样，基板载体系统具有底板110、多个基板接收区域120和多个插入条带130。此外，基板载体系统400可具有螺栓140。例如，螺栓可以设计用于：将多个插入条带130的一组彼此耦合。例如，多个插入条带130的该组可设置成，使得它们的第三部段133设置成彼此直接相邻，以至于第三部段可借助于螺栓140联接。例如，多个插入条带130的第三部段 133可共同形成用于螺栓140的插入条带开口。 [0059] 螺栓140，例如螺栓的头部141可以松动地放置到该组的插入条带130上，使得螺栓和该组的插入条带130可以分别还稍微移动，即具有一些间隙。例如，在螺栓的杆和至少一个插入条带之间的伸缩缝可以大于约0.5mm，例如大于约1mm，例如大于约2mm。因此，例如，可以促进：在热膨胀的情况下，在各个部件之间，即该组插入条带130和螺栓140之间不形成或仅形成很小的机械应力。例如，底板110可具有一个或多个穿通开口，穿通开口中的每一者可以设计用于：使得螺栓140分别可插入其中，例如可松动地插入其中。 [0060] 根据不同的方面，基板载体系统也可以具有多个螺栓140，这些螺栓可以分别类似于本文描述的螺栓来构成。 [0061] 图5A和图5B分别从不同的角度示出根据不同方面的螺栓140。螺栓可具有(例如盘形的)头部141和从其延伸远离的杆142(例如圆杆)，其中头部141例如环绕地突出于杆142。 [0062] 图6示意地示出根据不同方面的基板载体系统600的俯视图。基板载体系统600可具有多个基板接收区域120，在基板接收区域中分别可以接收基板121。根据不同的方面，多个基板接收区域120通过多个插入条带130彼此分开。如本文所述，多个插入条带130中的每一者分别具有一个或多个第一部段131、第二部段132和可选地一个或多个第三区域133。多个插入条带130设置成，使得该多个插入条带130中的多个(例如2、3、4、5、6、7、8个或多于8个)的插入条带的组分别邻接于底板110的螺栓开口114(例如穿通开口)，螺栓140可以推入到该螺栓开口中。因此，多个插入条带130可以如前所述那样相互联接。 [0063] 图7A以对螺栓140及围绕其的组件的详细俯视图示意性地示出根据不同方面的基板载体系统700。基板载体系统700可具有多个插入条带130，插入条带中的例如一组插入条带130使用螺栓140彼此联接。示例性地示出：与左上方的基板接收区域120相反，两个右侧的基板接收区域120和左下方的基板接收区域120已接收基板。 [0064] 图7B示意性地示出根据图7A中的不同方面的基板载体系统700，其中未示出螺栓被远离或被移除并且所有基板接收区域120都接收了基板121。在出自该组插入条带130的插入条带的彼此直接相邻的第三区域133之间可以分别形成中间空间135作为伸缩缝，位于其下方的螺栓开口例如邻接于该中间空间。中间空间135表明：插入条带松动地放置在一起并且实现：直接相邻的插入条带在没有间隙的情况下由于热膨胀而膨胀到相应的中间空间135中。例如，直接相邻的第三区域之间的中间空间135可以具有大于0.5mm，例如大于1mm，例如大于2mm的最小宽度(例如在25℃和1013hPa下)。 [0065] 根据不同的方面，该组插入条带130的第三部段133可以拼接在一起的方式形成插入条带开口134(也称为插入开口)，螺栓140的杆142可以设在该插入条带开口中。所形成的插入条带开口134的半径可以例如大于杆142的半径。因此，可以在螺栓140的杆142和第三区域133之间形成中间空间136作为伸缩缝，螺栓140的杆142可穿过该中间空间松动地设置在该组插入条带130内。例如，杆142和第三区域133之间的中间空间136可以具有大于0.5mm的宽度，例如大于1mm，例如大于2mm的宽度(例如在标准条件下)。 [0066] 图8A示意性地示出图7B中的根据不同方面的基板载体系统700的俯视图，其中全部所示出的基板接收区域120都没有接收基板121。 [0067] 图8B示意性地示出图7A中的根据不同方面的基板载体系统700的沿着图7A中的线8B‑8B的剖视图。例如，基板载体系统700在该视图中可以示出为处于热学工艺之后或期间，在该热学工艺中各个部件膨胀/已经膨胀，使得在螺栓140和该组插入条带130的第三区域 133之间不再有任何自由空间。因此，螺栓140固定该组插入条带130。