一种用于运输立式炉内管的工装小车及其运输方法 |
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申请号 | CN202311761764.8 | 申请日 | 2023-12-20 | 公开(公告)号 | CN117902248A | 公开(公告)日 | 2024-04-19 |
申请人 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所; | 发明人 | 黄志海; 田丰; 曾裕民; 樊坤; 罗建; | ||||
摘要 | 本 发明 公开了一种用于运输立式炉内管的工装小车,包括小车本体、固定装置、内管托环和驱动装置,所述小车本体顶部设有下 支撑 座和推手,底部设有移动滚轮,所述下支撑座上滑设有上支撑座,所述下支撑座两端均设有第一 定位 件,所述上支撑座上设有与第一定位件配合定位的 锁 紧件,所述上支撑座上设有与内管托环匹配的安装缺口,所述内管托环用于承载 石英 内管和与立式炉炉体连接,所述固定装置用于与立式炉底座连接,所述驱动装置用于驱动下支撑座与固定装置连接。本发明具有无需依靠人工搬运,省时省 力 ,提高了运输效率,减少对石英内管的污染的优点。 | ||||||
权利要求 | 1.一种用于运输立式炉内管的工装小车,其特征在于:包括小车本体(1)、固定装置(2)、内管托环(3)和驱动装置(8),所述小车本体(1)顶部设有下支撑座(4)和推手(5),底部设有移动滚轮(6),所述下支撑座(4)上滑设有上支撑座(7),所述下支撑座(4)两端均设有第一定位件(41),所述上支撑座(7)上设有与第一定位件(41)配合定位的锁紧件(72),所述上支撑座(7)上设有与内管托环(3)匹配的安装缺口(71),所述内管托环(3)用于承载石英内管(12)和与立式炉炉体(10)连接,所述固定装置(2)用于与立式炉底座(11)连接,所述驱动装置(8)用于驱动下支撑座(4)与固定装置(2)连接。 |
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说明书全文 | 一种用于运输立式炉内管的工装小车及其运输方法技术领域背景技术[0002] 芯片是由一些有源和无源电路元件堆叠而成的3D结构,薄膜沉积是芯片前道制造的核心工艺之一。薄膜沉积是决定薄膜性能的关键,薄膜沉积工艺主要分为物理和化学方 法两类。化学方法包括化学气相沉积(CVD)和外延(EPI)等,CVD按反应条件不同又可以分为常压CVD(APCVD)、低压CVD(LPCVD)、等离子增强CVD(PECVD)等。LPCVD方法沉积具有薄膜台阶覆盖率高、生长速率可控、均匀性好、产量高等优点,目前LPCVD设备广泛应用于国内外各大晶圆厂。 [0003] LPCVD设备从结构上划分主要分为立式和卧式两种,立式LPCVD具有占地面积小、结构紧凑、自动化程度高等优点,是目前主流的LPCVD设备。立式LPCVD设备的反应室主要由内管、外管组成,由于在淀积过程中不可避免地会在管壁上也淀积一层薄膜,连续生长多炉后,炉管内会存在较多的颗粒,使生长的薄膜质量下降。所以,一般生长几十炉后就需要对系统进行全面的清洗,使淀积能处在一个良好的环境之下。 [0004] 立式LPCVD的维护保养主要是对石英件进行拆换和清洗,其中石英内管的拆装必须借助工装,而目前很多六、八吋的晶圆产线,在更换石英内管时,均是通过设备人员将石英内管从洁净柜抱出,然后抱入设备中进行安装,该种运输方式效率低,费时费力,且易对石英内管造成污染。 发明内容[0006] 为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:一种用于运输立式炉内管的工装小车,包括小车本体、固定装置、内管托环和驱动 装置,所述小车本体顶部设有下支撑座和推手,底部设有移动滚轮,所述下支撑座上滑设有上支撑座,所述下支撑座两端均设有第一定位件,所述上支撑座上设有与第一定位件配合 定位的锁紧件,所述上支撑座上设有与内管托环匹配的安装缺口,所述内管托环用于承载 石英内管和与立式炉炉体连接,所述固定装置用于与立式炉底座连接,所述驱动装置用于 驱动下支撑座与固定装置连接。 [0007] 作为上述技术方案的进一步改进:所述安装缺口上设有第一安装止口,所述第一安装止口上放置有定位环,所述内 管托环放置在定位环上。 [0008] 所述内管托环上设有旋转把手。 [0010] 所述丝杆另一端设有旋钮。 [0011] 所述固定座上设有用于定位下支撑座位置的第二定位件。 [0012] 所述下支撑座上设有用于调节上支撑座水平度的水平调节组件。 [0014] 所述下支撑座上设有导轨,所述上支撑座滑设于导轨上,所述上支撑座上于安装缺口的一侧设有加强筋。 [0015] 一种立式炉内管运输方法,包括如下步骤:S1、将内管托环放在安装缺口上,再将石英内管放置在内管托环上; S2、固定座与立式炉底座连接,通过推手推动小车本体靠近固定座,直至下支撑座 上的丝杆与固定座上的固定螺母座对齐; S3、旋拧旋钮使丝杆与固定螺母座连接,直至下支撑座抵紧第二定位件; S4、推动上支撑座在下支撑座上滑动,使安装缺口位于立式炉承载台上方,并与立 式炉承载台同心,然后锁紧件与靠近立式炉的第一定位件定位锁定,上支撑座不再滑动; S5、立式炉升降模组带动承载台上升,承载台承载定位环和内管托环穿过安装缺 口并继续上升,使石英内管进入立式炉炉体内; S6、内管托环进入炉体的炉口时,通过旋转把手拧动内管托环,使内管托环与炉体 的炉口卡接; S7、升降模组带动承载台和定位环下降,直至定位环落回安装缺口上; S8、解除锁紧件的锁紧,将上支撑座复位,此时锁紧件与远离立式炉的第一定位件 锁定,再旋拧丝杆使其与固定螺母座分离。 [0016] 与现有技术相比,本发明的有益效果在于:本发明公开的用于运输立式炉内管的工装小车,固定装置与立式炉底座连接固 定,内管托环放置在安装缺口上,石英内管放置在内管托环上,通过推手推动小车本体靠近固定装置,驱动装置驱动下支撑座与固定装置连接,然后推动上支撑座在下支撑座上滑动,直至安装缺口位于立式炉承载台上方,并与立式炉承载台同心,然后锁紧件与靠近立式炉 的第一定位件定位锁定,上支撑座不再滑动,完成石英内管的定位,立式炉升降模组带动承载台上升,承载台承载内管托环穿过安装缺口并继续上升,使石英内管进入立式炉炉体内,然后连接内管托环与炉体,即完成石英内管的安装,无需依靠人工搬运,省时省力,提高了运输效率,且减少人体与石英内管的接触,从而减少对石英内管的污染,石英内管安装完毕后,升降模组带动承载台下降复位,然后解除锁紧件的锁紧,将上支撑座复位后锁紧件与远离立式炉的第一定位件锁定,再解除下支撑座与固定装置的连接,即可推走小车本体进行 下一次的石英内管运输。 [0018] 图1为本发明用于运输立式炉内管的工装小车的运输过程的主视示意图。 [0019] 图2为本发明用于运输立式炉内管的工装小车的立体结构示意图。 [0020] 图3为本发明隐藏内管托环的立体结构示意图。 [0021] 图4为本发明隐藏上支撑座的立体结构示意图。 [0022] 图5为本发明中内管托环和定位环的立体结构示意图。 [0023] 图6为本发明中固定装置的立体结构示意图。 [0024] 图中各标号表示:1、小车本体;2、固定装置;21、固定座;211、第二定位件;22、固定螺母座;3、内管托环;31、定位环;32、旋转把手;4、下支撑座;41、第一定位件;42、导轨;5、推手;6、移动滚轮;7、上支撑座;71、安装缺口;711、第一安装止口;72、锁紧件;73、加强筋;8、驱动装置;81、丝杆;811、旋钮;9、水平调节组件;91、调节螺母;10、炉体;11、立式炉底座;12、石英内管;13、承载台;14、升降模组。 具体实施方式[0025] 在本发明的描述中,需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限 制。 [0026] 此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。 [0027] 在本发明中,除非另有明确的规定和限定,术语“装配”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。 [0028] 实施例一图1至图6示出了本发明的一种实施例,本实施例的用于运输立式炉内管的工装小 车,包括小车本体1、固定装置2、内管托环3和驱动装置8,小车本体1顶部设有下支撑座4和推手5,底部设有移动滚轮6,下支撑座4上滑设有上支撑座7,下支撑座4两端均设有第一定位件41,上支撑座7上设有与第一定位件41配合定位的锁紧件72,上支撑座7上设有与内管 托环3匹配的安装缺口71,内管托环3用于与立式炉炉体10连接,固定装置2用于与立式炉底座11连接,驱动装置8用于驱动下支撑座4与固定装置2连接。 [0029] 该用于运输立式炉内管的工装小车,固定装置2与立式炉底座11连接固定,内管托环3放置在安装缺口71上,石英内管12放置在内管托环3上,通过推手5推动小车本体1靠近 固定装置2,驱动装置8驱动下支撑座4与固定装置2连接,然后推动上支撑座7在下支撑座4 上滑动,直至安装缺口71位于立式炉承载台13上方,并与立式炉承载台13同心,然后锁紧件 72与靠近立式炉的第一定位件41定位锁定,上支撑座7不再滑动,完成石英内管12的定位,立式炉升降模组14带动承载台13上升,承载台13承载内管托环3穿过安装缺口71并继续上 升,使石英内管12进入立式炉炉体10内,然后连接内管托环3与炉体10,即完成石英内管12的安装,无需依靠人工搬运,省时省力,提高了运输效率,且减少人体与石英内管12的接触,从而减少对石英内管12的污染,石英内管12安装完毕后,升降模组14带动承载台13下降复 位,然后解除锁紧件72的锁紧,将上支撑座7复位后锁紧件72与远离立式炉的第一定位件41锁定,再解除下支撑座4与固定装置2的连接,即可推走小车本体1进行下一次的石英内管12运输。