此外，螺栓140的头部 141可重叠该组插入条带130的第三部段133并由于其重量而向下压。因此，螺栓140可以例如借助于其重力紧固该组插入条带130的插入条带。 [0068] 例如，底板110可具有一个或多个螺栓开口114，螺栓开口分别对应于插入条带开口134。因此，螺栓140可穿过插入条带开口134定位在多个螺栓开口114的相应螺栓开口114内。 [0069] 图8C示意性地示出图8B中的根据不同方面的基板载体系统700的剖视图，其中所示的部分大于图8B中的部分。由此，例如可以示出两个螺栓140，这些螺栓定位在各一个螺栓开口114和插入条带开口134中。此外，底板可具有一个或多个穿通开口115(也称为通风开口)。通风开口115可从底板110的后侧延伸直至基板支承面111和/或槽112并通入那里。例如，一个或多个通风开口115中的至少一个可以设置在多个插入条带130中的每一者的下方。例如，多个第二通风开口115中的至少一个或多个可以设置在多个基板接收区域120中的每一者的下方。 [0070] 一个或多个通风开口115例如可以是实现通风的穿通开口。例如，一个或多个通风开口115可以具有替代的螺栓开口114(例如是螺栓开口)，借助该螺栓开口可行的是：在底板110上实现彼此不同的大的基板接收区域120。替代地或附加地，一个或多个通风开口115可以设计用于：减小由于底板110内的热膨胀而可能形成的机械应力。替代地或附加地，一个或多个通风开口115可以减轻底板110的重量，由此可以实现基板载体系统700的更简单的可操作性。 [0071] 图9示意性地示出根据不同方面的基板载体系统900。如前所述，底板具有一个或多个槽112和通过一个或多个槽112侧向地限界的一个或多个基板支承面111。在一个或多个槽112中分别可设置一个或多个插入条带130。然而，这些插入条带未在图9中示出。一个或多个基板支承面111可以设计用于接收基板。 [0072] 替代地或附加地，底板可具有一个或多个螺栓开口114。螺栓140可分别定位在一个或多个螺栓开口114中的每一者中。替代地或附加地，底板可以具有一个或多个通风开口115。 [0073] 可选地，基板运输系统900可以具有两个纵向延伸的支承区域150，支承区域中的仅一个借助于虚线框示出。另一支承区域与该支承区域相对置地位于基板载体系统900的未示出的另一侧上。基板载体系统900可以借助于两个支承区域支承在例如运输系统中。基板载体系统900可以借助于两个支承区域沿着运输方向151移动。例如，两个支承区域150可沿着运输方向151延伸。 [0074] 图10示意性地示出根据不同方面的基板载体系统1000的一部分。底板可以类似于图9构成。与图9相反，一个或多个插入条带130分别插入一个或多个槽112中。如本文所述，直接彼此相邻的插入条带可分别借助于如在此所描述的螺栓140来固定。 [0075] 例如，一个或多个插入条带130可在底板110和第二部段132之间具有空腔137。如上所述，一个或多个插入条带130可分别具有轮廓和/或为槽池形。直观地，因此，每个插入条带包围在相应的插入条带130和底板110之间形成的相应的空腔137。 [0076] 空腔137实现：可以降低一个或多个插入条带的材料成本。替代地或附加地，基板载体系统1000的总重量也可以被减少或是减少的。此外，由于相应插入条带130和/或底板110的热膨胀引起的机械应力可以通过空腔137减小。空腔也可以借助于通风开口115之一进行通风。 [0077] 可选地，根据不同的方面，基板载体系统1000可以具有两个纵向延伸的支承区域150，借助于虚线框示出该支承区域中的仅一个。另一支承区域以与该支承区域相对置的方式位于基板载体系统1000的未示出的另一侧上。纵向延伸的支承区域150可以沿着运输方向151延伸。 [0078] 图11A和图11B分别从第一视图和第二视图示出根据不同方面的基板载体系统1100。在两个视图中，示出底板110和第二部段132之间的空腔137。第二视图是第一视图的特写，其中视角略有变化。 [0079] 运输装置可具有根据不同方面的如本文所述的基板载体系统和一个或多个滚轮。运输设备可以借助于一个或多个滚轮在运输方向上移动。例如，基板载体系统可以借助于运输设备沿引导系统(例如轨道)移动。例如，多个滚轮可设置在两个纵向延伸的支承区域 150内。 [0080] 图12以沿运输方向151观察的方式示出根据不同方面的运输设备1200的示意横截面图或侧视图。运输设备1200具有基板载体系统100和用于沿着运输方向151运输基板载体系统100的多个滚轮1302。多个滚轮1302中的每一者都可以围绕横向于运输方向151的转动轴线可转动地支承。运输方向151例如可以沿着x轴或y轴。 [0081] 基板载体系统100具有两个沿运输方向151纵向延伸的支承区域150，基板载体系统100可借助于多个滚轮1302(例如放置在其上)在此在该支承区域处。该基板接收区域120或每个基板接收区域120设置在两个支承区域150之间。该槽/插入条带130或每个槽/插入条带130(当插入槽中时)可以沿着运输方向151和/或横向于运输方向延伸。 [0082] 下面解释根据不同实施方式的不同实施方案。 [0083] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统(也称为Carrier‑System载体系统或Substratcarrier‑System基板载体系统)。所提供的载体系统可用于真空覆层设施。 [0084] 例如，基板载体系统的设计方案可取决于：待用于承载的基板具有何种几何尺寸、所谓的基板维度和/或使用何种覆层技术来对基板覆层和与之相关的要求。 [0085] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，该基板载体系统实现：多次(例如，永久地)使用基板载体系统的底板。因此，例如，可以减少工艺成本和废品。根据不同的方面，基板载体系统设计成，使得一个或多个基板可以安全地和/或位置稳定地被接收，和/或可以满足覆层工艺的要求，和/或可以确保对基板载体系统清洁覆层残留物。 [0086] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，该基板载体系统具有底板(也称为承载底板)。承载底板可具有一个或多于一个的基板接收区域，以接收基板。 [0087] 根据不同的方面已经认识到：在覆层工艺期间，承载底板通过基板接收区域内的基板来保护免受沉积材料的影响。此外认识到：可以借助于附加组件(至少一个插入条带)附加地来覆盖底板，由此可以被保护免受沉积材料(也称为靶材料)的影响。由于此，底板可以更容易地清洁(例如完全清洁)，进而可以多次使用(例如几乎永久使用)。直观地，因此可以使用附加组件覆盖底板上侧的部段和/或可以确保可靠的基板接收。 [0088] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，其具有一个或多个插入条带，插入条带设计用于：接合到基板接收区域下方。一个或多个插入条带可以分别安置在基板载体系统的底板内的槽中，其中插入条带的接合到基板接收区域下方的区域可与槽的深度相比更薄或与槽的深度一样薄。 [0089] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，其具有一个或多个插入条带，插入条带可以借助于一个或多个螺栓，例如销形式的螺栓来紧固。例如，螺栓可以松动地附接到一个或多个插入条带处或是可以处于一个或多个插入条带处。根据不同的方面，多个插入条带可以在多个插入条带中的多个交叉点处中断。在交叉点处，多个插入条带之间可以存在间距，间距承担伸缩缝的功能。此外，螺栓可以附接到该交叉点处或是处于该交叉点处。 [0090] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，其中多个组件松动地彼此固定，例如悬挂在彼此处。因此，多个组件可以例如由于加热而膨胀，而不由于机械应力而损坏多个组件。 [0091] 根据不同的方面，提供一种基板载体系统，其具有多个通风开口，通风开口分别延伸穿过基板载体系统的底板。多个通风开口中的一个或多个可以设置在一个或多个基板接收区域下方和/或一个或多个插入条带下方，以便因此例如实现通风。 [0092] 在一个实施例中，基板载体系统可如下构成。例如，底板可以是穿孔的底板。例如，底板可以具有铝，例如穿孔的铝板。底板可以具有槽，至少一个插入条带可以插入槽中或是处于槽中。例如，插入条带可以具有金属，例如钢。例如，插入条带可以是成型组件。例如，插入条带可以是可更换的组件(也称为可更换部件)和/或该组件可被清洁(于是也称为清洁部件)。例如，插入条带可以具有一个或多个金属条(例如由其构成)。