优选地,第一定位件41为定位柱,锁紧件72为旋钮柱塞。 [0030] 进一步地,本实施例中,安装缺口71上设有第一安装止口711,第一安装止口711上放置有定位环31,内管托环3放置在定位环31上。定位环31放置在第一安装止口711上,与安装缺口71同心,为内管托环3提供放置基础,同时对安装缺口71起到一定的保护作用。 [0031] 进一步地,本实施例中,内管托环3上设有旋转把手32。实际在安装石英内管12时,需要旋转内管托环3使其与立式炉炉体10的炉口卡接,故设置旋转把手32便于转动内管托环3。 [0032] 进一步地,本实施例中,移动驱动装置8包括转动设置在下支撑座4上的丝杆81,固定装置2包括固定座21,固定座21与立式炉底座11可拆卸连接,固定装置2上设有固定螺母座22,丝杆81一端用于与固定螺母座22连接。固定座21与立式炉底座11连接,然后小车整体靠近固定座21时,使下支撑座4上的丝杆81与固定座21上的固定螺母座22对齐,然后旋拧丝杆81,使丝杆81一端与固定螺母座22连接,则小车本体1通过固定装置2与立式炉底座11连 接,小车本体1不再移动,此时再推动上支撑座7会更加稳定。 [0033] 进一步地,本实施例中,丝杆81另一端设有旋钮811。便于旋拧丝杆81,使其与固定螺母座22的拆装。 [0034] 进一步地,本实施例中,固定座21上设有用于定位下支撑座4位置的第二定位件211。旋拧丝杆81与固定螺母座22连接时,下支撑座4也会逐渐靠近固定座21,当下支撑座4抵住固定座21上的第二定位件211时,表示已经连接到位,无需再旋拧丝杆81。优选地,第二定位件211为紧定螺钉,固定座21两端均设置该紧定螺钉。 [0035] 进一步地,本实施例中,下支撑座4上设有用于调节上支撑座7水平度的水平调节组件9。水平调节组件9调整上支撑座7水平,便于石英内管12的放置和安装,避免石英内管 12歪斜倒塌。 [0036] 进一步地,本实施例中,水平调节组件9包括两个与下支撑座4螺纹连接的调节螺母91,两个调节螺母91间隔布置于下支撑座4的两侧,且两个调节螺母91顶部均与上支撑座 7接触。通过调整两侧调节螺母91的高度,来调整上支撑座7的水平度,简单方便。 [0037] 进一步地,本实施例中,下支撑座4上设有导轨42,上支撑座7滑设于导轨42上,上支撑座7上于安装缺口71的一侧设有加强筋73。导轨42为上支撑座7的滑动提供导向,加强筋73可以减少安装缺口71处的变形。 [0038] 实施例二本实施例的立式炉内管的运输方法,包括如下步骤: S1、将内管托环3放在安装缺口71上,再将石英内管12放置在内管托环3上; S2、固定座21与立式炉底座11连接,通过推手5推动小车本体1靠近固定座21,直至 下支撑座4上的丝杆81与固定座21上的固定螺母座22对齐; S3、旋拧旋钮811使丝杆81与固定螺母座22连接,直至下支撑座4抵紧第二定位件 211; S4、推动上支撑座7在下支撑座4上滑动,使安装缺口71位于立式炉承载台13上方, 并与立式炉承载台13同心,然后锁紧件72与靠近立式炉的第一定位件41定位锁定,上支撑 座7不再滑动; S5、立式炉升降模组14带动承载台13上升,承载台13承载定位环31和内管托环3穿 过安装缺口71并继续上升,使石英内管12进入立式炉炉体10内; S6、内管托环3进入炉体10的炉口时,通过旋转把手32拧动内管托环3,使内管托环 3与炉体10的炉口卡接; S7、升降模组14带动承载台13和定位环31下降,直至定位环31落回安装缺口71上; S8、解除锁紧件72的锁紧,将上支撑座7复位,此时锁紧件72与远离立式炉的第一 定位件41锁定,再旋拧丝杆81使其与固定螺母座22分离。 该立式炉内管的运输方法,无需依靠人工搬运即可完成石英内管12的安装,省时 省力,提高了运输效率,且减少人体与石英内管12的接触,从而减少对石英内管12的污染。 [0039] 虽然本发明已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围的情况下,都可利用上述揭示的技术内容对 本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、 等同变化及修饰,均应落在本发明技术方案保护的范围内。 |