例如，基板载体系统可以附加地具有一个或多个螺栓。一个或多个螺栓也可称为中心螺栓或销。一个或多个螺栓可以设计用于：将插入条带和底板松动地彼此连接，使得所有组件都具有如下可行性：即受热而膨胀。因此，所有组件都可以适度地扩展。 [0093] 下面描述各种示例，这些示例涉及上面的描述内容和图中所示的内容。 [0094] 示例1是一种基板载体系统，其可包括：(例如，柱形的，例如方形的)基板接收区域；底板(例如穿孔的铝板)，底板具有(例如界定基板接收区域)基板支承面，在基板支承面上可以放置被接收在接收区域中的基板；其中基板具有至少一个纵向延伸的槽，该槽沿第一方向对基板支承面限界；和至少一个条带(也称为插入条带)，条带插入槽中，其以第一部段接合到基板接收区域下方并且以第二部段沿第一方向(例如侧向地)对基板接收区域限界和/或至少在一(例如竖直)方向上(例如横向于第一方向)远离底板渐缩。 [0095] 示例2是根据示例1的基板载体系统，其还可以包括：沿基板载体系统的运输方向(例如，该运输方向横向或沿第一方向)的两个纵向延伸的支承区域，基板载体系统可以支承在该支承区域处，其中基板接收区域设置在两个支承区域之间；并且其中槽沿运输方向和/或横向于运输方向延伸，例如纵向延伸。 [0096] 示例3是根据示例1或2的基板载体系统，其中至少一个条带可以具有轮廓(例如具有空腔的轮廓)。 [0097] 示例4是根据示例1至3之一的基板载体系统，其可以可选地还包括：一个或多于一个第一开口(例如通风开口或螺栓开口)，第一开口例如构成为第一穿通开口(这促进通风)(第一开口穿过底板)，并且可以例如通入槽中。 [0098] 示例5是根据示例1至4之一的基板载体系统，其中至少一个条带具有多个条带，例如具有多个单独的条带。 [0099] 实施例6是根据实施例1至5之一的基板载体系统，其可以可选地还包括：一个或多于一个第二开口(例如通风开口或螺栓开口)，第二开口例如构成为第二穿通开口(这促进通风)(第二穿通开口可以(例如在基板支承面处)穿过底板)并且例如可以通入基板接收区域和/或槽中，其中优选地一个或多于一个第二开口的每个开口都设置在两个第一开口之间，这些开口通入槽中。 [0100] 示例7是根据示例6的基板载体系统，其还可以包括：螺栓，其中螺栓可以具有杆和头部，其中当螺栓以其杆插入第一穿通开口中时，至少一个条带以端侧部段接合到在螺栓头部和底板之间形成的间隙之间。 [0101] 例如，条带因此可以借助于螺栓来松动地固定。例如，螺栓只能松动地插入到第一穿通开口中。例如，这实现：不同的部件(例如螺栓、条带和底板)可以膨胀(例如由于加热)，使得由于不同部件的彼此不同的膨胀系数形成的机械应力低(例如不发生)，进而减少磨损。 [0102] 示例8是根据示例1至7之一的基板载体系统，其中至少一个条带可以具有多个以相同方式设计的条带，这些条带中的每个条带可以插入到至少一个槽中。 [0103] 示例9是根据示例1至8之一的基板载体系统，其中至少一个槽可以具有多个(例如交叉的)槽，例如基板支承面设置在这些槽之间，这些槽中的每个槽设计用于接收至少一个条带。 [0104] 示例10是根据示例1至9之一的基板载体系统，其中条带的第二部段可以具有隆起部。 [0105] 示例11是根据示例1至10之一的基板载体系统，其中至少一个条带和底板在化学组分和/或热膨胀系数方面彼此不同，其中底板优选地具有比至少一个条带更小的热膨胀系数。 [0106] 示例12是根据示例11的基板载体系统，其中，与至少一个条带相比，基板可以具有更大份额的铝。因此，例如底板可以由于加热而更小程度地变形。 [0107] 示例13是根据示例1至12之一的基板载体系统，其中条带和底板在机械硬度方面可以彼此不同， [0108] 示例14是根据示例13的基板载体系统，其中底板可以具有比条带更小的机械硬度。因此可以简化基板载体系统的清洁。例如，可以彼此分开地和/或借助不同的方法清洁底板和条带。 [0109] 示例15是一种运输设备，其可以包括：根据示例1至14之一的基板载体系统和多个滚轮，用以沿运输方向运输基板载体系统。 [0110] 示例16是根据示例1至14中之一的基板载体系统的用途，以借助于物理气相沉积的类型的覆层工艺和/或在真空中(例如，在物理气相沉积工艺设施中)对基板进行承载和/或覆层。 |
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